CN105070674A - 一种适用于成卷柔性电子器件的逐片转移装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种适用于成卷柔性电子器件的逐片转移装置，包括薄膜进给单元、载带输送单元、真空辊吸附单元、压辊转移单元和废料剔除单元，其中薄膜进给单元用于薄膜的进给运动并对薄膜进行模切，模切后的薄膜经真空辊吸附单元驱动至压辊转移单元，模切后的薄膜在压辊转移单元中实现与载带之间的粘着和固定，废料剔除单元则根据工况需要提供多种对废料的实时检测和剔除操作。通过本发明，各个模块单元之间相互联系，共同协作，实现对成卷柔性电子器件逐片的高速检测转移过程，同时具备运动稳定性和可靠性好等优点。

Description

一种适用于成卷柔性电子器件的逐片转移装置
技术领域
本发明属于柔性电子制造相关设备领域，更具体地，涉及一种适用于成卷柔性电子器件的逐片转移装置。
背景技术
随着信息产业的迅猛发展，电子产品的应用越来越广泛，其需求量也日益增加。电子元器件是电子产品的最小单位，是电子产品应用的基础。随着现代科技的发展，电子设备产品越来越复杂，所采用的电子元器件种类和数量都呈爆发性增长，然而，任何微小的元件破损都会导致电路板甚至整个电子产品的报废。为保证电子元器件的可靠性，针对电子元器件的检测和转移的研究就一直未曾停止过，工业生产也对其可靠性提出越来越苛刻的要求。
尤其是，自柔性电子问世后，关于柔性电子有关生产工艺的研究日益增加，针对柔性电子转移装置的研究也越来越多。所谓柔性电子，是将有机或无机材料电子元件制作在柔性可延性塑料或薄金属基板上的新兴电子技术，其凭借独特的柔性和延展性以及高效、低成本制造工艺，在信息、能源、医疗、国防等领域具有广泛应用前景，如柔性电子显示器、有机发光二极管(OLED)、印刷RFID、薄膜太阳能电池板、电子用表面粘贴等。面对日益扩大的柔性电子的工业市场需求，柔性电子生产的合格率是进行大规模生产的前提。为此，针对柔性电子的参数检测、筛选以及转移的装置是实现柔性电子生产的关键环节之一。
现有技术中涉及柔性电子转移的改进方案很少，而且更多地集中在柔性电子的装置转印以及有关柔性电子应用等方面。在实际应用中发现，目前的检测设备结构复杂，价格昂贵，并且国内大部分电子元器件制造企业尚处于劳动密集型生产方式，在产品制造过程中各道工序中的检测通常采用人工检测方式，该方式劳动强度大、成本高、误检率高且检测效率低，因而严重影响生产效率。
发明内容
针对现有技术的以上缺陷或改进需求，本发明提供了一种适用于成卷柔性电子器件的逐片转移装置，其中通过结合柔性电子自身的结构及制造工艺特点，相应设计整套关于成卷柔性电子器件的输送、检测、剔除和转移工艺处理的系统内部构成，并对其关键组件如真空辊吸附单元、废料剔除单元和压辊转移单元等的具体结构及其相互设置方式进行改进，测试表明与现有设备相比能够显著提高检测精度和效率、同时具备结构紧凑、便于操控、使用方便和自动化程度高等特点，因而尤其适用于柔性电子之类产品的大批量规模化生产场合。
为实现上述目的，按照本发明，提供了一种适用于成卷柔性电子器件的逐片转移装置，其特征在于，该逐片转移装置包括薄膜进给单元、载带输送单元、真空辊吸附单元、压辊转移单元和废料剔除单元，其中：
所述薄膜进给单元包括沿着薄膜进给路径依次设置的薄膜放料辊、第一惰辊、薄膜进给对辊和模切刀辊，其中薄膜放料辊用于将成卷的柔性电子器件薄膜执行开卷，然后经由第一惰辊和薄膜进给对辊输送至模切刀辊处；模切刀辊则与模切支撑台相互配合，用于将柔性电子器件薄膜切割成所需规格的多个片状结构；
所述载带输送单元整体设置在所述薄膜进给单元的下部，并包括沿着载带输送路径依次设置的载带放料辊、第二惰辊、载带输送对辊和载带收料辊，由此用于执行载带从载带放料辊到载带收料辊的输送；
