CN105355545A - 提高p型铟镓砷薄膜掺杂浓度的方法、薄膜的制备方法及其应用 - Google Patents
提高p型铟镓砷薄膜掺杂浓度的方法、薄膜的制备方法及其应用 Download PDFInfo
- Publication number
- CN105355545A CN105355545A CN201510917803.8A CN201510917803A CN105355545A CN 105355545 A CN105355545 A CN 105355545A CN 201510917803 A CN201510917803 A CN 201510917803A CN 105355545 A CN105355545 A CN 105355545A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- indium gallium
- film
- gallium arsenic
- type
- arsenic film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 31
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims abstract description 22
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 8
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 52
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 51
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 47
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 19
- GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N Indium phosphide Chemical compound [In]#P GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 6
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 claims description 6
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 5
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 claims description 4
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 238000010792 warming Methods 0.000 claims description 2
- 229910000530 Gallium indium arsenide Inorganic materials 0.000 abstract description 12
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 4
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 abstract description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 abstract description 3
- 238000002161 passivation Methods 0.000 abstract description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract 1
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 46
- 150000001721 carbon Chemical group 0.000 description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- 230000005518 electrochemistry Effects 0.000 description 3
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 3
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 2
- HJUGFYREWKUQJT-UHFFFAOYSA-N tetrabromomethane Chemical compound BrC(Br)(Br)Br HJUGFYREWKUQJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RBFQJDQYXXHULB-UHFFFAOYSA-N arsane Chemical compound [AsH3] RBFQJDQYXXHULB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000070 arsenic hydride Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H01L21/208—
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/32—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures
- H01S5/323—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
