CN105655274A - 物品保管设备 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种物品保管设备。在开口部，设有以沿着第2方向的门体用摆动轴为轴心摆动自如的门体，上述开口部形成在将行进路径截断的路径截断壁部上且输送用移动体能够穿过。门体构成为，将姿势向以沿着路径截断壁部的姿势将开口部闭塞的闭姿势、和位于内部空间侧且以输送用移动体能够穿过的方式将开口部开放的开姿势切换自如。物品保管设备具备闭塞体，将开口部包含在输送用移动体的第1方向的存在范围内的输送用移动体的位置作为对象位置，在将门体的姿势切换为开姿势与闭姿势之间的中间姿势或开姿势并且使输送用移动体停止在对象位置的状态下，上述闭塞体能够切换为将内部空间与外部空间连通的部分闭塞的闭塞状态。

Description

物品保管设备
技术领域
本发明涉及一种物品保管设备，具备：物品收存搁架，在沿着水平方向的第1方向及沿着上下方向的第2方向上具备多个收存收容着半导体基板的容器的收存部；输送用移动体，在物品收存搁架的前表面中在沿着第1方向设置的行进路径中沿着第1方向移动自如；壁状体，设在配置物品收存搁架及输送用移动体的内部空间的侧周围，将外部空间和内部空间在俯视中划分。
背景技术
例如在特开2007－326686号公报（专利文献1）中表示上述那样的物品保管设备的一例。在专利文献1的物品保管设备中，在将外部空间和内部空间在俯视中划分的壁状体上，具备用于作业者出入的开口、和能够将姿势切换为开姿势及闭姿势的门体。这里，开姿势是将该开口开放以使作业者能够穿过的姿势，闭姿势是将该开口闭塞的姿势。在专利文献1的物品保管设备中，作业者从上述开口进入内部空间，在内部空间内进行输送用移动体的维护作业。
此外，作为物品保管设备的另一例，如特开2013－142009号公报（专利文献2）那样，有构成为使得收存在内部空间中的容器内的半导体基板不会被污染的结构。在专利文献2的物品保管设备中，构成为，为了将内部空间维持为尘埃较少的清洁的环境，供给清洁空气以使其在内部空间中从顶棚侧向地面侧流动。此外，在专利文献2的物品保管设备中，为了抑制容器内的半导体基板的污染，进行向容器内供给氮等惰性气体的处理。
在专利文献2的物品保管设备中，为了将容器的内部的气体用惰性气体置换、维持将容器的内部用惰性气体充满的状态，将惰性气体持续或断续地向容器供给。因此，惰性气体被从容器向内部空间排出，内部空间与外部空间相比惰性气体浓度变高。即，内部空间有相对地氧浓度变低的趋向，内部空间有可能成为作业者难以作业的环境。
所以，在专利文献2的物品保管设备中，也可以考虑与专利文献1的物品保管设备同样，在壁状体上设置开口，设置将该开口开闭的门体，从该开口将输送用移动体向外部空间取出来进行输送用移动体的维护作业。此外，即使不是如专利文献2的物品保管设备那样进行惰性气体的供给的物品保管设备，从作业性的观点，也可以考虑将输送用移动体取出到外部空间中而进行输送用移动体的维护作业。
为了将输送用移动体从内部空间取出到外部空间中，可以考虑例如将行进路径在被壁状体截断的状态下遍及内部空间和外部空间连续地形成，在壁状体中的作为将行进路径截断的部分的路径截断壁部上设置输送用移动体能够穿过的开口部，构成为使输送用移动体经由该开口部从内部空间向外部空间移动。
为了抑制惰性气体从开口部向外部空间漏出，或者为了在内部空间的内部维持从顶棚侧向地面侧的气流（下降流），要求上述开口部在使输送用移动体穿过的情况下为开姿势、在不使输送用移动体穿过的情况下为闭姿势。
在设置物品保管设备的半导体制造设备等中，希望在维护时对于物品保管设备的周边空间的影响也尽量少。即，要求在外部空间中输送用移动体占有的区域尽量少。但是，在维护时在使门体为闭姿势的状态下使输送用移动体位于外部空间中的情况下，由于输送用移动体的第1方向的位置以尽量接近于闭姿势的门体的位置为限度，所以有在维护时在外部空间中输送用移动体占有的区域变大的问题。
发明内容
所以，希望有能够使得在维护时输送用移动体占有的外部空间的占有量尽量变小的物品保管设备。
