CN105572928A - 一种维修装置及系统 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种维修装置及系统，利用平台放置彩膜基板，在平台上方利用挡板罩聚拢激光发射器发射的激光，并利用激光光束分散部件将激光分散为多个激光光束，以使各激光光束分别镭射彩膜基板的多个缺陷点，从而实现利用一个激光源同时镭射彩膜基板上的多个缺陷点，缩短缺陷点的维修时间，提高维修效率；即使一张彩膜基板上存在较多缺陷点，也可以同步维修，避免放弃维修带来的浪费。
Description
技术领域
本发明涉及半导体设备制造技术领域，具体涉及一种维修装置及系统。
背景技术
彩膜基板在制程过程中，如果受环境或设备内部粉尘等异物污染，异物会残留在彩膜基板各膜层中形成缺陷点，在最终产品中形成两点、暗点、亮线等不良，所以在实际生产中必须对缺陷点进行维修，提升良品率。
常用的彩膜基板不良维修方法为激光镭射法，此方法利用红外激光光束，对缺陷点进行镭射，使不良异物灰化，从而实现维修。但在实际应用过程中，由于彩膜基板上存在一定的像素和黑框矩阵，维修缺陷点时必须确保正常的像素和黑框矩阵不受影响，面积较大的缺陷点涉及多个像素，而现有镭射技术只能对每个像素的开口区域逐个维修，以保证黑框矩阵区域和正常像素不受影响。
现有的激光镭射方案存在以下技术缺陷：
1、通常，一个一般大小的缺陷点需要镭射至少30～40次，平均镭射一次耗时约40秒，维修单个缺陷点耗时长。此外，镭射的同时需要确保黑框矩阵的完整性，必须对逐个开口部内的黑色不良缺陷点逐一进行镭射，对于批量性的缺陷点或占像素点较多的缺陷点，维修耗时约需要30min，维修效率低，无法满足实际生产效率的需求。
2、在TFT/LCD基板的制造过程中，最常见的工艺为采用掩膜板曝光制造具有一定像素周期的彩色滤光片，在曝光过程中如果掩膜板受到异物污染，在曝光中会产生共同缺陷，即在基板内对称分布的、形态相同的缺陷。如图1所示，图中为一张彩膜基板，黑点表示形态相同、位置对称的缺陷点，共同缺陷通常为批量性发生的缺陷，但由于同一基板内不同缺陷需要逐一维修，耗时长，效率低，共同缺陷点较多时不得不放弃维修，造成极大的浪费。
发明内容
本发明针对现有技术中存在的上述不足，提供一种维修装置及系统，用以解决激光镭射的效率低的问题。
本发明为解决上述技术问题，采用如下技术方案：
本发明提供一种维修装置，包括：用于放置彩膜基板的平台和至少一组维修部，维修部设置在平台的上方，包括：激光光束分散部件、用于发射激光的激光发射器和用于聚拢激光的挡板罩；
激光发射器设置于挡板罩的上方，并借助激光传导光纤将激光传导至挡板罩内；
激光光束分散部件设置在挡板罩内，用于将激光发射器发射的激光分散为多个激光光束，以使所述激光光束分别镭射彩膜基板的多个缺陷点。
优选的，所述激光光束分散部件包括相互垂直且高度位置不同的第一挡板组和第二挡板组，第一挡板组包括多个能够转动的第一挡板，第二挡板组包括多个能够转动的第二挡板，第一挡板与第二挡板能够形成多个开口区域，以使激光通过所述开口区域，并被分散为多个激光光束。
优选的，所述第一挡板组还包括第一驱动部，第一驱动部与第一挡板相连，用于驱动第一挡板转动，以使两两相邻的第一挡板之间形成狭缝；
所述第二挡板组还包括第二驱动部，第二驱动部与第二挡板相连，用于驱动第二挡板转动，以使两两相邻的第二挡板之间形成狭缝；
两两相邻的第一挡板之间形成的狭缝与两两相邻的第二挡板之间形成狭缝形成所述开口区域，当各第一挡板均处于水平状态时，第一挡板组闭合，当各第二挡板均处于水平状态时，第二挡板组闭合。
优选的，各第一挡板的宽度相等，各第二挡板的宽度相等。
