CN105408737B - 缺陷检查系统以及膜制造装置 - Google Patents

Abstract

缺陷检查系统具备：输送带状的膜的膜输送部；进行通过上述膜输送部输送的上述膜的缺陷检查的缺陷检查部；以及在上述膜输送部构成的膜输送路径中相比上述缺陷检查部设置在下游侧、并且能够将与通过上述缺陷检查部检测到的缺陷有关的缺陷信息记录于上述膜的记录部。上述膜输送部包括分别在通过上述记录部在上述膜的第1面记录上述缺陷信息的第1模式以及在第2面记录上述缺陷信息的第2模式下被缠绕上述膜的第1输送辊部、以及在上述第1模式以及上述第2模式中的某一个模式下被缠绕上述膜的第2输送辊部。

Description

缺陷检查系统以及膜制造装置

技术领域

本发明涉及缺陷检查系统以及膜制造装置。

本申请基于在2013年8月2日申请的日本特愿2013-161809号主张优先权，并将其内容援引于本文中。

背景技术

偏振片等膜在进行了异物缺陷、凹凸缺陷等缺陷检查之后，绕着芯材卷绕。与缺陷的位置、种类有关的信息(以下，称为缺陷信息)通过对膜的端部打印条形码或者对缺陷部位实施标记而被记录于膜上。如果卷绕量达到一定量，则卷绕于芯材的膜被从上游侧的膜切断，作为卷材而发货。如上所述，作为用于检查膜的缺陷的缺陷检查系统，已知了在膜的输送路径上具备缺陷检查部以及将缺陷信息记录于膜的记录部的缺陷检查系统(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-7779号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

在如上所述的缺陷检查系统中，例如在由于记录面的材质而墨水的密合性差的情况下，或者在记录面在缺陷检查工序后被用作贴合其他膜构件的贴合面的情况下，需要将记录缺陷信息的膜记录面适当变更成表面或者背面中的某一个。

因此，考虑分别设置与膜的表面以及背面对应的记录部，适当选择它们来使用。然而，在该结构中，由于设置费用增加而成本增加，或者由于记录部的设置空间增加而系统自身大型化。另外，由于系统大型化而成本增加。

本发明是鉴于上述情形而完成的，其目的在于，提供一种能够在抑制设置空间的同时以低成本在膜双面记录缺陷信息的缺陷检查系统以及膜制造装置。

解决技术问题的技术手段

为了达到上述的目的，本发明采用以下的手段。

(1)本发明的一种方式涉及一种缺陷检查系统，具备：膜输送部，其输送带状的膜；缺陷检查部，其进行通过上述膜输送部输送的上述膜的缺陷检查；以及记录部，在上述膜输送部构成的膜输送路径中，相比上述缺陷检查部设置在下游侧，能够将与通过上述缺陷检查部检测到的缺陷有关的缺陷信息记录于上述膜，上述膜输送部包括：第1输送辊部，分别在通过上述记录部在上述膜的第1面记录上述缺陷信息的第1模式以及在所述膜的第2面记录上述缺陷信息的第2模式下，被缠绕上述膜；以及第2输送辊部，在上述第1模式以及上述第2模式中的某一个模式下，被缠绕上述膜。

(2)在上述(1)的方式中，上述第1输送辊部也可以与上述第1模式和上述第2模式的切换对应地切换上述膜输送路径的一部分中的上述膜的输送方向。

(3)在上述(1)或者(2)的方式中，上述膜输送部也可以在上述第1模式下在第1膜输送路径中输送上述膜，在上述第2模式下在第2膜输送路径中输送上述膜，以使上述第1膜输送路径以及上述第2膜输送路径中的上述缺陷检查部与上述记录部之间的距离分别相等的方式，设置述第1输送辊部以及第2输送辊部。

(4)在上述(1)至(3)中的某一个方式中，上述记录部也可以对缠绕于上述第1输送辊部的上述膜记录上述缺陷信息。

(5)在上述(1)至(4)中的某一个方式中，上述第1输送辊部以及第2输送辊部中的至少一方也可以包括多个辊构件。

(6)本发明的一种方式涉及一种膜制造装置，具备：膜制造单元，其制造带状的膜；以及缺陷检查单元，其进行通过上述膜制造单元制造的上述膜的缺陷检查，作为上述缺陷检查单元，具有上述(1)至(5)中的某一个方式。