本发明涉及P型铟镓砷薄膜生长技术领域,具体公开了提高P型铟镓砷薄膜掺杂浓度的方法,将掺杂碳的铟镓砷薄膜,在氮气环境下进行降温退火,退火温度从550±10℃均匀降到400±10℃,时间为5±1min,压力为50±5mbar。该方法能够减弱MOCVD反应室内氢钝化效应对掺杂碳原子的影响,能够破坏C-H化学键,使InGaAs薄膜中的碳原子得到充分激活,获得高P型掺杂浓度的InGaAs薄膜。该方法能够用于半导体器件结构的制备中。
Description
技术领域
本发明涉及P型铟镓砷薄膜生长技术领域。
背景技术
P型铟镓砷薄膜广泛应用于半导体器件结构中,为了获得高性能的半导体器件,往往需要高P型掺杂浓度的铟镓砷薄膜。
金属有机化学气相沉积法(MOCVD)生长制备掺杂碳的P型铟镓砷薄膜,很难获得高P型掺杂浓度,空穴载流子浓度较低,一般小于1E19cm-3(电化学CV测试),主要原因在于,C在InGaAs中是两性杂质,容易与反应室中的H原子结合(氢钝化效应),C原子被H原子束缚,无法释放出空穴。并且In-C化学键的键能较小,结合较难,所以InGaAs的In组分越大,掺C的浓度越低。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种提高P型铟镓砷薄膜掺杂浓度的方法,能够激活铟镓砷薄膜中的碳原子释放出空穴,提高P型掺杂浓度,具有实施简单的优点。
进一步地,本发明还提供了一种提高P型铟镓砷薄膜掺杂浓度的P型铟镓砷薄膜的制备方法,能够减弱MOCVD反应室内氢钝化效应对掺杂碳原子的影响,破坏C-H化学键,使InGaAs薄膜中的碳原子得到充分激活,获得高P型掺杂浓度的铟镓砷薄膜。
本发明还提供了上述高掺杂P型铟镓砷薄膜的制备方法的应用,用于半导体器件结构中的P型铟镓砷薄膜制备,能够制得高性能的半导体器件。
为解决上述技术问题,本发明所采取的技术方案是:一种提高P型铟镓砷薄膜掺杂浓度的方法,包括以下步骤:将掺杂碳的铟镓砷薄膜,在氮气环境下进行降温退火,退火温度从550±10℃均匀降到400±10℃,时间为5±1min,压力为50±5mbar。
优选的,退火温度从550℃均匀降到400℃,时间为5min,压力为50mbar。
优选的,所述铟镓砷薄膜为InxGa(1-x)As,x为0.4-0.6。
一种提高P型铟镓砷薄膜掺杂浓度的P型铟镓砷薄膜的制备方法,包括以下步骤:
S1、采用金属有机化学气相沉积法(MOCVD)在衬底上生长掺杂碳的P型铟镓砷薄膜;
S2、将掺杂碳的铟镓砷薄膜,在氮气环境下进行降温退火,退火温度从550±10℃均匀降到400±10℃,时间为5±1min,压力为50±5mbar。
进一步地,步骤S1中,MOCVD设备反应室压力50±5mbar,温度为450±10℃,设备载气为H2,按摩尔比向反应室内通入铟源、镓源、砷源和碳源,在半绝缘型磷化铟衬底的(100)晶面上生长掺杂碳的铟镓砷薄膜,生长完后将设备载气由H2转为N2,停止通入各材料的源,将反应室在2±0.2min内线性升温至550±10℃。
进一步地,铟源、镓源和砷源的通入量为:As/(In+Ga)摩尔比为1.2±0.2。
进一步地,S2步骤退火后制得的高掺杂P型铟镓砷薄膜的载流子浓度为8.5E19cm-3-2E19cm-3。
如前所述的高掺杂P型铟镓砷薄膜的制备方法的应用,用于磷化铟基双异质结晶体管的基区的制备,或用于磷化铟基激光器或探测器的P型表面电极接触层的制备,或用于磷化铟基平面掺杂势垒二极管结构中的P型掺杂层的制备。
采用上述技术方案所产生的有益效果在于:本发明提高P型铟镓砷薄膜掺杂浓度的方法采用退火降温的方式,使InGaAs薄膜中的碳原子得到充分激活,释放出空穴,能够获得高P型掺杂浓度。
本发明制备高掺杂P型铟镓砷薄膜的方法,通过MOCVD生长制备掺杂碳的P型铟镓砷薄膜后,再采用退火降温的方式,能够破坏薄膜中的C-H化学键,形成空穴、电子和H+,使InGaAs薄膜中的碳原子得到充分激活,获得高P型掺杂浓度的铟镓砷薄膜。本方法采用原位退火的方式,适用于MOCVD设备,能够直接应用于现有MOCVD制备外延层薄膜的技术,操作简单。
本发明将上述薄膜的制备方法应用于磷化铟基双异质结晶体管的基区的制备,能够减小基区电阻,提高器件频率;用于磷化铟基激光器或探测器的P型表面电极接触层的制备,能够减小欧姆接触电阻,提高器件转换效率;用于磷化铟基平面掺杂势垒二极管结构中的P型掺杂层的制备,能够提高面电荷密度,提高势垒高度。
附图说明
图1是本发明提高P型铟镓砷薄膜掺杂浓度的P型铟镓砷薄膜的制备方法实施例的温度曲线图;
图2-4是本发明制备方法实施例制得不同组分浓度InGaAs薄膜经降温退火后的电化学CV测试曲线图。
具体实施方式
为了能够更加清楚地描述本发明,下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
采用金属有机化学气相沉积法(MOCVD)生长掺杂碳的P型InGaAs薄膜,所用源材料为:In源:TMIn、Ga源:TMGa、As源:AsH3、C源:CBr4。薄膜生长完后进行原位退火,制得高掺杂P型InGaAs薄膜。具体步骤如下。
1.将3英寸(100)晶面半绝缘型InP衬底(厚度为620um)放入MOCVD反应室内,反应室压力由1000±5mbar降至50±5mbar,时间为10±1min,设备载气由N2转为H2。将反应室由室温线性升温到450±10℃,时间为10±1min。
2.打开所有源阀门,在3英寸(100)晶面半绝缘型InP衬底上生长0.5um的InGaAs掺C薄膜,保持温度为450±10℃,时间为20±2min,压力为50±5mbar,控制As/(In+Ga)摩尔比为1.2±0.2。
3.生长完后将设备载气由H2转为N2,关闭所有的源阀门,线性升温至550±10℃,时间为2±0.2min。
4.进行MOCVD原位退火工艺,采用降温退火的工艺方式,退火温度从550±10℃线性降温到400±10℃,时间为5±1min,压力为50±5mbar。目的是使基区InGaAs中的碳原子得到充分激活,获得高p型掺杂浓度。
采用上述方法,薄膜生长过程中控制In和Ga的不同摩尔比,制备不同组分浓度的InxGa(1-x)As薄膜,分别为In0.4Ga0.6As掺C薄膜、In0.53Ga0.47As掺C薄膜和In0.6Ga0.4As掺C薄膜。
