CN105405986A - 水汽阻隔膜、其制备方法与包含其的显示器 - Google Patents

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Abstract

本申请提供了一种水汽阻隔膜、其制备方法与包含其的显示器。该水汽阻隔膜包括衬底与设置在衬底表面的水汽阻隔层，水汽阻隔层包括硅氧化物与铝氧化物，且硅氧化物与铝氧化物的重量比在1:1～7:3之间，水汽阻隔膜的厚度在20～200nm之间。该水汽阻隔膜能够较好地阻挡外界液体与气体的侵入，进而提高了使用该水汽阻隔膜的器件的寿命。

Description

水汽阻隔膜、其制备方法与包含其的显示器
技术领域
本申请涉及显示器领域，具体而言，涉及一种水汽阻隔膜、其制备方法与包含其的显示器。
背景技术
目前，有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，简称OLED)显示器越来越普遍，在手机、媒体播放器及小型入门级电视等产品中最为显著。主要原因是：OLED为自发光材料，不需用到背光板，用简单驱动电路即可发光；视角广，画质均匀，反应速度快，较易彩色化；且其制程简单，可制作成挠曲式面板，符合轻薄短小的要求。因此，其主要优点可以归结为：主动发光，视角范围大，响应速度快，图像稳定；亮度高，色彩丰富，分辨率高，驱动电压低；能耗低，可与太阳能电池、集成电路等相匹配。
其中的柔性OLED器件具有自发光、宽视角、抗弯曲能力强等优异性能，是实现柔性显示的较理想的选择，但柔性衬底层对水、氧阻隔能力差是其实现柔性显示的瓶颈之一。
现有技术中的OLED显示器中的衬底层都不能很好地阻挡外界杂质液体和气体的侵入，当OLED衬底层暴露在水和氧气中时，器件的光电特性就会急剧衰退，使得器件在很短的时间内就不能继续使用，无法满足显示器对寿命要求。
发明内容
本申请旨在提供一种水汽阻隔膜、其制备方法与包含其的显示器，以解决现有技术中的衬底层的水汽阻隔效果较差问题。
为了实现上述目的，根据本申请的一个方面，提供了一种水汽阻隔膜，该水汽阻隔膜包括衬底与设置在上述衬底表面的水汽阻隔层，上述水汽阻隔层包括硅氧化物与铝氧化物，且上述硅氧化物与上述铝氧化物的重量比在1:1～7:3之间，上述水汽阻隔膜的厚度在20～200nm之间。
进一步地，上述硅氧化物与上述铝氧化物的重量比为1：1，上述水汽阻隔层的厚度在20～40nm之间。
进一步地，上述硅氧化物与上述铝氧化物的重量比为7:3，上述水汽阻隔层的厚度在180～200nm之间。
进一步地，上述硅氧化物为二氧化硅。
进一步地，上述铝氧化物为氧化铝。
进一步地，上述衬底的厚度在25～125μm之间。
进一步地，上述衬底为PET衬底。
为了实现上述目的，本申请的另一个方面，提供了一种上述的水汽阻隔膜的制备方法，上述制备方法包括采用磁控溅射法、电子束蒸镀法或等离子体增强化学气相沉积法将硅氧化物与铝氧化物沉积在衬底上形成水汽阻隔膜。
为了实现上述目的，本申请的再一个方面，提供了一种显示器，包括水汽阻隔膜，该水汽阻隔膜为上述的水汽阻隔膜。
进一步地，上述显示器为OLED显示器。
应用本申请的技术方案，将水汽阻隔膜中的硅氧化物与铝氧化物的重量比控制在1:1～7:3之间，且水汽阻隔层的厚度控制在20～200nm之间时，水汽阻隔膜能够较好地阻挡外界液体与气体的侵入，进而提高了使用该水汽阻隔膜的器件的寿命。
附图说明
构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
图1示出了本申请一种实施方式提出的水汽阻隔膜的剖面结构示意图。
具体实施方式
应该指出，以下详细说明都是例示性的，旨在对本申请提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。
需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
正如背景技术所介绍的，现有技术中的OLED显示器中的衬底层不能很好地阻挡外界杂质液体和气体的侵入，使得OLED显示器的寿命较短，为了解决如上的技术问题，本申请提出了一种水汽阻隔膜、其制备方法与包含其的显示器。
本申请的一种典型的实施方式中，如图1所示，提供了一种水汽阻隔膜，该水汽阻隔膜包括衬底10与设置在衬底10表面的水汽阻隔层20，该水汽阻隔层20包括硅氧化物与铝氧化物，且上述硅氧化物与上述铝氧化物的重量比在1:1～7:3之间，上述水汽阻隔膜的厚度在20～200nm之间。
当上述硅氧化物与上述铝氧化物的重量比在1:1～7:3之间，且水汽阻隔层20的厚度在20～200nm之间时，水汽阻隔膜能够较好地阻挡外界液体与气体的侵入，进而提高了使用该水汽阻隔膜的器件的寿命。
本申请的一种实施例中，上述硅氧化物与上述铝氧化物的重量比为7:3之间，上述水汽阻隔层20的厚度在180～200nm之间。由于水汽阻隔层20中起水汽阻隔作用的主要是铝氧化物，所以当水汽阻隔层20中的铝氧化物占的比重较小时，要进一步保证该水汽阻隔层20对液体与气体的有较高的阻隔率，使得水汽阻隔率优于10-2g/m2·day，需要较厚的水汽阻隔层20。