发明效果

根据本发明，能够在抑制设置空间的同时，以低成本在膜双面记录缺陷信息。

附图说明

图1是示出膜制造装置的概略结构、并示出通过第1膜输送路径输送的状态的图。

图2是示出膜制造装置的概略结构、并示出通过第2膜输送路径输送的状态的图。

图3是示出膜制造部的概略结构的图。

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的实施方式，但本发明不限定于以下的实施方式。此外，在以下的全部附图中，为了容易观察附图，适当地使各结构要素的尺寸、比率等不同。另外，在以下的说明以及附图中，对相同或者相当的要素附加相同的符号，省略重复的说明。

图1、2是本发明的一种实施方式的膜制造装置的概略结构图，图1示出通过第1膜输送路径输送膜的状态，图2示出通过第2膜输送路径输送膜的状态。

如图1、2所示，膜制造装置1具备用于制造规定的膜100的膜制造单元10、用于进行由该膜制造单元10制造了的膜100的规定的缺陷检查的缺陷检查单元5以及控制部50。

此外，膜制造装置1的各结构要素通过作为电子控制装置的上述控制部50来集中控制。上述缺陷检查单元5通过本发明的一种实施方式的缺陷检查系统而构成。

缺陷检查单元5具备缺陷检查部20、能够在膜100的双面记录与通过该缺陷检查部20检测到的缺陷有关的缺陷信息的记录部30、以及在膜制造单元10、缺陷检查部20与记录部30之间依次输送膜100的膜输送部40。

在缺陷检查单元5中，膜输送部40能够经过第1膜输送路径40A或者第2膜输送路径40B输送由膜制造单元10制造的膜100。通过由操作员实施的作业来进行膜输送部40中的上述第1膜输送路径40A或者第2膜输送路径40B的切换。

在本实施方式中，经过第1膜输送路径40A输送的膜100在到达记录部30时，一面(第1面)100b侧与记录部30相对。另一方面，经过第2膜输送路径40B输送的膜100在到达记录部30时，另一面(第2面)100c侧与记录部30相对。即，当在膜输送部40中选择了第1膜输送路径40A的情况下，记录部30能够在膜100的一面100b侧记录缺陷信息，当在膜输送部40中选择了第2膜输送路径40B的情况下，记录部30能够在膜100的另一面100c侧记录缺陷信息。此外，膜100的一面100b如后面所述，是指通过膜制造单元10制造的膜100上贴合了第1保护膜100B的一侧的面，膜100的另一面100c是指贴合了第2保护膜100C的一侧的面(参照图3)。

缺陷检查部20通过针对输送中的膜100执行反射检查、透射检查、斜透射检查、正交尼科耳透射检查等检查处理，检测该膜100的缺陷。此外，缺陷检查部20的设置位置不限定于图1的部位，只要在膜100的输送路径中的膜制造单元10与记录部30之间的位置，则可以是任何位置。

缺陷检查部20具备对膜100照射光的照明部21a、22a、以及能够检测从照明部21a、22a照射并经过(反射与透射中的一方或者两者)了膜100的光的、由膜100处有无缺陷而导致的变化的光检测器21b、22b。在缺陷检查部20中，针对成为检查对象的缺陷的每个种类，分别具备照明部与光检测器。

照明部21a、22a照射根据由缺陷检查部20进行的检查的种类而调整了光强度、波长、偏振状态等的光。光检测器21b、22b由CCD等摄像元件构成，对被照明部21a、22a照射光的部分的膜100进行摄像。光检测器21b、22b的检测结果(摄像结果)被输出到控制部50。

此外，在本实施方式中，膜输送部40在第1膜输送路径40A以及第2膜输送路径40B中，都以使另一面100c与光检测器21b、22b对置的方式将膜100输送到缺陷检查部20。

控制部50解析通过光检测器21b、22b摄像得到的图像，判定缺陷的位置、种类等。控制部50在判定为在膜100处存在缺陷的情况下，控制记录部30，如后面所述地对膜100记录缺陷信息。

