CN105449054B - Led芯片的精确定位方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 28
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 6
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 claims 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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Abstract
本发明公开了一种LED芯片的精确定位方法,包括如下步骤:S1:由分选机将切割后的LED芯片按照测试后的测试结果图粗排列在具有粘性的UV膜上形成阵列;S2:将预制的网形定位治具覆盖在UV膜上,以使得排列的LED芯片进入网形定位治具的四边形的单元格内;S3:采用UV灯照射使得UV膜失去粘性,以使得进入网形定位治具的单元格内的LED芯片被释放;S4:将网形定位治具在UV膜上整体朝向X方向和Y方向移动一定距离,以使得每个单元格内的LED芯片紧贴在四边形的角落位置;S5:在网形定位治具的表面覆盖具有粘性的薄膜,以使LED芯片精确地粘附转移至该薄膜上用于后续制程。
Description
技术领域
本发明属于光电子发光器件制造领域。
背景技术
现有技术中,需要将分选机出来的芯片进行精确定位,这是由于后续的工艺精度非常高,例如CSP封装的印刷荧光粉制程,微小的位移会造成后续不良品产生,这种精确定位的一种方法是将芯片逐个放入定位载具中,然后将芯片放入定位在载具中的过程本身就是精度要求很高的过程,费时费力,并且在后续工艺完成之后,将芯片仍然需要从载具中取出。
发明内容
为了解决现有技术中芯片定位过程复杂的问题,本发明的目的在于提供一种可以实现快速精确定位的LED芯片的精确定位方法,从而节省定位时间、降低生产成本。
为了达到上述目的,本发明提供一种LED芯片的精确定位方法,包括如下步骤:
S1:由分选机将切割后的LED芯片按照测试后的测试结果图粗排列在具有粘性的UV膜上形成阵列;
S2:将预制的网形定位治具覆盖在UV膜上,以使得排列的LED芯片进入网形定位治具的四边形的单元格内;
S3:采用UV灯照射使得UV膜失去粘性,以使得进入网形定位治具的单元格内的LED芯片被释放;
S4:将网形定位治具在UV膜上整体朝向X方向和Y方向移动一定距离,以使得每个单元格内的LED芯片紧贴在四边形的角落位置;
S5:在网形定位治具的表面覆盖具有粘性的薄膜,以使LED芯片精确地粘附转移至该薄膜上用于后续制程。
作为进一步的改进,所述的LED芯片为倒装芯片,在步骤S1中,LED芯片的顶面粘附在UV膜上,在步骤S5中,LED芯片的底面粘附在薄膜上。
作为进一步的改进,在步骤S5中,所述的薄膜由耐高温材料制成。
作为进一步的改进,在步骤S4中,所述的网形定位治具由铁磁材料制成,所述的网形定位治具通过电磁铁吸附的方式进行移动。
作为进一步的改进,所述的电磁铁设置于UV膜的另一面上,以使网形定位治具贴近于UV膜的表面。
作为进一步的改进,在步骤S1中,分选机的排列精度在±1mil与±3°范围之内。
由于采用了以上技术方案,本发明可以实现LED芯片的快速的精确的定位过程,并且定位精度高、定位速度快,降低了生产成本。
附图说明
图1描述了根据本发明的LED芯片的精确定位方法的流程图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的较佳实施例进行详细阐述,以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解,从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。
参见附图1所示,图1描述了根据本发明的LED芯片的精确定位方法的流程图,包括如下几个步骤。
图中a中,由分选机将切割后的LED芯片按照测试后的测试结果图粗排列在具有粘性的UV膜1上形成阵列,由于只是初步的排列,排列精度大约在±1mil与±3°范围之内。
图中b中,将预制的网形定位治具2覆盖在UV膜1上,以使得排列的LED芯片进入网形定位治具2的四边形的单元格3内,随后采用UV灯照射使得UV膜1失去粘性,以使得进入网形定位治具2的单元格3内的LED芯片可移动。
图中c中,将网形定位治具2在UV膜1上整体朝向X方向和Y方向移动一定距离,即图中右上方45°方向,以使得每个单元格3内的LED芯片紧贴在四边形的角落位置,从而完成精确定位过程。
图中d中,在网形定位治具2的表面覆盖具有粘性的薄膜4,以使LED芯片精确地粘附转移至该薄膜4上,将LED芯片与该薄膜4一起用于后续制程。
作为进一步的改进,LED芯片为倒装芯片,可以看出在步骤S1中,LED芯片的顶面粘附在UV膜上,在步骤S5中,LED芯片的底面粘附在薄膜上,而LED芯片的顶面朝上以施加后续工艺,例如CSP封装的印刷荧光粉制程。另外,需要指出的是,该薄膜由耐高温材料制成,以适应于后续的高温工艺。
作为进一步的改进,在步骤S4中,网形定位治具由铁磁材料制成,网形定位治具通过电磁铁吸附的方式进行移动,特别的,电磁铁设置于UV膜的另一面上,以使网形定位治具贴近于UV膜的表面不留缝隙。
由于采用了以上技术方案,本发明可以实现LED芯片的快速的精确的定位过程,并且定位精度高、定位速度快,降低了生产成本。
以上实施方式只为说明本发明的技术构思及特点,其目的在于让熟悉此项技术的人了解本发明的内容并加以实施,并不能以此限制本发明的保护范围,凡根据本发明精神实质所做的等效变化或修饰,都应涵盖在本发明保护范围内。
Claims (6)
1.一种LED芯片的精确定位方法,其特征在于,包括如下步骤:
S1:由分选机将切割后的LED芯片按照测试后的测试结果图粗排列在具有粘性的UV膜的上表面形成阵列;
