CN105468051B - 一种温度控制器 - Google Patents

Abstract

一种温度控制器，包括微处理器、温度检测装置、电流检测装置、控制继电器和外部接口，温度检测装置检测加热器的工作温度，电流检测装置检测通过加热元件的电流值，微处理器根据从温度检测装置、电流检测装置接收到的温度和电流值，确定温度控制器的工作状态，发送控制信号给控制继电器，从而控制加热器工作以调整温度。本发明的温度控制器在温度测量的同时加入电流测量，从而可以正确的判断加热器的工作状态，极大地提高了温度控制器的可靠性。

Description

一种温度控制器

技术领域

本发明涉及工业温度控制领域，具体涉及一种温度控制器。

背景技术

加热在工业界中得到广泛的应用。由于加热需要大量的能量，因此，必须有合适可靠的温度控制，以防止发生过热，避免导致设备损坏和火灾等严重的安全隐患。

传统的温度控制使用温度检测装置作为唯一的反馈信号(包括热电偶、热电阻，等)进行温度控制，这是一种被动的温度控制方法。如果温度检测装置或者继电器发生故障时，温度控制就会失灵。例如，如果热电偶在温度低于设定温度的测量点的位置短路，将导致加热器过热。即使使用额外的安全设备，如温度保险丝，因为它在高温下运行，可能会导致加热器的严重的老化。又如半导体下游管线加热，从反应室来的高温气体可能将加热整个加热管道，特别是当气体流量很高时，当用传统温度控制方法时，由于温度依赖纯粹温度检测装置反馈，如此高的温度可能会导致误警，从而影响工艺过程。

通常，单一的加热器用来达到控温的目的。因此，单个温度控制往往足够了。然而，在半导体工业中，经常需要对较长的泵线进行加热，而且需要确保统一和可靠的温度控制。此外，这些加热管道往往需要预防性维护，加热器必须便于装拆，因此，必须采用多个温度控制器以达到以上的要求。这就要求一种低成本，而且可靠的温度控制器。此外，由于加热管道往往很长，能耗成为一个严重的问题。另外，加热的温度要求取决于工艺过程的要求，因此，灵活方便的改变设定温度和功率控制对于半导体工艺管道的加热是非常重要的。

此外，在长管道加热的工作条件下(例如半导体工艺管道加热),需要同时使用多个温度控制器(有时可达几十个)，温度报警和监测通常是针对整个工艺管道，而不是对单个温度控制器进行。需要在温度控制器的基础上，涉及相应的加热器报警与控制模块从而检测整个加热管道的工作状态和控制多个加热器。

目前的报警装置功能都比较单一，通过串联温度控制器中的报警继电器，仅能提供低温报警和显示正常工作状态。另外，多点通信协议(如RS485、以太网、EtherCAT)可以用于对单个温度控制器的控制，但是，因为每个控制器中必须包括通信硬件，这导致温度控制器的成本增加和体积的增大。另外，每个温度控制器必须有相应的地址，使得加热器的安装和温度的设置变得非常复杂。

发明内容

为解决上述问题，本发明提供一种温度控制器，包括微处理器、温度检测装置、电流检测装置、控制继电器和外部接口，温度检测装置检测加热器的工作温度，电流检测装置检测通过加热元件的电流值，微处理器根据从温度检测装置、电流检测装置接收到的温度和电流值，确定温度控制器的工作状态，发送控制信号给控制继电器，从而控制加热器工作以调整温度。

还有，本发明的温度控制器包括安全继电器，其在微处理器确定温度控制器的工作状态为非正常时，控制控制继电器以切断加热器的供电。

更重要的是，微处理器外部接口连接有光耦固态继电器和光电耦合器，光耦固态继电器是用于提供报警信号，光电耦合器用于温度控制器的远程控制。

具体的，光耦固态继电器包括发光二极管和功率开关，光电耦合器包括发光二极管和光敏三极管，光耦固态继电器的功率开关的一端与光电耦合器的发光二极管的正极相连，该连接端构成加热器温度控制器的输入端，光耦固态继电器的功率开关的另一端为加热器温度控制器的第一输出端，光电耦合器的发光二极管的负极构成加热器温度控制器的第二输出端；光耦固态继电器的发光二极管的正极连接到直流电源，光耦固态继电器的发光二极管的负极与微处理器的一个I/O接口连接；光电耦合器的光敏三极管的集电极连接到直流电源，发射极接地的同时连接到微处理器的CCP和模拟信号输入端。