在本实施方式中，控制部50构成为包括计算机系统。

该计算机系统具备CPU等运算处理部以及存储器、硬盘等存储部。本实施方式的控制部50包括能够执行与计算机系统的外部的装置的通信的接口。也可以对控制部50连接能够输入输入信号的输入装置。上述的输入装置包括键盘、鼠标等输入设备、或者能够从计算机系统的外部的装置输入数据的通信装置等。控制部50既可以包括示出膜制造装置1的各部的动作状况的液晶显示器等显示装置，也可以与显示装置连接。

在控制部50的存储部中安装了控制计算机系统的操作系统(OS)。在控制部50的存储部中，记录了通过使运算处理部控制膜制造装置1的各部来使膜制造装置1的各部执行用于高精度地输送膜100的处理的程序。控制部50的运算处理部能够读取包括在存储部中记录了的程序在内的各种信息。控制部50也可以包括执行膜制造装置1的各部的控制中所需的各种处理的ASIC(Application Specific Integrated Circuit，专用集成电路)等逻辑电路。

存储部是包括RAM(Random Access Memory，随机存取存储器)、ROM(Read OnlyMemory，只读存储器)等这样的半导体存储器、硬盘、CD-ROM读取装置、磁盘型存储媒介等这样的外部存储装置等的概念。存储部在功能上，设定存储记述了膜制造单元10、缺陷检查部20、记录部30以及膜输送部40的动作的控制步骤的程序软件的存储区域、其他各种存储区域。

记录部30在输送膜100的第1膜输送路径40A或者第2膜输送路径40B中，相比缺陷检查部20设置在输送方向下游侧。记录部30在膜100的一面100b(贴合了第1保护膜100B的一侧的面)或者另一面100c(贴合了第2保护膜100C的一侧的面)记录与通过上述缺陷检查部20检测到的缺陷有关的缺陷信息。在缺陷信息中，包括与缺陷的位置、种类有关的信息等。

记录部30在通过缺陷检查部20进行了缺陷检查之后，在规定的定时下对膜100进行缺陷信息的记录。通过记录部30进行记录的定时根据从缺陷检查部20到记录部30的膜100的输送距离来确定。

例如，在膜100的输送路径上，配置测定膜100的输送量的旋转编码器，在膜100的输送量(通过旋转编码器进行计数的脉冲的计数数)达到规定的值时，控制部50控制记录部30，对膜100记录缺陷信息。

记录部30例如以识别码(一维条形码、二维条形码、QR码(注册商标)等)的形式在膜100的表面(一面100b以及另一面100c)的端部记录缺陷信息。在识别码中，例如包括表示通过上述缺陷检查部20检测到的缺陷存在于从附加有条形码的位置沿着膜宽度方向离开了多大的距离的位置的信息(与缺陷的位置有关的信息)。在识别码中，也可以包括与所检测到的缺陷的种类有关的信息。

记录部30也可以通过对膜100的缺陷部位附加包含缺陷那样的大小的点状、线状或者框状的标志，在膜100的表面直接显示(标记)缺陷的位置。此时，也可以通过与上述标志一起在缺陷部位示出表示缺陷的种类的记号、花纹，记录与缺陷的种类有关的信息。

另外，记录部30也可以构成为将附加有上述标记的标签粘贴到膜100的表面。

上述膜输送部40包括第1输送辊部43、第2输送辊部45以及膜卷绕部44。

如图1、2所示，第1输送辊部43分别在通过记录部30在膜100的一面(第1面)100b记录缺陷信息的情况(第1模式)以及在另一面(第2面)100c记录缺陷信息的情况(第2模式)下，被缠绕该膜100。即，无论当在膜输送部40中选择了上述第1膜输送路径40A以及第2膜输送路径40B中的哪一个的情况下，第1输送辊部43都被缠绕膜100。换言之，第1输送辊部43与后述的第2输送辊部45不同，兼用于第1膜输送路径40A以及第2膜输送路径40B。

第2输送辊部45在通过记录部30在膜100的一面(第1面)100b记录缺陷信息的情况(第1模式)以及在另一面(第2面)100c记录缺陷信息的情况(第2模式)中的某一个模式下，被缠绕膜100。即，第2输送辊部45与在膜输送部40中第1膜输送路径40A与第2膜输送路径40B之间的路径的切换相对应地，变更膜100的缠绕方式。第2输送辊部45不兼用于第1膜输送路径40A以及第2膜输送路径40B。

