CN105451532A - 电子部件安装装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供的电子部件安装装置可抑制生产性降低。其具有：输送部件；导轨，其具有与基板的一部分相对的相对部件，对在输送部件上输送的基板进行引导；第1升降部件，其对基板的下表面进行支撑并在第1可动范围移动，向第1可动范围的上端位置移动，在与相对部件之间保持基板，向第1可动范围的下端位置移动，解除保持；第2升降部件，其在第2可动范围移动，向第2可动范围的上端位置移动，使第1升降部件向第1可动范围的上端位置移动，能够向第2可动范围的下端位置移动；致动器，其使第2升降部件沿上下方向移动。致动器在第2可动范围的第1区间中使第2升降部件以第1速度下降，在第2可动范围的第2区间中使第2升降部件以第2速度下降。

Description

电子部件安装装置

技术领域

本发明涉及一种电子部件安装装置。

背景技术

在电子仪器的制造工序中使用电子部件安装装置。电子部件安装装置具有：基板输送装置，其输送基板；以及安装头，其具有可装卸地保持电子部件的吸嘴，将保持于吸嘴上的电子部件向基板安装。在专利文献1中公开了具有一对导轨以及使基板升降的升降机构的基板输送装置(基板定位装置)的一个例子。利用升降机构上升的基板保持在导轨上。由于保持在导轨上，基板被定位。向定位后的基板安装电子部件。在安装电子部件后，基板利用升降机构而下降。

专利文献1：日本特开平01－262700号公报

如果在向基板安装电子部件后，该基板急剧地下降，则安装于基板上的电子部件可能从基板脱落。其结果，可能生产出不良的电子仪器，电子部件安装装置的生产性降低。

发明内容

本发明的方式的目的在于，提供一种能够抑制生产性的降低的电子部件安装装置。

本发明的方式提供一种电子部件安装装置，其具有：输送部件，其沿水平面内的规定方向输送基板；导轨，其具有能够与所述基板的上表面的一部分相对的相对部件，对在所述输送部件上输送的所述基板进行引导；第1升降部件，其对所述基板的下表面的至少一部分进行支撑并能够在沿上下方向确定的第1可动范围移动，向所述第1可动范围的上端位置移动，在与所述相对部件之间保持所述基板，向所述第1可动范围的下端位置移动，解除对所述基板的保持；第2升降部件，其配置在所述第1升降部件的下方，能够在沿上下方向确定的第2可动范围移动，以从与所述第1升降部件接触的接触状态以及不接触的非接触状态中的一种状态向另一种状态变化，该第2升降部件能够以所述接触状态向所述第2可动范围的上端位置移动，使所述第1升降部件向所述第1可动范围的上端位置移动，并且能够向所述第2可动范围的下端位置移动，以成为所述非接触状态；以及致动器，其使所述第2升降部件沿上下方向移动，在所述第2升降部件从所述第2可动范围的上端位置向中间位置移动的第1区间中，所述致动器使所述第2升降部件以第1速度下降，在从所述第2可动范围的中间位置向下端位置移动的第2区间中，所述致动器使所述第2升降部件以比所述第1速度高的第2速度下降。

在本发明的方式中也可以是，所述第1区间包含以所述接触状态所述第2升降部件下降的区间，所述第2区间包含以所述非接触状态所述第2升降部件下降的区间，在所述第2可动范围的中间位置处，所述第2升降部件相对于配置在所述第1可动范围的下端位置的第1升降部件，从所述接触状态向所述非接触状态变化。

在本发明的方式中也可以是，所述致动器包含气缸，该气缸具有缸筒和活塞，该活塞能够在所述缸筒的内部空间中移动，将所述内部空间分隔为第1空间和第2空间，该气缸通过向所述第1空间供给空气从而使所述第2升降部件下降，通过向所述第2空间供给空气从而使所述第2升降部件上升，该电子部件安装装置具有空气压力系统，该空气压力系统包含使所述气缸工作的空气压力回路，所述空气压力系统具有：电磁阀；第1流路，其将所述电磁阀和所述第1空间的第1端口连结；第1速度控制阀，其配置于所述第1流路，使从所述第1空间排出并在所述第1流路中流动的空气减速，对所述气缸的速度进行调整；第2流路，其与所述第2空间的第2端口连结；第2速度控制阀，其配置于所述第2流路，使从所述第2空间排出并在所述第2流路中流动的空气减速，对所述气缸的速度进行调整；气动阀，其与所述第2流路连结，利用空气进行工作；第3流路，其与所述气动阀连结；第4流路，其与所述气动阀连结；第5流路，其将所述电磁阀和所述第3流路及所述第4流路连结；以及第3速度控制阀，其配置于所述第3流路，使从所述气动阀供给并在所述第3流路中流动的空气减速，对所述气缸的速度进行调整，所述气动阀在从所述气缸的所述第2空间排出的空气流过所述第3流路后，对与所述第3流路和所述第4流路的连接进行切换，以使得从所述气缸的所述第2空间排出的空气向所述第4流路流动，通过使从所述第2空间排出的空气在所述第3流路中流动，从而使所述第2升降部件以所述第1速度下降，通过使从所述第2空间排出的空气在所述第4流路中流动，从而使所述第2升降部件以所述第2速度下降。

在本发明的方式中也可以是，所述空气压力系统还具有：第6流路，其将所述第1流路和所述气动阀连结，使得用于使所述气动阀工作的空气流动；以及第4速度控制阀，其配置于所述第6流路，使从所述第1流路供给并在所述第6流路中流动的空气减速，对所述气动阀的工作量进行调整。

在本发明的方式中也可以是，所述空气压力系统具有：第7流路，其将所述第2流路和所述第5流路连结；第5速度控制阀，其配置于所述第7流路，使从所述第2空间排出并在所述第7流路中流动的空气减速，对所述气缸的速度进行调整；以及机械阀，其进行切换，以使得从所述气缸的所述第2空间排出的空气，向所述第2流路以及所述第7流路中的某一个流动。