需要说明的是，前述直流电源均可为5V直流电源。

此外，控制继电器并联有固态双向可控硅。

优选的，微处理器具有零电压检测功能。

本发明的温度控制器在温度测量的同时加入电流测量，从而可以正确的判断加热器的工作状态，极大地提高了温度控制器的可靠性。

附图说明

图1是本发明温度控制器的方框图；

图2是本发明具有多个图1所示温度控制器的加热器报警及控制模块的电路图；

图3是本发明加热器报警及控制模块的正常报警操作工况下的等效电路；

图4是本发明加热器报警及控制模块的温度设定操作工况下的等效电路；

图5是本发明加热器报警及控制模块的加热器睡眠控制/激活第二个温度控制工况下的等效电路。

具体实施方式

如图1所示，本发明的温度控制器包括微处理器、温度检测装置、电流检测装置、安全继电器、控制继电器和外部接口，其中，温度检测装置检测加热器的工作温度，电流检测装置检测通过加热元件的电流值，微处理器根据从温度检测装置、电流检测装置接收到的温度和电流值，确定温度控制器的工作状态，发送控制信号给安全继电器和控制继电器，从而控制加热器工作状态以调整温度。安全继电器用于在微处理器确定温度控制器的工作状态为非正常时，切断加热器的供电。

外部接口连接有光耦固态继电器和光电耦合器，光耦固态继电器是用于提供报警信号，例如，当加热器达到设定温度值时，该光耦固态继电器会工作在导通状态，发送报警信息，而当加热器温度低于温度设定值时，该光耦固态继电器会工作在开路状态。该光耦固态继电器是由微处理器控制。光电耦合器用于温度控制器的远程控制，如切换加热器控制与工作模式，以及改变温度设定值，光电耦合器的工作模式由外部信号的强度来控制。当外部信号很弱、其功率不足于驱动该光电耦合器时，(例如，由微处理器发出的PWM信号)，光电耦合器不动作；当外部信号很强时，驱动该光电耦合器，点亮光电耦合器中的LED，从而将信号传给微处理器，用于温度控制器的温度设定，或者确定温度控制器的工作模式。

通常情况下，管道加热需要保证一定的加热温度。但是，为了达到节能或者工艺的目的，加热器的温度在一定条件下可以适当降低，甚至可以关闭加热器。本发明的温度控制器，可以预先设定两个不同的温度，并进行加热器的工作模式(温度)的快速切换。

总之，本发明中的温度控制，既可以在没有外部控制信号的条件下独立工作(温度控制)，也可根据外部的连线，进行低温/高温报警，进入两种不同的工作模式，或者进行温度控制器的温度设定值的设置操作。

本发明的温度控制器中，温度检测装置检测加热器工作温度，电流检测装置还检测加热元件电流值，可以确定加热器运行状态。因为在正常工况下，加热器加热通电时，电流大于零。而当加热器关闭冷却时电流则为零。通过结合的电流和温度的测量，可以准确确定加热器的工作状态。

如果当前电流值大于零，而加热器空间温度不上升，则确定热电偶失灵。如果当前电流值大于零，而测量温度却在下降，则确定该热电偶被接反。在这些条件下加热器必须立即关闭，并发送报警信息，否则温度将持续升高，直到热保险丝被熔断。此外，如果温度正在上升，但电流等于零，这证明气体在沿管线向加热套反向加热。在此条件下，虽然可以发出温度过高的警告，但是，没有必要停止整个工艺进程，从而，避免不必要的停机损失。