鉴于上述的、物品保管设备的特征结构是，具备物品收存搁架、输送用移动体和壁状体；上述物品收存搁架在沿着水平方向的第1方向及沿着上下方向的第2方向上具备多个收存部，上述收存部将收容有半导体基板的容器收存；上述输送用移动体在行进路径上沿着上述第1方向移动自如，上述行进路径在上述物品收存搁架的前表面上沿着上述第1方向设置；上述壁状体设在内部空间的侧周围，将外部空间和上述内部空间在俯视中划分，上述物品收存搁架及上述输送用移动体配置在上述内部空间中；上述输送用移动体具备在上述收存部与自己之间自如移载上述容器的移载装置；上述行进路径在被上述壁状体截断的状态下遍及上述内部空间和上述外部空间连续形成；在上述壁状体的将上述行进路径截断的部分即路径截断壁部上，形成有上述输送用移动体能够穿过的开口部；在上述开口部设有门体，上述门体以沿着上述第2方向的门体用摆动轴为轴心摆动自如；上述门体构成为，将姿势向以沿着上述路径截断壁部的姿势将上述开口部闭塞的闭姿势、和位于上述内部空间侧且以上述输送用移动体能够穿过的方式将上述开口部开放的开姿势切换自如；上述物品保管设备具备闭塞体，将上述开口部包含在上述输送用移动体的上述第1方向的存在范围内的上述输送用移动体的位置作为对象位置，在将上述门体的姿势切换为上述开姿势与上述闭姿势之间的中间姿势或上述开姿势并且使上述输送用移动体停止在上述对象位置的状态下，上述闭塞体能够切换为将上述内部空间与上述外部空间连通的部分闭塞的闭塞状态。
即，在使门体成为开姿势、使输送用移动体停止在对象位置后，通过在使门体成为中间姿势或开姿势的状态下将闭塞体切换为闭塞状态，能够将输送用移动体取出到外部空间中。
因此，与例如通过在使输送用移动体的整体在第1方向上位于开口部的外方侧的状态下使门体成为闭姿势将输送用移动体取出到外部空间中的结构相比，能够使输送用移动体占有的外部空间的占有量变小。
另外，这里，所谓闭塞状态，不仅是将内部空间与外部空间之间的气体的流通完全切断的状态，还包括容许内部空间与外部空间之间的少量的气体的流通的状态。
因而，能够提供一种能够使在维护时输送用移动体占有的外部空间的占有量尽量小的物品保管设备。
附图说明
图1是半导体容器保管库的一部分切掉概略立体图。
图2是表示半导体容器保管库的主要部的纵剖视图。
图3是表示使门体为开姿势的状态的半导体容器保管库的主要部立体图。
图4是表示使门体为闭姿势的状态的半导体容器保管库的主要部俯视图。
图5是表示使门体为开姿势的状态的半导体容器保管库的主要部俯视图。
图6是表示使下部门体为中间姿势的状态的半导体容器保管库的俯视图。
图7是表示使下部门体为中间姿势而使子门体为闭塞用姿势的状态的半导体容器保管库的俯视图。
图8是表示使维护对象的输送用移动体位于外部空间而使子门体为闭塞用姿势的状态的半导体容器保管库的俯视图。
图9是表示使下部门体为中间姿势、使子门体为闭塞用姿势、使上部门体为闭姿势的状态的半导体容器保管库的立体图。
图10是表示将外部维护用立足处切换为搭乘用姿势的状态的半导体容器保管库的俯视图。
图11是表示外部维护用立足处的水平姿势和搭乘用姿势的切换的立体图。
图12是控制框图。
具体实施方式
以下，基于附图说明物品保管设备的实施方式。这里，说明将物品保管设备应用到半导体容器保管库中的情况下的实施方式。
如图1及图2所示，半导体容器保管库1具备物品收存搁架10和输送用移动体20。物品收存搁架10在左右方向及上下方向上具备多个将收容有半导体基板的FOUP等容器B收存的收存部1S。输送用移动体20在沿着左右方向设在物品收存搁架10的前表面上的行进轨道R上沿着左右方向移动自如地构成。输送用移动体20具备在收存部1S与自己之间自如移载容器B的移载装置25。在本实施方式中，左右方向相当于“沿着水平方向的第1方向”，上下方向相当于“沿着上下方向的第2方向”。
物品收存搁架10在上下方向及左右方向上排列多个而具备载置支承容器B的载置部。在本实施方式中，在载置部与该载置部的上段的载置部之间、并且在左右方向上左相邻的载置部与右相邻的载置部之间，形成有收存部1S。另外，虽然图示省略，但在载置部上，设有向容器B内供给氮等惰性气体的惰性气体供给部。
此外，物品收存搁架10以使取放容器B的一侧对置的形态在容器B的取放方向上离开而设有一对。在一对物品收存搁架10之间沿着左右方向设置有输送用移动体20行进的行进轨道R。在本实施方式中，在行进路径中设定了左右方向上的行进轨道R的存在范围。
上述一对物品收存搁架10及输送用移动体20配置在被壁状体1W（对置的一对路径截断壁部1Wa及对置的一对左右方向壁部1Wb）包围的内方即内部空间1N中。壁状体1W在俯视中设为矩形状，将外部空间1G和内部空间1N在俯视中划分。
即，壁状体1W设在配置物品收存搁架10及输送用移动体20的内部空间1N的侧周围，将外部空间1G和内部空间1N在俯视中划分。
另外，虽然没有图示，但在半导体容器保管库1的顶棚部，设有使空气朝向下方流动的气流发生装置，构成为，在内部空间1N的内部形成从顶棚侧朝向地面侧的气流（下降流）。