在本发明的方式中也可以是，所述致动器能够使所述第2升降部件在从所述第2可动范围的上端位置至下端位置移动的区间中以同一速度下降。

发明的效果

根据本发明的方式，提供一种能够抑制生产性的降低的电子部件安装装置。

附图说明

图1是示意地表示第1实施方式所涉及的电子部件安装装置的一个例子的图。

图2是示意地表示第1实施方式所涉及的安装头的一个例子的图。

图3是示意地表示第1实施方式所涉及的安装头的一个例子的图。

图4是表示第1实施方式所涉及的基板输送装置的一个例子的斜视图。

图5是表示第1实施方式所涉及的基板输送装置的一个例子的侧视图。

图6是表示第1实施方式所涉及的保持机构的一个例子的斜视图。

图7是表示第1实施方式所涉及的保持机构的一个例子的侧视图。

图8是表示第1实施方式所涉及的保持机构的一个例子的斜视图。

图9是表示第1实施方式所涉及的保持机构的一个例子的侧视图。

图10是示意地表示第1实施方式所涉及的保持机构的动作的一个例子的图。

图11是示意地表示第1实施方式所涉及的保持机构的动作的一个例子的图。

图12是示意地表示第1实施方式所涉及的保持机构的动作的一个例子的图。

图13是示意地表示第1实施方式所涉及的保持机构的动作的一个例子的图。

图14是示意地表示第1实施方式所涉及的保持机构的动作的一个例子的图。

图15是表示第1实施方式所涉及的空气压力系统的一个例子的图。

图16是示意地表示第1实施方式所涉及的空气压力系统的动作的一个例子的图。

图17是示意地表示第1实施方式所涉及的空气压力系统的动作的一个例子的图。

图18是示意地表示第1实施方式所涉及的空气压力系统的动作的一个例子的图。

图19是用于说明第1实施方式所涉及的电子部件安装方法的一个例子的示意图。

图20是用于说明第1实施方式所涉及的电子部件安装方法的一个例子的示意图。

图21是用于说明第1实施方式所涉及的电子部件安装方法的一个例子的示意图。

图22是用于说明第1实施方式所涉及的电子部件安装方法的一个例子的示意图。

图23是用于说明第1实施方式所涉及的电子部件安装方法的一个例子的示意图。

图24是用于说明第1实施方式所涉及的电子部件安装方法的一个例子的示意图。

图25是表示第2实施方式所涉及的空气压力系统的一个例子的图。

图26是示意地表示第2实施方式所涉及的空气压力系统的动作的一个例子的图。

图27是示意地表示第2实施方式所涉及的空气压力系统的动作的一个例子的图。

图28是示意地表示第2实施方式所涉及的空气压力系统的动作的一个例子的图。

图29是示意地表示第2实施方式所涉及的空气压力系统的动作的一个例子的图。

标号的说明

10电子部件安装装置

11框体

12供料器

13保持带

14供给装置

15安装头

16安装头驱动装置

17拍摄单元

18更换吸嘴保持机构

19部件储存部

20控制装置

22X轴驱动部

24Y轴驱动部

26驱动装置

31基座架

32吸嘴

32a轴

33开口

34吸嘴驱动装置

36拍摄装置

37高度传感器

38激光识别装置

39止动器部件

40缸筒

41第1空间

42第2空间

43活塞

44电磁阀

45气动阀

46第1调节器

47第2调节器

50基板输送装置

51输送部件

52电动机

53导轨

54保持机构

55相对部件

56第1升降部件(夹紧部件)

57第2升降部件(支撑台)

58致动器(气缸)

60空气压力系统

61第1流路

62第2流路

63第3流路

64第4流路

65第5流路

66第6流路

67第7流路

71第1速度控制阀

72第2速度控制阀

73第3速度控制阀

74第4速度控制阀

75第5速度控制阀

80机械阀

81第1单向阀

82第2单向阀

83第3单向阀

C电子部件

P基板

SP供给位置

SJ安装位置

具体实施方式

下面，参照附图对本发明所涉及的实施方式进行说明，但本发明并不限定于此。以下说明的实施方式的结构要素，可以适当组合。另外，也存在不使用一部分的结构要素的情况。在以下说明的实施方式中的结构要素中，包含本领域技术人员能够容易想到的结构要素、实质上相同的结构要素、所谓等同范围的结构要素。

在以下的说明中，设定XYZ正交坐标系，参照该XYZ正交坐标系，对各部分的位置关系进行说明。在水平面内，将与第1轴平行的方向作为X轴方向，将在水平面内平行于与第1轴正交的第2轴的方向作为Y轴方向，将平行于与第1轴以及第2轴分别正交的第3轴的方向作为Z轴方向。将以第1轴(X轴)为中心的旋转方向(倾斜方向)作为θX方向，将以第2轴(Y轴)为中心的旋转方向(倾斜方向)作为θY方向，将以第3轴(Z轴)为中心的旋转方向(倾斜方向)作为θZ方向。XY平面是水平面。Z轴方向是铅垂方向(上下方向)。

＜第1实施方式＞

对第1实施方式进行说明。图1是示意地表示本实施方式所涉及的电子部件安装装置10的一个例子的图。图2及图3是表示本实施方式所涉及的电子部件安装装置10的安装头15的一个例子的图。

电子部件安装装置10向基板P安装电子部件C。电子部件安装装置10也被称为表面安装装置或者贴片机。电子部件C可以是具有引线的引线型电子部件(插入型电子部件)，也可以是不具有引线的芯片型电子部件(搭载型电子部件)。引线型电子部件通过向基板P的开口插入引线而向基板P安装。芯片型电子部件通过搭载于基板P而向基板P安装。

在图1、图2及图3中，电子部件安装装置10具有：基板输送装置50，其输送基板P；供给装置14，其供给电子部件C；安装头15，其具有吸嘴32；驱动装置26，其包含安装头驱动装置16以及吸嘴驱动装置34，能够使吸嘴32移动；拍摄单元17，其包含能够取得电子部件C的图像的照相机；更换吸嘴保持机构18，其对更换用的吸嘴32进行保持；部件储存部19，其能够储存电子部件C；框体11，其收容电子部件安装装置10的至少一部分；以及控制装置20，其对电子部件安装装置10进行控制。

基板输送装置50对基板P进行输送。基板输送装置50包含：输送部件51，其沿水平面内的规定方向输送基板P；电动机52，其对输送部件51进行驱动；以及导轨53，其对在输送部件51上输送的基板P进行引导。输送部件51包含输送带。在本实施方式中，输送部件51将基板P沿X轴方向输送。电动机52对输送部件51进行驱动，以使得基板P沿X轴方向移动。导轨53设置2个。导轨53在X轴方向上较长。基板P被导轨53引导，能够沿X轴方向移动。基板输送装置50使基板P至少沿X轴方向移动。此外，也可以是，基板输送装置50能够使基板P在X轴、Y轴、Z轴、θX、θY以及θZ这6个方向上移动。向基板P的表面的至少一部分安装电子部件C。

基板输送装置50能够使基板P移动，以使得基板P的表面和安装头15的至少一部分相对。将基板P从基板供给装置向电子部件安装装置10供给。从基板供给装置供给的基板P被输送至导轨53的规定位置，利用基板输送装置50的保持机构(夹紧机构)54进行保持。安装头15向配置在规定位置并由保持机构54保持的基板P的表面，安装电子部件C。在向基板P安装电子部件C后，将保持机构54对基板P的保持解除。利用保持机构54进行的保持被解除后的基板P，利用基板输送装置50向下一个工序的装置输送。

供给装置14将电子部件C向安装头15供给。供给装置14保持多个电子部件C。将供给装置14中保持的多个电子部件C中的至少1个电子部件C向安装头15供给。供给装置14在Y轴方向上配置在基板输送装置50的两侧。供给装置14具有：被称为供料器12的供给器；以及对供料器12进行支撑的供料器收容器。另外，供给装置14包含对电子部件C进行保持的保持带13。保持电子部件C的保持带13卷绕在带盘上。供料器12对该带盘进行支撑。供给装置14使保持电子部件C的保持带13移动，将电子部件C向供给位置SP供给。

此外，从供给装置14供给的电子部件C可以是相同种类的电子部件，也可以是不同种类的电子部件。

拍摄单元17对保持在吸嘴32上的电子部件C的形状、以及利用吸嘴32保持电子部件C的保持状态进行检测。拍摄单元17包含图像识别装置，包含能够取得电子部件C的图像的照相机。拍摄单元17从下侧(－Z侧)拍摄在吸嘴32上保持的电子部件C，通过对拍摄到的图像进行解析，从而对吸嘴32上保持的电子部件C的形状、以及利用吸嘴32保持电子部件C的保持状态进行检测。利用拍摄单元17取得的信息向控制装置20输出。

更换吸嘴保持机构18保持多个相对于安装头15进行更换的吸嘴32。在本实施方式中，吸嘴32包含吸引并保持电子部件C的吸引吸嘴。此外，吸嘴32也可以包含以夹持方式保持电子部件C的抓持吸嘴。利用更换吸嘴保持机构18变更(更换)向安装头15安装的吸嘴32。安装头15利用该安装后的吸嘴32对电子部件C进行保持。