由于高压机械继电器动作时会产生电弧，这种高压电弧所产生的热量，往往可以将触点溶化和氧化，从而大大缩短了机械继电器的工作寿命。在额定的最大工作电流条件下，普通机械继电器的寿命只有10万次。这对于温度控制来说是远远不够的。但是，如果单独使用固态双向可控硅继电器，由于较高的内阻，在大电流的工作状态下，会产生大量的热量。这不仅要求大体积的散热器，而且降低了元件的可靠性。为此，如图1所示，本发明温度控制器的控制继电器并联有固态双向可控硅，来达到消除机械继电器动作时所产生的电弧，从而达到增加机械继电器寿命的目的。在每次机械继电器动作之前，先将固态双向可控硅导通。这样，极大的降低了机械继电器触点的电压(<1V)，避免了高压机械继电器动作时所产生的电弧。无弧继电器技术的使用，可以将工作寿命提高成百倍。

为了减少电噪声和进一步提高可靠性的双向可控硅，本发明选用具有零电压检测功能的微处理器，这样，双向可控硅的开关切换是在交流电流是在零电压附近。

如图2所示，进一步说明本发明加热器报警及控制模块，包括加热器报警及控制模块主处理器uP0、加热器报警及控制电路和加热器温控模块，所述加热器温控模块包括n个如图1所示的加热器温度控制器102，加热器报警及控制模块主处理器uP0通过加热器报警及控制电路与加热器温控模块连接。

图2中的每个加热器温度控制器102仅显示了与报警相关的元器件，由如图1所示的温度控制器构成，具有相同的电路结构，主要包括一个光耦固态继电器、一个光电耦合器和微处理器uP1(图1中温度控制器的微处理器)，而用于加热器控制的元器件均被省略，参见图1。

光耦固态继电器SSR包括发光二极管和功率开关，根据发光二极管有无信号输入来控制功率开关的通断。光电耦合器(Opto Coupler)包括发光二极管和光敏三极管，根据发光二极管有无信号输入来控制光敏三极管的导通和截止。

光耦固态继电器SSR功率开关的一端与光电耦合器的发光二极管的正极相连，该连接端构成加热器温度控制器102的输入端(图2中的In n)，光耦固态继电器SSR的功率开关的另一端为加热器温度控制器102的第一输出端(图2中的Out n-1)，光电耦合器的发光二极管的负极构成加热器温度控制器102的第二输出端(图2中的Out n-2)；光耦固态继电器SSR的发光二极管的正极连接到5v的直流电源，负极与微处理器uP1的一个I/O接口连接。由微处理器uP1通过I/O接口来控制光耦固态继电器SSR。

光电耦合器的光敏三极管的集电极连接到5v的直流电源，发射极接地的同时连接到微处理器uP1的CCP(capture,compare,and PWM)和模拟信号输入端。光电耦合器(OptoCoupler)则是由加热器报警及控制模块的输出来控制，光电耦合器的内置发光二极管的正极(热器温度控制器102的输入端)和报警及加热器报警及控制模块的输出相连。如果输入信号是直流电压，微处理器uP1则能够测量其电压值，而当输入信号时脉冲PWM信号时，微处理器uP1则可以测量到它的频率。

加热器报警及控制模块主处理器uP0能够通过加热器报警及控制电路给加热器温控模块提供三种不同的控制信号——(5V)DC、弱功率PWM1信号和强功率PWM2信号，输入到第一加热器温度控制器102的输入端。其中，强功率PWM2信号通过缓冲运算放大器提高功率后，再输出到第一加热器温度控制器102的输入端。第二加热器温度控制器102的输入端与第一加热器温度控制器102的第一输出端连接，同样，在后的加热器温度控制器102的输入端与在前的加热器温度控制器102的输出端顺序连接，直到第n个加热器温度控制器102的输入端与第n-1个加热器温度控制器102的输出端连接，第n个加热器温度控制器102的输出端连接到终端回路电容C1的一端(图3)，终端回路电容C1的另一端与n个加热器温度控制器102的第二输出端连接，终端回路电容C1与n个加热器温度控制器102的第二输出端连接的一端接入到加热器报警及控制模块主处理器uP0。

