CN105190320A - 接触销 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种电气特性良好且可靠性提高的接触销。本发明的接触销(1)具有第一柱塞(10)、第二柱塞(20)以及根据使第一及第二柱塞沿着伸缩方向的相对位移而产生反力的螺旋弹簧(30)。第一柱塞(10)的滑动部(13)绕轴心对称配置，具有扇形部(17)，该扇形部(17)具有从轴芯放射状延伸的两个侧面。第二柱塞(20)的滑动部(23)也绕轴心对称配置，具有扇形部(27)，该扇形部(27)具有从轴芯放射状延伸的两个侧面。在两柱塞的滑动部啮合的状态下，各柱塞的扇形部在圆周方向交替配置。由此，能够扩大两柱塞的接触面积并且能够将两柱塞在轴心上稳定地定位。

Description

接触销

技术领域

本发明涉及例如用于半导体晶圆及半导体封装等各种测定对象物的性能试验等的接触销，特别是，涉及电气特性良好且可靠性提高的接触销。

背景技术

例如，在半导体晶圆及IC芯片等半导体封装等各种测定对象物的电气特性的检查中，使用将半导体封装等被检查对象物、和检查基板等外部电路电连接的接触销。

这样的接触销通常为具有与被检查对象物的电极连接的第一柱塞、与外部电路的电极连接的第二柱塞、将两柱塞向反方向施力的弹簧元件的构成。

作为这样的构成的接触销，在一柱塞上具有沿轴向延伸的轴部，在另一柱塞上具有该轴部插入并滑动的轴孔的类型(例如，参照专利文献1)。

在这样的接触销中，轴部的表面和轴孔的侧壁接触，从而使两柱塞间导通。

另外，也提出有两柱塞的滑动部的截面形状具有相对于柱塞的轴芯对称的半圆形的类型(例如，参照专利文献2)。

在这样的接触销中，两滑动部的形成为平面状的侧面彼此面接触，使柱塞间导通。

另外，也提出有各柱塞具有分支状的弹性滑动部，两滑动部正交并啮合的类型(例如，参照专利文献3)。

在这样的接触销中，通过两滑动部的啮合部的接触而使两柱塞导通。

近年来，特别是要求适于大电流量(例如，1～3A)的接触销。

另外，作为高频设备用，要求适于高频(例如，3～6GHz)的接触销。

专利文献1：(日本)特开2001－255340号公报

专利文献2：国际公开WO2008/136393号公报

专利文献3：(日本)特表2008－546164号公报

如上述的专利文献1记载地，具有圆柱状的轴部、该轴部插入的轴孔的构成实际上轴部和轴孔线接触，接触面积少。因此，不适于电阻大、特别是使大电流流通的测定及高频设备的测定。

另外，由于二者的滑动特性而在表面产生磨损，会对导电性产生阻碍。另外，在接触销为小径的情况下，轴孔的孔径变小，难以适当地对轴孔的内部进行镀敷处理。

另外，截面半圆形的类型虽然能够增大接触面积，但将两柱塞沿着规定的伸缩方向直行引导的基本上仅为弹簧元件，故而具有产生柱塞的相对倾斜等的情况，难以使滑动部的侧面彼此稳定接触。

另外，分支状地啮合的类型也将接触面限于爪上部件的前端部，故而不适于电阻值大且大电流量用等，另外，磨损也成为问题。

发明内容

本发明的课题的目的在于提供一种电气特性良好且可靠性提高的接触销。

本发明通过以下的解决手段解决上述的课题。

本发明第一方面的接触销，具有：第一柱塞；相对于所述第一柱塞沿着规定的伸缩方向相对位移的第二柱塞；对应于所述第一柱塞和所述第二柱塞的沿着所述伸缩方向的相对位移而产生反力的弹簧元件，在所述第一柱塞及所述第二柱塞的一方连接有外部电路，在另一方形成有与测定对象物的接触部，其中，所述第一柱塞和所述第二柱塞经由多个滑动面部而接触，该多个滑动面部形成为包含沿着所述伸缩方向的直线的平面状且沿着所述伸缩方向延伸，并且角度相互不同而配置。