部件储存部19对不向基板P安装的电子部件C进行储存。部件储存部19包含废弃箱，该废弃箱用于废弃不向基板P安装的电子部件C。在保持于吸嘴32上的电子部件C不向基板P安装的情况下，将保持在该吸嘴32上的电子部件C放入部件储存部19。放入至部件储存部19中的电子部件C被废弃。

下面，对安装头15进行说明。安装头15具有：基座架31；吸嘴32，其可装卸地保持电子部件C；拍摄装置36，其取得与安装头15相对的物体的图像；高度传感器37，其对与安装头15相对的物体的高度(Z轴方向上的位置)进行检测；以及激光识别装置38，其对电子部件C的状态进行检测。基座架31对吸嘴32、拍摄装置36、高度传感器37以及激光识别装置38进行支撑。

安装头15将从供给装置14供给的电子部件C向基板P安装。安装头15利用吸嘴32保持从供给装置14供给的电子部件C。吸嘴32向由保持机构54保持的基板P安装电子部件C。

吸嘴32可装卸地保持电子部件C。吸嘴32包含吸附并保持电子部件C的吸引吸嘴。吸嘴32包含吸附并保持电子部件C的吸附机构。在吸嘴32的前端设置开口33。通过从开口33吸引空气，从而在吸嘴32的前端吸附电子部件C并保持。吸嘴32包含轴32a。在轴32a的内部设置将开口33和吸引装置连接的流路。吸引装置包含真空系统。在包含开口33的吸嘴32的前端部和电子部件C接触的状态下，通过进行来自开口33的吸引动作，从而在吸嘴32中保持电子部件C。通过将来自开口33的吸引动作解除，从而电子部件C从吸嘴32被释放。

安装头15具有多个吸嘴32。多个吸嘴32配置为一列。在本实施方式中，在X轴方向上配置6根吸嘴32。

驱动装置26包含：安装头驱动装置16，其能够使安装头15向供给位置SP及与基板P相对的安装位置SJ分别移动；以及吸嘴驱动装置34，其能够使吸嘴32移动。吸嘴驱动装置34配置于安装头15。吸嘴驱动装置34支撑于基座架31。

通过利用安装头驱动装置16使安装头15移动，从而被该安装头15支撑的吸嘴32、拍摄装置36、高度传感器37以及激光识别装置38分别向供给位置SP以及安装位置SJ移动。

安装头驱动装置16包含致动器，在X轴方向以及Y轴方向上分别使安装头15移动。在本实施方式中，安装头驱动装置16使安装头15的基座架31移动。安装头驱动装置16具有X轴驱动部22以及Y轴驱动部24。X轴驱动部22以及Y轴驱动部24分别包含致动器。X轴驱动部22与安装头15的基座架31连结。利用X轴驱动部22的工作，基座架31在X轴方向上移动。Y轴驱动部24经由X轴驱动部22与基座架31连结。利用Y轴驱动部24的工作使X轴驱动部22在Y轴方向上移动，从而基座架31在Y轴方向上移动。

利用安装头驱动装置16的工作，基座架31在XY平面内移动，从而被该基座架31支撑的吸嘴32、吸嘴驱动装置34、拍摄装置36、高度传感器37以及激光识别装置38，分别与基座架31一起在XY平面内移动。

吸嘴驱动装置34支撑于基座架31。吸嘴驱动装置34包含致动器，能够在Z轴方向以及θZ方向上使吸嘴32移动。

在本实施方式中，利用安装头驱动装置16的工作，吸嘴32在X轴以及Y轴方向这2个方向上移动。利用吸嘴驱动装置34的工作，吸嘴32在Z轴以及θZ方向这2个方向上移动。在本实施方式中，包含安装头驱动装置16以及吸嘴驱动装置34在内的驱动装置26，使吸嘴32能够在X轴、Y轴、Z轴、以及θZ这4个方向上移动。此外，也可以是，驱动装置26使吸嘴32能够在X轴、Y轴、Z轴、θX、θY以及θZ这6个方向上移动。

利用驱动装置26的工作，吸嘴32向供给位置SP以及安装位置SJ分别移动。吸嘴32能够从供给装置14将电子部件C搬出，并输送至基板P。安装头15利用吸嘴32对供给位置SP的电子部件C进行保持并向基板P安装。安装头15能够将吸嘴32上保持的电子部件C向基板P的表面的任意位置安装。

拍摄装置36包含能够取得与安装头15相对的物体的图像的照相机。拍摄装置36能够取得基板P的图像。拍摄装置36能够取得在基板P的表面形成的基准标记的图像。拍摄装置36能够取得搭载于基板P上的电子部件C的图像。拍摄装置36能够取得在供给装置14中存在的电子部件C的图像。拍摄装置36不仅能够取得基板P以及电子部件C的图像，还能够取得在安装头15所相对的区域中配置的物体的图像。

利用安装头驱动装置16的工作，配置于安装头15上的拍摄装置36能够向供给位置SP以及安装位置SJ分别移动。拍摄装置36能够取得包含供给位置SP在内的规定区域的图像。拍摄装置36能够取得供给至供给位置SP的电子部件C以及供给装置14的保持带13的至少一部分的图像。

高度传感器37对安装头15和相对的物体之间的距离进行检测，对该物体的高度进行检测。高度传感器37能够对与基板P之间的距离、以及与搭载于基板P上的电子部件C之间的距离进行检测。高度传感器37包含：发光元件，其射出激光(检测光)；以及受光元件，其能够受光向配置于与安装头15相对的位置的物体照射并由该物体反射的激光的至少一部分。

激光识别装置38对保持在吸嘴32上的电子部件C的状态进行检测。电子部件C的状态包含电子部件C的尺寸、电子部件C的形状、以及由吸嘴32保持的电子部件C的姿态中的至少一种。激光识别装置38包含：射出装置38a，其射出激光(检测光)；以及受光装置38b，其能够对从射出装置38a射出的激光的至少一部分进行受光。受光装置38b配置在与射出装置38a相对的位置。射出装置38a包含能够射出激光的发光元件。受光装置38b包含能够对激光进行受光的受光元件。在Z轴方向上，射出装置38a和受光装置38b配置在相同位置(高度)。激光识别装置38向保持在吸嘴32上的电子部件C照射激光，对电子部件C的状态进行检测。

下面，对基板输送装置50进行说明。图4是表示本实施方式所涉及的基板输送装置50的一个例子的斜视图。图5是表示本实施方式所涉及的基板输送装置50的一个例子的侧视图。

如图4及图5所示，基板输送装置50包含：输送部件51，其在X轴方向上输送基板P；电动机52，其对输送部件51进行驱动；以及导轨53，其对由输送部件51输送的基板P进行引导。输送部件51包含输送带。电动机52对输送部件51进行驱动，以使得基板P沿X轴方向移动。基板P被导轨53引导，能够在X轴方向上移动。

另外，基板输送装置50具有在导轨53的规定位置处保持基板P的保持机构(夹紧机构)54。在本实施方式中，导轨53具有能够与基板P的上表面的一部分相对的相对部件55。保持机构54包含：相对部件55，其设置于导轨53；以及第1升降部件56，其对基板P的下表面的至少一部分进行支撑，能够在上下方向(Z轴方向)上移动。通过第1升降部件56上升，从而基板P的+Y侧的端部以及－Y侧的端部分别在相对部件55和第1升降部件56之间被夹持(夹紧)。由此，利用保持机构54保持基板P，在导轨53的规定位置处将基板P定位。

此外，第1升降部件56利用图4所示的、引导部件(还称为止动器部件)56a、56a可沿上下方向移动地被支撑。另外，第1升降部件56与引导部件(还称为止动器部件)56a、56a抵接，停止于后述的下端位置S1b。