具体的，n个加热器温度控制器102的第二输出端连接到加热器报警及控制模块主处理器uP0的模拟信号输入(AI)端来测量直流电压，同时还通过第一电容C3连接到加热器报警及控制模块主处理器uP0的CCP端来进行频率的测量；终端回路电容C1与n个加热器温度控制器102的第二输出端连接的一端通过AC分压电容C2接地，同时还与一个三极管Q1的集电极连接；所述三极管Q1的基极与加热器报警及控制模块主处理器uP0的一个I/O端连接，三极管Q1的发射极接地。该三极管Q1在报警时是处于截止状态，而在对温度控制器进行控制时则是导通的。

如前所述，加热器报警及控制模块主处理器uP0给加热器温度控制器102提供三种不同的控制信号——(5V)DC、弱功率PWM1信号和强功率PWM2信号，这些信号分别用于温度控制器三种工作模式——控制模式(5VDC)、报警模式(弱功率PWM1)，或温度设定模式(强功率PWM2)。

当输入信号是弱功率PWM1信号时(报警模式)，该信号首先输出到第一加热器温度控制器102的输入端。由于PMW1的信号非常弱，温度控制器中的光电耦合器(Opto Coupler)处于开路状态，因此，这相当于由n个温度控制器102中的光耦固态继电器SSR组成的串联电路。

此时，光耦固态继电器SSR的状态是由微处理器uP1来控制，SSR的动作是由内置的发光二极管来完成。当加热器的温度低于温度控制器的设定值时，微处理器uP1连接光耦固态继电器SSR的发光二极管负极的I/O接口会输出高电位，使得SSR处于开路状态。而当加热器的温度进入温度控制器的控制范围时(在设定值附近，具体范围是预先设定)，微处理器uP1连接光耦固态继电器SSR的发光二极管负极的I/O接口输出低电位，使得SSR处于闭合状态。这些串联连接的在加热器温度控制器102中的光耦固态继电器SSR，再加上终端回路电容C1，构成报警控制电路的回路。

如果第一加热器温度控制器102所控制的加热器已经进入温度控制器的控制范围时，内部的光耦固态继电器SSR则处于闭合状态，此时，报警的弱功率PWM1输入信号将会从第一加热器温度控制器102的第一输出端输出，再从第二加热器温度控制器102的输入端进入第二加热器温度控制器102，依次进行，直到第n加热器温度控制器102。但当其中某个加热器温度控制器102所控制的加热器尚未进入温度控制器的控制范围时，该加热器温度控制器102中的光耦固态继电器SSR则处于开路状态，此时，报警的弱功率PWM1信号输入信号将不会从该加热器温度控制器102的第一输出端输出，弱功率PWM1信号不会返回到加热器报警及控制模块主处理器uP0。

这样，只有当沿线所有n个加热器温度控制器102都进入温度控制器的控制范围时，报警的弱功率PWM1输入信号才能从第一加热器温度控制器102传到第n个加热器温度控制器102，再通过终端终端回路电容C1来形成闭合的AC回路，将由加热器报警及控制模块发出的报警用的弱功率PWM1输入信号传回到加热器报警及控制模块。反之，如果沿线n个加热器温度控制器102中只要有一个温度控制器未进入温度控制器的控制范围，报警的弱功率PWM1输入信号则无法传回到加热器报警及控制模块主处理器uP0。所以，当加热器报警及控制模块主处理器uP0能够接受到自己发出的报警的弱功率PWM1时，证明沿线所有的加热器都已经到进入温度控制器的控制范围，工作正常。反之，则说明最少有一个加热器未进入温度控制器的控制范围。这时，加热器报警及控制模块将会发出报警。

当加热器报警及控制模块仅用于报警时，终端回路电容器C1可以由短路电路来替代。因为电容和普通电线都可以保证AC回路的畅通。但是，如果采用短路电路的话，加热器报警及控制模块就不能用来进行加热器温度控制器102工作模式的切换，和改变加热器温度控制器102的温度设定值(详见后面的说明)。