优选的，在所述挡板罩的侧壁上设置有一组第一滑轨和一组第二滑轨，第一滑轨相对设置于第一挡板的两端的挡板罩的侧壁上，第二滑轨相对设置于第二挡板的两端的侧壁上；
第一滑轨内设置有第一滑块，第一滑块能够在第一滑轨内滑动，设置在第一挡板两端的第一滑块能够分别带动第一挡板的两端向相反方向倾斜；
第二滑轨内设置有第二滑块，第二滑块能够在第二滑轨内滑动，设置在第二挡板两端的第二滑块能够分别带动第二挡板的两端向相反方向倾斜。
进一步的，还包括显微镜，显微镜设置于所述激光光束分散部件的下方。
优选的，所述平台的上方设置有至少一个第一导轨和至少一个第二导轨，第一导轨与第二导轨相互垂直，第一导轨能够沿第二导轨移动；
所述激光发射器固定于第一导轨上，所述激光光束分散部件和挡板罩通过安装背板固定于第一导轨上，所述安装背板能够沿第一导轨移动。
优选的，所述第二导轨为两个，两个第二导轨平行设置，第一导轨的两端能够分别在所述两个第二导轨上移动；
当所述第一导轨为多个，且各第一导轨上均设置有多个维修部时，各第一导轨上的维修部数量相同且位置对应设置。
进一步的，所述维修装置还包括粉尘吸收装置，粉尘吸收装置设置于所述安装背板上，并位于所述激光光束分散部件与平台之间，包括：粉尘回收器、粉尘聚集器和用于产生负压的吸收管；
吸收管的前端设置有开口，吸收管的末端与粉尘回收器相连，能够利用负压吸收激光镭射缺陷点产生的粉尘；
粉尘聚集器呈圆弧状，设置于吸收管的前端的开口处，用于临时收集激光镭射缺陷点产生的粉尘。
进一步的，所述粉尘吸收装置还包括用于产生气流的吹气管，所述吹气管呈鸭嘴型，且所述吹气管的开口低于所述吸收管的开口。
优选的，所述吸收管开口向下且呈喇叭口状。
本发明还提供一种维修系统，包括：检查装置、控制器和如前所述的维修装置，
检查装置用于，确定缺陷点的坐标；
控制器用于，根据所述缺陷点的坐标，以及用户输入的缺陷点的尺寸，控制所述维修装置的激光光束分散部件，在所述缺陷点的上方，将激光发射器发射的激光分散为与所述缺陷点数量相同、大小相等的激光光束。
本发明能够实现以下有益效果：
本发明利用平台放置彩膜基板，在平台上方利用挡板罩聚拢激光发射器发射的激光，并利用激光光束分散部件将激光分散为多个激光光束，以使各激光光束分别镭射彩膜基板的多个缺陷点，从而实现利用一个激光源同时镭射彩膜基板上的多个缺陷点，缩短缺陷点的维修时间，提高维修效率；即使一张彩膜基板上存在较多缺陷点，也可以同步维修，避免放弃维修带来的浪费。
附图说明
图1为彩膜基板上共同缺陷点的示意图；
图2a为本发明实施例提供的维修装置的主视图；
图2b为本发明实施例提供的维修装置的俯视图；
图3为本发明实施例提供的激光光束分散部件的立体图；
图4a为本发明实施例提供的X方向挡板闭合时的示意图；
图4b为本发明实施例提供的X方向挡板打开形成狭缝的示意图；
图4c为本发明实施例提供的Y方向挡板闭合时的示意图；
图4d为本发明实施例提供的Y方向挡板打开形成狭缝的示意图；
图5为本发明实施例提供的激光光束分散部件的俯视图；
图6为本发明实施例提供的维修系统的结构示意图。
图例说明：
1、平台2、维修部3、激光发射器
4、挡板罩5、转轴6、第一驱动部
7、第二驱动部8、开口区域9、显微镜
10、安装背板11、第一导轨12、第二导轨
13、粉尘回收器14、粉尘聚集器15、吹气管
16、吸收管41、第一滑轨42、第二滑轨
411、第一滑块421、第二滑块61、检查装置
62、控制器63、维修装置
具体实施方式
下面将结合本发明中的附图，对本发明中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明通过在彩膜基板的上方设置维修部，将激光分撒为多个激光光束分别镭射彩膜基板的多个缺陷点，实现一张彩膜基板上多个缺陷点的同步维修，缩短缺陷点的维修时间，提高维修效率。