如图1及图2所示，输送用移动体20具备沿着作为行进轨道R的下部轨道R1行进移动自如的行进台车21、立设在行进台车21上的升降桅杆22、和被升降桅杆22导引而升降移动的升降体24。升降桅杆22立设在行进台车21的比该行进台车21的行进方向的中央部靠一侧的部分处。即，升降桅杆22立设在行进台车21的比左右方向的中央部靠左右方向的一侧即第1侧的部分处。此外，在下部轨道R1的上方设有上部轨道R2。上部轨道R2将设在升降桅杆22的上端的上部框23上的导引轮导引。
此外，升降体24在行进台车21中以在行进方向上向与升降桅杆22位于的一侧的端部相反侧伸出的状态设置。即，升降体24以从升降桅杆22向与上述第1侧相反侧伸出的方式设置。
此外，如图12所示，设有控制部C，所述控制部C控制装备在行进台车21上的行进驱动部21m的驱动、使升降体24升降的升降驱动部24m的动作、移载装置25的移载动作等。即，设有控制输送用移动体20的输送动作的控制部C。
如图2所示，在俯视中接近于左右方向（输送用移动体20的行进方向）上的行进路径（行进轨道R）的两端的各自而取位的一对路径截断壁部1Wa上，分别形成有输送用移动体20能够穿过的开口部1K。行进轨道R穿过开口部1K遍及内部空间1N侧和外部空间1G侧而设定。
即，行进路径在被壁状体1W截断的状态下遍及内部空间1N和外部空间1G连续地形成。并且，在壁状体1W的作为将行进路径截断的部分的路径截断壁部1Wa上，形成有输送用移动体20能够穿过的开口部1K。
此外，作为输送用移动体20，设有在行进路径上（在本例中是单一的行进路径上）分别行进的第1输送用移动体20A和第2输送用移动体20B。设定为，使得在输送用移动体20的行进方向上，第1输送用移动体20A负责的行进区与第2输送用移动体20B负责的行进区相互不重复。
第1输送用移动体20A及第2输送用移动体20B分别当位于内部空间1N中时，以在行进台车21中在行进方向上升降桅杆22接近的端部接近于自己存在一侧的门体D的姿势设置。即，输送用移动体20分别以上述第1侧为朝向门体D的一侧的朝向设置。具体而言，第1输送用移动体20A以第1侧为朝向后述第1门体的一侧的朝向设置，第2输送用移动体20B以第1侧为朝向后述第2门体的一侧的朝向设置。
以下，对设在开口部的门体D进行说明。门体D在设在一对路径截断壁部1Wa的各自上的开口部1K处分别设置。一对路径截断壁部1Wa与行进路径的两端分别接近而取位。即，如图2所示，在壁状体1W中的作为第1输送用移动体20A侧的端部的路径截断壁部1Wa上，设有作为开口部1K的第1开口部1Ka。另外，壁状体1W中的第1输送用移动体20A侧的端部，是壁状体1W中的沿着左右方向从第2输送用移动体20B朝向第1输送用移动体20A的一侧的端部。并且，在第1开口部1Ka上设有作为门体的第1门体，对应于第1门体设有作为闭塞体的第1闭塞体。在本实施方式中，第1闭塞体以安装在第1门体上的状态设在第1开口部1Ka。此外，在壁状体1W中的作为第2输送用移动体20B侧的端部的路径截断壁部1Wa上，设有作为开口部1K的第2开口部1Kb。另外，壁状体1W中的第2输送用移动体20B侧的端部，是壁状体1W中的沿着左右方向从第1输送用移动体20A朝向第2输送用移动体20B的一侧的端部。并且，在第2开口部1Kb设有作为门体D的第2门体，对应于第2门体，设有作为闭塞体的第2闭塞体。在本实施方式中，第2闭塞体以安装在第2门体上的状态设在第2开口部1Kb。在本实施方式中，设在第1门体上的子门体D3相当于第1闭塞体，设在第2门体上的子门体D3相当于第2闭塞体。
另外，由于一对路径截断壁部1Wa的各自的开口部1K处的门体D是同样的结构，所以在以后的说明中以一方的开口部1K为例进行说明。
如图1～图3等所示，在开口部1K处，设有以沿着上下方向的门体用摆动轴Dh1（参照图4～图7）为轴心摆动自如且在上下方向上位于上方的上部门体D1、和以门体用摆动轴Dh1为轴心摆动自如且在上下方向上位于下方的下部门体D2。在本实施方式中，门体D具备上部门体D1和下部门体D2。
上部门体D1和下部门体D2分别将姿势向以沿着路径截断壁部1Wa的姿势将开口部1K闭塞的闭姿势（参照图1、图4）、和位于内部空间1N侧且输送用移动体20可穿过地将开口部1K开放的开姿势（参照图3、图5）切换自如地构成。
在本实施方式中，上部门体D1和下部门体D2分别相当于分割部分（上下分割部分）。即，在本实施方式中，门体D在上下方向上被分割为多个分割部分，在本例中，门体D被分割为上部门体D1和下部门体D2这两个分割部分。并且，上部门体D1和下部门体D2分别将姿势向开姿势和闭姿势切换自如地构成。