另外，基板输送装置50具有：第2升降部件57，其配置在第1升降部件56的下方；以及致动器58，其使第2升降部件57沿上下方向移动。

第2升降部件57是板状的部件。致动器58是气缸，该气缸具有缸筒和在缸筒的内部空间中能够移动的活塞。致动器58配置在第2升降部件57的下方。通过致动器58工作，第2升降部件57进行升降。

在以下的说明中，将第1升降部件56适当地称为夹紧部件56，将第2升降部件57适当地称为支撑台57，将致动器58适当地称为气缸58。

另外，在以下的说明中，将利用保持机构54保持着基板P的状态，适当地称为保持状态或者夹紧状态，将没有利用保持机构54保持着基板P的状态，适当地称为非保持状态或者非夹紧状态。

图6、图7、图8及图9是表示本实施方式所涉及的保持机构54的一个例子的图。图6是表示非夹紧状态中的保持机构54的一个例子的斜视图。图7是表示非夹紧状态中的保持机构54的一个例子的侧视图。图8是表示夹紧状态中的保持机构54的一个例子的斜视图。图9是表示夹紧状态中的保持机构54的一个例子的侧视图。

如图8及图9所示，在本实施方式中，通过经由支撑台57使夹紧部件56上升，从而基板P的+Y侧的端部以及－Y侧的端部夹持在导轨53的相对部件55和夹紧部件56之间。由此，基板P由相对部件55和夹紧部件56保持。通过夹紧部件56下降，从而相对部件55和夹紧部件56分离，解除基板P的保持。夹紧状态包含下述状态，即，夹紧部件56上升，夹紧部件56和相对部件55接近，基板P由夹紧部件56和相对部件55夹持。非夹紧状态包含下述状态，即，夹紧部件56下降，夹紧部件56和相对部件55分离。

如图6及图8所示，基板P由包含输送带在内的输送部件51支撑。输送部件51在Y轴方向上配置至少2个。一个输送部件51对基板P的下表面的+Y侧的端部进行支撑。另一个输送部件51对基板P的下表面的－Y侧的端部进行支撑。输送部件51的至少一部分配置在夹紧部件56和相对部件55之间。如图6所示，在非夹紧状态下，输送部件51以及基板P没有被夹紧部件56和相对部件55夹持(没有被保持)，输送部件51在支撑基板P的状态下能够移动。如图8所示，在夹紧状态下，输送部件51的一部分以及基板P一起被夹紧部件56和相对部件55夹持(被保持)。

如图6及图8所示，夹紧部件56包含：夹紧部56S，其能够与基板P的下表面的一部分相对；以及凸出部56L，其从夹紧部56S向下方凸出。夹紧部56S包含板状的部件。凸出部56L包含杆状的部件。

在本实施方式中，支撑台57能够在上下方向上移动，以使得从与夹紧部件56的凸出部56L接触的接触状态以及不接触的非接触状态中的一种状态向另一种状态变化。

如图6及图7所示，通过支撑台57下降，从而支撑台57和夹紧部件56(凸出部56L)成为非接触状态。另外，通过支撑台57下降，从而夹紧部件56也下降。通过夹紧部件56下降，从而基板P成为非夹紧状态。

如图8及图9所示，通过支撑台57上升，从而支撑台57和夹紧部件56(凸出部56L)成为接触状态。另外，通过支撑台57上升，从而夹紧部件56也上升。通过夹紧部件56上升，从而基板P成为夹紧状态。

气缸58使支撑台57在上下方向上移动。通过利用气缸58使支撑台57上升，从而夹紧部件56上升。由此，基板P成为夹紧状态。通过利用气缸58使支撑台57下降，从而夹紧部件56下降。由此，基板P成为非夹紧状态。

如图6及图8所示，相对部件55包含：固定部55A，其Z轴方向上的位置被固定；以及可动部55B，其在Z轴方向上能够移动。可动部55B利用例如弹簧那样的预紧部件在上下方向上可移动地被支撑。如图6所示，在非夹紧状态下，可动部55B利用预紧部件的力向下方移动。如图8所示，在夹紧状态下，可动部55B向上方移动。在从非夹紧状态向夹紧状态变化时，即，在通过夹紧部件56的上升而使基板P上升并接近相对部件55时，可动部55B与固定部55A相比先与基板P的上表面接触。在利用预紧部件施加朝向下方的力的可动部55B和基板P接触的状态下，基板P上升，基板P的上表面和固定部55A接触。由此，夹紧部件56(基板P)向+Z方向(上方)的移动被限制，夹紧部件56(基板P)向上方的移动停止。在本实施方式中，由于相对部件55包含可动部55B，所以缓和基板P和可动部55B接触时的冲击。由于设置固定部55A，所以在Z轴方向上将基板P定位。

图10、图11、图12、图13及图14是示意地表示本实施方式所涉及的保持机构54的动作的一个例子的图。保持机构54具有：夹紧部件56，其对基板P的下表面的至少一部分进行支撑，能够在上下方向上移动，在与相对部件55之间能够保持基板P；支撑台57，其配置在夹紧部件56的下方，能够在上下方向上移动，以使得从与夹紧部件56(凸出部56L)接触的接触状态以及不接触的非接触状态中的一种状态向另一种状态变化；以及气缸58，其使支撑台57在上下方向上移动。此外，在图11、图12、图13及图14中省略气缸58的图示。

夹紧部件56能够在上下方向上确定的第1可动范围S1内移动。夹紧部件56能够在第1可动范围S1的上端位置S1a和下端位置S1b之间移动。第1可动范围S1的上端位置S1a包含：在Z轴方向上，在夹紧部件56与相对部件55之间对支撑于夹紧部件56上的基板P进行保持的夹紧部件56的位置。在Z轴方向上，相对部件55(固定部55A)的位置是固定的。通过夹紧部件56上升，由夹紧部件56和相对部件55夹持基板P，从而夹紧部件56向上方的移动停止。上端位置S1a包含该停止的位置。在本实施方式中，规定下端位置S1b的止动器部件设置于导轨53。利用该止动器部件，使夹紧部件56向下方的移动停止。下端位置S1b包含该停止的位置。

夹紧部件56向第1可动范围S1的上端位置S1a移动，在与相对部件55之间保持基板P。夹紧部件56向第1可动范围S1的下端位置S1b移动，解除对基板P的保持。

支撑台57能够在上下方向上确定的第2可动范围S2内移动。支撑台57能够在第2可动范围S2的上端位置S2a和下端位置S2b之间移动。第2可动范围S2的上端位置S2a包含：与支撑台57接触状态的夹紧部件56配置于第1可动范围S1的上端位置S1a的位置。支撑台57通过以与夹紧部件56接触状态向第2可动范围S2的上端位置S2a移动，从而能够使夹紧部件56向第1可动范围S1的上端位置S1a移动。在本实施方式中，规定下端位置S2b的止动器部件设置于导轨53。利用该止动器部件，使支撑台57向下方的移动停止。下端位置S2b包含该停止的位置。通过将支撑台57配置在第2可动范围S2的下端位置S2b，从而支撑台57和夹紧部件56成为非接触状态。支撑台57能够向第2可动范围S2的下端位置S2b移动，以与夹紧部件56成为非接触状态。

图10示出夹紧部件56配置在第1可动范围S1的下端位置S1b，支撑台57配置在第2可动范围S2的下端位置S2b的状态。如图10所示，在夹紧部件56配置于第1可动范围S1的下端位置S1b，支撑台57配置于第2可动范围S2的下端位置S2b的状态下，基板P是非夹紧状态，夹紧部件56和支撑台57是非接触状态。