以下结合图2a-4d，详细说明本发明的技术方案。
结合图2a和图2b所示，本发明实施例提供一种维修装置，包括：用于放置彩膜基板的平台1和至少一组维修部2，维修部2设置在平台1的上方，包括：激光光束分散部件、用于发射激光的激光发射器3和用于聚拢激光的挡板罩4。激光发射器3设置于挡板罩4的上方，并借助激光传导光纤将激光传导至挡板罩4内。激光光束分散部件设置在挡板罩4内，用于将激光发射器3发射的激光分散为多个激光光束，以使所述激光光束分别镭射彩膜基板的多个缺陷点。激光光束分散部件分散出的激光光束的形状和尺寸可调。
激光发射器3提供镭射修复时所使用的激光光源，激光发射器3采用现有的激光发射器实现，在此不再赘述。挡板罩4呈内部中空的立方体形状，且下方开口，用于聚拢激光。激光传导光纤将激光发射器3所产生的激光传导至挡板罩4内的激光光束分散部件上，由激光光束分散部件实现分光，将分散出的激光光束镭射彩膜基板的相应缺陷点。
本发明利用平台放置彩膜基板，在平台上方利用挡板罩聚拢激光发射器发射的激光，并利用激光光束分散部件将激光分散为多个激光光束，以使各激光光束分别镭射彩膜基板的多个缺陷点，从而实现利用一个激光源同时镭射彩膜基板上的多个缺陷点，缩短缺陷点的维修时间，提高维修效率；即使一张彩膜基板上存在较多缺陷点，也可以同步维修，避免放弃维修带来的浪费。
以下结合图3以及图4a-4d，详细说明激光光束分散部件的结构。激光光束分散部件由两组挡板组构成，如图3所示，所述激光光束分散部件包括第一挡板组X和第二挡板组Y，第一挡板组X和第二挡板组Y相互垂直且高度位置不同。在本发明实施例中，如图3所示，第一挡板组X位于第二挡板组Y的下方，当然，本领域技术人员可知，第一挡板组X和第二挡板组Y的高度位置不限于此，例如，也可以将第一挡板组X设置在第二挡板组Y的下方。
参见图4a-4b，图4a为第一挡板组X全部闭合的状态图，图4b为第一挡板组X按照一定角度进行旋转后形成狭缝的状态图。第一挡板组X包括多个能够转动的第一挡板，按照第一挡板的排列顺序为其编码X1-Xi，i为大于或等于2的自然数。第一挡板X1-Xi的两端均设置有转轴5，第一挡板X1-Xi能够绕转轴5转动。第一挡板组X还包括第一驱动部6，第一驱动部6安装在挡板罩4上，并与第一挡板X1-Xi的转轴5相连，能够驱动第一挡板X1-Xi的转轴5转动，以使两两相邻的第一挡板之间形成狭缝di-2。
参见图4c-4d，图4c为第二挡板组Y全部闭合的状态图，图4d为第二挡板组Y按照一定角度进行旋转后形成狭缝的状态图。第二挡板组Y包括多个能够转动的第二挡板，按照第二挡板的排列顺序为其编码Y1-Yj，j为大于或等于2的自然数。第二挡板Y1-Yj两端均设置有转轴5，第二挡板Y1-Yj能够绕转轴5转动。第二挡板组Y还包括第二驱动部7，第二驱动部7安装在挡板罩4上，并与第二挡板Y1-Yj的转轴5相连，能够驱动第二挡板Y1-Yj的转轴5转动，以使两两相邻的第二挡板之间形成狭缝dj-2。
两两相邻的第一挡板X1-Xi之间形成的狭缝di-2与两两相邻的第二挡板Y1-Yj之间形成狭缝dj-2能够形成多个开口区域8，以使激光通过开口区域8被分散为多个激光光束。开口区域8与维修区域(缺陷点)的位置相对应，且形状、面积相同。
当各第一挡板X1-Xi均处于水平状态时，第一挡板组X闭合，此时，两两相邻的第二挡板之间没有狭缝；当各第二挡板Y1-Yj均处于水平状态时，第二挡板组Y闭合，此时，两两相邻的第二挡板之间没有狭缝；当各第一挡板X1-Xi和各第二挡板Y1-Yj均处于水平状态时，不会形成开口区域8，此时，激光光束分散部件的状态即为图3所示的状态。