根据本发明，两柱塞具有沿伸缩方向延伸且角度相互不同的多个滑动面部，故而能够以大面积滑动接触。因此，能够提供适于大电流的接触销。

另外，这样的接触销也能够利用作适于高频的接触销。

另外，由于滑动部的接触面积大，故而局部地作用高面压，磨损不发展，能够降低磨损而提高可靠性、耐久性。

本发明第二方面的接触销，在第一方面的基础上，利用与所述伸缩方向正交的平面对所述第一柱塞的包含所述滑动面部的区域进行剖切而看到的截面形状具有同心配置的多个扇形部而构成，利用与所述伸缩方向正交的平面对所述第二柱塞的包含所述滑动面部的区域进行剖切而看到的截面形状具有在所述第一柱塞的多个扇形部的间隔分别配置的多个扇形部而构成，所述多个滑动面部沿着所述第一柱塞的所述扇形部及所述第二柱塞的所述扇形部的半径方向而放射状地配置。

据此，两柱塞的滑动部的截面形状具有同心配置的多个扇形部，将各柱塞的扇形部在圆周方向上交替地配置，从而能够将两柱塞在轴心上稳定地定位。另外，由于扇形部的两侧面为滑动面部，故而能够得到大的接触面积。

本发明第三方面的接触销，在第二方面的基础上，将所述第一柱塞的多个所述扇形部和所述第二柱塞的多个所述扇形部的任一方在所述接触销的中心轴附近相互连接。

据此，通过在一柱塞设置扇形部的连接的结合部，在另一柱塞设置该结合部嵌入的狭缝，能够防止通过结合部连结的扇形部敞开的情况，能够更可靠地进行两柱塞的啮合。

本发明第四方面的接触销，在第一方面的基础上，在利用与所述伸缩方向正交的平面对所述接触销进行剖切而看到的剖面形状上，所述多个滑动面部锯齿状地配置。

据此，通过将滑动部的截面形状形成为锯齿状，能够进一步扩大接触面积。

另外，通过将不同角度的滑动面部组合而构成，能够将各柱塞更加可靠地直行引导。

本发明第五方面的接触销，在第一至第四方面的基础上，所述弹簧元件为卷绕在所述第一柱塞及所述第二柱塞的具有所述滑动面部的区域的外径侧，并且具有与所述滑动面部邻接配置的密接部的螺旋弹簧。

据此，在第一柱塞和第二柱塞未被以相对于与伸缩方向正交的方向不脱离的方式进行定位的情况下，通过由螺旋弹簧的密接卷绕部将两滑动部向相互的滑动面部接触的方向施力，能够使两柱塞稳定地滑动。

本发明第六方面的接触销，在第一至第五方面的基础上，所述第一柱塞及所述第二柱塞至少在通过切削加工形成了所述滑动面部之后进行镀敷。

如以上说明地，根据本发明，由于能够增大第1及第二柱塞的接触面的面积，故而能够提供可应对大电流量及高频的接触销。另外，由于为接触面露出的形状，且不存在细径的孔部等，故而能够轻松且均一地进行镀敷作业。另外，各滑动部、截面形状形成为扇形的部分绕轴心对称配置的构造的情况下，通过将各滑动部的扇形部在圆周方向上交替地配置，能够将两柱塞在轴心上稳定地定位。