所述真空辊吸附单元与所述压辊转移单元相互保持对置地分别设置在所述载带输送路径的上下两侧，其中真空辊吸附单元处于所述模切刀辊的下游侧，并用于将所述多个片状结构以逐片转移的方式真空吸附到它的上面，然后执行旋转运动；压辊转移单元则通过其相对于所述真空辊吸附单元的上下移动和施压操作，使得各个片状结构粘附在所述载带上，同时逐片从真空辊吸附单元上予以剥离；
所述废料剔除单元包括粘着前传感器、旋转臂、粘着前废料盒和粘着后废料盒，其中粘着前传感器用于在所述片状结构与载带完成粘附之前，对各个片状结构的质量缺陷执行实时检测，然后根据工况的不同需求来选择性执行以下的废料剔除方式：
(a)吸嘴吸取剔除方式，即当粘着前传感器检测发现存在质量缺陷的废料后，所述旋转臂通过其配置的真空吸嘴对各废料执行真空吸附，然后旋转一定角度后喷出至所述粘着前废料盒中；
(b)真空正压剔除方式，即当粘着前传感器检测发现存在质量缺陷的废料后，所述压辊转移单元相对于所述真空辊吸附单元向下移动，避免该废料粘附在载带上，然后所述真空辊吸附单元旋转一定角度后由其自身产生正压，由此将此废料喷出至所述粘着后废料盒中。
作为进一步优选地，所述模切刀辊包括辊体、模切刀槽和模切刀，其中模切刀槽的数量为多个，它们沿着辊体的周向方向彼此等距间隔地布置，并且各个模切刀槽的长度一致且沿着辊体的轴向方向平行延伸；模切刀可拆卸地安装在各个模切刀槽中，并可根据柔性电子器件薄膜的长度来调整其安装位置，由此实现对所述片状结构的切割规格的粗调整。
作为进一步优选地，所诉模切支撑台优选呈具有加强筋的悬臂结构，由此在增加强度的同时，为柔性电子器件薄膜提供平滑的运动过渡平台。
作为进一步优选地，所述真空辊吸附单元包括旋转轴、真空腔盖板、真空腔挡板、轴心、真空腔隔板以及多分舱隔板，其中该旋转轴呈空心结构，并通过套设在其内部的所述真空腔盖板、以及设置在其端部的所述真空腔挡板共同构成内部的密闭腔室；该轴心沿着轴向方向贯穿安装于所述密闭腔室中，并开设有由外端部通向所述密闭腔室的气道；该真空腔隔板的数量为多个，它们沿着径向方向分别设置在所述轴心与所述所述真空腔盖板之间，由此将所述密闭腔室划分为多个舱室；该多分舱隔板则沿着径向方向将各个舱室进一步划分为多个分舱；以此方式，在所述旋转轴的运转过程中，通过外部气流阀门来调节气流经由所述气道进入到各个分舱间的气压值，从而实现以上真空辊吸附单元在正负气压之间的快速转换。
作为进一步优选地，各个所述真空腔隔板的端部、以及各个所述多分舱隔板的端部均优选呈T型凹槽的形式，并配合嵌入有橡胶密封条。
作为进一步优选地，所述压辊转移单元包括安装模块、力输出件、压辊支撑件和压辊，其中该力输出件安装在所述安装模块上，并用于沿着竖直方向输出驱动力；该压辊支撑件在所述力输出件的驱动作用下，连同所述压辊一同沿着竖直方向向上移动，由此使得所述片状结构粘附于所述载带之上，或是沿着竖直方向向下移动，由此避免出现质量缺陷的废料粘附在所述载带上，进而执行所述真空正压剔除的过程。
作为进一步优选地，上述逐片转移装置还包括检测单元，该检测单元包括粘着后传感器、标记部件及其相应的驱动部件，其中该粘着后传感器用于在所述片状结构与载带完成粘附之后，对各个柔性电子器件产品的质量缺陷执行实时检测；该标记部件则在所述驱动部件的驱动下，相应对存在质量缺陷的废品施加相应的标记。
作为进一步优选地，上述逐片转移装置还配备有电机编码器分别对所述薄膜进给对辊、模切刀辊、旋转轴和载带输送对辊的转动位置实时获取位置反馈信号，然后通过位置控制器依照以下公式对它们执行统一的同步控制：
P r 1 * r 1 = P r 2 * r 2 = P r 3 * r 3 = P r 4 * r 4
其中，r1表示所述薄膜进给对辊的半径，表示所述位置控制器对该薄膜进给对辊所施加的转动位移指令；r2表示所述模切刀辊的半径，表示所述位置控制器对该模切刀辊所施加的转动位移指令；r3表示所述旋转轴的半径，表示所述位置控制器对该旋转轴所施加的转动位移指令；r4表示所述载带输送对辊的半径，表示所述位置控制器对该载带输送对辊所施加的转动位移指令。
总体而言，通过本发明所构思的以上技术方案与现有技术相比，主要具备以下的技术优点：