如图11所示，如果利用气缸58的工作使支撑台57上升，则该支撑台57与配置在下端位置S1b的夹紧部件56(凸出部56L)接触。支撑台57在第2可动范围S2的中间位置S2c与夹紧部件56接触。中间位置S2c是在Z轴方向上位于上端位置S2a和下端位置S2b之间的位置。配置于第1可动范围S1的下端位置S1b的夹紧部件56和配置于第2可动范围S2的中间位置S2c的支撑台57接触。在本实施方式中，从下端位置S2b向上端位置S2a上升的支撑台57在第2可动范围S2的中间位置S2c处，相对于配置在第1可动范围S1的下端位置S1b的夹紧部件56，从非接触状态变化为接触状态。

如图12所示，如果在支撑台57和夹紧部件56接触的状态下，利用气缸58的工作使支撑台57上升，则支撑台57向第2可动范围S2的上端位置S2a移动，夹紧部件56向第1可动范围S1的上端位置S1a移动。移动至第1可动范围S1的上端位置S1a的夹紧部件56，在与相对部件55之间保持基板P。

电子部件C相对于基板P的安装是在夹紧部件56和相对部件55之间保持基板P的状态下执行的。即，在本实施方式中，电子部件C相对于基板P的安装是在支撑台57配置于第2可动范围S2的上端位置S2a、夹紧部件56配置于第1可动范围S1的上端位置S1a的状态下执行的。

如果电子部件C相对于基板P的安装结束，则如图13所示，利用气缸58的工作，支撑台57下降。与支撑台57接触状态的夹紧部件56，与支撑台57一起下降。在夹紧部件56移动至下端位置S1b时，支撑台57移动至中间位置S2c。夹紧部件56不向与下端位置S1b相比的下方移动。因此，如果支撑台57从中间位置S2c进一步下降，则夹紧部件56和支撑台57分离，夹紧部件56和支撑台57成为非接触状态。在本实施方式中，从上端位置S2a向下端位置S2b下降的支撑台57，在第2可动范围S2的中间位置S2c，相对于配置在第1可动范围S1的下端位置S1b的夹紧部件56，从接触状态向非接触状态变化。

如图14所示，如果在支撑台57和夹紧部件56不接触的非接触状态下，利用气缸58的工作使支撑台57下降，则支撑台57向第2可动范围S2的下端位置S2b移动。在本实施方式中，在支撑台57配置于下端位置S2b后，开始向下一个工序输送基板P。

在本实施方式中，如图13所示，气缸58在支撑台57从第2可动范围S2的上端位置S2a向中间位置S2c移动的第1区间K1中，使支撑台57以第1速度V1下降。然后，如图14所示，气缸58在支撑台57从第2可动范围S2的中间位置S2c向下端位置S2b移动的第2区间K2中，使支撑台57以第2速度V2下降。第2速度V2比第1速度V1高(快)。即，在本实施方式中，气缸58进行工作，以使得在支撑台57从上端位置S2a向下端位置S2b下降的区间的前半部分，支撑台57慢慢地下降，在后半部分，支撑台57迅速地下降。

如参照图13及图14而说明的那样，第1区间K1包含支撑台57以与夹紧部件56接触的接触状态下降的区间，第2区间K2包含支撑台57以与夹紧部件56不接触的非接触状态下降的区间。在第2可动范围S2的中间位置S2c，支撑台57相对于配置在第1可动范围S1的下端位置S1b的夹紧部件56，从接触状态向非接触状态变化。

下面，对用于使气缸58工作的空气压力系统60进行说明。图15是表示本实施方式所涉及的空气压力系统60的一个例子的图。如图15所示，空气压力系统60包含用于使气缸58工作的空气压力回路。

如图15所示，气缸58具有：缸筒40；以及活塞43，其在缸筒40的内部空间中能够移动，将缸筒40的内部空间分隔为第1空间41和第2空间42。气缸58通过向第1空间41供给空气，从而使支撑台57下降，通过向第2空间42供给空气，从而使支撑台57上升。

空气压力系统60具有：电磁阀44；第1流路61，其将电磁阀44和第1空间41的第1端口(第1进排气口)连结；第1速度控制阀71，其配置于第1流路61，对从第1空间41排出并在第1流路61中流动的空气量进行调节，对气缸58的速度进行调整；第2流路62，其与第2空间42的第2端口(第2进排气口)连结；第2速度控制阀72，其配置于第2流路62，对从第2空间42排出并在第2流路62中流动的空气量进行调节，对气缸58的速度进行调整；气动阀45，其与第2流路62连结，利用空气进行工作；第3流路63，其与气动阀45连结；第4流路64，其与气动阀45连结；第5流路65，其将电磁阀44和第3流路63及第4流路64连结；以及第3速度控制阀73，其配置于第3流路63，对从气动阀45供给并在第3流路63中流动的空气量进行调节，对气缸58的速度进行调整。

另外，在本实施方式中，空气压力系统60具有：第6流路66，其将第1流路61和气动阀45连结，流过用于使气动阀45工作的空气；以及第4速度控制阀74，其配置于第6流路66，对从第1流路61供给并在第6流路66中流动的空气量进行调节，对气动阀45的工作量进行调整。

另外，在本实施方式中，空气压力系统60具有第1调节器46以及第2调节器47，它们配置于第1流路61。

电磁阀44基于从控制装置20输出的控制信号进行工作。空气从空气压力系统60的外部向电磁阀44供给。

在本实施方式中，空气压力系统60的空气压力回路是出口节流(meterout)回路，其利用速度控制阀对在气缸58的排气侧流动的空气量进行节流(调节)，对该压力(背压)进行调整，对气缸的移动速度进行控制。

第1速度控制阀71对从第1空间41的第1端口排出并在第1流路61中流动的空气量进行调节(对流动的空气量进行节流)。第1速度控制阀71不调节经由第1流路61向第1空间41的第1端口供给的空气量。向第1空间41的第1端口供给的空气经过第1速度控制阀71而不减少其流量。

第2速度控制阀72对从第2空间42的第2端口排出并在第2流路62中流动的空气量进行调节。第2速度控制阀72不调节经由第2流路62向第2空间42的第2端口供给的空气量。向第2空间42的第2端口供给的空气经过第2速度控制阀72而不减少其流量。

第3速度控制阀73对从气动阀45供给并在第3流路63中流动的空气量进行调节。第3速度控制阀73不调节经由第3流路63向气动阀45供给的空气量。向气动阀45供给的空气经过第3速度控制阀73而不减少其流量。

气动阀45利用空气的力而工作。在本实施方式中，第1流路61和气动阀45经由第6流路66连接。气动阀45利用经由第6流路66从第1流路61供给的空气的力而工作。

第4速度控制阀74对从第1流路61供给并在第6流路66中流动的空气量进行调节。利用第4速度控制阀74，调整向气动阀45供给的空气量。通过调整向气动阀45供给的空气量，调整气动阀45的工作量以及工作速度(流路的切换速度)。通过对气动阀45的工作速度进行调整，从而调整利用气动阀45实现的流路切换的定时。

气动阀45对第2流路62和第3流路63的连接、以及第2流路62和第4流路64的连接进行切换。在本实施方式中，气动阀45在将第2流路62和第3流路63连接后，切换流路，以将第2流路62和第4流路64连接。即，气动阀45在从气缸58的第2空间42排出并在第2流路62中流动的空气流过第3流路63后，对与第3流路63和第4流路64的连接进行切换，以使得从气缸58的第2空间42排出并在第2流路62中流动的空气向第4流路64流动。

通过利用第4速度控制阀74调整向气动阀45供给的空气量，从而调整从将第2流路62和第3流路63连接的状态向将第2流路62和第4流路64连接的状态切换的定时。

在第3流路63中配置第3速度控制阀73。在第4流路64中不配置速度控制阀。在利用气动阀45将第2流路62和第3流路63连接时，从第2空间42排出的空气经过第2速度控制阀72以及第3速度控制阀73，向电磁阀44供给。在利用气动阀45将第2流路62和第4流路64连接时，从第2空间42排出的空气经过第2速度控制阀72，向电磁阀44供给。