附图说明

图1是表示本发明第一实施方式的接触销的图，图1(a)是侧面图，图1(b)是图1(a)的b－b向视图；

图2是表示图1的接触销的第一柱塞的图，图2(a)是侧面图，图2(b)是图2(a)的b－b向视图，图2(c)是图1(a)的c－c剖面图；

图3是表示图1的接触销的第二柱塞的图，图3(a)是侧面图，图3(b)是图3(a)的b－b向视图，图3(c)是图3(a)的c－c剖面图；

图4是图1的接触销的滑动部的剖面图；

图5是表示本发明第二实施方式的接触销的侧面图；

图6是表示图5的接触销的第一柱塞的图，图6(a)是侧面图，图6(b)是图6(a)的b－b向视图，图6(c)是图1(a)的c－c剖面图；

图7是表示图5的接触销的第二柱塞的图，图7(a)是侧面图，图7(b)是图7(a)的b－b向视图，图7(c)是图7(a)的c－c剖面图；

图8是本发明第二实施方式的变形例的接触销的滑动部的剖面图；

图9是本发明第二实施方式的另一变形例的接触销的滑动部的剖面图；

图10是本发明第二实施方式的再一变形例的接触销的滑动部的剖面图。

标记说明

1：接触销

10：第一柱塞

11：前端部

12：凸缘

13：滑动部

15：凸台部

17：扇形部

19：狭缝

20：第二柱塞

21：前端部

22：凸缘

23：滑动部

25：凸台部

27：扇形部

29：结合部

30：螺旋弹簧

53：滑动部

54：基部

55：中段部

56：前部

63：滑动部

64：基部

65：中段部

66：前部

73、83、93、103：滑动部

具体实施方式

以下，参照附图等对适用了本发明的接触销的实施方式进行说明。

<第一实施方式>

参照图1对本发明第一实施方式的接触销的整体构造进行说明。图1(a)是接触销的侧面图，图1(b)是图1(a)的b－b向视图。

接触销1具有第一柱塞10、相对于第一柱塞10沿规定的伸缩方向(柱塞的长度方向，也称为轴向)相对位移的第二柱塞20、根据使两柱塞10、20沿着伸缩方向的相对位移而产生反力的螺旋弹簧30(弹簧元件)。