通过控制第一挡板X1-Xi和第二挡板Y1-Yj的角度，可以控制第一挡板组和第二挡板组的开合状态，具体的，通过形成与维修区域(即缺陷点)相符合的开口区域8，当激光照射激光光束分散部件时，激光可以通过第一挡板和第二挡板形成的开口区域8，形成激光光束，该开口区域8即为透光区域。而激光无法通过处于闭合状态的第一挡板和第二挡板，该部分为不透光区域。由于激光光束分散部件可以同时形成多个开口区域8，从而实现多个像素点的同时修复，而不透光区域不会对缺陷点的修复造成影响。
开口区域8大小连续可变、形状可调节。第一挡板组X的第一挡板X1-Xi和第二挡板组Y的第二挡板Y1-Yj别通过第一驱动部6和第二驱动部7控制，可以实现360度连续角度的旋转，从而形成不同宽度的狭缝di-2和dj-2，从而实现对开口区域尺寸的控制。
优选的，各第一挡板X1-Xi的宽度相等，各第二挡板Y1-Yj的宽度相等，便于准确定位缺陷点的位置。
需要说明的是，激光光束分散部件的结构并不局限于本发明实施例涉及的挡板组结构，任何能够实现分散激光束的结构均在本发明的保护范围之内。
结合图3所示，在挡板罩4的侧壁上设置有一组第一滑轨41和一组第二滑轨42，第一滑轨41相对设置于第一挡板X1-Xi的两端的挡板罩4的侧壁上，第二滑轨42相对设置于第二挡板Y1-Yj的两端的侧壁上。
结合图3和图5，第一滑轨41内设置有第一滑块411，第一滑块411能够在第一滑轨41内滑动，设置在第一挡板X1-Xi两端的第一滑块411能够分别带动第一挡板X1-Xi两端的转轴5向相反方向倾斜。第二滑轨42内设置有第二滑块421，第二滑块421能够在第二滑轨42内滑动，设置在第二挡板Y1-Yj两端的第二滑块421能够分别带动第二挡板Y1-Yj两端的转轴5向相反方向倾斜。
当缺陷点为具有一定倾斜角度的区域时，通过控制两个第一滑块411向相反方向移动，和/或，控制两个第二滑块421向相反方向移动，从而可以形成具有一定倾斜角度的开口区域8，开口区域8可以根据实际需求进行尺寸和角度的变化。
通过在第一挡板的两端设置第一滑块，在第二挡板的两端设置第二滑块，借助第一挡板两端的第一滑块相反相向的移动，以及第二挡板两端的第二滑块相反相向的移动，可以调节开口区域的形状，形成倾斜的开口区域，以适应形状不规则的缺陷点，使得激光镭射区域更加精准。
进一步的，如图2a所示，所述维修装置还可以包括用于聚光的显微镜9，显微镜9设置于所述激光光束分散部件的下方。
结合图2a和图2b所示，平台1的上方设置有至少一个第一导轨11和至少一个第二导轨12，第一导轨11与第二导轨12相互垂直，第一导轨11能够沿第二导轨12移动。
激光发射器3固定于第一导轨11上，所述激光光束分散部件和挡板罩4通过安装背板10固定于第一导轨11上，安装背板10能够沿第一导轨11移动。
如图2b所示，第二导轨12为两个，两个第二导轨12平行设置，第一导轨11的两端能够分别在两个第二导轨12上移动。
为了应对针对同一彩膜基板上发生形态相同、位置对称的共同性缺陷不良，对每处共同缺陷点分别维修造成维修效率低下的问题，本发明的维修设备可以设置多个第一导轨，并在每个第一导轨上设置多个维修部。
当第一导轨11为多个，且各第一导轨11上均设置有多个维修部时，各第一导轨11上的维修部数量相同且位置对应设置。
优选的，各第一导轨11上可以设置2～6个维修部。
通过设置多个第一导轨，在各第一导轨上设置相同数量的多个维修部，并将各第一导轨上的维修部对应设置，可以同时维修同一彩膜基板上形态相同、位置对称的多处共同性缺陷点，显著提升维修效率。
在本发明实施例中，设置2个第一导轨11和2个第二导轨12，并在每个第一导轨11上安装2个维修部和两个激光发射器3，这样，一共有4个维修部可以同时维修彩膜基板的4处共同性缺陷点，能够将维修效率提高4倍。
