CN105449054B - Led芯片的精确定位方法 - Google Patents
Led芯片的精确定位方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN105449054B CN105449054B CN201510776281.4A CN201510776281A CN105449054B CN 105449054 B CN105449054 B CN 105449054B CN 201510776281 A CN201510776281 A CN 201510776281A CN 105449054 B CN105449054 B CN 105449054B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- led chip
- films
- localization tool
- net form
- positioning method
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 230000004807 localization Effects 0.000 claims abstract description 28
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 claims description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 claims 10
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/005—Processes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本发明公开了一种LED芯片的精确定位方法,包括如下步骤:S1:由分选机将切割后的LED芯片按照测试后的测试结果图粗排列在具有粘性的UV膜上形成阵列;S2:将预制的网形定位治具覆盖在UV膜上,以使得排列的LED芯片进入网形定位治具的四边形的单元格内;S3:采用UV灯照射使得UV膜失去粘性,以使得进入网形定位治具的单元格内的LED芯片被释放;S4:将网形定位治具在UV膜上整体朝向X方向和Y方向移动一定距离,以使得每个单元格内的LED芯片紧贴在四边形的角落位置;S5:在网形定位治具的表面覆盖具有粘性的薄膜,以使LED芯片精确地粘附转移至该薄膜上用于后续制程。
Description
技术领域
本发明属于光电子发光器件制造领域。
背景技术
现有技术中,需要将分选机出来的芯片进行精确定位,这是由于后续的工艺精度非常高,例如CSP封装的印刷荧光粉制程,微小的位移会造成后续不良品产生,这种精确定位的一种方法是将芯片逐个放入定位载具中,然后将芯片放入定位在载具中的过程本身就是精度要求很高的过程,费时费力,并且在后续工艺完成之后,将芯片仍然需要从载具中取出。
发明内容
为了解决现有技术中芯片定位过程复杂的问题,本发明的目的在于提供一种可以实现快速精确定位的LED芯片的精确定位方法,从而节省定位时间、降低生产成本。
为了达到上述目的,本发明提供一种LED芯片的精确定位方法,包括如下步骤:
S1:由分选机将切割后的LED芯片按照测试后的测试结果图粗排列在具有粘性的UV膜上形成阵列;
S2:将预制的网形定位治具覆盖在UV膜上,以使得排列的LED芯片进入网形定位治具的四边形的单元格内;
S3:采用UV灯照射使得UV膜失去粘性,以使得进入网形定位治具的单元格内的LED芯片被释放;
S4:将网形定位治具在UV膜上整体朝向X方向和Y方向移动一定距离,以使得每个单元格内的LED芯片紧贴在四边形的角落位置;
S5:在网形定位治具的表面覆盖具有粘性的薄膜,以使LED芯片精确地粘附转移至该薄膜上用于后续制程。
作为进一步的改进,所述的LED芯片为倒装芯片,在步骤S1中,LED芯片的顶面粘附在UV膜上,在步骤S5中,LED芯片的底面粘附在薄膜上。
作为进一步的改进,在步骤S5中,所述的薄膜由耐高温材料制成。
作为进一步的改进,在步骤S4中,所述的网形定位治具由铁磁材料制成,所述的网形定位治具通过电磁铁吸附的方式进行移动。
作为进一步的改进,所述的电磁铁设置于UV膜的另一面上,以使网形定位治具贴近于UV膜的表面。
作为进一步的改进,在步骤S1中,分选机的排列精度在±1mil与±3°范围之内。
由于采用了以上技术方案,本发明可以实现LED芯片的快速的精确的定位过程,并且定位精度高、定位速度快,降低了生产成本。
附图说明
图1描述了根据本发明的LED芯片的精确定位方法的流程图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的较佳实施例进行详细阐述,以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解,从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。
参见附图1所示,图1描述了根据本发明的LED芯片的精确定位方法的流程图,包括如下几个步骤。
图中a中,由分选机将切割后的LED芯片按照测试后的测试结果图粗排列在具有粘性的UV膜1上形成阵列,由于只是初步的排列,排列精度大约在±1mil与±3°范围之内。