此外，在下部门体D2上，如图6～图10所示，设有子门体D3。子门体D3构成为，在将下部门体D2的姿势切换为开姿势与闭姿势之间的中间姿势、并且使输送用移动体20停止在取出用停止位置（图8中的第1输送用移动体20A的位置）处的状态下，能够切换为将内部空间1N与外部空间1G连通的部分闭塞的闭塞状态（参照图7）。取出用停止位置是开口部1K位于输送用移动体20的左右方向的存在范围内（包含开口部1K）的输送用移动体20的位置。即，取出用停止位置相当于“对象位置”。在本实施方式中，子门体D3相当于闭塞体H。
子门体D3如图6及图7所示，以闭塞体用摆动轴Dh2为轴心摆动自如地相对于下部门体D2安装。闭塞体用摆动轴Dh2在下部门体D2中设在在俯视中与门体用摆动轴Dh1相反侧的端部。
即，在多个分割部分中的至少一个分割部分（在本例中是一个分割部分）处设有子门体D3。
子门体D3将姿势向在俯视中沿着下部门体D2的收存用姿势（参照图6）和闭塞用姿势（参照图7）切换自如地构成。这里，设在俯视中下部门体D2和子门体D3在闭塞体用摆动轴Dh2处所成的角为摆动角P（参照图7），闭塞用姿势是与收存用姿势相比摆动角P为较大的角度的姿势。在本实施方式中，如图6所示，收存用姿势下的摆动角P是0度。
并且构成为，通过将下部门体D2的姿势切换为中间姿势并将子门体D3切换为闭塞用姿势，使子门体D3成为闭塞状态。
另外，在使上部门体D1成为闭姿势、使下部门体D2成为中间姿势后使子门体D3成为闭塞用姿势时，在上下方向上上部门体D1与下部门体D2相邻的部分中，在俯视中形成由上部门体D1、下部门体D2及子门体D3包围的梯形的间隙，但由于穿过该间隙从内部空间1N漏出到外部空间1G中的气体的量不多，所以在本公开的闭塞状态中，也包括形成有上述那样的间隙的状态。
如图6及图7所示，在上部门体D1及下部门体D2上，设有检测该上部门体D1或下部门体D2是否是闭姿势的接近检测式的第1检测传感器S1。此外，在子门体D3上，设有检测该子门体D3是否是闭塞状态的接近检测式的第2检测传感器S2。如图12所示那样构成为，第1检测传感器S1及第2检测传感器S2的检测信息被输入到控制部C中。在本实施方式中，第1检测传感器S1及第2检测传感器S2相当于检测门体D是否是闭姿势以及子门体D3是否是闭塞状态的门状态检测部。
在本实施方式中，由于作为门体D而设有第1门体和第2门体，所以门状态检测部它们与各个门体D对应而分别设置。即，在第1门体上，设有检测该第1门体是否是闭姿势及第1闭塞体是否是闭塞状态的第1门状态检测部，在第2门体上，设有检测该第2门体是否是闭姿势及第2闭塞体是否是闭塞状态的第2门状态检测部。
并且，控制部C构成为，以是第1动作许可状态为条件，使第1输送用移动体20A输送动作，并且以是第2动作许可状态为条件，使第2输送用移动体20B输送动作。这里，第1动作许可状态是由第1门状态检测部检测出第1门体是闭姿势的状态、或由第1门状态检测部检测出第1闭塞体不是闭塞状态的状态的某种。此外，第2动作许可状态是由第2门状态检测部检测出第2门体是闭姿势的状态、或由第2门状态检测部检测出第2闭塞体不是闭塞状态的状态的某种。
这样，控制部C构成为，以是动作许可状态为条件，使输送用移动体20输送动作，所述动作许可状态，是由第1检测传感器S1检测出门体D是闭姿势的状态、或由第2检测传感器S2检测出子门体D3不是闭塞状态的状态的某个。
接着，基于图10及图11对外部作业用的作业台50进行说明。
在路径截断壁部1Wa的外侧面侧，设有具备支柱及横梁而组装为脚炉木架状的支承框体，沿着路径截断壁部1Wa的外侧面，安装着用于作业者在支承框体的内部升降的梯子L。此外，在上下方向上上部门体D1的存在高度处，设有作业者为了高处作业而搭乘的第1踏板51、第2踏板52、第3踏板53及第4踏板54。第1踏板51在梯子L的背面侧绕水平轴心摆动自如地设置，将姿势向沿着水平方向的搭乘姿势和沿着上下方向的收存姿势切换自如地构成。第1踏板51通过在作业者在梯子L上升降的情况下使摆动端部向上方摆动而成为收存姿势、在作业者登上梯子L而经过该第1踏板51的设置高度后使摆动端部向下方摆动而做成搭乘姿势，能够作为作业者的作业用的立足处。
此外，第2踏板52和第3踏板53在左右方向上相邻设置，从与路径截断壁部1Wa接近的一侧起，依次配置有第3踏板53、第2踏板52。此外，在俯视中夹着行进轨道R而与第1踏板51相反侧设有第4踏板54。第4踏板54不摆动，而以水平姿势固定在支承框体上。在使输送用移动体20停止在取出用停止位置的状态下，由于升降桅杆22从上部门体D1离开，所以能够使第3踏板53存在于升降桅杆22与上部门体D1之间（参照图10）。因此，通过使第3踏板53成为搭乘姿势，作业者能够以包围升降桅杆22的第1踏板51、第3踏板53、第4踏板54为立足处进行作业。