在本实施方式中，第2输送辊部45包括一面记录用辊部41以及另一面记录用辊部42。

一面记录用辊部41在通过记录部30在膜100的一面100b记录上述缺陷信息的情况下，被缠绕该膜100。即，一面记录用辊部41在选择了上述第1膜输送路径40A的情况下，被缠绕膜100。

另一方面，另一面记录用辊部42如图2所示，在通过记录部30在膜100的另一面100c记录上述缺陷信息的情况下，被缠绕该膜100。即，另一面记录用辊部42当在膜输送部40中选择了上述第2膜输送路径40B的情况下，被缠绕膜100。

在本实施方式中，一面记录用辊部41由多个(在本实施方式的情况下，2个)辊41a构成。在图1中，沿着各辊41a的外周而图示的箭头表示该辊41a的旋转方向。

辊41a既可以由通过膜100的输送力而旋转的从动辊构成，也可以由对膜100赋予输送力的主动辊构成，也可以通过将它们混在一起而构成。此外，关于一面记录用辊部41，辊41a的数量不限定于上述的2个，也可以具有一个或者3个以上的辊41a。

在本实施方式中，另一面记录用辊部42由一个辊42a构成。在图1中，沿着辊42a的外周而图示的箭头表示该辊42a的旋转方向。

辊42a既可以由通过膜100的输送力而旋转的从动辊构成，也可以由对膜100赋予输送力的主动辊构成，也可以通过将它们混在一起而构成。此外，关于另一面记录用辊部42，辊42a的数量不限定于一个，也可以具有多个辊42a。

上述第1输送辊部43由前级部43A、中级部43B以及后级部43C构成。前级部43A、中级部43B以及后级部43C分别由多个辊构成。例如，前级部43A由多个(在本实施方式的情况下，3个)辊43a构成，中级部43B由多个(在本实施方式的情况下，3个)辊43b构成，后级部43C由多个(在本实施方式的情况下，4个)辊43c构成。

此外，这些辊43a、43b、43c既可以由通过膜100的输送力而旋转的从动辊构成，也可以由对膜100赋予输送力的主动辊构成，也可以通过将它们混在一起而构成。另外，在前级部43A、中级部43B以及后级部43C中，各辊43a、43b、43c的数量不限定于上述，能够适当变更。

在图1、2中，沿着各辊43a、43b、43c的外周而图示的箭头表示该各辊43a、43b、43c的旋转方向。另外，在图1、2中，为了方便说明，按从该图上侧向下侧地配置的顺序，将构成中级部43B的各辊43b称为辊43b1、43b2、43b3，为了方便说明，按从该图膜100的输送方向上游侧向下游侧地配置的顺序，将构成前级部43A的各辊43a称为辊43a1、43a2、43a3。

此处，说明通过操作员选择了第1膜输送路径40A的情况。

在这种情况下，从膜制造单元10被拉出了的膜100如图1所示，从输送方向上游侧向下游侧地按上述前级部43A(辊43a)、一面记录用辊部41(辊41a)、中级部43B(辊43b)以及后级部43C(辊43c)的顺序进行缠绕。

在第1膜输送路径40A中，膜100在沿着构成前级部43A的辊43a2、43a3的内公切线方向而架设之后，经过辊43a3而被引导向上方，从而缠绕于一面记录用辊部41。

经过了一面记录用辊部41的膜100相对于中级部43B的辊43b1、43b2、43b3依次缠绕。此时，各辊43b1、43b2、43b3如图1所示，均逆时针旋转，在前级部43A中仅辊43a2顺时针旋转，辊43a1、43a3分别逆时针旋转。

这样在选择了第1膜输送路径40A的情况下，膜100经过一面记录用辊部41，从而从铅垂方向上方朝向下方地通过记录部30。此时，膜100以一面100b与记录部30相对的方式被输送。因此，记录部30能够在经过第1膜输送路径40A而被输送的膜100的一面100b记录缺陷信息。