参照图2说明第一柱塞。图2(a)是第一柱塞的侧面图，图2(b)是图1(a)的b－b向视图，图2(c)是图2(a)的c－c向视图。

第一柱塞10为形成轴状的部件，为被压靠在测定对象物上且电气导通的部分。

第一柱塞10具有前端部11、与第二柱塞20滑动的滑动部13。

前端部11及滑动部13为实质上同心地形成的轴状部分。滑动部13从前端部11的测定对象物侧的相反侧的端部附近突出而形成。

在前端部11与滑动部13之间形成有向外径侧凸缘状地扩展的凸缘12。

凸缘12的截面形状(与伸缩方向正交的面)为将圆的外周的一部分切掉的形状。该切掉部与在用于位置对齐。

在前端部11的前端形成的与测定对象物的抵接部成为形成有多个V形切口的皇冠状。

在滑动部13的、接近凸缘12的部分形成有外径比滑动部13的其他部分大的凸台部15。

如图1所示，在该凸台部15与凸缘12之间支承螺旋弹簧30的一端部。

凸台部15的前端部11相反侧的端部以容易将螺旋弹簧30的端部压入的方式形成外径从滑动部13的其他部起逐渐变化的锥形。

滑动部13在图2(b)所示的一侧面，凸台部15附近的区域形成为凸台部15侧扩展的锥形状，除此之外的部分实质上笔直地形成。滑动部13的前端进行倒角并形成尖细。

滑动部13的截面(与伸缩方向正交的面)形状如图2(c)所示地，以轴心为中心的实质上扇形的扇形部17为相对于轴心对称地配置有一对的形状。

各扇形部17的中心角作为一例为90°。

各扇形部17的侧面(滑动面)17a沿着包含第一柱塞10的轴心及半径的平面而形成。各侧面17a以实质上正交的方式配置。

另外，各扇形部17的外周面17b形成为在图2(c)所示的截面形状中，中心角为90°的圆弧状的凸曲面(参照图4进行后述)。

如图4所示，在滑动部13形成有通过两个扇形部17的中心(轴心)而延伸到凸台部15的跟前的狭缝19。

即，滑动部13构成为一对扇形部17夹着狭缝19而分支状地延伸的构成。

各扇形部17的两个侧面17a为与第二柱塞20的后述的滑动面部滑动接触的滑动面部。

参照图3说明第二柱塞。

图3(a)是第二柱塞的侧面图，图3(b)是图3(a)的b－b向视图，图3(c)是图3(a)的c－c向视图。

第二柱塞20也为与第一柱塞实质上同径地形成的轴状部件。

第二柱塞20具有前端部21、与第一柱塞10滑动的滑动部23。

前端部21及滑动部23为实质上同心地形成的轴状部分。

滑动部23从前端部21的测定对象物侧的端部附近突出而形成。

在前端部21与滑动部23之间形成有在外径侧凸缘状地扩展的凸缘22。

凸缘22的截面(与伸缩方向正交的面)形状为将圆的外周的一部分切掉的形状。该切掉部用于位置对齐。

前端部21形成圆柱状，并且其前端为半球状。

前端部21为经由配线与检查基板连接的部分。

在滑动部23的接近凸缘12的部分形成有外径比滑动部13的其他部分大的凸台部25。

如图1所示，在该凸台部25与凸缘12之间支承螺旋弹簧30的另一端部。

凸台部25的前端部11相反侧的端部以容易将螺旋弹簧30的端部压入的方式形成为外径从滑动部13的其他部起逐渐变化的锥形状。

滑动部23在图3(b)所示的一侧面，凸台部25附近的区域形成为凸台部25侧扩展的锥形状，除此之外的部分实质上笔直地形成。滑动部23的前端被倒角且形成尖细。

滑动部23的截面(与伸缩方向正交的面)形状如图3(c)所示地，以轴心为中心的实质上扇形的扇形部27为相对于轴心对称地配置有一对的形状。

各扇形部27的中心角作为一例为90°。

各扇形部27的侧面(滑动面)27a沿着包含第一柱塞10的轴心及半径的平面而形成。各侧面27a实质上正交地配置。

另外，各扇形部27的外周面在图3(c)所示的截面形状中，成为中心角为90°的圆弧状的凸曲面。

如图4所示，在滑动部23形成有通过两个扇形部17的中心(轴心)而延伸到凸台部15的跟前的结合部29。

各扇形部27的两个侧面27a为与第一柱塞10的滑动面部滑动接触的滑动面部。

螺旋弹簧30为以与第一柱塞10、第二柱塞20实质上同心的方式卷绕线材而形成的压缩螺旋弹簧。

如图1所示，在接触销1的长度方向上伸缩自如，内径比第1及第二柱塞10、20的凸缘12、22的直径小，实质上与滑动部13、23的直径相同。

滑动部13、23如图4所示地以组合的状态插入螺旋弹簧30的内径侧，通过螺旋弹簧30而被保持。

再次参照图1，首先说明接触销1的整体构造。

第一柱塞10和第二柱塞20分别以前端部11、21为外侧而配置在直线上，各滑动部13、23彼此以各扇形部17、27的侧面部17a、27a彼此相互实质上面接触的方式组装。

在该区域，如图4所示，各扇形部17、27绕接触销1的中心轴交替地排列。

另外，侧面部17a、27a抵接的滑动面部实质上作为平面彼此的面接触而构成，并且绕接触销1的中心轴放射状地配置。

另外，第二柱塞20的结合部29嵌入第一柱塞10的狭缝19中。

螺旋弹簧30卷绕在两柱塞10、20的啮合的滑动部13、23的外径侧。

螺旋弹簧30的一端部通过第一柱塞10的滑动部13的外径侧，超过凸台部15而被压入，被支承在凸台部15与凸缘12之间。

螺旋弹簧30的另一端部通过第二柱塞20的滑动部23的外径侧，超过凸台部25而被压入，被支承在凸台部25与凸缘22之间。

该螺旋弹簧30将第一柱塞10和第二柱塞20连结，并且对应于沿着伸缩方向的相对位移而产生反力。

也参照图4说明两柱塞的滑动部的啮合状态。

图4是表示接触销的两柱塞的滑动部的剖面图(与摆动方向正交的面)。

如前所述，在两柱塞10、20的滑动部13、23啮合的状态下，第一柱塞10的各个扇形部17、和第二柱塞20的各个扇形部27以轴心为中心而在圆周上相互配置，另外，第二柱塞20的结合部29被嵌入第一柱塞10的狭缝19中，作为整体，将截面形状形成圆形。