当加热器报警及控制模块要对加热器温度控制器102进行控制操作时，首先要发送一个特定的不同于温度报警频率的PWM1’信号。当该信号到达第一加热器温度控制器102的输入端时，第一加热器温度控制器102中的微处理器uP1会通过光电耦合器检测该信号的频率。如果确认是加热器报警及控制模块将发送控制的特定频率的信号时，加热器温度控制器102中的微处理器uP1将会发出指令将光耦固态继电器SSR强制闭合，这样可以让特定频率的PWM1’信号从第一温度控制器102的第一输出端输出，并传递到第二加热器温度控制器102的输入端。同样，以此类推，在后的加热器温度控制器102中的微处理器将会发出指令将光耦固态继电器SSR逐一强制闭合，直至n个加热器温度控制器102的光耦固态继电器SSR全部闭合。

当所有加热器温度控制器102中的光耦固态继电器SSR都强制闭合后，加热器报警及控制模块会输出一个5VDC电压，来判断终端回路是否短路。如果终端回路处于DC短路状态，加热器报警及控制模块的模拟输入(AI)会测量到该5V电压。此时，将停止对加热器温度控制器102的控制操作。在这种条件下，当三极管Q1闭合时，整个回路会处于短路状态。如果接通电路，回路电流将会过大，从而影响控制电路的可靠性。

如果证明终端回路处于开路状态，或者有回路电容，加热器报警及控制模块的模拟输入(AI)就不会测量到该5V电压，此时，加热器报警及控制模块会将三极管Q1闭合，并开始发送5VDC或通过缓冲运算放大器提高功率后输出强功率PWM2信号，进行对加热器温度控制器102的控制。沿线所有温度控制器中的微处理器uP1，根据所接收到的信号，进行相关的操作。

图3是正常的报警的等效电路。因为三极管Q1处于开路状态，所以，从线路图中省去。加热器报警及控制模块主处理器uP0发送弱功率PWM1信号，如果所有加热器都进入温度控制器的控制范围，则n个加热器温度控制器102的光耦固态继电器都会导通，串联连接温度控制器中的光耦固态继电器SSR、终端电容器C1(0.1uF)、AC分压电容C2(0.01uF)及电容C3(0.1uF)组成电容电路，加热器报警及控制模块主处理器uP0可以接收到代表正常加热器运行状态的PWM1脉冲，从而确定所有加热器都在正常运行。如果这些继电器中的任何之一是开路的话，则表明至少有一个加热器尚未达到加热器的设定温度，从而，由加热器报警及控制模块主处理器uP0向外发出警报。

如果终端电容器C1没有连接，则报警功能不能实现。但是，改变温度设置及操作模式的功能仍可以执行。如果终端电容器被短路，报警功能仍能实现，但是改变温度设置及操作模式的功能却不能执行(系统自保护)。

加热器温度控制器102的温度设定时由以下步骤来执行的：

1.发送温度控制的预指令，将加热器温度控制器102中的固态继电器强制闭合。

这是通过加热器报警及控制模块主处理器uP0通过加热器报警及控制模块的PWM1信号线向加热器温度控制器102发送一个特定频率的PWM1’信号。当加热器温度控制器102的微处理器uP1检测到该信号后，立即发指令将加热器温度控制器102中的固态继电器SSR逐一强制闭合。

2.检测回路是否DC短路

这时在三极管Q1开路的条件下向加热器温度控制器102发送5VDC电压。如果温度控制器的主控制器uP0检测到5V电压，则证明回路DC短路，控制指令将不会发出。如果测量到的电压低于5V，则闭合Q1，并继续温度控制的操作。

3.温度设定

加热器温度控制器102的温度的设定是由加热器报警及控制模块主处理器uP0发送强功率PWM2信号实现的。通过缓冲运算放大器，PWM2的功率得到提高，PWM2能够驱动在加热器温度控制器102内部的所有光电耦合器。三极管Q1是导通的。这样才能有足够的电流来驱动所有的光电耦合器(可达几十个)。

当加热器温度控制器102中的微处理器uP1接收到PWM2的脉冲信号时，加热器温度控制器102内部的微处理器uP1将监测到PWM2信号频率转换为温度设定值，并存储在芯片中。