利用电化学CV测试设备分别测试上述In组分x为0.4、0.53、0.6的InxGa(1-x)As掺C薄膜的掺杂浓度分布。参见图2-4,测得x为0.4时的掺杂浓度为8.5E19cm-3,x为0.53时的掺杂浓度为4.2E19cm-3,x为0.6时的掺杂浓度为2E19cm-3。且从图中能够看出,掺杂浓度均匀。
将上述薄膜的制备方法应用于磷化铟基双异质结晶体管的基区的制备,能够减小基区电阻,提高器件频率;用于磷化铟基激光器或探测器的P型表面电极接触层的制备,能够减小欧姆接触电阻,提高器件转换效率;用于磷化铟基平面掺杂势垒二极管结构中的P型掺杂层的制备,能够提高面电荷密度,提高势垒高度。
Claims (8)
1.一种提高P型铟镓砷薄膜掺杂浓度的方法,其特征在于:包括以下步骤:将掺杂碳的铟镓砷薄膜,在氮气环境下进行降温退火,退火温度从550±10℃均匀降到400±10℃,时间为5±1min,压力为50±5mbar。
2.根据权利要求1所述的一种提高P型铟镓砷薄膜掺杂浓度的方法,其特征在于,退火温度从550℃均匀降到400℃,时间为5min,压力为50mbar。
3.根据权利要求1所述的一种提高P型铟镓砷薄膜掺杂浓度的方法,其特征在于,所述铟镓砷薄膜为InxGa(1-x)As,x为0.4-0.6。
4.一种提高P型铟镓砷薄膜掺杂浓度的P型铟镓砷薄膜的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:
S1、采用金属有机化学气相沉积法在衬底上生长掺杂碳的P型铟镓砷薄膜;
S2、将掺杂碳的铟镓砷薄膜,在氮气环境下进行降温退火,退火温度从550±10℃均匀降到400±10℃,时间为5±1min,压力为50±5mbar。
5.根据权利要求4所述一种提高P型铟镓砷薄膜掺杂浓度的P型铟镓砷薄膜的制备方法,其特征在于:步骤S1中,金属有机化学气相沉积法反应室压力50±5mbar,温度为450±10℃,设备载气为H2,按摩尔比向反应室内通入铟源、镓源、砷源和碳源,在半绝缘型磷化铟衬底的(100)晶面上生长掺杂碳的铟镓砷薄膜,生长完后将设备载气由H2转为N2,停止通入各材料的源,将反应室在2±0.2min内线性升温至550±10℃。
6.根据权利要求5所述的一种提高P型铟镓砷薄膜掺杂浓度的P型铟镓砷薄膜的制备方法,其特征在于:铟源、镓源和砷源的通入量为:As/(In+Ga)摩尔比为1.2±0.2。
7.根据权利要求4所述的一种提高P型铟镓砷薄膜掺杂浓度的P型铟镓砷薄膜的制备方法,其特征在于:S2、退火后制得的高掺杂P型铟镓砷薄膜的载流子浓度为8.5E19cm-3-2E19cm-3。
8.根据权利要求4所述的一种提高P型铟镓砷薄膜掺杂浓度的P型铟镓砷薄膜的制备方法的应用,其特征在于:用于磷化铟基双异质结晶体管的基区的制备,或用于磷化铟基激光器或探测器的P型表面电极接触层的制备,或用于磷化铟基平面掺杂势垒二极管结构中的P型掺杂层的制备。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510917803.8A CN105355545A (zh) | 2015-12-10 | 2015-12-10 | 提高p型铟镓砷薄膜掺杂浓度的方法、薄膜的制备方法及其应用 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510917803.8A CN105355545A (zh) | 2015-12-10 | 2015-12-10 | 提高p型铟镓砷薄膜掺杂浓度的方法、薄膜的制备方法及其应用 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN105355545A true CN105355545A (zh) | 2016-02-24 |
Family
ID=55331487
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201510917803.8A Pending CN105355545A (zh) | 2015-12-10 | 2015-12-10 | 提高p型铟镓砷薄膜掺杂浓度的方法、薄膜的制备方法及其应用 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN105355545A (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107359219A (zh) * | 2017-05-31 | 2017-11-17 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 磷化铟扩散方法 |
CN112048711A (zh) * | 2019-06-06 | 2020-12-08 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种供气管路和气相沉积设备 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0964054A (ja) * | 1995-08-21 | 1997-03-07 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | バイポーラトランジスタの作製方法 |
US5686350A (en) * | 1994-11-15 | 1997-11-11 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Method for fabricating defect-free compound semiconductor thin film on dielectric thin film |
JPH1154528A (ja) * | 1997-08-07 | 1999-02-26 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | p型化合物半導体薄膜成長法 |
JP2000012557A (ja) * | 1998-06-22 | 2000-01-14 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | バイポーラトランジスタの作製方法 |
-
2015
- 2015-12-10 CN CN201510917803.8A patent/CN105355545A/zh active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5686350A (en) * | 1994-11-15 | 1997-11-11 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Method for fabricating defect-free compound semiconductor thin film on dielectric thin film |
JPH0964054A (ja) * | 1995-08-21 | 1997-03-07 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | バイポーラトランジスタの作製方法 |
JPH1154528A (ja) * | 1997-08-07 | 1999-02-26 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | p型化合物半導体薄膜成長法 |
JP2000012557A (ja) * | 1998-06-22 | 2000-01-14 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | バイポーラトランジスタの作製方法 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
孙肖子: "《模拟电子技术》", 31 December 2001, 西安电子科技大学出版社 * |
徐安怀,陈晓杰,齐鸣,朱福英: "《气态源分子束外延生长重碳掺杂P型InGaAs研究》", 《功能材料与器件学报》 * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107359219A (zh) * | 2017-05-31 | 2017-11-17 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 磷化铟扩散方法 |
CN112048711A (zh) * | 2019-06-06 | 2020-12-08 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种供气管路和气相沉积设备 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
AU2021204644B2 (en) | Buried activated p-(Al,In)GaN layers | |
CN101661878B (zh) | 一种双元素delta掺杂生长P型GaN基材料的方法 | |
US8860038B2 (en) | Nitride semiconductor device and manufacturing method for the same | |
CN103531625A (zh) | 氮化物系化合物半导体元件 | |
WO2007116517A1 (ja) | 化合物半導体構造とその製造方法 | |
US20150084163A1 (en) | Epitaxial substrate, semiconductor device, and method for manufacturing semiconductor device | |
CN104241464A (zh) | 一种提高p型氮化镓掺杂浓度的外延生长方法 | |
US9099383B2 (en) | Semiconductor substrate and semiconductor device, and manufacturing method of semiconductor substrate | |
JP2015149391A (ja) | 高耐圧窒化ガリウム系半導体デバイス及びその製造方法 | |
CN103872197B (zh) | 一种提升GaN基LED芯片抗静电能力的外延生长方法 | |
Chang et al. | Selective area regrowth produces nonuniform Mg doping profiles in nonplanar GaN p–n junctions | |
CN111180527A (zh) | 一种GaN基PN二极管及其制备方法 | |
CN111211159A (zh) | 硅基氮化镓射频器件射频损耗的抑制方法 | |
CN114420754A (zh) | 改善高阻层的高电子迁移率晶体管外延片及其制备方法 | |
CN105355545A (zh) | 提高p型铟镓砷薄膜掺杂浓度的方法、薄膜的制备方法及其应用 | |
CN107887255B (zh) | 一种高阻GaN薄膜外延生长的方法 | |
CN111009468A (zh) | 一种半导体异质结构制备方法及其用途 | |
CN103700739B (zh) | 一种避免大尺寸外延片裂片的外延生长方法 | |
WO2004059742A1 (ja) | 高電子移動度エピタキシャル基板 | |
JP2004533725A (ja) | 半導体層成長方法 | |
US20120248577A1 (en) | Controlled Doping in III-V Materials | |
JP2007042936A (ja) | Iii−v族化合物半導体エピタキシャルウェハ | |
CN105633138A (zh) | 一种砷化镓基双异质结双极晶体管结构及制备方法 | |
US9761686B2 (en) | Semiconductor wafer, method of producing semiconductor wafer, and heterojunction bipolar transistor | |
KR101082773B1 (ko) | 화합물 반도체 소자 및 그 제조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20160224 |