详细地，第一柱塞10的两个扇形部17的各侧面17a与第二柱塞20的两个扇形部27的各侧面27a面接触。

另外，第一柱塞10的扇形部27的、由狭缝29切掉的轴心侧的端面与第二柱塞20的结合部29的侧面面接触。

另外，为了便于理解，图4在各面间隔开间隙进行图示，但实际上各面接触。

在使用该例的接触销1时，两柱塞10、20根据沿着伸缩方向的相对位移而使滑动部13、23滑动，并且通过螺旋弹簧30向相反的方向施力。

通过两滑动部13、23的滑动面部(侧面部17a、27a)的面接触，使第一柱塞10和第二柱塞导通。

在本实施方式的接触销1中，如前所述地，两柱塞10、20的滑动部13、23以大的滑动面部彼此面接触。

另外，两滑动部13、23利用通过轴心的狭缝19和结合部29而啮合，故而能够将两柱塞10、20在轴心上可靠地定位，能够可靠地相互直行引导。

因此，由于两柱塞10、20的滑动部13、23在轴心上稳定地滑动，并且具有大的滑动面部，故而能够提供适于大电流及高频的接触销。

另外，通过设置结合部29，也能够防止夹着结合部29的一对扇形部27敞开的情况。

这样的柱塞通常对钯合金及白金合金等导电性材料切削加工，在切削加工后由铜合金及金等镀敷，从而进行制造。

第一实施方式的柱塞10、20为滑动面部17a、27a的整个面大致露出的形状，由于不存在细径的孔部等，故而能够将各面可靠地镀敷。

<第二实施方式>

接着，参照图5对本发明第二实施方式的接触销的整体构造进行说明。图5是接触销的侧面图。

该例的接触销1也具有第一柱塞10、第二柱塞20及螺旋弹簧(弹簧元件)30。

该例的接触销在第一及第二柱塞的滑动部的构造和螺旋弹簧上与第一实施方式不同，故而仅对该不同点进行说明。

与第一实施方式的接触销的部位和部件同等的部位和部件标注与第一实施方式相同的标记并省略说明。

参照图6说明第一柱塞。

图6(a)是第一柱塞的侧面图，图6(b)是图6(a)的b－b向视图，图6(c)是图6(a)的c－c剖面图。

第一柱塞10的滑动部53的凸台部15附近的区域形成为凸台部15侧扩展的锥状。

滑动部53具有从锥状部延伸的基部54、从基部54延伸的截面形状为将圆的外周的一部分切掉的大致半圆形状的中段部55、从中段部55延伸的截面形状为将大致半圆形的一部分切掉的前部56。该前部56的侧面成为滑动面部。

前部56的截面(与伸缩方向正交的面)形状为大致半圆形，圆弧的两端间利用具有一个半山峰的锯齿线连接的形状。

详细地，如图6(c)所示，前部56的外周面56a在截面形状中，成为中心角比180°小的圆弧状的凸曲面。

前部56的侧面(滑动面)具有从外周面56a的一端延伸的第一平坦侧面56b、自第一侧面56b以90°角度弯折而形成山峰的第二平坦侧面56c、从第二侧面56c以90°角度弯折而构成谷部并且向外周面56a的另一端部延伸的第三平坦侧面56d。

这些在轴向上延伸的三个平坦侧面56b、56c及56d成为与第二柱塞20滑动接触的滑动面部。

参照图7说明第二柱塞。

图7(a)是第二柱塞的侧面图，图7(b)是图7(a)的b－b向视图，图7(c)是图7(a)的c－c剖面图。

第二柱塞20的滑动部63的凸台部15附近的区域形成为凸台部15侧扩展的锥状。

滑动部63与第一柱塞10同样地，具有从锥状部延伸的基部64、从基部64延伸的截面形状为将圆的外周的一部分切掉的大致半圆形状的中段部65、从中段部65延伸的截面形状为将大致半圆形的一部分切掉的前部66。该前部66的侧面为滑动面部。

前部66的截面(与伸缩方向正交的面)形状为大致半圆形，为圆弧的两端间利用具有一个半谷部的锯齿线连接的形状。

详细地，如图7(c)所示，前部66的外周面66a在截面形状中，成为中心角比180°小的圆弧状的凸曲面。

前部66的侧面具有从外周面66a的一端延伸的第一平坦侧面66b、从第一侧面66b以90°的角度弯折而形成谷部的第二平坦侧面66c、从第二侧面66c以90°的角度弯折而构成山峰且向外周面66a的另一端部延伸的第三平坦侧面66d。