接着，对在本实施方式的半导体容器保管库1中将输送用移动体20维护的情况下的次序进行说明。
首先，在输送用移动体20故障等而需要维护的情况下，切换为作业者以手动指令使输送用移动体20动作的手动动作模式。
然后，作业者如图5所示，将下部门体D2及上部门体D1切换为开姿势，使输送用移动体20移动到开口部1K位于输送用移动体20的左右方向的存在范围内的取出用停止位置。此外，同时使升降体24下降以位于升降下限位置。
在使输送用移动体20位于取出用停止位置后，接着如图9所示，使上部门体D1成为闭姿势并使下部门体D2成为中间姿势。
这里，关于下部门体D2，在使左右一对的下部门体D2a、D2b摆动到图6所示的中间姿势后，使摆动自如地安装在该左右一对的下部门体D2a、D2b的各自上的子门体D3a、D3b摆动直到成为闭塞用姿势（参照单点划线箭头）。
由此，如图7及图8所示，在将输送用移动体20取出到外部空间的状态下，能够成为将内部空间1N与外部空间1G连通的部分闭塞的闭塞状态。此外，如图8所示，能够成为外部空间1G进入到内部空间1N侧的状态，所以能够使行进台车21中的内部空间1N侧的部分或升降体24中的内部空间1N侧的部分位于该进入的部分。即，能够使行进台车21及升降体24在左右方向上在从路径截断壁部1Wa进入到内部空间1N侧的状态下位于外部空间1G中，整体上能够使输送用移动体20在左右方向上在比路径截断壁部1Wa靠外方占有的区域变少。此外，通过在使上部门体D1为闭姿势、使下部门体D2为中间姿势后使子门体D3成为闭塞用姿势，外部空间1G和内部空间1N被截断，所以如图8所示，能够使不为维护对象的输送用移动体20（在图8所示的例子中是第2输送用移动体20B）在作为维护对象的输送用移动体20（在图8所示的例子中是第1输送用移动体20A）的行进区中安全地行进。因此，能够尽量避免作为设备整体的工作效率的下降。
〔其他实施方式〕
（1）在上述实施方式中，说明了作为输送用移动体而具备在行进台车21上立设有升降桅杆22且设有沿着该升降桅杆22升降自如的升降体24的堆装起重机的结构，但并不限定于这样的结构，例如可以由在输送用移动体上沿着行进轨道行进的自行台车构成等，输送用移动体由沿着行进轨道行进而输送物品的各种移动体构成。
（2）在上述实施方式中，说明了做成以在门体D中设在俯视中与门体用摆动轴相反侧的端部上的轴心为闭塞体用摆动轴、将闭塞体H以闭塞体用摆动轴为轴心摆动自如地安装在门体D上的子门体D3的结构，但只要是能够将内部空间1N与外部空间1G连通的部分闭塞的结构，例如也可以在闭塞体H中采用在左右的门体D上安装分体的板状体的构造等各种结构。
（3）在上述实施方式中，说明了将门体D分割为上部门体D1和下部门体D2这两个的结构，但并不限定于这样的结构，也可以做成将门体D在上下方向上分割为3个以上的结构。此外，也可以做成设置在上下方向上连续的单一或一对门体D、在该门体D上设置闭塞体的结构。
（4）在上述实施方式中，说明了做成将门体D左右分别地开闭的对开式的门的结构，但也可以代替这样的结构而做成以下的结构：在左右一方的端部上具备沿着上下方向的摆动轴而做成摆动自如的门体，在该门体的摆动端部侧设置第2摆动门，进而在第2摆动门的摆动端部侧设置第3摆动门。在此情况下，例如可以构成为，门体、第2摆动门及第3摆动门在俯视中以梯形或矩形状进入到内部空间侧的状态下将内部空间1N与外部空间1G连通的部分闭塞。
此外，在上述实施方式中，说明了使子门体D3在使下部门体D2成为开姿势与闭姿势之间的中间姿势的状态下为闭塞用姿势的结构，但并不限定于这样的结构，也可以构成为，能够使子门体D3在使下部门体D2成为开姿势的状态下为闭塞用姿势。
（5）在上述实施方式中，构成为，两台输送用移动体20（输送用移动体20A、20B）在相同的行进路径中行进，但也可以做成具备1台或3台以上输送用移动体20的结构，输送用移动体20的数量可以任意地变更。另外，在具备3台以上输送用移动体20的情况下，优选的是做成将位于行进路径的两端部的输送用移动体20与位于其之间的输送用移动体20的位置替换的机构、或在行进路径的两端部以外设置输送用移动体20的取出用的门体的结构。
（6）在上述实施方式中，说明了对于在相同的行进路径中行进的两个输送用移动体20A、20B分别以不重复的状态设置各自负责的行进区的结构，但并不限定于这样的结构，也可以做成在使输送用移动体各自负责的行进区的一部分或全部重复的状态下应用的结构。
（7）在上述实施方式中，做成了作为门状态检测部而具备检测门体D是否是闭姿势的接近检测式的第1检测传感器S1及检测闭塞体是否是闭塞状态的接近检测式的第2检测传感器S2这两个传感器的结构，但代替这样的结构，可以在门状态检测部中采用例如设置将门体D摄像的相机、控制部C将相机的摄像图像解析而判别门体是否是闭姿势以及闭塞体是否是闭塞状态等、能够检测门体D是否是闭姿势以及闭塞体是否是闭塞状态的各种检测方式。