图中b中,将预制的网形定位治具2覆盖在UV膜1上,以使得排列的LED芯片进入网形定位治具2的四边形的单元格3内,随后采用UV灯照射使得UV膜1失去粘性,以使得进入网形定位治具2的单元格3内的LED芯片可移动。
图中c中,将网形定位治具2在UV膜1上整体朝向X方向和Y方向移动一定距离,即图中右上方45°方向,以使得每个单元格3内的LED芯片紧贴在四边形的角落位置,从而完成精确定位过程。
图中d中,在网形定位治具2的表面覆盖具有粘性的薄膜4,以使LED芯片精确地粘附转移至该薄膜4上,将LED芯片与该薄膜4一起用于后续制程。
作为进一步的改进,LED芯片为倒装芯片,可以看出在步骤S1中,LED芯片的顶面粘附在UV膜上,在步骤S5中,LED芯片的底面粘附在薄膜上,而LED芯片的顶面朝上以施加后续工艺,例如CSP封装的印刷荧光粉制程。另外,需要指出的是,该薄膜由耐高温材料制成,以适应于后续的高温工艺。
作为进一步的改进,在步骤S4中,网形定位治具由铁磁材料制成,网形定位治具通过电磁铁吸附的方式进行移动,特别的,电磁铁设置于UV膜的另一面上,以使网形定位治具贴近于UV膜的表面不留缝隙。
由于采用了以上技术方案,本发明可以实现LED芯片的快速的精确的定位过程,并且定位精度高、定位速度快,降低了生产成本。
以上实施方式只为说明本发明的技术构思及特点,其目的在于让熟悉此项技术的人了解本发明的内容并加以实施,并不能以此限制本发明的保护范围,凡根据本发明精神实质所做的等效变化或修饰,都应涵盖在本发明保护范围内。
Claims (6)
1.一种LED芯片的精确定位方法,其特征在于,包括如下步骤:
S1:由分选机将切割后的LED芯片按照测试后的测试结果图粗排列在具有粘性的UV膜的上表面形成阵列;
S2:将预制的网形定位治具覆盖在UV膜上,以使得排列的LED芯片进入网形定位治具的四边形的单元格内;
S3:采用UV灯照射使得UV膜失去粘性,以使得进入网形定位治具的单元格内的LED芯片被释放;
S4:将网形定位治具在UV膜上整体朝向X方向和Y方向移动一定距离,以使得每个单元格内的LED芯片紧贴在四边形的角落位置;
S5:在网形定位治具的表面覆盖具有粘性的薄膜,以使LED芯片精确地粘附转移至该薄膜上用于后续制程。
2.根据权利要求1所述的LED芯片的精确定位方法,其特征在于:所述的LED芯片为倒装芯片,在步骤S1中,LED芯片的顶面粘附在UV膜上,在步骤S5中,LED芯片的底面粘附在薄膜上。
3.根据权利要求1所述的LED芯片的精确定位方法,其特征在于:在步骤S5中,所述的薄膜由耐高温材料制成。
4.根据权利要求1所述的LED芯片的精确定位方法,其特征在于:在步骤S4中,所述的网形定位治具由铁磁材料制成,所述的网形定位治具通过电磁铁吸附的方式进行移动。
5.根据权利要求4所述的LED芯片的精确定位方法,其特征在于:所述的电磁铁设置于UV膜的下表面,以使网形定位治具贴近于UV膜的表面。
6.根据权利要求1所述的LED芯片的精确定位方法,其特征在于:在步骤S1中,分选机的排列精度在±1mil与±3°范围之内。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510776281.4A CN105449054B (zh) | 2015-11-11 | 2015-11-11 | Led芯片的精确定位方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510776281.4A CN105449054B (zh) | 2015-11-11 | 2015-11-11 | Led芯片的精确定位方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN105449054A CN105449054A (zh) | 2016-03-30 |
CN105449054B true CN105449054B (zh) | 2017-09-08 |
Family
ID=55559033
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201510776281.4A Active CN105449054B (zh) | 2015-11-11 | 2015-11-11 | Led芯片的精确定位方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN105449054B (zh) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105957942B (zh) * | 2016-06-30 | 2018-04-17 | 鸿利智汇集团股份有限公司 | 一种led生产方法 |
CN107662402B (zh) * | 2016-07-29 | 2019-11-26 | 蓝思科技股份有限公司 | 一种用于玻璃片产品的热转印装置及热转印方法 |
CN107731985B (zh) * | 2017-10-18 | 2019-08-06 | 湘能华磊光电股份有限公司 | 一种led芯片阵列排布的高精度定位方法 |
CN107910413B (zh) * | 2017-11-21 | 2019-07-12 | 福州大学 | 一种MicroLED的巨量转移装置及转移方法 |
CN109326548B (zh) * | 2018-08-29 | 2020-09-25 | 华映科技(集团)股份有限公司 | 一种实现垂直结构mLED或uLED巨量转移的方法 |