经过了中级部43B的辊43b3的膜100在向铅垂方向上方折回之后，经过后级部43C(辊43c)而卷绕于膜卷绕部44。

接下来，说明通过操作员选择了第2膜输送路径40B的情况。

在这种情况下，从膜制造单元10被拉出了的膜100如图2所示，从输送方向上游侧向下游侧地按上述前级部43A(辊43a)、另一面记录用辊部42(辊42a)、中级部43B(辊43b)以及后级部43C(辊43c)的顺序进行缠绕。

膜100在沿着构成前级部43A的辊43a2、43a3的外公切线方向而架设之后，经过辊43a3而被引导向下方，从而缠绕于另一面记录用辊部42。如图2所示，在前级部43A中仅辊43a1逆时针旋转，辊43a2、43a3分别顺时针旋转。

经过了另一面记录用辊部42的膜100相对于中级部43B的辊43b3、43b2、43b1依次缠绕。此时，如图2所示，辊43b1、43b2分别顺时针旋转，辊43b3逆时针旋转。

这样在选择了第2膜输送路径40B的情况下，膜100经过另一面记录用辊部42，从而从铅垂方向下方朝向上方地通过记录部30。此时，膜100以另一面100c与记录部30相对的方式被输送。因此，记录部30能够在经过第2膜输送路径40B而被输送的膜100的另一面100c记录缺陷信息。

经过了中级部43B的辊43b1的膜100经过后级部43C(辊43c)而卷绕于膜卷绕部44。

如上所述，在本实施方式中，在选择了第1膜输送路径40A的情况与选择了第2膜输送路径40B的情况下，在第1输送辊部43中的膜输送路径的一部分切换膜100的输送方向。

即，第1输送辊部43在选择了第2膜输送路径40B的情况与选择了第1膜输送路径40A的情况下，切换前级部43A中的辊43a3以及中级部43B中的辊43b1、43b2的旋转方向。此外，关于上述辊43a3、43b1、43b2的旋转方向的切换，例如在这些各辊由从动辊构成的情况下，也可以仅驱动膜卷绕部44。另一方面，例如在这些各辊由主动辊构成的情况下，根据基于上述第1、第2膜输送路径40A、40B的选择的切换，切换使该各辊旋转的未图示的旋转驱动部的旋转方向即可。

另外，在本实施方式中，膜输送部40以使第1膜输送路径40A以及第2膜输送路径40B中的缺陷检查部20与记录部30之间的距离分别相等的方式，设置一面记录用辊部41、另一面记录用辊部42以及第1输送辊部43。即，以构成上述一面记录用辊部41、另一面记录用辊部42以及第1输送辊部43的各辊41a、42a、43a、43b、43c之间的配置位置、间距等满足上述条件的方式进行最优化。

因此，当在第1膜输送路径40A中在一面100b记录缺陷信息的情况以及在第2膜输送路径40B中在另一面100c记录缺陷信息的情况下，膜输送部40能够将从通过缺陷检查部20进行缺陷检查起直到通过记录部30进行缺陷信息的记录的时间(通过记录部30进行缺陷信息的记录的定时)设为相同。因此，能够消除伴随着第1膜输送路径40A以及第2膜输送路径40B的切换来调整通过记录部30进行记录的定时的麻烦。因此，能够在通过缺陷检查部20检测到缺陷信息的膜100的规定位置到达记录部30的定时下，在该规定位置高精度地记录缺陷信息。

图3是示出膜制造单元10的概略结构的图。如图3所示，膜制造单元10将保护膜(表面保护膜)100B、100C贴合到膜基体材料100A来制造上述膜100。膜基体材料100A以及保护膜100B、100C是具有挠性的带状的膜即可，其材料、结构没有特别限定。以下，有时也将保护膜100B、100C分别称为第1保护膜100B、第2保护膜100C。

如图3所示，膜制造单元10具备第1线11、第2线12、第3线13、第4线14以及第5线15。通过第2线12、第3线13以及第5线15构成第1保护膜100B的输送线。通过第4线14以及第5线15构成第2保护膜100C的输送线。另外，通过第1线11、第3线13以及第5线15构成膜基体材料100A的输送线。