这些在轴向上延伸的三个平坦侧面66b、66c及66d与第一柱塞10的滑动面部滑动接触。

如图5所示，螺旋弹簧30将卷绕在第一及第二柱塞10、20的滑动部53、63的外径侧的部分31比其他部分更紧密地卷绕。

通过该紧密卷绕部31，两柱塞以滑动部53、63的各侧面相互相接的方式被保持。

再次参照图5，首先说明接触销1的整体构造。

第一柱塞10和第二柱塞20分别以前端部11为外侧而配置在直线上，各滑动部53、63的前部56、66的侧面部彼此相互面接触而组装。

也参照图8说明两柱塞的滑动部的接触状态。

图8是表示接触销的两柱塞的滑动部的剖面图(与摆动方向正交的面)。

如前所述，在两柱塞10、20的滑动部接触的状态下，第一柱塞10的锯齿状侧面的山峰与第二柱塞20的锯齿状侧面的谷部嵌合，作为整体，将截面形状形成为圆形。

详细地，第一柱塞10的第一、第二及第三侧面56b、56c及56d与第二柱塞20的第一、第二及第三侧面66b、66c及66d面接触。

另外，为了便于理解，在图8中也在各面间隔开间隙而进行了图示，但实际上各面接触。

在该例的接触销中，通过将两柱塞的滑动面部的截面形状形成为相互啮合的锯齿状，能够扩大接触面的面积，故而适于大电流及高频。

图9是第二实施方式的变形例，是表示两柱塞的滑动部的剖面图(与滑动方向正交的面)。

在图9所示的例中，一柱塞的滑动部73的截面形状为大致半圆形，为圆弧的两端间为由具有两个山峰的锯齿线连接的形状。

详细地，具有在截面形状中，成为中心角比180°小的圆弧状的凸曲面即外周面73a、从外周面73a的一端延伸的第一平坦侧面73b、从第一侧面73b以90°的角度弯折而形成山峰的第二平坦侧面73c、从第二侧面73c以90°的角度弯折而形成谷部的第三平坦侧面73d、从第三侧面73d以90°的角度弯折而形成山峰且向外周面73a的另一端部延伸的第四平坦侧面73e。

这些侧面成为滑动面部。

另一柱塞的滑动部83的截面形状也为大致半圆形，为圆弧的两端间由具有两个谷部的锯齿线连接的形状。

详细地，滑动部83具有在截面形状中，成为中心角比180°大的圆弧状凸曲面的外周面83a、从外周面83a的一端延伸的第一平坦侧面83b、从第一侧面83b以90°的角度弯折而形成谷部的第二平坦侧面83c、从第二侧面83c以90°的角度弯折而形成山峰的第三平坦侧面83d、从第三侧面83d以90°的角度弯折而形成谷部且向外周面83a的另一端部延伸的第四平坦侧面83e。

这些侧面与另一柱塞的滑动部73的侧面(滑动面部)滑动接触。

在两柱塞的滑动部73、83接触的状态下，第一柱塞的滑动部73的锯齿状侧面的山峰与第二柱塞的滑动部83的锯齿状侧面的谷部嵌合，整体上，截面形状为圆形。

详细地，第一柱塞的滑动部73的第一、第二、第三及第四侧面73b、73c、73d及73e分别与第二柱塞的滑动部83的第一、第二、第三及第四侧面83b、83c、83d及83e面接触。

图10也为第二实施方式的变形例，为表示两柱塞的滑动部的剖面图(与滑动方向正交的面)。

在图10所示的例中，一柱塞的滑动部93的截面形状为大致半圆形，为圆弧的两端间由具有三个山峰的锯齿线连接的形状。详细地，具有在截面形状中，成为中心角比180°小的圆弧状的凸曲面的外周面93a、从外周面93a的一端延伸的第一平坦侧面93b、从第一侧面93b以90°的角度弯折而形成山峰的第二平坦侧面93c、从第二侧面93c以90°的角度弯折而形成谷部的第三平坦侧面93d、从第三侧面93d以90°的角度弯折而形成山峰的第四平坦侧面93e、从第四侧面93e以90°的角度弯折而形成谷部的第五平坦侧面93f、从第五侧面93f以90°的角度弯折而形成山峰且向外周面93a的另一端部延伸的第六平坦侧面93g。这些侧面成为滑动面部。

另一柱塞的滑动部103的截面形状也为大致半圆形，我圆弧的两端间由具有三个谷部的锯齿线连接的形状。详细地，具有在截面形状中，成为中心角比180°大的圆弧状的凸曲面的外周面103a、从外周面103a的一端延伸的第一平坦侧面103b、从第一侧面103b以90°的角度弯折而形成谷部的第二平坦侧面103c、从第二侧面103c以90°的角度弯折而形成山峰的第三平坦侧面103d、从第三侧面103d以90°的角度弯折而形成谷部的第四平坦侧面103e、从第四侧面103e以90°的角度弯折而形成山峰的第五平坦侧面103f、从第五侧面103f以90°的角度弯折而形成谷部且向外周面103a的另一端部延伸的第六平坦侧面103g。