（8）在上述实施方式中，做成了当在使上部门体D1为闭姿势、使下部门体D2为中间姿势后使子门体D3为闭塞用姿势时、将形成于在上下方向上上部门体D1与下部门体D2相邻的部分处的间隙不闭塞的结构，但也可以做成具备将上述间隙闭塞的闭塞体的结构。
〔上述实施方式的概要〕
以下，对在上述中说明的物品保管设备的概要进行说明。
物品保管设备具备物品收存搁架、输送用移动体和壁状体；上述物品收存搁架在沿着水平方向的第1方向及沿着上下方向的第2方向上具备多个收存部，上述收存部将收容有半导体基板的容器收存；上述输送用移动体在行进路径上沿着上述第1方向移动自如，上述行进路径在上述物品收存搁架的前表面上沿着上述第1方向设置；上述壁状体设在内部空间的侧周围，将外部空间和上述内部空间在俯视中划分，上述物品收存搁架及上述输送用移动体配置在上述内部空间中；上述输送用移动体具备在上述收存部与自己之间自如移载上述容器的移载装置；上述行进路径在被上述壁状体截断的状态下遍及上述内部空间和上述外部空间连续形成；在上述壁状体的将上述行进路径截断的部分即路径截断壁部上，形成有上述输送用移动体能够穿过的开口部；在上述开口部设有门体，上述门体以沿着上述第2方向的门体用摆动轴为轴心摆动自如；上述门体构成为，将姿势向以沿着上述路径截断壁部的姿势将上述开口部闭塞的闭姿势、和位于上述内部空间侧且以上述输送用移动体能够穿过的方式将上述开口部开放的开姿势切换自如；上述物品保管设备具备闭塞体，将上述开口部包含在上述输送用移动体的上述第1方向的存在范围内的上述输送用移动体的位置作为对象位置，在将上述门体的姿势切换为上述开姿势与上述闭姿势之间的中间姿势或上述开姿势并且使上述输送用移动体停止在上述对象位置的状态下，上述闭塞体能够切换为将上述内部空间与上述外部空间连通的部分闭塞的闭塞状态。
即，在使门体成为开姿势、使输送用移动体停止在对象位置后，通过在使门体成为中间姿势或开姿势的状态下将闭塞体切换为闭塞状态，能够将输送用移动体取出到外部空间中。
因此，与例如通过在使输送用移动体的整体在第1方向上位于开口部的外方侧的状态下使门体成为闭姿势将输送用移动体取出到外部空间中的结构相比，能够使输送用移动体占有的外部空间的占有量变小。
另外，这里，所谓闭塞状态，不仅是将内部空间与外部空间之间的气体的流通完全切断的状态，还包括容许内部空间与外部空间之间的少量的气体的流通的状态。
因而，能够提供一种能够使在维护时输送用移动体占有的外部空间的占有量尽量小的物品保管设备。
这里，优选的是，上述闭塞体是子门体，上述子门体以闭塞体用摆动轴为轴心摆动自如地相对于上述门体安装；上述闭塞体用摆动轴在上述门体中配置在俯视中与上述门体用摆动轴相反侧的端部；设在俯视中上述门体与上述子门体在上述闭塞体用摆动轴处所成的角为摆动角，上述子门体构成为，将姿势向在俯视中沿着上述门体的收存用姿势、和与上述收存用姿势相比上述摆动角为大的角度的闭塞用姿势切换自如；构成为，通过将上述门体的姿势切换为上述中间姿势并将上述子门体的姿势切换为上述闭塞用姿势，使上述闭塞体成为上述闭塞状态。
即，通过将安装在门体上的子门体切换为闭塞用姿势，能够将内部空间与外部空间连通的部分闭塞。因此，与作为与门体分体而具备闭塞体、在为闭塞状态时将该分体的闭塞体安装到门体上那样的结构相比，能够使将闭塞体切换为闭塞状态的作业变容易。
此外，优选的是，上述门体在上述第2方向上被分割为多个分割部分，并且上述多个分割部分分别构成为，将姿势向上述开姿势和上述闭姿势切换自如；在上述多个分割部分中的至少一个分割部分上设有上述子门体。
即，子门体是对门体附加地安装的结构，所以与仅具备门体的情况相比结构变复杂。根据本结构，由于能够将子门体匹配于输送用移动体的形状而设置在多个分割部分中的需要的部分，所以能够使设备的结构整体上简洁化。
此外，优选的是，上述输送用移动体具备沿着上述行进路径行进移动自如的行进台车、立设在上述行进台车上的升降桅杆、和被上述升降桅杆导引而升降移动的升降体；上述升降桅杆立设在上述行进台车的比上述第1方向的中央部靠上述第1方向的一侧即第1侧的部分上；上述升降体以从上述升降桅杆向与上述第1侧相反侧伸出的状态设置；上述输送用移动体当位于上述内部空间时，以上述第1侧为朝向上述门体的一侧的朝向设置。