1、本发明通过对柔性电子器件薄膜的整体制备流程进行分析，将各个功能单元在整体构造的布局进行了综合考虑，相应能够以结构紧凑、便于高速运动和实时操控的方式实现对柔性电子薄膜执行从来料模切到逐片转移的精确运动，尤其是，通过对其废料检测和多种处理模式的设计，能够进一步确保最终生产成品备的质量，同时提高废料处理的自动化程度和效率；
2、本发明中通过对真空辊吸附单元的具体结构及其设置方式也进行了研究和设计，特别是通过采用多舱室分布、内部密闭空间结构以及正负压转换相关等技术手段，相应能够在实现高精度逐片转移的同时，同时兼备废料剔除的功能，整体结构尺寸小、使用方便，并尤其适用于工业化大批量规模生产的应用场合；
3、与其他类似技术相比，本发明能够实现柔性电子器件制备过程中检测与转移基本同步进行的效果，并实现吸嘴吸取剔除和真空正压剔除两种不同的可选择方案；此外，通过对粘着前传感器和粘着后传感器的分别设置，可执行柔性电子器件成品在粘着前后不同阶段的质量和参数检测，从而显著提高最终产品的质量监控；
4、在检测、转移与排废等多功能叠加的过程中，为保证柔性电子薄膜运动速度的平稳性，面临多个运动规律的协调控制问题，为此，本发明为保证柔性电子薄膜线速度稳定性，还提出了对相关辊元件执行电机运动的同步控制，以实现高速柔性电子薄膜检测、转移和排废过程中的稳定性；
5、按照本发明的转移装置通过对其整体功能和机构组成、布局的设计，能够顺利完成高速运输、检测、真空吸附、转移、排废等一系列功能，实现柔性薄膜的高精度转移。该装置整体结构紧凑、布局巧妙且操作简单，因而尤其适用于柔性电子薄膜在高速制备及检测中的效率和功能要求。
附图说明
图1是按照本发明优选实施例适用于成卷柔性电子器件的逐片转移装置的整体构造示意图；
图2是图1中所示薄膜进给单元的结构分解示意图；
图3是图2中所示薄膜进给单元中的模切刀辊的结构分解示意图；
图4是图1中所示真空辊吸附单元的结构分解示意图；
图5是图4中所示真空辊吸附单元的结构截面图；
图6是图1中所示压辊转移单元的结构分解示意图；
图7是图1中所示废料剔除单元的结构分解示意图；
图8是图1中所示检测单元的结构分解示意图；
图9是图1中所示载带输送单元的结构示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。此外，下面所描述的本发明各个实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
图1是按照本发明优选实施例适用于成卷柔性电子器件的逐片转移装置的整体构造示意图。如图1中所示，该逐片转移装置主要包括薄膜进给单元100、载带输送单元600、真空辊吸附单元200、压辊转移单元300和废料剔除单元400等，并通过各个模块单元之间相互联系，共同协作，实现对成卷柔性电子器件逐片的高速检测转移的目标。
具体而言，进一步参见图2和图3，所述薄膜进给单元100譬如包括沿着薄膜进给路径依次设置的薄膜放料辊101、第一惰辊104、薄膜进给对辊103和模切刀辊102，其中薄膜放料辊101用于将成卷的柔性电子器件薄膜1执行开卷，然后经由第一惰辊104和薄膜进给对辊103输送至模切刀辊102处；模切刀辊102则与模切支撑台105相互配合，用于将柔性电子器件薄膜切割成所需规格的多个片状结构。
对于以上薄膜进给单元，可以通过调整模切刀辊的速度在一定范围内实现薄膜模切长度的微调整；此外，按照本发明的一个优选实施例，模切刀辊包含模切刀1021和模切刀槽1022，其中模切刀2021可拆卸地安装(譬如，通过嵌合方式安装，并用压紧垫块进行固定)在各个模切刀槽1022中，并可根据柔性电子器件薄膜的长度来调整其安装位置，由此实现对所述片状结构的切割规格的粗调整；而对于模切刀槽1022而言，其数量为多个，它们沿着辊体的周向方向彼此等距间隔地布置，并且各个模切刀槽的长度一致且沿着辊体的轴向方向平行延伸。此外，所述模切支撑台105优选呈具有加强筋的悬臂结构，由此在增加强度的同时，能够为柔性电子器件薄膜提供平滑的运动过渡平台。