即，在利用气动阀45将第2流路62和第3流路63连接时，从第2空间42排出的空气经过2个速度控制阀(72、73)，向电磁阀44供给。在利用气动阀45将第2流路62和第4流路64连接时，从第2空间42排出的空气经过1个速度控制阀(72)向电磁阀44供给。

在利用气动阀45将第2流路62和第3流路63连接时，从第2空间42排出的空气以利用2个速度控制阀(72、73)充分地减速后的状态向电磁阀44供给。在利用气动阀45将第2流路62和第4流路64连接时，从第2空间42排出的空气以利用1个速度控制阀(72)略微地减速后的状态向电磁阀44供给。然后，向大气释放。如上述所示，在本实施方式中，通过利用气动阀45对第3流路63与第2流路62的连接和第4流路64与第2流路62的连接进行切换，从而分2阶段地调整向电磁阀44供给的空气量。

下面，参照图16、图17及图18所示的示意图，对本实施方式所涉及的空气压力系统60的动作的一个例子进行说明。

参照图16，说明使基板P成为夹紧状态时的空气压力系统60的动作的一个例子。如参照图11及图12说明的那样，使基板P成为夹紧状态包含使支撑台57以及夹紧部件56上升。

从空气压力系统60的外部供给空气。从外部供给来的空气向电磁阀44供给，从电磁阀44的A端口排出。从电磁阀44排出的空气在第5流路65中流动。

从气动阀45以及第4速度控制阀74释放残余压力，利用气动阀45将第2流路62和第3流路63连接。在第5流路65中流动的空气经由第3流路63向气动阀45供给。第3速度控制阀73不调节经由第3流路63向气动阀45供给的空气量。因此，从第5流路65流入至第3流路63的空气，经过第3速度控制阀73而不减少其流量，并向第2流路62流入。

第2速度控制阀72不调节经由第2流路62向第2空间42的第2端口供给的空气量。因此，从气动阀45流入至第2流路62的空气，经过第2速度控制阀72而不减少其流量，并向气缸58的第2空间42流入。由此，活塞43上升，支撑台57以及夹紧部件56上升。

另外，从气缸58的第1空间41排出空气。从第1空间41的第1端口排出的空气向第1流路61流入。在第1流路61中配置有第1速度控制阀71。第1速度控制阀71对从第1空间41的第1端口排出并在第1流路61中流动的空气量进行调节。利用第1速度控制阀71调节流量后的空气，在经过第2调节器47后，经由第1流路61，从电磁阀44的B端口向电磁阀44流入，并向外部排出(向大气释放)。

下面，参照图17及图18，说明使基板P成为非夹紧状态时的空气压力系统60的动作的一个例子。如参照图13及图14说明的那样，使基板P成为非夹紧状态包含使支撑台57以及夹紧部件56下降。

图17示出如参照图13说明的那样的、支撑台57在从第2可动范围S2的上端位置S2a向中间位置S2c移动的第1区间K1中下降时的空气压力回路。图18示出如参照图14说明的那样的、支撑台57在从第2可动范围S2的中间位置S2c向下端位置S2b移动的第2区间K2中下降时的空气压力回路。

参照图17，说明支撑台57在第1区间K1中下降时的空气的流动。从空气压力系统60的外部供给空气。从外部供给来的空气向电磁阀44供给，从电磁阀44的B端口排出。从电磁阀44排出的空气在第1流路61中流动。

在第1流路61中流动的空气在利用第2调节器47减压后，向气缸58的第1空间41供给。通过利用第2调节器47对空气进行减压，从而抑制下述情况，即，在支撑台57的下降刚开始后就使支撑台57急剧地下降。

第1速度控制阀71不调节经由第1流路61向第1空间41的第1端口供给的空气量。因此，从电磁阀44流入至第1流路61中的空气，经过第1速度控制阀71而不减少其流量，并向气缸58的第1空间41流入。由此，活塞43下降，支撑台57以及夹紧部件56下降。

另外，从气缸58的第2空间42排出空气。从第2空间42的第2端口排出的空气向第2流路62流入。在第2流路62中配置有第2速度控制阀72。第2速度控制阀72对从第2空间42的第2端口排出并在第2流路62中流动的空气量进行调节，使其减少。利用第2速度控制阀72减少流量后的空气向气动阀45流入。

利用气动阀45将第2流路62和第3流路63连接。从第2流路62供给至气动阀45的空气向第3流路63流入。在第3流路63中配置有第3速度控制阀73。第3速度控制阀73对从气动阀45供给并在第3流路63中流动的空气量进行调节，使其减少。利用第3速度控制阀73减少流量的空气从电磁阀44的A端口向电磁阀44流入，并向外部排出(向大气释放)。

在图17所示的例子中，由于从第2空间42排出的空气经过2个速度控制阀(72、73)，所以活塞43(支撑台57以及夹紧部件56)慢慢地下降。在本实施方式中，通过使从第2空间42排出的空气在配置有第3速度控制阀73的第3流路63中流动，从而如参照图13说明的那样，支撑台57在第1区间K1中以第1速度V1下降。

下面，参照图18，说明支撑台57在第2区间K2中下降时的空气的流动。从空气压力系统60的外部供给的空气向电磁阀44供给，从电磁阀44的B端口排出，并在第1流路61中流动。在第1流路61中流动的空气在利用第2调节器47减压后，向气缸58的第1空间41供给。

从气缸58的第2空间42的第2端口排出的空气向第2流路62流入。在第2流路62中配置有第2速度控制阀72。第2速度控制阀72对从第2空间42的第2端口排出并在第2流路62中流动的空气量进行调节，使其减少。利用第2速度控制阀72减少流量后的空气向气动阀45流入。

经由第1流路61以及第6流路66向气动阀45供给空气。气动阀45利用从第6流路66供给的空气的力而工作。第4速度控制阀74调整向气动阀45供给的空气量，以使得在支撑台57结束第1区间K1中的下降并开始第2区间K2中的下降的定时，从将第2流路62和第3流路63连接的状态向将第2流路62和第4流路64连接的状态变化。

利用气动阀45将第2流路62和第4流路64连接。从第2流路62供给至气动阀45的空气向第4流路64流入。在第4流路64中没有配置速度控制阀。从气动阀45流入至第4流路64的空气，从电磁阀44的A端口向电磁阀44流入，并向外部排出(向大气释放)。

在图18所示的例子中，由于从第2空间42排出的空气仅通过1个速度控制阀(72)，所以活塞43(支撑台57以及夹紧部件56)迅速地下降。在本实施方式中，通过使从第2空间42排出的空气在没有配置速度控制阀的第4流路64中流动，从而如参照图14说明的那样，支撑台57在第2区间K2中以比第1速度V1高的第2速度V2下降。

下面，参照图19至图24所示的示意图，说明使用本实施方式所涉及的电子部件安装装置10向基板P安装电子部件C的方法的一个例子。

如图19及图20所示，由导轨53引导并利用输送部件51输送的基板P，在安装位置SJ停止。在X轴方向(基板P的输送方向)上的基板P的位置是由止动器部件39定位的。

如图21所示，利用气缸58的工作，使支撑台57上升。利用支撑台57的上升，夹紧部件56也上升。被支撑于夹紧部件56上的基板P，保持在夹紧部件56和相对部件55之间。