即，在使输送用移动体停止在对象位置的情况下，升降桅杆在第1方向上位于比开口部靠外侧、即外部空间中。所以，即使为在不存在行进台车及升降体而仅存在升降桅杆的第2方向的区域（高度）中不具备子门体的门体，也能够将开口部的内部空间与外部空间连通的部分闭塞。此外，在使输送用移动体停止在对象位置的情况下，根据升降桅杆相对于行进台车的位置及升降体相对于升降桅杆的突出量，有为开口部位于行进台车及升降体的第1方向上的存在范围内的状态的情况。所以，在这样的情况下，如果做成在行进台车及升降体存在的高度（第2方向的区域）的门体上具备子门体的结构，则在行进台车及升降体存在的高度中，能够将开口部的内部空间与上述外部空间连通的部分闭塞。
此外，优选的是，还具备：门状态检测部，检测上述门体是否是上述闭姿势以及上述闭塞体是否是上述闭塞状态；和控制部，控制上述输送用移动体的输送动作；上述控制部构成为，以是动作许可状态为条件，使上述输送用移动体输送动作，上述动作许可状态是由上述门状态检测部检测出上述门体是上述闭姿势的状态或由上述门状态检测部检测出上述闭塞体不是上述闭塞状态的状态的某个。
即，在由门状态检测部检测出门体为开姿势的情况下、或在由门状态检测部检测出闭塞体是闭塞状态的情况下，有可能输送用移动体故障而需要维护、或门体成为开姿势而成为作业者能够侵入到内部空间中的状态，继续输送用移动体的输送动作是不优选的。根据本结构，由于使输送用移动体的动作条件以是作为由门状态检测部检测出门体是闭姿势的状态、或由门状态检测部检测出闭塞体不是闭塞状态的状态的某个为条件，使输送用移动体输送动作，所以能够使输送用移动体在不会与门体或闭塞体干涉的适当的状态下输送动作。
此外，优选的是，还具备：第1输送用移动体及第2输送用移动体这两台上述输送用移动体，在上述行进路径上分别行进；作为上述开口部的第1开口部，设在上述壁状体上的沿着上述第1方向从上述第2输送用移动体朝向上述第1输送用移动体的一侧的端部；作为上述门体的第1门体，设在上述第1开口部；作为上述闭塞体的第1闭塞体，对应于上述第1门体而设置；第1门状态检测部，检测上述第1门体是否是上述闭姿势以及上述第1闭塞体是否是上述闭塞状态；作为上述开口部的第2开口部，设在上述壁状体上的沿着上述第1方向从上述第1输送用移动体朝向上述第2输送用移动体的一侧的端部；作为上述门体的第2门体，设在上述第2开口部；作为上述闭塞体的第2闭塞体，对应于上述第2门体而设置；和第2门状态检测部，检测上述第2门体是否是上述闭姿势以及上述第2闭塞体是否是上述闭塞状态；上述控制部构成为，以是第1动作许可状态为条件，使上述第1输送用移动体输送动作，并且以是第2动作许可状态为条件，使上述第2输送用移动体输送动作，上述第1动作许可状态是由上述第1门状态检测部检测出上述第1门体是上述闭姿势的状态或由上述第1门状态检测部检测出上述第1闭塞体不是上述闭塞状态的状态的某个，上述第2动作许可状态是由上述第2门状态检测部检测出上述第2门体是上述闭姿势的状态或由上述第2门状态检测部检测出上述第2闭塞体不是上述闭塞状态的状态的某个。
即，在第1门体不是闭姿势的情况下、或在第1闭塞体是闭塞状态的情况下，不使第1输送用移动体输送动作，所以在使第1门体为开姿势等而作业者能够接近于第1输送用移动体的状态下，能够避免作业者不希望的第1输送用移动体的动作，能够确保作业者的安全。此外，在此情况下，在第2门体是闭姿势的情况下或第2闭塞体不是闭塞状态时，第2输送用移动体能够继续输送动作，所以能够抑制设备的工作效率的下降。
此外同样，在第2门体不是闭姿势的情况下、或在第2闭塞体是闭塞状态的情况下，不使第2输送用移动体输送动作，所以在使第2门体为开姿势等而作业者能够接近于第2输送用移动体的状态下，能够避免作业者不希望的第2输送用移动体的动作，能够确保作业者的安全。此外，在此情况下，在第1门体是闭姿势的情况下或第1闭塞体不是闭塞状态时，第1输送用移动体能够继续输送动作，所以能够抑制设备的工作效率的下降。
这样，在作为输送用移动体而设有在行进路径上分别行进的两个输送用移动体的情况下，能够尽量降低设备的工作效率的下降并确保作业者的安全。
附图标记说明
1G外部空间
1K开口部
1N内部空间
1S收存部
1W壁状体
1Wa路径截断壁部
10物品收存搁架
20输送用移动体
21行进台车
22升降桅杆
24升降体
25移载装置
B容器
C控制部
D门体
D1、D2分割部分
D3子门体
Dh1门体用摆动轴
Dh2闭塞体用摆动轴
H闭塞体
P摆动角
R行进路径
S1、S2门状态检测部。

Claims (6)

1.一种物品保管设备，具备物品收存搁架、输送用移动体和壁状体；
上述物品收存搁架在沿着水平方向的第1方向及沿着上下方向的第2方向上具备多个收存部，上述收存部将收容有半导体基板的容器收存；
上述输送用移动体在行进路径上沿着上述第1方向移动自如，上述行进路径在上述物品收存搁架的前表面上沿着上述第1方向设置；