参见图9，载带输送单元600整体设置在所述薄膜进给单元100的下部，并包括沿着载带输送路径依次设置的载带放料辊603、第二惰辊601、载带输送对辊602和载带收料辊604，由此用于执行载带2从载带放料辊603到载带收料辊604的输送。
按照本发明示范性实施例，如图中具体所示，载带放料辊603、载带收料辊604分别设置在载带输送路径的左右两端且相对保持水平，载带输送路径包括从载带放料辊603到第二惰辊601且呈竖直方式设置的第一路径、从第二惰辊601到载带输送对辊602且呈弧形方式设置的第二路径，以及从载带输送对辊602到载带收料辊604且同样呈竖直方式设置的第三路径，由此共同组成了一个完整的载带输送通道。
返回参照图1，所述真空辊吸附单元200与所述压辊转移单元300相互保持对置地分别设置在所述载带输送路径的上下两侧，譬如更具体地设置在第二路径的上下两侧，其中真空辊吸附单元200处于所述模切刀辊102的下游侧，并用于将所述多个片状结构以逐片转移的方式真空吸附到它的上面，然后执行旋转运动；压辊转移单元300则通过其相对于所述真空辊吸附单元200的上下移动和施压操作，使得各个片状结构粘附在所述载带上，同时逐片从真空辊吸附单元200上予以剥离。
更具体地，对于构成另一关键组件的真空辊吸附单元200而言，参见图4和图5，按照本发明的一个优选实施例，该真空辊吸附单元200包括旋转轴201、真空腔盖板205、真空腔挡板204、轴心202、真空腔隔板206以及多分舱隔板207，其中该旋转轴201呈空心结构，并通过套设在其内部的真空腔盖板205、以及设置在其端部的真空腔挡板204共同构成内部的密闭腔室；该轴心202沿着轴向方向贯穿安装于所述密闭腔室中，并开设有由外端部通向所述密闭腔室的气道209；该真空腔隔板206的数量为多个，它们沿着径向方向分别设置在轴心202与真空腔盖板205之间，由此将所述密闭腔室划分为多个舱室；该多分舱隔板207则沿着径向方向将各个舱室进一步划分为多个分舱；以此方式，在旋转轴201的运转过程中，通过外部气流阀门来调节气流经由所述气道进入到各个分舱间的气压值，从而实现以上真空辊吸附单元在正负气压之间的快速转换。
按照本发明的另一优选实施例，上述真空辊吸附单元的气道开口也即气孔的大小、数量和宽度可进行更换，由此根据柔性电子薄膜的种类适应性进行操作。此外，各个所述真空腔隔板206的端部、以及各个所述多分舱隔板207的端部均优选呈T型凹槽的形式，并配合嵌入有橡胶密封条，由此进一步提高相关元件之间的安装操作性，同时确保吸附效果。
更具体地，对于构成压辊转移单元300而言，参见图6，按照本发明的一个优选实施例，该压辊转移单元300包括安装模块304、力输出件303、压辊支撑件302和压辊301，其中该力输出件303安装在所述安装模块304上，并用于沿着竖直方向输出驱动力；该压辊支撑件302在所述力输出件303的驱动作用下，连同所述压辊301一同沿着竖直方向向上移动，由此使得所述片状结构粘附于所述载带之上，或是沿着竖直方向向下移动，由此避免出现质量缺陷的废料粘附在所述载带上，进而执行下面将来具体描述的真空正压剔除的过程。
参见图7，作为本发明的另一关键组件，按照本发明的一个优选实施例，废料剔除单元400包括粘着前传感器401、旋转臂403、粘着前废料盒404和粘着后废料盒405等，其中粘着前传感器401用于在所述片状结构与载带完成粘附之前，对各个片状结构的质量缺陷执行实时检测，然后根据工况的不同需求来选择性执行以下的废料剔除方式：(a)吸嘴吸取剔除方式，即当粘着前传感器401检测发现存在质量缺陷的废料后，所述旋转臂403通过其配置的真空吸嘴402对各废料执行真空吸附，然后旋转一定角度后喷出至所述粘着前废料盒404中；(b)真空正压剔除方式，即当着粘着前传感器401检测发现存在质量缺陷的废料后，所述压辊转移单元300相对于真空辊吸附单元200向下移动，避免该废料粘附在载带上，然后真空辊吸附单元200旋转一定角度后由其自身产生正压，由此将此废料喷出至粘着后废料盒405中。