在各线11、12、13、14、15上，设置了用于形成膜基体材料100A以及保护膜100B、100C的输送路径的多个辊(例如，在本实施方式中，引导辊31、夹紧辊33、34、35、36)。

第1线11制造并输送膜基体材料100A。膜基体材料100A在本实施方式的情况下是偏振膜，但膜基体材料100A不限定于此。在第1线11上，针对成为偏振镜的基体材料的PVA(Polyvinyl Alcohol，聚乙烯醇)膜实施染色处理、交联处理以及延伸处理等。

其后，通过在其双面贴合由TAC(Triacetylcellulose，三乙酰纤维素)等构成的偏振镜保护膜，制造膜基体材料100A。此外，膜基体材料100A不限于偏振膜，也可以是相位差膜、光扩散膜、光反射膜、透镜膜、导电膜、绝缘膜、感光性膜等其他膜。

第2线12从第1卷材R1放卷以输送第1保护膜100B。第1保护膜100B在本实施方式的情况下是PET(Polyethylene terephthalate，聚对酞酸乙二酯)膜，但第1保护膜100B不限定于此。

第3线13具有轴向相互平行地配置的一对夹紧辊33、34。在一对夹紧辊33、34之间，形成规定的间隙，该间隙内成为膜基体材料100A与第1保护膜100B的贴合位置。膜基体材料100A以及第1保护膜100B重叠地被导入到间隙内。膜基体材料100A以及第1保护膜100B一边被夹紧辊33、34夹压，一边被送出到下游侧。由此，对膜基体材料100A的一面贴合第1保护膜100B。

第4线14从第2卷材R2放卷以输送第2保护膜100C。第2保护膜100C在本实施方式的情况下是PET(Polyethylene terephthalate，聚对酞酸乙二酯)膜，但第2保护膜100C不限定于此。

第5线15对膜基体材料100A的另一个面(与贴合了第1保护膜100B的面相反的面)贴合第2保护膜100C并输送。通过对膜基体材料100A的一个面以及另一个面贴合第1保护膜100B以及第2保护膜100C，制造上述膜100。

第5线15具有轴向相互平行地配置的一对夹紧辊35、36。在一对夹紧辊35、36之间形成规定的间隙，该间隙内成为膜基体材料100A与第2保护膜100C的贴合位置。膜基体材料100A与第2保护膜100C重叠地被导入到间隙内。膜基体材料100A以及第2保护膜100C一边被夹紧辊35、36夹压，一边被送出到下游侧。由此，对膜基体材料100A的另一个面贴合第2保护膜100C。

这样，膜制造单元10通过对膜基体材料100A的双面贴合第1保护膜100B以及第2保护膜100C，能够制造膜100。

如上所述，根据本实施方式的膜制造装置1，作为膜100的输送路径，操作员变更第1膜输送路径40A或者第2膜输送路径40B，从而能够针对膜100的双面(一面100b以及另一面100c)进行缺陷检查，并且分别在检查了的双面记录缺陷信息。

因此，能够仅通过一个记录部30在膜100的双面记录缺陷信息，所以与如以往那样为了双面记录而配备2个记录部的情况相比，能够在抑制装置的设置空间的同时，以低成本进行膜的缺陷检查。另外，能够制造以低成本记录了缺陷信息的膜100。

以上，参照附图说明了本实施方式的合适的实施方式例，但本发明不限定于上述的例子，这自不待言。在上述的例子中示出了的各结构构件的各种形状、组合等是一个例子，在不脱离本发明的主旨的范围内，能够根据设计要求等进行各种变更。例如，在上述实施方式中，以缺陷检查部20仅配置于膜制造单元10的下游侧的情况为例，但不限定于此，也可以在上述膜制造单元10的第1线11、第2线12以及第4线14中的至少某一个的中途也设置缺陷检查部。据此，能够进行对贴合保护膜100B、100C之前的膜基体材料100A的缺陷检查，实现对膜100的缺陷检查的精度提高。