上述壁状体设在内部空间的侧周围，将外部空间和上述内部空间在俯视中划分，上述物品收存搁架及上述输送用移动体配置在上述内部空间中；
这里，上述输送用移动体具备在上述收存部与自己之间自如移载上述容器的移载装置；
上述物品保管设备的特征在于，
上述行进路径在被上述壁状体截断的状态下遍及上述内部空间和上述外部空间连续形成；
在上述壁状体的将上述行进路径截断的部分即路径截断壁部上，形成有上述输送用移动体能够穿过的开口部；
在上述开口部设有门体，上述门体以沿着上述第2方向的门体用摆动轴为轴心摆动自如；
上述门体构成为，将姿势向以沿着上述路径截断壁部的姿势将上述开口部闭塞的闭姿势、和位于上述内部空间侧且以上述输送用移动体能够穿过的方式将上述开口部开放的开姿势切换自如；
上述物品保管设备具备闭塞体，将上述开口部包含在上述输送用移动体的上述第1方向的存在范围内的上述输送用移动体的位置作为对象位置，在将上述门体的姿势切换为上述开姿势与上述闭姿势之间的中间姿势或上述开姿势并且使上述输送用移动体停止在上述对象位置的状态下，上述闭塞体能够切换为将上述内部空间与上述外部空间连通的部分闭塞的闭塞状态。
2.如权利要求1所述的物品保管设备，其特征在于，
上述闭塞体是子门体，上述子门体以闭塞体用摆动轴为轴心摆动自如地相对于上述门体安装；
上述闭塞体用摆动轴在上述门体中配置在俯视中与上述门体用摆动轴相反侧的端部；
设在俯视中上述门体与上述子门体在上述闭塞体用摆动轴处所成的角为摆动角，上述子门体构成为，将姿势向在俯视中沿着上述门体的收存用姿势、和与上述收存用姿势相比上述摆动角为大的角度的闭塞用姿势切换自如；
构成为，通过将上述门体的姿势切换为上述中间姿势并将上述子门体的姿势切换为上述闭塞用姿势，使上述闭塞体成为上述闭塞状态。
3.如权利要求2所述的物品保管设备，其特征在于，
上述门体在上述第2方向上被分割为多个分割部分，并且上述多个分割部分分别构成为，将姿势向上述开姿势和上述闭姿势切换自如；
在上述多个分割部分中的至少一个分割部分上设有上述子门体。
4.如权利要求3所述的物品保管设备，其特征在于，
上述输送用移动体具备沿着上述行进路径行进移动自如的行进台车、立设在上述行进台车上的升降桅杆、和被上述升降桅杆导引而升降移动的升降体；
上述升降桅杆立设在上述行进台车的比上述第1方向的中央部靠上述第1方向的一侧即第1侧的部分上；
上述升降体以从上述升降桅杆向与上述第1侧相反侧伸出的状态设置；
上述输送用移动体当位于上述内部空间时，以上述第1侧为朝向上述门体的一侧的朝向设置。
5.如权利要求1～4中任一项所述的物品保管设备，其特征在于，
还具备：
门状态检测部，检测上述门体是否是上述闭姿势以及上述闭塞体是否是上述闭塞状态；和
控制部，控制上述输送用移动体的输送动作；
这里，上述控制部构成为，以是动作许可状态为条件，使上述输送用移动体输送动作，上述动作许可状态是由上述门状态检测部检测出上述门体是上述闭姿势的状态或由上述门状态检测部检测出上述闭塞体不是上述闭塞状态的状态的某个。
6.如权利要求5所述的物品保管设备，其特征在于，
还具备：
第1输送用移动体及第2输送用移动体这两台上述输送用移动体，在上述行进路径上分别行进；
作为上述开口部的第1开口部，设在上述壁状体上的沿着上述第1方向从上述第2输送用移动体朝向上述第1输送用移动体的一侧的端部；
作为上述门体的第1门体，设在上述第1开口部；
作为上述闭塞体的第1闭塞体，对应于上述第1门体而设置；
第1门状态检测部，检测上述第1门体是否是上述闭姿势以及上述第1闭塞体是否是上述闭塞状态；
作为上述开口部的第2开口部，设在上述壁状体上的沿着上述第1方向从上述第1输送用移动体朝向上述第2输送用移动体的一侧的端部；
作为上述门体的第2门体，设在上述第2开口部；
作为上述闭塞体的第2闭塞体，对应于上述第2门体而设置；和
第2门状态检测部，检测上述第2门体是否是上述闭姿势以及上述第2闭塞体是否是上述闭塞状态；
这里，上述控制部构成为，以是第1动作许可状态为条件，使上述第1输送用移动体输送动作，并且以是第2动作许可状态为条件，使上述第2输送用移动体输送动作，上述第1动作许可状态是由上述第1门状态检测部检测出上述第1门体是上述闭姿势的状态或由上述第1门状态检测部检测出上述第1闭塞体不是上述闭塞状态的状态的某个，上述第2动作许可状态是由上述第2门状态检测部检测出上述第2门体是上述闭姿势的状态或由上述第2门状态检测部检测出上述第2闭塞体不是上述闭塞状态的状态的某个。
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