此外，参见图8，按照本发明的逐片转移装置还可以包括检测单元500，该检测单元500譬如包括粘着后传感器501、标记部件503及其相应的驱动部件502，其中该粘着后传感器501用于在所述片状结构与载带完成粘附之后，对各个柔性电子器件产品的质量缺陷执行实时检测；该标记部件503则在所述驱动部件502的驱动下，相应对存在质量缺陷的废品施加相应的标记。以此方式，通过与粘着前检测方式的相互配合，能够执行柔性电子器件成品在粘着前后不同阶段的质量和参数检测，从而显著提高最终产品的质量监控效果。
综上所述，本发明提出了一整套关于成卷柔性电子薄膜逐片检测、剔除和转移等工艺流程、功能模型在整体构造的布局设计，真空辊转移技术、薄膜线速度同步技术设计，能够满足目前柔性电子薄膜高速、平稳的运行要求，同时该装置具有功能多，检测效率高，结构尺寸小，运行速度快，使用方便的特点，适用于工业化、规模化生产的应用场合。
此外，对于上述废料剔除单元而言，真空吸嘴气压可以由专设真空发生器提供，旋转臂的轴端应直接与伺服电机连接，由此实现废料的高速精确的定位和排废。
考虑到在检测、转移与排废等多功能叠加的过程中，为保证柔性电子薄膜运动速度的平稳性，面临多个运动规律的协调控制问题，为此，本发明为保证柔性电子薄膜线速度稳定性，还提出了一套电机运动控制方法，以实现高速柔性电子薄膜检测、转移和排废过程中的稳定性。
按照本发明的一个优选实施方式，上述逐片转移装置还可以配备有电机编码器分别对所述薄膜进给对辊103、模切刀辊102、旋转轴201和载带输送对辊602的转动位置实时获取位置反馈信号，然后通过位置控制器优选依照以下公式对它们执行统一的同步控制：
P r 1 * r 1 = P r 2 * r 2 = P r 3 * r 3 = P r 4 * r 4
其中，r1表示所述薄膜进给对辊的半径，表示所述位置控制器对该薄膜进给对辊所施加的转动位移指令；r2表示所述模切刀辊的半径，表示所述位置控制器对该模切刀辊所施加的转动位移指令；r3表示所述旋转轴的半径，表示所述位置控制器对该旋转轴所施加的转动位移指令；r4表示所述载带输送对辊的半径，表示所述位置控制器对该载带输送对辊所施加的转动位移指令。
本领域的技术人员容易理解，以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种适用于成卷柔性电子器件的逐片转移装置，其特征在于，该逐片转移装置包括薄膜进给单元(100)、载带输送单元(600)、真空辊吸附单元(200)、压辊转移单元(300)和废料剔除单元(400)，其中：
所述薄膜进给单元(100)包括沿着薄膜进给路径依次设置的薄膜放料辊(101)、第一惰辊(104)、薄膜进给对辊(103)和模切刀辊(102)，其中薄膜放料辊(101)用于将成卷的柔性电子器件薄膜执行开卷，然后经由第一惰辊(104)和薄膜进给对辊(103)输送至模切刀辊(102)处；模切刀辊(102)则与模切支撑台(105)相互配合，用于将柔性电子器件薄膜切割成所需规格的多个片状结构；
所述载带输送单元(600)整体设置在所述薄膜进给单元(100)的下部，并包括沿着载带输送路径依次设置的载带放料辊(603)、第二惰辊(601)、载带输送对辊(602)和载带收料辊(604)，由此用于执行载带从载带放料辊(603)到载带收料辊(604)的输送；
所述真空辊吸附单元(200)与所述压辊转移单元(300)相互保持对置地分别设置在所述载带输送路径的上下两侧，其中真空辊吸附单元(200)处于所述模切刀辊(102)的下游侧，并用于将所述多个片状结构以逐片转移的方式真空吸附到它的上面，然后执行旋转运动；压辊转移单元(300)则通过其相对于所述真空辊吸附单元(200)的上下移动和施压操作，使得各个片状结构粘附在所述载带上，同时逐片从真空辊吸附单元(200)上予以剥离；