4.温度的显示

由于同时改变许多加热器温度控制器102的温度设定，本发明采用三色LED来显示加热器温度控制器102的设定温度。例如，红灯每闪一下代表100℃，绿灯每闪一下代表10℃，兰灯每闪一下代表1℃，快闪代表0。这样的设计可以待到的简化电路的设计。而且非常直观。

这种温度设定方法可以同时设定多个加热器温度控制器102的温度设定值。既不需要设定加热器温度控制器102的地址，也不需要安装通讯芯片。极大地降低了成本，而且方便了用户。

加热器报警及控制模块还可以进行睡眠控制/激活第二个温度，其通过加热器报警及控制模块提供的5V直流电压来完成。这时，终端电容器处于开路状态(DC电压不能通过电容来导通)，所以，在等效电路中省略掉。而三极管Q1是导通的，所有控制用光电耦合器被激活，所有的光耦固态继电器都处在强制闭合的状态。下图是加热器温度控制器睡眠控制/激活第二个温度控制的等效电路。

在这种工作条件下，报警及控制模块的101中的PWM1在5V DC电压开通前会发出一个特定频率的PWM1’信号，用来指示加热器温度控制器102内部的微处理器uP1去强制闭合加热器温度控制器102中的固态继电器SSR。回路是否DC短路是通过在三极管Q1开路的条件下，向控制回路发送5VDC电压测定的。如果回路是DC短路的，报警及控制模块的101就会测量到5V的电压。在这种条件下，加热器睡眠控制的指令将不会执行。如果回路是DC开路的，报警及控制模块的101就会测量到低于5V的电压。只有在这种条件下，加热器睡眠控制的指令才会发出。这时，加热器温度控制器102内部的微处理器将监测到直流电压。此直流电压将触发二次温度控制。如果二次温度设定值是足够低，加热器将进入睡眠状态。uP1中均预先存储有二次温度控制的温度值，如果没有监测到5V直流电压，则温度控制器用微处理器中的正常温度设定值，如果监测到5V直流电压，则温度控制器用微处理器中的第二温度设定值进行温度控制。

上述说明示出并描述了本发明的优选实施例，应当理解本发明并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施例的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述发明构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本发明的精神和范围，则都应在本发明所附权利要求的保护范围内。

Claims (5)

1.一种温度控制器，其特征在于：包括微处理器、温度检测装置、电流检测装置、控制继电器和外部接口，其中，温度检测装置检测加热器的工作温度，电流检测装置检测通过加热元件的电流值，微处理器根据从温度检测装置、电流检测装置接收到的温度和电流值，确定温度控制器的工作状态，发送控制信号给控制继电器，从而控制加热器工作以调整温度；

微处理器外部接口连接有光耦固态继电器和光电耦合器，光耦固态继电器是用于提供报警信号，光电耦合器用于温度控制器的远程控制；

光耦固态继电器包括发光二极管和功率开关，光电耦合器包括发光二极管和光敏三极管，

光耦固态继电器的功率开关的一端与光电耦合器的发光二极管的正极相连，该连接端构成加热器温度控制器的输入端，光耦固态继电器的功率开关的另一端为加热器温度控制器的第一输出端，光电耦合器的发光二极管的负极构成加热器温度控制器的第二输出端；

光耦固态继电器的发光二极管的正极连接到直流电源，光耦固态继电器的发光二极管的负极与微处理器的一个I/O接口连接；

光电耦合器的光敏三极管的集电极连接到直流电源，发射极接地的同时连接到微处理器的CCP和模拟信号输入端。

2.如权利要求1所示的温度控制器，其特征在于：还包括安全继电器，其在微处理器确定温度控制器的工作状态为非正常时，控制控制继电器以切断加热器的供电。

3.如权利要求1所示的温度控制器，其特征在于：所述直流电源为5V。

4.如权利要求1-3之一所示的温度控制器，其特征在于：控制继电器并联有固态双向可控硅。

5.如权利要求4所示的温度控制器，其特征在于：微处理器具有零电压检测功能。