S2:将预制的网形定位治具覆盖在UV膜上,以使得排列的LED芯片进入网形定位治具的四边形的单元格内;
S3:采用UV灯照射使得UV膜失去粘性,以使得进入网形定位治具的单元格内的LED芯片被释放;
S4:将网形定位治具在UV膜上整体朝向X方向和Y方向移动一定距离,以使得每个单元格内的LED芯片紧贴在四边形的角落位置;
S5:在网形定位治具的表面覆盖具有粘性的薄膜,以使LED芯片精确地粘附转移至该薄膜上用于后续制程。
2.根据权利要求1所述的LED芯片的精确定位方法,其特征在于:所述的LED芯片为倒装芯片,在步骤S1中,LED芯片的顶面粘附在UV膜上,在步骤S5中,LED芯片的底面粘附在薄膜上。
3.根据权利要求1所述的LED芯片的精确定位方法,其特征在于:在步骤S5中,所述的薄膜由耐高温材料制成。
4.根据权利要求1所述的LED芯片的精确定位方法,其特征在于:在步骤S4中,所述的网形定位治具由铁磁材料制成,所述的网形定位治具通过电磁铁吸附的方式进行移动。
5.根据权利要求4所述的LED芯片的精确定位方法,其特征在于:所述的电磁铁设置于UV膜的下表面,以使网形定位治具贴近于UV膜的表面。
6.根据权利要求1所述的LED芯片的精确定位方法,其特征在于:在步骤S1中,分选机的排列精度在±1mil与±3°范围之内。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510776281.4A CN105449054B (zh) | 2015-11-11 | 2015-11-11 | Led芯片的精确定位方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510776281.4A CN105449054B (zh) | 2015-11-11 | 2015-11-11 | Led芯片的精确定位方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN105449054A CN105449054A (zh) | 2016-03-30 |
CN105449054B true CN105449054B (zh) | 2017-09-08 |
Family
ID=55559033
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201510776281.4A Active CN105449054B (zh) | 2015-11-11 | 2015-11-11 | Led芯片的精确定位方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN105449054B (zh) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105957942B (zh) * | 2016-06-30 | 2018-04-17 | 鸿利智汇集团股份有限公司 | 一种led生产方法 |
CN107662402B (zh) * | 2016-07-29 | 2019-11-26 | 蓝思科技股份有限公司 | 一种用于玻璃片产品的热转印装置及热转印方法 |
CN107731985B (zh) * | 2017-10-18 | 2019-08-06 | 湘能华磊光电股份有限公司 | 一种led芯片阵列排布的高精度定位方法 |
CN107910413B (zh) * | 2017-11-21 | 2019-07-12 | 福州大学 | 一种MicroLED的巨量转移装置及转移方法 |
CN109326548B (zh) * | 2018-08-29 | 2020-09-25 | 华映科技(集团)股份有限公司 | 一种实现垂直结构mLED或uLED巨量转移的方法 |
CN111106014B (zh) * | 2018-10-25 | 2024-12-31 | 江苏罗化新材料有限公司 | 一种快速排片设备和方法 |
CN109675828B (zh) * | 2018-12-25 | 2020-11-06 | 东莞市中晶半导体科技有限公司 | 一种低色差的分选方法 |
CN110098289A (zh) * | 2019-05-07 | 2019-08-06 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种转移装置及显示基板的制作方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3047863B2 (ja) * | 1997-08-04 | 2000-06-05 | 日本電気株式会社 | アライメント方法 |
KR101243480B1 (ko) * | 2010-07-12 | 2013-03-13 | 삼성에스디아이 주식회사 | 인버터 |
CN104900783B (zh) * | 2015-05-14 | 2017-12-12 | 天津德高化成新材料股份有限公司 | 芯片级封装的倒装led白光芯片的制备方法 |
-
2015
- 2015-11-11 CN CN201510776281.4A patent/CN105449054B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105449054A (zh) | 2016-03-30 |
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C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
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|
PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |