CN105334675A - 光配向装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供能够缩短工件的处理的工序作业时间的光照射装置。光配向装置(1)具有以下结构：在两端部设有一对工件回收工位(PU1、PU2)，在中央部设有光照射器(5)，在工件回收工位(PU1、PU2)和光照射器(5)之间的、光照射器(5)的两端(E1、E2)附近位置上设有一对工件搭载工位(PL1、PL2)。

Description

光配向装置

技术领域

本发明涉及向工件照射偏振光进行光配向的光配向装置。

背景技术

以往，已知一种光配向装置，其具备光源和偏振器，通过该偏振器使来自光源的光偏振并向光配向膜(工件)照射，从而对光配向膜进行光配向(例如，参照专利文献1)。在该光配向装置中，通过将光配向膜载置在工作台上并搬运，由此对较大的光配向膜进行光配向(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002－350858号公报

发明内容

发明所要解决的问题

然而，在光配向装置中，期望缩短工件的处理的工序作业时间。

本发明就是鉴于上述情况而作出的，其目的在于提供能够缩短工件的处理的工序作业时间的光照射装置。

用于解决问题的技术方案

为了实现上述目的，本发明的光配向装置的特征在于，在两端部设有一对工件回收工位，在中央部设有光照射器，在工件回收工位和光照射器之间的、光照射器的两端附近位置上设有一对工件搭载工位。

在上述的结构中，也可以为，所述光配向装置具备搬运机构，所述搬运机构使工件按照一端部侧的工件搭载工位、中央部的光照射器的照射区域、一端部侧的工件回收工位的顺序往复，并且使工件按照另一端部侧的工件搭载工位、中央部的光照射器的照射区域、另一端部侧的工件回收工位的顺序往复，所述搬运机构在一个工件通过照射区域时，使另一个工件从工件搭载工位退避。也可以与其相反同样地，所述搬运机构在另一个工件通过照射区域时，使一个工件从工件搭载工位退避。

在上述的结构中，也可以为，所述光配向装置具备将工件搭载在工件搭载工位上的机器人装置，所述机器人装置构成为能够保持两个工件。

在上述的结构中，也可以为，所述搬运机构构成为能够在工件通过照射区域之前和之后改变工件的移动速度。

在上述的结构中，也可以为，在对所述另一个工件照射后，使所述另一个工件从工件搭载工位退避。也可以与其相反同样地，在对所述一个工件照射后，使所述一个工件从工件搭载工位退避。

在上述的结构中，也可以为，所述机器人装置构成为能够上下保持两个工件，且将照射之前的工件保持在下层而将照射后的工件保持在上层。

在上述的结构中，也可以为，所述机器人装置构成为能够将两个工件水平地保持在工件搭载工位侧和工件回收工位侧，且将照射之前的工件保持在工件搭载工位侧而将照射后的工件保持在工件回收工位侧。

另外，本发明的光配向装置的特征在于，在中央部设有光照射器，在光照射器的两端附近位置上设有一对工件搭载工位，所述光配向装置具备搬运机构，所述搬运机构使工件按照一端部侧的工件搭载工位、中央部的光照射器的照射区域、一端部侧的工件搭载工位的顺序往复，并且使工件按照另一端部侧的工件搭载工位、中央部的光照射器的照射区域、另一端部侧的工件搭载工位的顺序往复，所述搬运机构在一个工件通过照射区域时，使另一个工件从工件搭载工位退避。另外，所述搬运机构在另一个工件通过照射区域时，使一个工件从工件搭载工位退避。

在上述的结构中，也可以为，所述光配向装置具备将工件搭载在工件搭载工位上的机器人装置，所述机器人装置构成为能够保持两个工件。

在上述的结构中，也可以为，所述搬运机构构成为能够在工件通过照射区域之前和之后改变工件的移动速度。

在上述的结构中，也可以为，在对所述另一个工件照射后，使所述另一个工件从工件搭载工位退避。

在上述的结构中，也可以为，工件搭载工位兼作工件回收工位。

在上述的结构中，也可以为，所述机器人装置构成为能够上下保持两个工件，且将照射之前的工件保持在下层而将照射后的工件保持在上层。

发明效果

根据本发明，在两端部设有一对工件回收工位，在中央部设有光照射器，在工件回收工位和光照射器之间的、光照射器的两端附近位置上设有一对工件搭载工位，因此能够缩短工件的处理的工序作业时间。

附图说明

图1是示意性表示具备本发明的第一实施方式所涉及的光配向装置的光配向系统的俯视图。

图2是示意性表示光配向装置的主视图。

图3是表示偏振器单元的结构的图，图3(A)是俯视图，图3(B)是侧视剖视图。

图4是表示下游侧机器人装置60的图，图4(A)是俯视图，图4(B)是侧视图，图4(C)是主视图。

图5是示意性表示光配向照射系统的结构的俯视图，图5(A)表示第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图5(B)表示将光配向对象物搭载在第一和第二工件工作台上的状态的结构图。

图6是示意性表示光配向照射系统的结构的俯视图，图6(A)表示第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图6(B)表示使第一和第二工件工作台移动的状态的结构图。

图7是示意性表示光配向照射系统的结构的俯视图，图7(A)表示第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图7(B)表示在第二工件工作台的移动过程中从第一工件工作台回收光配向对象物的状态的结构图。

图8是示意性表示光配向照射系统的结构的俯视图，图8(A)表示第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图8(B)表示在第二工件工作台的移动过程中将光配向对象物搭载在第一工件工作台上的状态的结构图。

图9是示意性表示光配向照射系统的结构的俯视图，图9(A)表示第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图9(B)表示使第一和第二工件工作台移动的状态的结构图。

图10是示意性表示光配向照射系统的结构的俯视图，图10(A)表示第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图10(B)表示在第一工件工作台的移动过程中从第二工件工作台回收光配向对象物的状态的结构图。

图11是示意性表示光配向照射系统的结构的俯视图，图11(A)表示第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图11(B)表示在第一工件工作台的移动过程中将光配向对象物搭载在第二工件工作台上的状态的结构图。

图12是示意性表示光配向照射系统的结构的俯视图，图12(A)表示第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图12(B)表示使第一和第二工件工作台移动的状态的结构图。

图13是示意性表示光配向照射系统的结构的俯视图，图13(A)表示第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图13(B)表示在第二工件工作台的移动过程中从第一工件工作台回收光配向对象物的状态的结构图。

图14是示意性表示具备本发明的第二实施方式所涉及的光配向装置的光配向系统的俯视图。

图15是示意性表示光配向照射系统的结构的俯视图，图15(A)表示第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图15(B)表示将光配向对象物搭载在第一和第二工件工作台上的状态的结构图。

图16是示意性表示光配向照射系统的结构的俯视图，图16(A)表示第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图16(B)表示使第一和第二工件工作台移动的状态的结构图。

图17是示意性表示光配向照射系统的结构的俯视图，图17(A)表示第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图17(B)表示使第一和第二工件工作台移动的状态的结构图。

图18是示意性表示光配向照射系统的结构的俯视图，图18(A)表示第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图18(B)表示在第二工件工作台的移动过程中从第一工件工作台回收光配向对象物以及搭载光配向对象物的状态的结构图。

图19是示意性表示光配向照射系统的结构的俯视图，图19(A)表示第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图19(B)表示使第一和第二工件工作台移动的状态的结构图。

图20是示意性表示光配向照射系统的结构的俯视图，图20(A)表示第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图20(B)表示在第一工件工作台的移动过程中从第二工件工作台回收光配向对象物以及搭载光配向对象物的状态的结构图。

图21是示意性表示光配向照射系统的结构的俯视图，图21(A)表示第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图21(B)表示使第一和第二工件工作台移动的状态的结构图。

附图标记的说明

1光配向装置

5光照射器

6直动机构(往复机构)

60、260机器人装置

100、200光配向系统

E1一端

E2另一端

PU1、PU2回收位置(工件回收工位)

PL1、PL2搭载位置(工件搭载工位)

W光配向对象物(工件)

具体实施方式

＜第一实施方式＞

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

图1是示意性表示具备第一实施方式所涉及的光配向装置的光配向系统的俯视图，图2是示意性表示光配向装置的主视图。

光配向系统100如图1和图2所示，被构成为具备光配向装置1、搬入搬出装置20、上游侧机器人装置30、清洁器40、回转单元(角度调整装置)50、下游侧机器人装置60、以及控制装置(控制部)70。该光配向系统100例如配置在洁净室等杂质较少的环境中。

光配向装置1是向俯视时呈矩形形成的板状、或带状的光配向对象物(工件)W的光配向膜照射偏振光而进行光配向的光照射装置。该光配向装置1具备工件工作台(搬运工作台、支承部件)2、工作台搬运架台3、照射器设置架台4、以及光照射器5。

工件工作台2例如是大致四边形板状的工作台，并在工作台搬运架台3上设置一对。工件工作台2在上表面通过下游侧机器人装置60载置有光配向对象物W并保持光配向对象物W。一对工件工作台2形成为相同形状，各工件工作台2形成为能够配置光配向对象物W的大小。

照射器设置架台4是在与工作台搬运架台3分离规定距离的上方位置上沿工作台搬运架台3的宽度方向(与下述的直动机构的直动方向X垂直的方向)横向架设的门体，照射器设置架台4的两个柱固定于工作台搬运架台3。照射器设置架台4除工件工作台2出入的部分以外均形成为遮光壁。照射器设置架台4内置有光照射器5，光照射器5向正下方照射偏振光。此外，为了分离伴随着工件工作台2的移动的振动和由光照射器5的冷却引起的振动，也可以将照射器设置架台4与工作台搬运架台3分体设置而不固定于该工作台搬运架台3上。工作台搬运架台3和照射器设置架台4可以具有防振结构。

在工作台搬运架台3的内部设置有直动机构(搬运机构)6，该直动机构(搬运机构)6在控制装置70的控制下以沿直动方向X在工作台搬运架台3的面上通过光照射器5的正下方的方式输送工件工作台2。在光配向对象物W的光配向时，载置在工件工作台2上的光配向对象物W被直动机构6沿直动方向X输送并通过光照射器5的正下方，在通过时暴露于偏振光从而对光配向膜进行配向。直动机构6被构成为能够改变使工件工作台2移动的速度。本实施方式的直动机构6例如被构成为直线电机式或带驱动式，但不限于此，能够使用各种机构。

如图2所示，光照射器5具备：在下表面具有光射出开口部7A的框体7；配置在该框体内的灯(光源)8和反射镜9；以及配置于光射出开口部7A的偏振器单元10。

框体7在与光配向对象物W分离规定距离的上方位置上被支承于照射器设置架台4。对于灯8，使用至少延伸至与光配向对象物W的长度方向的长度相等的长度以上的直管型(棒状)的紫外线灯。即，灯8的长轴L与正交于直动方向X的方向一致。该灯8是放电灯，并基于控制装置70的控制进行亮灯。反射镜9是剖面呈椭圆形、且沿灯8的长度方延伸的圆柱凹面反射镜，并聚集灯8的光而从光射出开口部7A朝向偏振器单元10进行照射。

光射出开口部7A是形成于灯8的正下方的俯视呈矩形状的开口部，且光射出开口部7A的长度方向设置为与灯8的长度方向一致。另外，虽然省略了图示，但在光射出开口部7A的内侧设置有对要透射过的光的波长进行选择的波长选择滤光器，通过该波长选择滤光器，光照射器5照射所期望的波长的光。在本实施方式中，设置了波长选择滤光器，但在灯8自身能够射出所期望的波长的光的情况下，也可以省略波长选择滤光器。

在本实施方式中，框体7设置为接近光配向对象物W，光射出开口部7A的大小相当于照射区域R的大小。另外，照射区域R的中心轴与灯8的长轴L一致。

在工作台搬运架台3的内部设置有与各工件工作台2对应设置并驱动工件工作台2旋转的旋转驱动机构(未图示)。该旋转驱动机构在控制装置70的控制下，以光配向对象物W成为光配向对象物W的一对边与灯8的长轴L一致(平行)且光配向对象物W的另外一对边与灯8的长轴L正交的正姿态的方式，使工件工作台2旋转，从而对光配向对象物W的角度进行微调整。另外，在光配向对象物W的照射所需的偏振光的偏振轴角度相对于灯8的长轴L为规定角度的情况下，旋转驱动机构使工件工作台2旋转规定角度。

图3是表示偏振器单元10的结构的图，图3(A)是俯视图，图3(B)是侧视剖视图。

如图3所示，偏振器单元10具备：多个单位偏振器单元12；以及将这些单位偏振器单元12横排地排列成一列的框架14。框架14是将各单位偏振器单元12连接配置的板状的框体。单位偏振器单元12具备形成为大致矩形板状的线栅型偏振器(偏振器)16。

在本实施方式中，各单位偏振器单元12对线栅型偏振器16以线方向A与直动方向X平行的方式进行支承，并设为与该线方向A正交的方向和线栅型偏振器16的排列方向B一致。

线栅型偏振器16是直线偏振器的一种，并且在基板的表面上形成有栅极。如上所述，由于灯8是棒状，因此，虽然各种角度的光入射到线栅型偏振器16，但即使是倾斜入射的光，线栅型偏振器16也使这些光直线偏振化并透射过。

线栅型偏振器16以其法线方向为转动轴在面内转动而能够对偏振轴C1的方向进行微调整的方式被支承于单位偏振器单元12。即，多个线栅型偏振器16以能够微调整偏振轴C1的方向的方式相互空出间隙地配置。

在工作台搬运架台3设置有测量单元18，该测量单元18基于控制装置70的控制检测偏振光，并测量偏振光的偏振方向、以及消光比。基于该测量单元18测量出的偏振光的偏振方向，调整线栅型偏振器16的偏振轴C1的方向。

对于所有的单位偏振器单元12，线栅型偏振器16的偏振轴C1被微调整成与规定的照射基准方向对齐，由此获得在偏振器单元10的长轴方向的整个长度上偏振轴C1高精度地被对齐的偏振光，从而能够实现高品质的光配向。单位偏振器单元12的上端和下端通过螺钉(固定单元)19被固定于框架14，由此偏振轴C1调整后的线栅型偏振器16被固定配置于框架14。

如图1所示，搬入搬出装置20具备与工作台搬运架台3平行设置的主体21，并在该主体21上具备载置多个光配向对象物W的载置台22。光配向对象物W从外部被搬入到该载置台22，并且光配向后的光配向对象物W被载置于载置台22，并从该载置台22向下一处理装置搬出。在本实施方式中，设置有四个载置台22，但载置台22的数量不限于此，例如，也可以设置搬入用的载置台22和搬出用的载置台22。

上游侧机器人装置30被构成为具备：与工作台搬运架台3平行设置的平台31；支承在该平台31上的机器人32；以及使机器人32沿直动方向X往复移动的往复驱动机构33。机器人32具备能够旋转和伸缩的臂32A、以及固定于臂32A并保持光配向对象物W的保持部32B。臂32A在水平面上能够旋转地支承于平台31。本实施方式的臂32A是具有转动自如的多个关节而伸缩自如地构成的多关节臂，但臂32A的结构不限于此。机器人32在控制装置70的控制下沿直动方向X移动并且使臂32A移动，从而在搬入搬出装置20、清洁器40以及回转单元50之间交接光配向对象物W。

清洁器40被构成为具备：与上游侧机器人装置30的平台31平行且邻接设置的平台41；除去光配向对象物W的表面的杂质的清洁单元42；以及使光配向对象物W朝向清洁单元42移动的移动机构43。清洁单元42沿与直动方向X正交的方向(长轴L的方向)设置于平台41的上方。清洁单元42被构成为能够基于控制装置70的控制从下方吹出空气等气体。移动机构43是在控制装置70的控制下使光配向对象物W以沿直动方向X在平台41的面上通过清洁单元42的正下方的方式进行移动的机构，例如构成为带式。

光配向对象物W被移动机构43沿直动方向X输送而通过清洁单元42的正下方，在通过时被吹附气体，从而除去附着于光配向对象物W的杂质。另外，在清洁器40中，虽然图示省略，但设置有除去静电的静电消除器，在清洁器40中，光配向对象物W的静电也被除去。此外，在本实施方式中，清洁器40具备移动机构43，但如果清洁单元42为能够在光配向对象物W的光配向膜整个面上吹出气体的结构，则也可以省略该移动机构43。另外，也可以取代使光配向对象物W移动的移动机构43，设置使清洁单元42能够沿直动方向X移动的移动机构(未图示)。

回转单元50设置为与上游侧机器人装置30的平台31邻接，并与清洁器40并排设置。回转单元50具备基于控制装置70的控制载置光配向对象物W并调整光配向对象物W的角度的调整工作台51。回转单元50以成为光配向对象物W的一对边与灯8的长轴L一致(平行)、光配向对象物W的另外一对边与灯8的长轴L正交的正姿态的方式来调整光配向对象物W的角度。

图4是表示下游侧机器人装置60的图，图4(A)是俯视图，图4(B)是侧视图，图4(C)是主视图。

如图1及图4所示，下游侧机器人装置60被构成为具备：与工作台搬运架台3平行设置的平台61；支承于该平台61的机器人62；以及使机器人62沿直动方向X往复移动的往复驱动机构63。机器人62具备：能够旋转和伸缩的臂62A；以及固定于臂62A并保持光配向对象物W的一对保持部62B。臂62A在水平面上能够旋转地支承于平台61。本实施方式的臂62A是具有转动自如的多个关节而伸缩自如地构成的多关节臂，但臂62A的结构不限于此。保持部62B与多个保持杆62B1平行排列地构成，光配向对象物W被配置并保持在这些保持杆62B1上。一对保持部62B在本实施方式中上下设置，机器人62被构成为能够将两个光配向对象物W上下并列地保持。在这种情况下，机器人62将照射前的光配向对象物W保持在下层的保持部62B而将照射后的光配向对象物W保持在上层的保持部62B上，从而能够减少照射前的光配向对象物W的移动。由此，能够更加精度良好地维持由回转单元50调整后的光配向对象物W的角度，从而能够提高光配向精度。具体而言，机器人62被构成为，具备上下配置的两个臂62A，各个臂62A以能够上下移动的方式被支承在上下延伸的支承体62C上，且在各个臂62A上分别设有保持杆62B1。

此外，也可以将一对保持部62B水平地并排设置。在这种情况下，机器人62就光照射器5的一端E1侧而言，构成为将两个光配向对象物W保持在搭载(后述的搭载位置PL1)侧和回收(后述的回收位置PU1)侧，且将照射前的光配向对象物W保持在搭载侧而将照射后的光配向对象物W保持在回收侧。另外，机器人62就光照射器5的另一端E2侧而言，构成为将两个光配向对象物W保持在搭载(后述的搭载位置PL2)侧和回收(后述的回收位置PU2)侧，且将照射前的光配向对象物W保持在搭载侧而将照射后的光配向对象物W保持在回收侧。由此，能够减少照射前的光配向对象物W的移动，从而更加精度良好地维持由回转单元50调整后的光配向对象物W的角度，其结果是，能够提高光配向精度。

往复驱动机构63可以使用各种机构。作为其一例，在本实施方式中，作为直线电机致动器而构成。具体而言，往复驱动机构63被构成为具备设于平台61的磁罗盘(未图示)及直线轨道63A、和设于机器人62的直线电机(未图示)及直线导向件63B。另外，直线轨道63A不局限于直线轨道，也可以使用各种轨道。

机器人62在控制装置70的控制下沿直动方向X移动并且使臂62A移动，从而在一对工件工作台和回转单元50之间交接光配向对象物W。

在光配向装置1的工件工作台2中设有用于在与下游侧机器人装置60之间交接光配向对象物W的多个驱动销(未图示)。这些驱动销以能够保持光配向对象物W的间隔配置在多个保持杆62B1之间的位置上，并通过销驱动机构(未图示)上下移动。驱动销从工件工作台2的上表面突出并从下游侧机器人装置60接收光配向对象物W，然后收纳到工件工作台2内，由此光配向对象物W被载置在工件工作台2的上表面。另外，驱动销从工件工作台2的上表面突出，由此光配向对象物W离开工件工作台2，并由下游侧机器人装置60保持。通过这些驱动销，在维持被回转单元50调整后的光配向对象物W的角度的状态下，能够在工件工作台2与下游侧机器人装置60之间交接光配向对象物W。

光配向装置1、搬入搬出装置20、上游侧机器人装置30、清洁器40和回转单元50、以及下游侧机器人装置60沿灯8的长轴L方向相互并列地配置。

控制装置70是控制光配向系统100整体的控制部，并具备：存储控制直动机构6等各部分的控制程序的存储部71；以及执行控制程序的执行部72。此外，构成为控制程序可被计算机读取，控制装置70也可以例如使个人计算机执行该控制程序来实施。

此外，光配向系统100具备搬入搬出装置20和上游侧机器人装置30，但也可以将搬入搬出装置20和上游侧机器人装置30构成作为与光配向系统100不同的供给系统。该情况下，可以设置光配向系统100和供给系统的控制装置，例如，也可以独立设置光配向系统100的控制装置和供给系统的控制装置，使各控制装置协同动作。

接下来，对光配向对象物W相对于一对工件工作台2的搭载位置和回收位置进行说明。

在此，为了便于说明，将一个工件工作台2称作第一工件工作台2A，将另一个工件工作台2称作第二工件工作台2B。

如图1所示，光配向对象物W向第一工件工作台2A的搭载位置(工件搭载工位)PL1和光配向对象物W从第一工件工作台2A的回收位置(工件回收工位)PU1被设定在光照射器5的一端E1侧，位置各不相同。更具体而言，在回收位置PU1和光照射器5之间，搭载位置PL1被设定在光照射器5的一端E1附近位置。

同样地，光配向对象物W向第二工件工作台2B的搭载位置(工件搭载工位)PL2和光配向对象物W从第二工件工作台2B的回收位置(工件回收工位)PU2被设定在光照射器5的另一端E2侧，位置各不相同。更具体而言，在回收位置PU2和光照射器5之间，搭载位置PL2被设定在光照射器5的另一端E2附近位置。

此外，在图1中，用实线表示搭载位置PL1、PL2的工件工作台2，用双点划线表示回收位置PU1、PU2的工件工作台2。另外，在图5～图13中，搭载位置PL1、PL2和回收位置PU1、PU2在它们的中心标注附图标记来表示。

在位于搭载位置PL1的第一工件工作台2A与照射区域R之间，设有小于第二工件工作台2B上的光配向对象物W通过照射区域R的量的空间S1。

同样地，在位于搭载位置PL2的第二工件工作台2B与照射区域R之间，设有小于第一工件工作台2A上的光配向对象物W通过照射区域R的量的空间S1。

另外，在位于回收位置PU1的第一工件工作台2A与照射区域R之间，设有第二工件工作台2B上的光配向对象物W通过照射区域R的量以上的空间S2。

同样地，在位于回收位置PU2的第二工件工作台2B和照射区域R之间，设有第一工件工作台2A上的光配向对象物W通过照射区域R的量以上的空间S2。

清洁器40设置在一端E1侧，回转单元50以使调整工作台51上的光配向对象物W的中心与搭载位置PL2的中心一致的方式设置在另一端E2侧。清洁器40和回转单元50的位置可以交换，该情况下，回转单元50以使调整工作台51上的光配向对象物W的中心与搭载位置PL1的中心一致的方式配置即可。

下游侧机器人装置60形成为能够将机器人62从第一工件工作台2A的与回收位置PU1对应的位置(在直动方向X上成为大致相同的位置)移动至第二工件工作台2B的与回收位置PU2对应的位置的长度。

接下来，参照图1、图5～图13对光配向系统100的动作进行说明。此外，在图5～图13中，省略搬入搬出装置20和上游侧机器人装置30的图示。

在初始状态下，如图1和图5所示，第一工件工作台2A和第二工件工作台2B分别位于搭载位置PL1、PL2，并且机器人62位于与搭载位置PL2对应的位置，灯8被亮灯。此外，在以下的说明中，相对于第一工件工作台2A和第二工件工作台2B接收光配向对象物W时的驱动销的动作、以及将光配向对象物W载置在第一工件工作台2A和第二工件工作台2B上时的旋转驱动机构的动作省略。另外，按照对光配向对象物W进行光配向的顺序，称作光配向对象物WA、WB、WC、WD、WE、WF。另外，在图5中，附图标记D1表示第一工件工作台2A的中心移动范围，附图标记D2表示第二工件工作台2B的中心移动范围。

首先，机器人32从搬入搬出装置20接收光配向对象物WA，通过清洁器40除去光配向对象物WA的杂质和静电之后，将光配向对象物WA载置在回转单元50的调整工作台51上。此时，机器人32在清洁器40和回转单元50之间移动。

回转单元50使光配向对象物WA处于正姿态之后，机器人62从回转单元50接收光配向对象物WA，向与搭载位置PL1对应的位置移动，并将光配向对象物WA搭载在搭载位置PL1的第一工件工作台2A上。

另一方面，机器人32将光配向对象物WA载置在回转单元50的调整工作台51上之后，从搬入搬出装置20接收下一个光配向对象物WB，通过清洁器40除去光配向对象物WB的杂质和静电之后，将光配向对象物WB载置在回转单元50的调整工作台51上。

另外，机器人62将光配向对象物WA搭载在第一工件工作台2A上之后，向与搭载位置PL2对应的位置移动，从回转单元50接收下一个光配向对象物WB，并将光配向对象物WB搭载在搭载位置PL2的第二工件工作台2B上。

如图6所示，直动机构6将第一工件工作台2A向另一端E2侧移动，并向光配向对象物WA照射偏振光。此时，直动机构6使第一工件工作台2A高速移动直至光配向对象物WA进入照射区域R，当光配向对象物WA进入照射区域R时，使第一工件工作台2A低速移动。

另外，在第一工件工作台2A的前往路径的移动过程中，直动机构6使第二工件工作台2B高速退避至回收位置PU2。如此，通过使第二工件工作台2B退避至回收位置PU2，即便使第一工件工作台2A移动至光配向对象物WA脱离照射区域R，也能够防止光配向对象物WA与光配向对象物WB发生干涉。因此，能够在第一工件工作台2A上的光配向对象物WA的整个面上进行光配向。

另一方面，机器人32将光配向对象物WB载置在回转单元50的调整工作台51上之后，从搬入搬出装置20接收下一个光配向对象物WC，通过清洁器40除去光配向对象物WC的杂质和静电之后，将光配向对象物WC载置在回转单元50的调整工作台51上。

另外，机器人62将光配向对象物WB搭载在第二工件工作台2B上之后，从回转单元50接收下一个光配向对象物WC。

当光配向对象物WA在前往路径中脱离照射区域R时，直动机构6如图7所示，使第一工件工作台2A反向而向一端E1侧移动，光配向对象物WA在返回路径中也被照射偏振光。另外，直动机构6使第二工件工作台2B追随第一工件工作台2A的返回路径的移动而向一端E1侧移动，光配向对象物WB被照射偏振光。此时，直动机构6使第二工件工作台2B高速移动，直至追上第一工件工作台2A(距离第一工件工作台2A规定的距离)，当第二工件工作台2B追上第一工件工作台2A时，使第二工件工作台2B低速移动。另外，直动机构6使第一工件工作台2A低速移动，直至光配向对象物WA脱离照射区域R，当光配向对象物WA脱离照射区域R时，使第一工件工作台2A高速移动至回收位置PU1。由此，在第二工件工作台2B的前往路径的移动过程中，能够使第一工件工作台2A退避至回收位置PU1。因此，即便使第二工件工作台2B移动直至光配向对象物WB脱离照射区域R，也能够防止光配向对象物WB与光配向对象物WA发生干涉，因此能够在第二工件工作台2B上的光配向对象物WB的整个面上进行光配向。

机器人62向与回收位置PU1对应的位置移动，并从回收位置PU1的第一工件工作台2A回收光配向对象物WA。此时，机器人62保持两个光配向对象物WA、WC。

另一方面，机器人32将光配向对象物WC载置在回转单元50的调整工作台51上之后，从搬入搬出装置20接收下一个光配向对象物WD，通过清洁器40除去光配向对象物WD的杂质和静电之后，将光配向对象物WD载置在回转单元50的调整工作台51上。

当光配向对象物WB在前往路径中脱离照射区域R时，直动机构6如图8所示，使第二工件工作台2B反向而向另一端E2侧移动，光配向对象物WB在返回路径中也被照射偏振光。另外，直动机构6使第一工件工作台2A追随第二工件工作台2B的返回路径的移动而移动至搭载位置PL1。此时，直动机构6使第二工件工作台2B低速移动，直至光配向对象物WB脱离照射区域R，并使第一工件工作台2A高速移动至搭载位置PL1。

机器人62向与搭载位置PL1对应的位置移动，将光配向对象物WC搭载在搭载位置PL1的第一工件工作台2A上。此时，机器人62保持光配向对象物WA。

另外，光配向对象物WD在回转单元50中处于待机之中。

另一方面，机器人32将光配向对象物WD载置在回转单元50的调整工作台51上之后，从搬入搬出装置20接收下一个光配向对象物WE，并通过清洁器40除去光配向对象物WE的杂质和静电。

如图9所示，直动机构6使第一工件工作台2A追随第二工件工作台2B的返回路径的移动而进行移动。此时，直动机构6使第一工件工作台2A高速移动，直至追上第二工件工作台2B(距离第二工件工作台2B规定的距离)。另外，当光配向对象物WB脱离照射区域R时，直动机构6使第二工件工作台2B高速移动。

机器人62向与搭载位置PL2对应的位置移动，从回转单元50接收下一个光配向对象物WD，并且将光配向对象物WA载置在回转单元50的调整工作台51上。

回转单元50使光配向对象物WA处于正姿态之后，机器人32从回转单元50接收光配向对象物WA，并使光配向对象物WA向搬入搬出装置20返回。

另外，光配向对象物WE在清洁器40中处于待机之中。

如图10所示，直动机构6使第一工件工作台2A进一步移动，并向光配向对象物WC照射偏振光。此时，直动机构6使第一工件工作台2A低速移动，直至光配向对象物WC脱离照射区域R，当光配向对象物WB脱离照射区域R时，使第二工件工作台2B高速移动至回收位置PU2。

机器人62向与回收位置PU2对应的位置移动，并从回收位置PU2的第二工件工作台2B回收光配向对象物WB。此时，机器人62保持两个光配向对象物WB、WD。

另一方面，在从回转单元50中取出光配向对象物WA之后，机器人32从清洁器40接收光配向对象物WE，并将光配向对象物WE载置在回转单元50的调整工作台51上。

如图11所示，直动机构6使第二工件工作台2B追随第一工件工作台2A的返回路径的移动而高速移动至搭载位置PL2。此时，直动机构6使第一工件工作台2A低速移动，直至光配向对象物WC脱离照射区域R。

机器人62向与搭载位置PL2对应的位置移动，并将光配向对象物WD搭载在搭载位置PL2的第二工件工作台2B上。此时，机器人62保持光配向对象物WB。

另外，光配向对象物WE在回转单元50中处于待机之中。

另一方面，机器人32将光配向对象物WE载置在回转单元50的调整工作台51上之后，从搬入搬出装置20接收下一个光配向对象物WF，通过清洁器40除去光配向对象物WF的杂质和静电。

如图12所示，直动机构6使第二工件工作台2B追随第一工件工作台2A的返回路径的移动而进行移动，并且第二工件工作台2B上的光配向对象物WD被照射偏振光。此时，当光配向对象物WC脱离照射区域R时，直动机构6使第一工件工作台2A高速移动。另外，直动机构6使第二工件工作台2B高速移动，直至追上第一工件工作台2A。

机器人62从回转单元50接收下一个光配向对象物WE，并将光配向对象物WB载置在回转单元50的调整工作台51上。

回转单元50使光配向对象物WB处于正姿态之后，机器人32从回转单元50接收光配向对象物WB，并使光配向对象物WB向搬入搬出装置20返回。

另外，光配向对象物WF在清洁器40中处于待机之中。

如图13所示，直动机构6在第一工件工作台2A的返回路径的移动时，使第一工件工作台2A高速移动至回收位置PU1。直动机构6使第二工件工作台2B低速移动，直至光配向对象物WD脱离照射区域R。

机器人62向与回收位置PU1对应的位置移动，并从回收位置PU1的第一工件工作台2A回收光配向对象物WC。此时，机器人62保持两个光配向对象物WC、WE。

另一方面，在从回转单元50取出光配向对象物WB之后，机器人32从清洁器40接收光配向对象物WF，并将光配向对象物WF载置在回转单元50的调整工作台51上。

以后的动作是从图5开始的重复。

如上所说明，根据本实施方式，光配向装置1具有以下结构：在两端部设有一对回收位置PU1、PU2，在中央部设有光照射器5，在回收位置PU1、PU2与光照射器5之间的、光照射器5的两端E1、E2附近位置上设置有一对搭载位置PL1、PL2。如此，由于设置有两个工件工作台2，因此，通过使一个工件工作台2追随另一个工件工作台2的移动而进行移动，能够缩短光配向对象物W的处理(光配向照射)的工序作业时间。

另外，由于在回收位置PU1、PU2与光照射器5之间的、光照射器5的两端E1、E2附近位置上设有一对搭载位置PL1、PL2，因此能够缩短从搭载位置PL1、PL2到光照射器5之间的距离。由此，能够缩短光配向对象物W的移动时间，其结果是，能够缩短光配向对象物W的处理(光配向照射)的工序作业时间。另外，能够缩短从搭载位置PL1、PL2至光照射器5之间的距离，因此能够抑制杂质附着于照射前的光配向对象物W。

另外，根据本实施方式，具备直动机构6，其使光配向对象物W按照一端部侧的搭载位置PL1、中央部的光照射器5的照射区域R、一端部侧的回收位置PU1的顺序往复，并且使工件按照另一端部侧的搭载位置PL2、中央部的光照射器5的照射区域R、另一端部侧的回收位置PU2的顺序往复，直动机构6设为在一个光配向对象物W通过照射区域R时，使另一个光配向对象物W从搭载位置PL1、PL2退避。通过这种结构，即使一个光配向对象物W移动至脱离照射区域R，也能够防止一个光配向对象物W与另一个光配向对象物W发生干涉，因此能够在光配向对象物W的整个面上进行光配向。

另外，根据本实施方式，具备将光配向对象物W搭载在搭载位置PL1、PL的工件工作台2上的下游侧机器人装置60，下游侧机器人装置60被构成为能够保持两个光配向对象物W。通过这种结构，能够预先保持下一个光配向对象物W，因此能够从工件工作台2回收光配向对象物W后立即将光配向对象物W搭载在该工件工作台2上。其结果，能够缩短光配向对象物W的处理(光配向照射)的工序作业时间。

另外，根据本实施方式，直动机构6被构成为能够在光配向对象物W通过照射区域R之前和之后改变光配向对象物W的移动速度。通过该结构，即使将一个光配向对象物W搭载在光照射器5的两端E1、E2附近位置的搭载位置PL1、PL2上，也能够使该一个光配向对象物W追上另一个光配向对象物W。其结果，不需要等待光配向对象物W的搭载，由此能够缩短光配向对象物W的处理(光配向照射)的工序作业时间。

另外，根据本实施方式，构成为在对另一个光配向对象物W照射后，使另一个光配向对象物W从搭载位置PL1、PL2退避。由此，与照射前进行退避的情况相比，能够减少照射前的光配向对象物W的移动，从而更加精度良好地维持由回转单元50调整后的光配向对象物W的角度，其结果是，能够提高光配向精度。

此外，在本实施方式中，仅仅使最先载置于第二工件工作台2B的光配向对象物WB在照射前退避，但对于该光配向对象物WB而言，也可以在照射前不退避。在这种情况下，在第一工件工作台2A的前往路径的移动之际，不将光配向对象物WB载置在第二工件工作台2B上，而是在第一工件工作台2A的前往路径的移动过程中，使第二工件工作台2B高速退避至回收位置PU2。然后，使第二工件工作台2B追随第一工件工作台2A的返回路径的移动而移动至搭载位置PL1，并将光配向对象物WB搭载在搭载位置PL1的第二工件工作台2B上。由此，也能够更加精度良好地维持光配向对象物WB的角度，其结果是，能够提高光配向精度。

＜第二实施方式＞

接下来，对第二实施方式进行说明。

图14是示意性表示具备第二实施方式所涉及的光配向装置的光配向系统的俯视图。

在上述的第一实施方式的光配向系统100中，搭载位置PL1、PL2设定在回收位置PU1、PU2与光照射器5之间，但在第二实施方式的光配向系统200中，如图14所示，回收位置PU1、PU2和搭载位置PL1、PL2设定在同一部位。即，工件搭载工位(搭载位置PL1、PL2)兼作工件回收工位(回收位置PU1、PU2)。

更详细而言，在位于搭载位置PL1(回收位置PU1)的第一工件工作台2A与照射区域R之间，设置有小于第二工件工作台2B上的光配向对象物W通过照射区域R的量的空间S1。

同样地，在位于搭载位置PL2(回收位置PU2)的第二工件工作台2B与照射区域R之间，设置有小于第一工件工作台2A上的光配向对象物W通过照射区域R的量的空间S1。

机器人装置260形成为能够将机器人62从第一工件工作台2A的与搭载位置PL1(回收位置PU1)对应的位置(在直动方向X上成为大致相同的位置)移动至第二工件工作台2B的与搭载位置PL2(回收位置PU2)对应的位置的长度。

在第二实施方式中，除回收位置PU1、PU2的位置及机器人装置260的直动方向X的长度以外，为大致相同的结构，因此对与第一实施方式相同的部分标注相同的附图标记并省略说明。此外，机器人装置260的机器人62构成为能够上下并列保持两个光配向对象物W。

接下来，参照图14～图21对光配向系统200的动作进行说明。此外，在图15～图21中，省略了搬入搬出装置20及上游侧机器人装置30的图示。

在初始状态下，如图14和图15所示，第一工件工作台2A和第二工件工作台2B分别位于搭载位置PL1、PL2，并且机器人62位于与搭载位置PL2对应的位置，灯8被亮灯。此外，在以下的说明中，省略相对于第一工件工作台2A和第二工件工作台2B接收光配向对象物W时的驱动销的动作、以及将光配向对象物W载置在第一工件工作台2A和第二工件工作台2B上时的旋转驱动机构的动作。另外，按照对光配向对象物W进行光配向的顺序，称作光配向对象物WA、WB、WC、WD、WE、WF。另外，在图15中，附图标记D1表示第一工件工作台2A的中心移动范围，附图标记D2表示第二工件工作台2B的中心移动范围。

首先，机器人32从搬入搬出装置20接收光配向对象物WA，通过清洁器40除去光配向对象物WA的杂质和静电之后，将光配向对象物WA载置在回转单元50的调整工作台51上。此时，机器人32在清洁器40和回转单元50之间移动。

回转单元50使光配向对象物WA处于正姿态之后，机器人62从回转单元50接收光配向对象物WA，向与搭载位置PL1对应的位置移动，并将光配向对象物WA搭载在搭载位置PL1的第一工件工作台2A上。

另一方面，机器人32将光配向对象物WA载置在回转单元50的调整工作台51上之后，从搬入搬出装置20接收下一个光配向对象物WB，通过清洁器40除去光配向对象物WB的杂质和静电之后，将光配向对象物WB载置在回转单元50的调整工作台51上。

另外，机器人62将光配向对象物WA搭载在第一工件工作台2A上之后，向与搭载位置PL2对应的位置移动，从回转单元50接收下一个光配向对象物WB，并将光配向对象物WB搭载在搭载位置PL2的第二工件工作台2B上。

如图16所示，直动机构6使第一工件工作台2A向另一端E2侧移动，光配向对象物WA被照射偏振光。此时，直动机构6使第一工件工作台2A高速移动，直至光配向对象物WA进入照射区域R，当光配向对象物WA进入照射区域R时，使第一工件工作台2A低速移动。

另外，在第一工件工作台2A的前往路径的移动过程中，直动机构6使第二工件工作台2B从搭载位置PL2高速退避至退避位置PT2。在位于退避位置PT2的第二工件工作台2B与照射区域R之间，设置有第一工件工作台2A上的光配向对象物WA通过照射区域R的量以上的空间S2。如此，通过使第二工件工作台2B退避至退避位置PT2，即便使第一工件工作台2A移动至光配向对象物WA脱离照射区域R，也能够防止光配向对象物WA与光配向对象物WB发生干涉。因此，能够在第一工件工作台2A上的光配向对象物WA的整个面上进行光配向。

另一方面，机器人32将光配向对象物WB载置在回转单元50的调整工作台51上之后，从搬入搬出装置20接收下一个光配向对象物WC，通过清洁器40除去光配向对象物WC的杂质和静电之后，将光配向对象物WC载置在回转单元50的调整工作台51上。

当光配向对象物WA在前往路径中脱离照射区域R时，直动机构6如图17所示，使第一工件工作台2A反向而向一端E1侧移动，光配向对象物WA在返回路径中也被照射偏振光。另外，直动机构6使第二工件工作台2B追随第一工件工作台2A的返回路径的移动而向一端E1侧移动，光配向对象物WB被照射偏振光。此时，直动机构6使第二工件工作台2B高速移动，直至追上第一工件工作台2A(距离第一工件工作台2A规定的距离)，当第二工件工作台2B追上第一工件工作台2A时，使第二工件工作台2B低速移动。另外，直动机构6使第一工件工作台2A低速移动，直至光配向对象物WA脱离照射区域R，当光配向对象物WA脱离照射区域R时，使第一工件工作台2A高度移动至退避位置PT1。在位于退避位置PT1的第一工件工作台2A和照射区域R之间，设置有第二工件工作台2B上的光配向对象物WB通过照射区域R的量以上的空间S2。由此，在第二工件工作台2B的前往路径的移动过程中，能够使第一工件工作台2A退避至退避位置PT1。因此，即便使第二工件工作台2B移动至光配向对象物WB脱离照射区域R，也能够防止光配向对象物WB与光配向对象物WA发生干涉，因此能够在第二工件工作台2B上的光配向对象物WB的整个面上进行光配向。

另一方面，机器人62将光配向对象物WB搭载在第二工件工作台2B上之后，从回转单元50接收下一个光配向对象物WC。然后，机器人62向与搭载位置PL1对应的位置移动。

另外，机器人32将光配向对象物WC载置在回转单元50的调整工作台51上之后，从搬入搬出装置20接收下一个光配向对象物WD，通过清洁器40除去光配向对象物WD的杂质和静电之后，将光配向对象物WD载置在回转单元50的调整工作台51上。

当光配向对象物WB在前往路径中脱离照射区域R时，直动机构6如图18所示，使第二工件工作台2B反向而向另一端E2侧移动，光配向对象物WB在返回路径中也被照射偏振光。另外，直动机构6使第一工件工作台2A追随第二工件工作台2B的返回路径的移动而移动至搭载位置PL1。此时，直动机构6使第二工件工作台2B低速移动，直至光配向对象物WB脱离照射区域R，并使第一工件工作台2A高速移动至搭载位置PL1。

机器人62从搭载位置PL1的第一工件工作台2A回收光配向对象物WA，并且将光配向对象物WC搭载在搭载位置PL1的第一工件工作台2A上。此时，机器人62保持光配向对象物WA。

另外，光配向对象物WD在回转单元50处于待机之中。

另一方面，机器人32将光配向对象物WD载置在回转单元50的调整工作台51上之后，从搬入搬出装置20接收下一个光配向对象物WE，并通过清洁器40除去光配向对象物WE的杂质和静电。

如图19所示，直动机构6使第一工件工作台2A追随第二工件工作台2B的返回路径的移动而进行移动，光配向对象物WC被照射偏振光。此时，直动机构6使第一工件工作台2A高速移动，直至追上第二工件工作台2B(距离第二工件工作台2B规定的距离)，并使第一工件工作台2A低速移动，直至光配向对象物WC脱离照射区域R。另外，当光配向对象物WB脱离照射区域R时，直动机构6使第二工件工作台2B高速移动至退避位置PT2。

机器人62向与搭载位置PL2对应的位置移动，从回转单元50接收下一个光配向对象物WD，并将光配向对象物WA载置在回转单元50的调整工作台51上。

回转单元50使光配向对象物WA处于正姿态之后，机器人32从回转单元50接收光配向对象物WA，并使光配向对象物WA向搬入搬出装置20返回。

另外，光配向对象物WE在清洁器40处于待机之中。

直动机构6如图20所示，使第二工件工作台2B追随第一工件工作台2A的返回路径的移动而移动至搭载位置PL2。此时，直动机构6使第一工件工作台2A低速移动，直至光配向对象物WC脱离照射区域R，并使第二工件工作台2B高速移动至搭载位置PL2。

机器人62从搭载位置PL2的第二工件工作台2B回收光配向对象物WB，并且将光配向对象物WD搭载在搭载位置PL2的第二工件工作台2B上。此时，机器人62保持光配向对象物WB。

另外，光配向对象物WE在回转单元50中处于待机之中。

另一方面，在从回转单元50取出光配向对象物WA之后，机器人32从清洁器40接收光配向对象物WE，并将光配向对象物WE载置在回转单元50的调整工作台51上。

另外，机器人32将光配向对象物WE载置在回转单元50的调整工作台51上之后，从搬入搬出装置20接收下一个光配向对象物WF，并通过清洁器40除去光配向对象物WF的杂质和静电。

直动机构6如图21所示，使第二工件工作台2B追随第一工件工作台2A的返回路径的移动而进行移动，第二工件工作台2B上的光配向对象物WD被照射偏振光。此时，直动机构6使第二工件工作台2B高速移动，直至追上第一工件工作台2A，并使第二工件工作台2B低速移动，直至光配向对象物WD脱离照射区域R。另外，当光配向对象物WC脱离照射区域R时，直动机构6使第一工件工作台2A高度移动至退避位置PT1。

机器人62从回转单元50接收下一个光配向对象物WE，并将光配向对象物WB载置在回转单元50的调整工作台51上。

回转单元50使光配向对象物WB处于正姿态之后，机器人32从回转单元50接收光配向对象物WB，并使光配向对象物WB向搬入搬出装置20返回。

另外，光配向对象物WF在清洁器40中处于待机之中。

以后的动作是从图15开始的重复。

如上所说明，根据本实施方式，光配向装置1具有以下结构：在中央部设有光照射器5，在光照射器5的两端E1、E2附近位置设有一对搭载位置PL1、PL2，并具备直动机构6，该直动机构6使光配向对象物W按照一端部侧的搭载位置PL1、中央部的光照射器5的照射区域R、一端部侧的搭载位置PL1的顺序往复，并且使光配向对象物W按照另一端部侧的搭载位置PL2、中央部的光照射器5的照射区域R、另一端部侧的搭载位置PL2的顺序往复，直动机构6构成为在一个光配向对象物W通过照射区域R时，使另一个光配向对象物W从搭载位置PL1、PL2退避。如此，由于设置有两个工件工作台2，因此，通过使一个工件工作台2追随另一个工件工作台2的移动而进行移动，能够缩短光配向对象物W的处理(光配向照射)的工序作业时间。

另外，由于在光照射器5的两端E1、E2附近位置设有一对搭载位置PL1、PL2，因此能够缩短从搭载位置PL1、PL2至光照射器5之间的距离，因此能够缩短光配向对象物W的移动时间。其结果，能够缩短光配向对象物W的处理(光配向照射)的工序作业时间。另外，由于能够缩短从搭载位置PL1、PL2至光照射器5之间的距离，因此能够抑制杂质附着于照射前的光配向对象物W。

另外，由于在光照射器5的两端E1、E2附近位置设置有一对回收位置PU1、PU2，因此能够缩短从光照射器5至回收位置PU1、PU2之间的距离，因此能够缩短光配向对象物W的移动时间。其结果，能够缩短光配向对象物W的处理(光配向照射)的工序作业时间。另外，由于能够缩短从光照射器5至回收位置PU1、PU2之间的距离，因此能够抑制杂质附着于照射后的光配向对象物W。

除此之外，由于在光照射器5的两端E1、E2附近位置设置有一对搭载位置PL1、PL2和一对回收位置PU1、PU2，因此能够缩短机器人装置260的机器人62的移动距离，因此能够减小机器人装置260的专用空间。

另外，直动机构6构成为在一个光配向对象物W通过照射区域R时，使另一个光配向对象物W从搭载位置PL1、PL2退避。通过这种结构，即便一个光配向对象物W移动至脱离照射区域R，也能够防止一个光配向对象物W与另一个光配向对象物W发生干涉，因此能够在光配向对象物W的整个面上进行光配向。

另外，根据本实施方式，构成为在对另一个光配向对象物W照射后，使另一个光配向对象物W从搭载位置PL1、PL2退避。由此，与照射前进行退避的情况相比，能够减少照射前的光配向对象物W的移动，从而更加精度良好地维持由回转单元50调整后的光配向对象物W的角度，其结果是，能够提高光配向精度。

此外，在本实施方式中，仅仅使最先载置于第二工件工作台2B的光配向对象物WB在照射前退避，但对于该光配向对象物WB而言，也可以在照射前不退避。在这种情况下，在第一工件工作台2A的前往路径的移动之际，不将光配向对象物WB载置在第二工件工作台2B上，而是在第一工件工作台2A的前往路径的移动过程中，使第二工件工作台2B高速退避至回收位置PU2。然后，使第二工件工作台2B追随第一工件工作台2A的返回路径的移动而移动至搭载位置PL1，并将光配向对象物WB搭载在搭载位置PL1的第二工件工作台2B上。由此，也能够更加精度良好地维持光配向对象物WB的角度，其结果是，能够提高光配向精度。

此外，在本实施方式中，将退避位置PT1、PT2设置在搭载位置PL1、PL2的直动方向X外侧，但只要退避位置PT1、PT2位于不与搭载位置PL1、PL2发生干涉的位置，则不限于此。退避位置PT1、PT2例如也可以设置在搭载位置PL1、PL2的上方、下方、或侧部(例如，图14的纸面上侧)。

但是，上述的实施方式是本发明的一个方式，当然，能够在不脱离本发明的主旨的范围内适当变更。

例如，在上述的实施方式中，设置有支承光配向对象物W的工件工作台2，但支承光配向对象物W的支承部件不限于工件工作台2，例如，也可以是支承光配向对象物W的下表面或侧面等的销等。

另外，在上述的实施方式中，在前往路径和返回路径这两者中进行光配向照射，但也可以仅在前往路径或返回路径中的一者进行光配向照射。

另外，在上述的实施方式中，将光源设为灯8进行了说明，但不限于此，光源也可以是LED、有机EL等发光元件。该情况下，通过将多个发光元件沿直线排列来构成长轴(轴线)L即可。另外，光源放射的光也不限于紫外线。

另外，在上述的实施方式中，由多个线栅型偏振器16构成偏振器单元10，但线栅型偏振器16也可以是一个。

另外，在上述的实施方式中，使用线栅型偏振器16作为偏振器，但偏振器例如也可以是使用了蒸镀膜的偏振器。

另外，在上述的实施方式中，对搭载位置PL1、PL2设置一个下游侧机器人装置60、260，但也可以对搭载位置PL1、PL2分别设置下游侧机器人装置60、260。

Claims (10)

1.一种光配向装置，其特征在于，

在两端部设有一对工件回收工位，在中央部设有光照射器，在工件回收工位和光照射器之间的、光照射器的两端附近位置上设有一对工件搭载工位。

2.根据权利要求1所述的光配向装置，其特征在于，

所述光配向装置具备搬运机构，所述搬运机构使工件按照一端部侧的工件搭载工位、中央部的光照射器的照射区域、一端部侧的工件回收工位的顺序往复，并且使工件按照另一端部侧的工件搭载工位、中央部的光照射器的照射区域、另一端部侧的工件回收工位的顺序往复，

所述搬运机构在一个工件通过照射区域时，使另一个工件从工件搭载工位退避。

3.根据权利要求1或2所述的光配向装置，其特征在于，

所述光配向装置具备将工件搭载在工件搭载工位上的机器人装置，

所述机器人装置构成为能够保持两个工件。

4.根据权利要求2或3所述的光配向装置，其特征在于，

所述搬运机构构成为能够在工件通过照射区域之前和之后改变工件的移动速度。

5.根据权利要求2～4中任一项所述的光配向装置，其特征在于，

在对所述另一个工件照射后，使所述另一个工件从工件搭载工位退避。

6.一种光配向装置，其特征在于，

在中央部设有光照射器，在光照射器的两端附近位置上设有一对工件搭载工位，

所述光配向装置具备搬运机构，所述搬运机构使工件按照一端部侧的工件搭载工位、中央部的光照射器的照射区域、一端部侧的工件搭载工位的顺序往复，并且使工件按照另一端部侧的工件搭载工位、中央部的光照射器的照射区域、另一端部侧的工件搭载工位的顺序往复，

所述搬运机构在一个工件通过照射区域时，使另一个工件从工件搭载工位退避。

7.根据权利要求5所述的光配向装置，其特征在于，

所述光配向装置具备将工件搭载在工件搭载工位上的机器人装置，

所述机器人装置构成为能够保持两个工件。

8.根据权利要求5或6所述的光配向装置，其特征在于，

所述搬运机构构成为能够在工件通过照射区域之前和之后改变工件的移动速度。

9.根据权利要求6～8中任一项所述的光配向装置，其特征在于，

在对所述另一个工件照射后，使所述另一个工件从工件搭载工位退避。

10.根据权利要求6～9中任一项所述的光配向装置，其特征在于，

工件搭载工位兼作工件回收工位。