在保持于夹紧部件56和相对部件55之间的状态下，向基板P安装电子部件C。

在向基板P安装电子部件C结束后，利用气缸58的工作，使支撑台57下降。利用支撑台57的下降，夹紧部件56也下降。由此，解除对基板P的保持。

如图22所示，在支撑台57从第2可动范围S2的上端位置S2a向中间位置S2c移动的第1区间K1中，如参照图17说明的那样，对气动阀45的动作进行调整，以使得从气缸58的第2空间42排出的空气向第3流路63流入。由此，支撑台57以第1速度V1下降。此外，如上述所示，夹紧部件(第1升降部件)56与引导部件(也称为止动器部件)56a、56a抵接，在下端位置S1b停止。

通过利用第4速度控制阀74调整向气动阀45供给的空气量，从而对气动阀45的工作时间(切换定时)进行调整。如果经由第4速度控制阀74向气动阀45供给固定量的空气，达到气动阀45的动作压力，则从将第2流路62和第3流路63连接的状态向将第2流路62和第4流路64连接的状态变化(切换)。

如图23所示，在支撑台57从第2可动范围S2的中间位置S2c向下端位置S2b移动的第2区间K2中，如参照图18说明的那样，对气动阀45的动作进行调整，以使得从气缸58的第2空间42排出的空气向第4流路64流入。由此，支撑台57以比第1速度V1快的第2速度V2下降。

在支撑台57配置于下端位置S2b后，如图24所示，将利用止动器部件39实现的保持解除，开始利用输送部件51输送基板P。将基板P从电子部件安装装置10搬出，并向下一个工序移送。

如以上说明所示，根据本实施方式，由于在支撑台57从第2可动范围S2的上端位置S2a向中间位置S2c移动的第1区间K1中，使支撑台57以第1速度V1下降，在从第2可动范围S2的中间位置S2c向下端位置S2b移动的第2区间K2中，使支撑台57以比第1速度V1高的第2速度V2下降，所以抑制安装至基板P后的电子部件C从基板P脱落。

在向基板P安装电子部件C结束后，夹紧部件56从第1可动范围S1的上端位置S1a移动至下端位置S1b，在下端位置S1b停止。如果支撑夹紧部件56的支撑台57在从第2可动范围S2的上端位置S2a向中间位置S2c移动的第1区间K1中以高速下降，则有可能对基板P作用冲击力。其结果，安装在基板P上的电子部件C有可能从基板P脱落。在没有将安装后的电子部件C钉牢(clinch)于基板P的情况下(没有进行电子部件C的防止脱离处理的情况下)，如果对基板P作用冲击力，则电子部件C很可能从基板P脱落。

根据本实施方式，将支撑基板P的夹紧部件56支撑于支撑台57上，在通过使该支撑台57下降而使夹紧部件56下降的情况下，在支撑台57的第2可动范围S2的前半区间即第1区间K1中，以低速的第1速度V1使支撑台57下降，因此，抑制下述情况，即，在刚向基板P安装电子部件C后，对基板P作用冲击力。因此，抑制安装在基板P上的电子部件C从基板P脱落的情况。因此，抑制生产不良的电子仪器。另外，由于在第2区间K2中以高速的第2速度V2使支撑台57下降，所以能够缩短向基板P安装电子部件C结束至开始该基板P的输送为止的时间。因此，抑制电子部件安装装置10的生产性降低。

另外，在本实施方式中，第1区间K1包含支撑台57以与夹紧部件56接触的接触状态下降的区间，第2区间K2包含支撑台57以与夹紧部件56不接触的非接触状态下降的区间。对支撑台57的速度进行调整，以使得在第2可动范围S2的中间位置S2c，支撑台57相对于配置在第1可动范围S1的下端位置S1b的夹紧部件56，从接触状态向非接触状态变化。支撑基板P的夹紧部件56从第1可动范围S1的上端位置S1a移动至下端位置S1b，在下端位置S1b停止时，对基板P作用的冲击力变大的可能性高。因此，通过直至夹紧部件56移动至下端位置S1b为止，使夹紧部件56慢慢地(以第1速度V1)下降，从而抑制对基板P作用较大的冲击力。在夹紧部件56配置于下端位置S1b，夹紧部件56和支撑台57成为非接触状态后，使支撑台57以高速(以第2速度V2)下降，从而抑制电子部件安装装置10的生产性降低。

另外，根据本实施方式，能够使用气动阀45，顺利地进行切换，以使得从气缸58的第2空间42排出的气体经过配置有2个速度控制阀(72、73)的流路以及配置有1个速度控制阀(72)的流路中的某一个。由此，能够分2阶段地顺利切换支撑台57的下降速度。

另外，根据本实施方式，使气动阀45起作用的空气的力由第4速度控制阀74调整。由此，不必使用例如压力传感器等，利用简单的结构，就能够分2阶段地顺利切换支撑台57的下降速度。

＜第2实施方式＞

对第2实施方式进行说明。在以下的说明中，对于与上述的实施方式相同或者等同的结构部分，标注同一标号，简化或者省略其说明。

图25是表示本实施方式所涉及的空气压力系统60B的一个例子的图。在上述的实施方式中说明的例子是：气缸58利用空气压力系统60实施使支撑台57以第1速度V1和第2速度V2这2个速度下降的2阶段控制。在本实施方式中对下述例子进行说明，即，气缸58能够利用空气压力系统60B在从第2可动范围S2的上端位置S2a移动至下端位置S2b的区间中，使支撑台57以同一速度下降。在本实施方式中对下述例子进行说明，即，空气压力系统60B能够切换以2个速度使支撑台57下降的2阶段控制、和以1个速度使支撑台57下降的1阶段控制。

本实施方式所涉及的空气压力系统60B，在上述的实施方式中说明的空气压力系统60的结构要素的基础上，具有：第7流路67，其将第2流路62和第5流路65连结；第5速度控制阀75，其配置于第7流路67，对从第2空间42排出并在第7流路67中流动的空气量进行调节，对气缸58的速度进行调整；以及机械阀80，其进行切换，以使得从气缸58的第2空间42排出的空气向第2流路62以及第7流路67中的某一个流动。

另外，空气压力系统60B具有：第8流路68，其将机械阀80和第5流路65连结；第1单向阀81，其配置于第2流路62，对从气动阀45向机械阀80的空气移动进行限制；第2单向阀82，其配置于第7流路67，对从第5流路65向机械阀80的空气移动进行限制；以及第3单向阀83，其配置于第8流路68，对从机械阀80向第5流路65的空气移动进行限制。

下面，参照图26、图27、图28及图29所示的示意图，说明本实施方式所涉及的空气压力系统60B的动作的一个例子。

参照图26，说明使基板P成为夹紧状态时的空气压力系统60B的动作的一个例子。

在使基板P成为夹紧状态时，机械阀80被操作，以将第2空间42和第8流路68连接，将第2流路62切断，第2空间42和第7流路67成为非连接状态。

从空气压力系统60B的外部供给空气。从外部供给来的空气向电磁阀44供给，从电磁阀44的A端口排出。从电磁阀44排出的空气流过第5流路65，流过第8流路68，经过第3单向阀83。经过第3单向阀83的空气，经过机械阀80，向气缸58的第2空间42供给。由此，活塞43上升，支撑台57以及夹紧部件56上升。

从气缸58的第1空间41排出的气体在第1流路61中流动，利用第1速度控制阀71进行减速，在经过第2调节器47后，向电磁阀44的B端口流入，并向大气释放。

另外，从气动阀45以及第4速度控制阀74释放残余压力。

下面，参照图27及图28，说明使基板P成为非夹紧状态时的空气压力系统60B的动作的一个例子。图27及图28示出如上述的第1实施方式中说明的那样的、执行2阶段控制的情况下的空气压力回路。图27示出支撑台57以第1速度V1下降的例子。图28示出支撑台57以第2速度V2下降的例子。