另外，在上述实施方式中，以将缺陷检查单元5并入到检查由膜制造单元10制造了的膜100的膜制造装置1中的结构为例，但缺陷检查单元5也能够作为检查在膜制造单元10以外制造的膜的缺陷的检查装置单体而发挥功能。在这种情况下，在膜的缺陷检查中，在通过膜输送部40从成为检查对象的卷材对膜进行放卷的同时输送到记录部30，在进行了规定的缺陷信息的记录之后，通过膜卷绕部44进行卷绕，从而结束。这样在制造成为检查对象的卷材后，输送到其他工厂，能够在该其他工厂中仅使用缺陷检查单元5来进行膜的缺陷检查。

另外，在上述实施方式中，以第2输送辊部45将一面记录用辊部41以及另一面记录用辊部42都包括了的情况为例，但也可以采用仅包括其中某一个的结构。例如，第2输送辊部45也可以仅由一面记录用辊部41构成。在这种情况下，经过进行针对另一面100c的缺陷记录的第2膜输送路径40B的膜100以仅缠绕于第1输送辊部43的方式来输送，经过进行针对一面100b的缺陷记录的第1膜输送路径40A的膜100以缠绕于第1输送辊部43以及第2输送辊部45(一面记录用辊部41)的方式来输送。

或者第2输送辊部45也可以仅由另一面记录用辊部42构成。在这种情况下，经过进行针对另一面100c的缺陷记录的第2膜输送路径40B的膜100以缠绕于第1输送辊部43以及第2输送辊部45(另一面记录用辊部42)的方式来输送，经过进行针对一面100b的缺陷记录的第1膜输送路径40A的膜100以仅缠绕于第1输送辊部43的方式来输送。

符号说明

1…膜制造装置；5…缺陷检查单元(缺陷检查系统)；10…膜制造单元；20…缺陷检查部；30…记录部；40…膜输送部；40A…第1膜输送路径；40B…第2膜输送路径；41…一面记录用辊部(第2输送辊部)；41a…辊；42…另一面记录用辊部(第2输送辊部)；42a…辊；43…第1输送辊部；43a…辊；43b…辊；43c…辊；45…第2输送辊部；50…控制部；100…膜、100b…一面(第1面)；100c…另一面(第2面)。

Claims (6)

1.一种缺陷检查系统，其特征在于，具备：

膜输送部，其输送带状的膜；

缺陷检查部，其进行通过所述膜输送部输送的所述膜的缺陷检查；以及

记录部，在所述膜输送部构成的膜输送路径中，相比所述缺陷检查部设置在下游侧，能够将与通过所述缺陷检查部检测到的缺陷有关的缺陷信息记录于所述膜，

所述膜输送部包括：

第1输送辊部，分别在通过所述记录部在所述膜的第1面记录所述缺陷信息的第1模式以及在所述膜的第2面记录所述缺陷信息的第2模式下，被缠绕所述膜；以及

第2输送辊部，在所述第1模式以及所述第2模式中的某一个模式下，被缠绕所述膜，

所述第2输送辊部包括：

第1面记录用辊部，其在所述第1模式下被缠绕所述膜；以及

第2面记录用辊部，其在所述第2模式下被缠绕所述膜。

2.根据权利要求1所述的缺陷检查系统，其特征在于，

所述第1输送辊部与所述第1模式和所述第2模式的切换对应地切换所述膜输送路径的一部分中的所述膜的输送方向。

3.根据权利要求1或者2所述的缺陷检查系统，其特征在于，

所述膜输送部在所述第1模式下在第1膜输送路径中输送所述膜，在所述第2模式下在第2膜输送路径中输送所述膜，以使所述第1膜输送路径以及所述第2膜输送路径中的所述缺陷检查部与所述记录部之间的距离分别相等的方式，设置所 述第1输送辊部以及第2输送辊部。

4.根据权利要求1或者2所述的缺陷检查系统，其特征在于，

所述记录部对缠绕于所述第1输送辊部的所述膜记录所述缺陷信息。

5.根据权利要求1或者2所述的缺陷检查系统，其特征在于，

所述第1输送辊部以及第2输送辊部中的至少一方包括多个辊构件。

6.一种膜制造装置，其特征在于，具备：

膜制造单元，其制造带状的膜；以及

缺陷检查单元，其进行通过所述膜制造单元制造的所述膜的缺陷检查，

作为所述缺陷检查单元，具有权利要求1～5中的任一项所述的缺陷检查系统。