CN111106014A (zh) * | 2018-10-25 | 2020-05-05 | 江苏罗化新材料有限公司 | 一种快速排片设备和方法 |
CN109675828B (zh) * | 2018-12-25 | 2020-11-06 | 东莞市中晶半导体科技有限公司 | 一种低色差的分选方法 |
CN110098289A (zh) * | 2019-05-07 | 2019-08-06 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种转移装置及显示基板的制作方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3047863B2 (ja) * | 1997-08-04 | 2000-06-05 | 日本電気株式会社 | アライメント方法 |
KR101243480B1 (ko) * | 2010-07-12 | 2013-03-13 | 삼성에스디아이 주식회사 | 인버터 |
CN104900783B (zh) * | 2015-05-14 | 2017-12-12 | 天津德高化成新材料股份有限公司 | 芯片级封装的倒装led白光芯片的制备方法 |
-
2015
- 2015-11-11 CN CN201510776281.4A patent/CN105449054B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105449054A (zh) | 2016-03-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN105449054B (zh) | Led芯片的精确定位方法 | |
US11244910B2 (en) | Method for fabricating an electronic device comprising forming an infused adhesive and a periperal ring | |
CN104362243B (zh) | 基板的封装方法及封装结构 | |
US20160361907A1 (en) | Method for bonding substrates, touch substrate and display device | |
CN110753487A (zh) | 芯片转移的方法及其芯片转移系统 | |
CN106409724B (zh) | 一种PoP自动堆叠系统及方法 | |
KR101456382B1 (ko) | 전자 장치 및 그 제조 방법 | |
CN103258971A (zh) | 显示元件的封装方法及其装置 | |
PH12018502073A1 (en) | Method for manufacturing semiconductor device | |
US10164213B2 (en) | Flexible display panel, method for fabricating the same, and apparatus for forming the same | |
KR102004748B1 (ko) | 마이크로 led 전사 방법 | |
JPWO2015178369A1 (ja) | ダイボンドダイシングシート | |
CN102636916A (zh) | 液晶面板的制作装置及方法 | |
CN105334084A (zh) | 集成电路芯片失效分析样品的制备方法 | |
JP2015026655A (ja) | 薄膜形成方法及び薄膜形成装置 | |
CN104009001B (zh) | 层叠晶片的加工方法和粘合片 | |
KR102499047B1 (ko) | 플렉시블 디바이스의 제조 장치 및 제조 방법 | |
JP2000012575A (ja) | 半導体チップのモールド方法およびこれに用いるモールド装置 | |
CN104425334B (zh) | 半导体装置的制造方法以及半导体制造装置 | |
CN107731749A (zh) | 一种封装薄膜及其制备方法和一种oled显示装置 | |
KR20170088432A (ko) | 다중 제품을 에지 코팅하는 방법 | |
CN102740598A (zh) | 三层防伪标签pcb板及其制备工艺 | |
CN110379634B (zh) | 染料敏化电池的贴膜方法 | |
KR20160137736A (ko) | 라미네이션 장치 및 방법 | |
JP2013153007A (ja) | 電子部品およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of invention: Precise positioning method of LED chip Effective date of registration: 20220215 Granted publication date: 20170908 Pledgee: CIC financing guarantee Haian Co.,Ltd. Pledgor: DURA-CHIP (NANTONG) Ltd. Registration number: Y2022320010071 |