在以2阶段控制使基板P成为非夹紧状态时，机械阀80被操作，以将第2空间42和气动阀45连接(第2流路62成为非切断状态)，第2空间42和第7流路67成为非连接状态，第2空间42和第8流路68成为非连接状态。

从空气压力系统60B的外部供给空气。从外部供给来的空气向电磁阀44供给，从电磁阀44的B端口排出。从电磁阀44的B端口排出的空气在第1流路61中流动，利用第2调节器47进行减压，经过第1速度控制阀71。经过第1速度控制阀71的空气向气缸58的第1空间41供给。由此，活塞43下降，支撑台57以及夹紧部件56下降。

如图27所示，在支撑台57以第1速度V1下降时，从气缸58的第2空间42排出的气体经过机械阀80，经过第1单向阀81，利用第2速度控制阀72节流，减少该排出的空气量。并且，经过气动阀45，向第3流路63流入，利用第3速度控制阀73减少该排出的空气量。利用第3速度控制阀73减少后的空气在流过第5流路65后，向电磁阀44的A端口流入，并向大气释放。由此，支撑台57以第1速度V1下降。

如图28所示，在支撑台57以第2速度V2下降时，从气缸58的第2空间42排出的气体经过机械阀80，经过第1单向阀81，利用第2速度控制阀72节流，减少该排出的空气量。然后，经过气动阀45，向第4流路64流入，在流过第5流路65后，向电磁阀44的A端口流入，并向大气释放。由此，支撑台57以第2速度V2下降。

下面，参照图29，说明使基板P成为非夹紧状态时的空气压力系统60B的动作的一个例子。图29示出执行1阶段控制的情况下的空气压力回路。

在以1阶段控制使基板P成为非夹紧状态时，机械阀80被操作，以将第2空间42和第7流路67连接，将第2流路62切断，第2空间42和第8流路68成为非连接状态。

从空气压力系统60B的外部供给空气。从外部供给来的空气向电磁阀44供给，从电磁阀44的B端口排出。从电磁阀44的B端口排出的空气在第1流路61中流动，利用第2调节器47进行减压，经过第1速度控制阀71。经过第1速度控制阀71的空气向气缸58的第1空间41供给。由此，活塞43下降，支撑台57以及夹紧部件56下降。

从气缸58的第2空间42排出的气体经过机械阀80，向第7流路67流入，经过第2单向阀82，利用第5速度控制阀75减少该排出的空气量后，向第5流路65流入。流入至第5流路65后的空气，向电磁阀44的A端口流入，并向大气释放。由此，支撑台57从上端位置S2a至下端位置S2b为止以固定速度下降。

如以上说明所示，根据本实施方式，对下述控制进行切换，即，在从第2可动范围S2的上端位置S2a至下端位置S2b为止移动的区间中使支撑台57以2个速度(V1、V2)下降的2阶段控制、和以1个速度下降的1阶段控制，因此，在不需要2阶段控制的情况下，能够顺利地实施1阶段控制。

另外，根据本实施方式，通过对机械阀80进行操作，能够顺利地切换2阶段控制和1阶段控制。

Claims (6)

1.一种电子部件安装装置，其具有：

输送部件，其沿水平面内的规定方向输送基板；

导轨，其具有能够与所述基板的上表面的一部分相对的相对部件，对在所述输送部件上输送的所述基板进行引导；

第1升降部件，其对所述基板的下表面的至少一部分进行支撑并能够在沿上下方向确定的第1可动范围移动，向所述第1可动范围的上端位置移动，在与所述相对部件之间保持所述基板，向所述第1可动范围的下端位置移动，解除对所述基板的保持；

第2升降部件，其配置在所述第1升降部件的下方，能够在沿上下方向确定的第2可动范围移动，以从与所述第1升降部件接触的接触状态以及不接触的非接触状态中的一种状态向另一种状态变化，该第2升降部件能够以所述接触状态向所述第2可动范围的上端位置移动，使所述第1升降部件向所述第1可动范围的上端位置移动，并且能够向所述第2可动范围的下端位置移动，以成为所述非接触状态；以及

致动器，其使所述第2升降部件沿上下方向移动，

在所述第2升降部件从所述第2可动范围的上端位置向中间位置移动的第1区间中，所述致动器使所述第2升降部件以第1速度下降，在从所述第2可动范围的中间位置向下端位置移动的第2区间中，所述致动器使所述第2升降部件以比所述第1速度高的第2速度下降。

2.根据权利要求1所述的电子部件安装装置，其中，

所述第1区间包含以所述接触状态所述第2升降部件下降的区间，

所述第2区间包含以所述非接触状态所述第2升降部件下降的区间，

在所述第2可动范围的中间位置处，所述第2升降部件相对于配置在所述第1可动范围的下端位置的第1升降部件，从所述接触状态向所述非接触状态变化。

3.根据权利要求1或2所述的电子部件安装装置，其中，

所述致动器包含气缸，该气缸具有缸筒和活塞，该活塞能够在所述缸筒的内部空间中移动，将所述内部空间分隔为第1空间和第2空间，该气缸通过向所述第1空间供给空气从而使所述第2升降部件下降，通过向所述第2空间供给空气从而使所述第2升降部件上升，

该电子部件安装装置具有空气压力系统，该空气压力系统包含使所述气缸工作的空气压力回路，

所述空气压力系统具有：

电磁阀；

第1流路，其将所述电磁阀和所述第1空间的第1端口连结；

第1速度控制阀，其配置于所述第1流路，使从所述第1空间排出并在所述第1流路中流动的空气减速，对所述气缸的速度进行调整；

第2流路，其与所述第2空间的第2端口连结；

第2速度控制阀，其配置于所述第2流路，使从所述第2空间排出并在所述第2流路中流动的空气减速，对所述气缸的速度进行调整；

气动阀，其与所述第2流路连结，利用空气进行工作；

第3流路，其与所述气动阀连结；

第4流路，其与所述气动阀连结；

第5流路，其将所述电磁阀和所述第3流路及所述第4流路连结；以及

第3速度控制阀，其配置于所述第3流路，使从所述气动阀供给并在所述第3流路中流动的空气减速，对所述气缸的速度进行调整，

所述气动阀在从所述气缸的所述第2空间排出的空气流过所述第3流路后，对与所述第3流路和所述第4流路的连接进行切换，以使得从所述气缸的所述第2空间排出的空气向所述第4流路流动，

通过使从所述第2空间排出的空气在所述第3流路中流动，从而使所述第2升降部件以所述第1速度下降，

通过使从所述第2空间排出的空气在所述第4流路中流动，从而使所述第2升降部件以所述第2速度下降。

4.根据权利要求3所述的电子部件安装装置，其中，

所述空气压力系统还具有：

第6流路，其将所述第1流路和所述气动阀连结，使得用于使所述气动阀工作的空气流动；以及

第4速度控制阀，其配置于所述第6流路，使从所述第1流路供给并在所述第6流路中流动的空气减速，对所述气动阀的工作量进行调整。

5.根据权利要求3或4所述的电子部件安装装置，其中，

所述空气压力系统具有：

第7流路，其将所述第2流路和所述第5流路连结；

第5速度控制阀，其配置于所述第7流路，使从所述第2空间排出并在所述第7流路中流动的空气减速，对所述气缸的速度进行调整；以及

机械阀，其进行切换，以使得从所述气缸的所述第2空间排出的空气，向所述第2流路以及所述第7流路中的某一个流动。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的电子部件安装装置，其中，

所述致动器能够使所述第2升降部件在从所述第2可动范围的上端位置至下端位置移动的区间中以同一速度下降。