在镭射过程中，由于缺陷点较大等原因，镭射灰化后会产生大量粉尘，现有的激光镭射方案没有设置任何除尘保护装置，粉尘直接掉落于邻近的像素上。而且由于镭射能量较大，粉尘颗粒非常细密，在下游制程的清洗过程中很难清洗除去，反而造成再次污染，导致维修失败。为了解决上述问题，进一步的，所述维修装置还可以包括粉尘吸收装置，粉尘吸收装置设置于所述安装背板10上，并位于激光光束分散部件与平台1之间。如图2a所示，所述粉尘吸收装置包括：粉尘回收器13、粉尘聚集器14和用于产生负压的吸收管16。吸收管16的前端设置有开口，吸收管16的末端与粉尘回收器13相连，能够利用负压吸收激光镭射缺陷点产生的粉尘。粉尘聚集器14呈圆弧状，设置于吸收管16的前端的开口处，用于临时收集激光镭射缺陷点产生的粉尘。
通过在激光光束分散部件与平台之间设置粉尘吸收装置，利用气流防止粉尘掉落在彩膜基板的表面，粉尘随着气流汇聚在粉尘聚集器内，再通过吸收管进入粉尘回收器，实现粉尘的收集，防止粉尘散落污染彩膜基板上正常的像素区域。
由于激光镭射异物灰化速度非常快，单独采用吸收管16产生的负压很难将灰化的异物(粉尘)吸收完全，因此，所述粉尘吸收装置还可以包括用于产生气流的吹气管15。优选的，吹气管15呈鸭嘴型，且吹气管15的开口低于吸收管16的前端的开口。
采用鸭嘴形的、位置低于吸收管16的开口的吹气管15，位于下方的吹气管15产生的气流将产生的粉尘吹起，在灰化的同时造成分成的扰动，防止粉尘掉落在基板膜层表面，同时粉尘可以随着气流汇聚在粉尘聚集器14附近，再在吸收管16的吸力作用下进入粉尘回收器13，实现粉尘的收集，防止粉尘散落，污染基板上的正常像素区域。吸收后的粉尘存储在粉尘回收器13中，定期对其进行清理即可
优选的，吸收管16开口向下且呈喇叭口状，更有利于粉尘的吸收与收集，使粉尘更易进入吸收管16。
本发明实施例还提供一种维修系统，如图6所示，所述维修系统包括：检查装置61、控制器62和如前所述的维修装置63。
检查装置61用于，确定缺陷点的坐标。
控制器62用于，根据所述缺陷点的坐标，以及用户输入的缺陷点的尺寸，控制维修装置63的激光光束分散部件，在所述缺陷点的上方，将激光发射器发射的激光分散为与所述缺陷点数量相同、大小相等的激光光束。
维修系统在实际使用中，由检查装置61将所需维修的缺陷点的坐标信息传递给控制器62，用户在控制器62的软体界面上设定缺陷点的尺寸(长、宽、角度)，控制器62根据用户所设定的尺寸控制、调节维修装置63的开口区域的位置和尺寸，形成与所需要修复的缺陷点的尺寸相符合的透光部分。
具体的，控制器62将用户输入的设置值传送给数据转化装置(即信号转换器，图中未绘示)，数据转化装置将用户的设定值转化为控制指令，并将控制指令传送给第一驱动部6和第二驱动部7，第一驱动部6和第二驱动部7按照指令控制第一挡板组和第二挡板组转动，形成所需要的开口区域。设定完毕后，用户启动激光修复按键，维修部通过控制第一导轨和第二导轨移动，将维修部移动到缺陷点的坐标处的上方，激光发生器3发射激光，激光通过激光光束分散部件后，被分散为若干个激光光束，激光光束通过显微镜9镭射在缺陷点处，对缺陷点进行灰化处理，可以对覆盖多个像素点的缺陷点同时进行维修，大大提升了维修的效率。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
Claims (12)
1.一种维修装置，其特征在于，包括：用于放置彩膜基板的平台和至少一组维修部，维修部设置在平台的上方，包括：激光光束分散部件、用于发射激光的激光发射器和用于聚拢激光的挡板罩；