在两柱塞的滑动部93、103接触的状态下，第一柱塞的滑动部93的锯齿状侧面的山峰与第二柱塞的滑动部103的锯齿状侧面的谷部嵌合，作为整体，截面形状为圆形。

详细地，第一柱塞的滑动部93的第一～第六侧面93b～93g分别与第二柱塞的滑动部103的第一～第六侧面103b～103g面接触。

在这些变形例中，能够得到与上述第二实施方式的效果实质上同样的效果。

图9、图10所示的各柱塞的滑动部不以轴心为中心对称地形成，但为各滑动部的侧面彼此实质上密接的形状，故而无需特别考虑对称性。

(变形例)

本发明不限定于以上说明的实施方式，能够进行各种变形或变更，其也在本发明的技术范围内。

(1)各柱塞的滑动部的面积及长度等尺寸能够根据接触销的使用条件而适当变更。

(2)在第一实施方式中，将扇形部的中心角度设为90°，但也可以为90°以外的角度(例如60°)。另外，扇形部的个数也不特别限定。另外，在扇形部的敞开不易成为问题的情况下，也可以不设置将扇形部间连结的连结部。

(3)在第二实施方式中，将锯齿状侧面间的角度设为90°，但也可以为90°以外的角度。另外，扇形部的个数也不特别限定。

(4)第一及第二柱塞的前端部的形状不限于图1等所示的皇冠状或半球状，能够适当变更。

(5)本发明适用的接触销适合大电流量用、高频用，但用途不限于此，也能够适用于较小电流的测定或高频以外的测定，该情况下，能够得到电阻低、磨损少、可靠性及耐久性高等优点。

另外，测定对象物也不特别限定，除了半导体晶圆、半导体封装之外，也可以为任意的测定对象物。

Claims (6)

1.一种接触销，其具有：

第一柱塞；

相对于所述第一柱塞沿着规定的伸缩方向相对位移的第二柱塞；

对应于所述第一柱塞和所述第二柱塞的沿着所述伸缩方向的相对位移而产生反力的弹簧元件，

在所述第一柱塞及所述第二柱塞的一方连接有外部电路，在另一方形成有与测定对象物的接触部，其特征在于，

所述第一柱塞和所述第二柱塞经由多个滑动面部而接触，该多个滑动面部形成为包含沿着所述伸缩方向的直线的平面状且沿着所述伸缩方向延伸，并且角度相互不同而配置。

2.如权利要求1所述的接触销，其特征在于，

利用与所述伸缩方向正交的平面对所述第一柱塞的包含所述滑动面部的区域进行剖切而看到的截面形状具有同心配置的多个扇形部而构成，

利用与所述伸缩方向正交的平面对所述第二柱塞的包含所述滑动面部的区域进行剖切而看到的截面形状具有在所述第一柱塞的多个扇形部的间隔分别配置的多个扇形部而构成，

所述多个滑动面部沿着所述第一柱塞的所述扇形部及所述第二柱塞的所述扇形部的半径方向而放射状地配置。

3.如权利要求2所述的接触销，其特征在于，

将所述第一柱塞的多个所述扇形部和所述第二柱塞的多个所述扇形部的任一方在所述接触销的中心轴附近相互连接。

4.如权利要求1所述的接触销，其特征在于，

在利用与所述伸缩方向正交的平面对所述接触销进行剖切而看到的截面形状上，所述多个滑动面部锯齿状地配置。

5.如权利要求1～4中任一项所述的接触销，其特征在于，

所述弹簧元件为卷绕在所述第一柱塞及所述第二柱塞的具有所述滑动面部的区域的外径侧，并且具有与所述滑动面部邻接配置的密接部的螺旋弹簧。

6.如权利要求1～5中任一项所述的接触销，其特征在于，

所述第一柱塞及所述第二柱塞至少在通过切削加工形成了所述滑动面部之后实施镀敷。