本申请的一种实施例中，上述硅氧化物与上述铝氧化物的重量比在5:5之间，上述水汽阻隔层20的厚度在20～40nm之间。将硅氧化物与上述铝氧化物的重量比控制在此范围内，同时将水汽阻隔层20的厚度在20～40nm之间，能够进步一步保证该膜对液体与气体的阻隔率，使得水汽阻隔率优于10-2g/m2·day。
为了保证水汽阻隔膜具有良好的光学性能，本申请优选上述水汽阻隔层20的折射率在1.5～1.6之间。
本申请的一种优选实施例中，为了取材方便，节约成本，上述硅氧化物为二氧化硅。
同样地，优选铝氧化物为氧化铝。
为了进一步保证水汽阻隔膜的工艺可实现性与收卷性能，本申请优选衬底10的厚度控制在25～125μm之间。
本申请的衬底10可以是PET层、TAC层、PC层、PE层或PP层，但并不限于上述的衬底10，本领域技术人员可以根绝实际情况选择合适的衬底10。优选衬底10为PET衬底。
本申请的另一种实施方式中，提供了一种所述的水汽阻隔膜的制备方法，该制备方法包括采用磁控溅射法、电子束蒸镀法或等离子体增强化学气相沉积法将硅氧化物与铝氧化物沉积在衬底上形成水汽阻隔膜。
采用上述的制备方法形成的水汽阻隔膜的水汽阻隔效果较好。
本申请的另一种实施方式中，提供了一种显示器，包括水汽阻隔膜，该水汽阻隔膜底为上述的水汽阻隔膜。进一步优选该显示器为LED显示器
该显示器中的水汽阻隔膜具有良好的水汽阻隔性能，使得显示器的各项性能不会受到水汽的影响，进而保证了显示器具有较长的寿命。
为了使得本领域技术人员能够更好地理解本申请的技术方案，以下将结合具体的实施例说明本申请的技术方案。
实施例1
在衬底10的表面，采用磁控溅射法溅射重量比为1:1二氧化硅与氧化铝，在衬底10形成厚度为20nm的水汽阻隔层20，形成图1所示的水汽阻隔膜。具体的工艺及原料参数与溅射速率见表1。
实施例2
制备方法同实施例1，具体的工艺及原料参数见表1。
实施例3
制备方法同实施例1，具体的工艺及原料参数见表1。
实施例4
制备方法同实施例1，具体的工艺及原料参数见表1。
实施例5
制备方法同实施例1，具体的工艺及原料参数见表1。
实施例6
制备方法同实施例1，具体的工艺及原料参数见表1。
实施例7
制备方法同实施例1，具体的工艺及原料参数见表1。
对比例1
制备方法同实施例1，具体的工艺及原料参数见表1。
表1
对各实施例与对比例的水汽阻隔膜进行测试，采用ASTMD1003对其透光率与雾度进行测试，采用ASTME1164对其透射颜色值在红绿色度方向上的值(即a*(T)值)与黄蓝色度方向上的值(即b*(T)值)进行测试，用刀片在各实施例与对比例的水汽阻隔膜上划100个小方格后，使用胶带黏住后撕掉，观察小方格脱落的个数，进而确认对其附着力ASTMD3359，采用钙材料测试法对其水汽阻隔率进行测试，测试的结果见表2。
表2
从以上的描述中，可以看出，本申请上述的实施例实现了如下技术效果：
1)、本申请中的水汽阻隔膜中，水汽阻隔层中的硅氧化物与上述铝氧化物的重量比在1：1～7:3之间，且水汽阻隔膜的厚度在20～200nm之间时，水汽阻隔膜能够较好地阻挡外界液体与气体的侵入，进而提高了使用该水汽阻隔膜的器件的寿命。
2)、本申请的水汽阻隔膜的制备方法制备得到的水汽阻隔膜具有较好的阻隔水汽的性能。
3)、本申请的显示器包含本申请中的水汽阻隔膜，由于本申请中的水汽阻隔膜具有良好的水汽阻隔性能，使得显示器的各项性能不会受到水汽的影响，进而保证了显示器具有较长的寿命。
以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种水汽阻隔膜，包括衬底(10)与设置在所述衬底(10)表面的水汽阻隔层(20)，其特征在于，所述水汽阻隔层(20)包括硅氧化物与铝氧化物，且所述硅氧化物与所述铝氧化物的重量比在1:1～7:3之间，所述水汽阻隔膜的厚度在20～200nm之间。
2.根据权利要求1所述的水汽阻隔膜，其特征在于，所述硅氧化物与所述铝氧化物的重量比为1：1，所述水汽阻隔层(20)的厚度在20～40nm之间。
3.根据权利要求1所述的水汽阻隔膜，其特征在于，所述硅氧化物与所述铝氧化物的重量比为7:3，所述水汽阻隔层(20)的厚度在180～200nm之间。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的水汽阻隔膜，其特征在于，所述硅氧化物为二氧化硅。
5.根据权利要求4所述的水汽阻隔膜，其特征在于，所述铝氧化物为氧化铝。
6.根据权利要求1所述的水汽阻隔膜，其特征在于，所述衬底(10)的厚度在25～125μm之间。
7.根据权利要求1所述的水汽阻隔膜，其特征在于，所述衬底(10)为PET衬底。
8.一种权利要求1至7中任一项所述的水汽阻隔膜的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括采用磁控溅射法、电子束蒸镀法或等离子体增强化学气相沉积法将硅氧化物与铝氧化物沉积在衬底上形成水汽阻隔膜。
9.一种显示器，包括水汽阻隔膜，其特征在于，所述水汽阻隔膜为权利要求1至7中任一项所述的水汽阻隔膜。
10.根据权利要求9所述的显示器，其特征在于，所述显示器为OLED显示器。
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