激光发射器设置于挡板罩的上方，并借助激光传导光纤将激光传导至挡板罩内；
激光光束分散部件设置在挡板罩内，用于将激光发射器发射的激光分散为多个激光光束，以使所述激光光束分别镭射彩膜基板的多个缺陷点。
2.如权利要求1所述的维修装置，其特征在于，所述激光光束分散部件包括相互垂直且高度位置不同的第一挡板组和第二挡板组，第一挡板组包括多个能够转动的第一挡板，第二挡板组包括多个能够转动的第二挡板，第一挡板与第二挡板能够形成多个开口区域，以使激光通过所述开口区域，并被分散为多个激光光束。
3.如权利要求2所述的维修装置，其特征在于，所述第一挡板组还包括第一驱动部，第一驱动部与第一挡板相连，用于驱动第一挡板转动，以使两两相邻的第一挡板之间形成狭缝；
所述第二挡板组还包括第二驱动部，第二驱动部与第二挡板相连，用于驱动第二挡板转动，以使两两相邻的第二挡板之间形成狭缝；
两两相邻的第一挡板之间形成的狭缝与两两相邻的第二挡板之间形成狭缝形成所述开口区域，当各第一挡板均处于水平状态时，第一挡板组闭合，当各第二挡板均处于水平状态时，第二挡板组闭合。
4.如权利要求3所述的维修装置，其特征在于，各第一挡板的宽度相等，各第二挡板的宽度相等。
5.如权利要求3所述的维修装置，其特征在于，在所述挡板罩的侧壁上设置有一组第一滑轨和一组第二滑轨，第一滑轨相对设置于第一挡板的两端的挡板罩的侧壁上，第二滑轨相对设置于第二挡板的两端的侧壁上；
第一滑轨内设置有第一滑块，第一滑块能够在第一滑轨内滑动，设置在第一挡板两端的第一滑块能够分别带动第一挡板的两端向相反方向倾斜；
第二滑轨内设置有第二滑块，第二滑块能够在第二滑轨内滑动，设置在第二挡板两端的第二滑块能够分别带动第二挡板的两端向相反方向倾斜。
6.如权利要求2所述的维修装置，其特征在于，还包括显微镜，显微镜设置于所述激光光束分散部件的下方。
7.如权利要求1-6任一项所述的维修装置，其特征在于，所述平台的上方设置有至少一个第一导轨和至少一个第二导轨，第一导轨与第二导轨相互垂直，第一导轨能够沿第二导轨移动；
所述激光发射器固定于第一导轨上，所述激光光束分散部件和挡板罩通过安装背板固定于第一导轨上，所述安装背板能够沿第一导轨移动。
8.如权利要求7所述的维修装置，其特征在于，所述第二导轨为两个，两个第二导轨平行设置，第一导轨的两端能够分别在所述两个第二导轨上移动；
当所述第一导轨为多个，且各第一导轨上均设置有多个维修部时，各第一导轨上的维修部数量相同且位置对应设置。
9.如权利要求7所述的维修装置，其特征在于，所述维修装置还包括粉尘吸收装置，粉尘吸收装置设置于所述安装背板上，并位于所述激光光束分散部件与平台之间，包括：粉尘回收器、粉尘聚集器和用于产生负压的吸收管；
吸收管的前端设置有开口，吸收管的末端与粉尘回收器相连，能够利用负压吸收激光镭射缺陷点产生的粉尘；
粉尘聚集器呈圆弧状，设置于吸收管的前端的开口处，用于临时收集激光镭射缺陷点产生的粉尘。
10.如权利要求9所述的维修装置，其特征在于，所述粉尘吸收装置还包括用于产生气流的吹气管，所述吹气管呈鸭嘴型，且所述吹气管的开口低于所述吸收管的开口。
11.如权利要求9所述的维修装置，其特征在于，所述吸收管开口向下且呈喇叭口状。
12.一种维修系统，其特征在于，包括：检查装置、控制器和如权利要求1-11任一项所述的维修装置，
检查装置用于，确定缺陷点的坐标；
控制器用于，根据所述缺陷点的坐标，以及用户输入的缺陷点的尺寸，控制所述维修装置的激光光束分散部件，在所述缺陷点的上方，将激光发射器发射的激光分散为与所述缺陷点数量相同、大小相等的激光光束。
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