所述废料剔除单元(400)包括粘着前传感器(401)、旋转臂(403)、粘着前废料盒(404)和粘着后废料盒(405)，其中粘着前传感器(401)用于在所述片状结构与载带完成粘附之前，对各个片状结构的质量缺陷执行实时检测，然后根据工况的不同需求来选择性执行以下的废料剔除方式：
(a)吸嘴吸取剔除方式，即当粘着前传感器(401)检测发现存在质量缺陷的废料后，所述旋转臂(403)通过其配置的真空吸嘴(402)对各废料执行真空吸附，然后旋转一定角度后喷出至所述粘着前废料盒(404)中；
(b)真空正压剔除方式，即当粘着前传感器(401)检测发现存在质量缺陷的废料后，所述压辊转移单元(300)相对于所述真空辊吸附单元(200)向下移动，避免该废料粘附在载带上，然后所述真空辊吸附单元(200)旋转一定角度后由其自身产生正压，由此将此废料喷出至所述粘着后废料盒(405)中。
2.如权利要求1所述的逐片转移装置，其特征在于，所述模切刀辊(102)包括辊体、模切刀槽(1022)和模切刀(1021)，其中模切刀槽(1022)的数量为多个，它们沿着辊体的周向方向彼此等距间隔地布置，并且各个模切刀槽(1022)的长度一致且沿着辊体的轴向方向平行延伸；模切刀(1021)可拆卸地安装在各个模切刀槽(1022)中，并可根据柔性电子器件薄膜的长度来调整其安装位置，由此实现对所述片状结构的切割规格的粗调整。
3.如权利要求1或2所述的逐片转移装置，其特征在于，所述模切支撑台(105)优选呈具有加强筋的悬臂结构，由此在增加强度的同时，为柔性电子器件薄膜提供平滑的运动过渡平台。
4.如权利要求1-3任意一项所述的逐片转移装置，其特征在于，所述真空辊吸附单元(200)优选包括旋转轴(201)、真空腔盖板(205)、真空腔挡板(204)、轴心(202)、真空腔隔板(206)以及多分舱隔板(207)，其中该旋转轴(201)呈空心结构，并通过套设在其内部的所述真空腔盖板(205)、以及设置在其端部的所述真空腔挡板(204)共同构成内部的密闭腔室；该轴心(202)沿着轴向方向贯穿安装于所述密闭腔室中，并开设有由外端部通向所述密闭腔室的气道；该真空腔隔板(206)的数量为多个，它们沿着径向方向分别设置在所述轴心(202)与所述所述真空腔盖板(205)之间，由此将所述密闭腔室划分为多个舱室；该多分舱隔板(207)则沿着径向方向将各个舱室进一步划分为多个分舱；以此方式，在所述旋转轴(201)的运转过程中，通过外部气流阀门来调节气流经由所述气道进入到各个分舱间的气压值，从而实现以上真空辊吸附单元在正负气压之间的快速转换。
5.如权利要求4所述的逐片转移装置，其特征在于，各个所述真空腔隔板(206)的端部、以及各个所述多分舱隔板(207)的端部均优选呈T型凹槽的形式，并配合嵌入有橡胶密封条。
6.如权利要求1-5任意一项所述的逐片转移装置，其特征在于，所述压辊转移单元(300)包括安装模块(304)、力输出件(303)、压辊支撑件(302)和压辊(301)，其中该力输出件(303)安装在所述安装模块(304)上，并用于沿着竖直方向输出驱动力；该压辊支撑件(302)在所述力输出件(303)的驱动作用下，连同所述压辊(301)一同沿着竖直方向向上移动，由此使得所述片状结构粘附于所述载带之上，或是沿着竖直方向向下移动，由此避免出现质量缺陷的废料粘附在所述载带上，进而执行所述真空正压剔除的过程。
7.如权利要求1-6任意一项所述的逐片转移装置，其特征在于，上述逐片转移装置还包括检测单元(500)，该检测单元(500)包括粘着后传感器(501)、标记部件(503)及其相应的驱动部件(502)，其中该粘着后传感器(501)用于在所述片状结构与载带完成粘附之后，对各个柔性电子器件产品的质量缺陷执行实时检测；该标记部件(503)则在所述驱动部件(502)的驱动下，相应对存在质量缺陷的废品施加相应的标记。
8.如权利要求1-7任意一项所述的逐片转移装置，其特征在于，上述逐片转移装置还配备有电机编码器分别对所述薄膜进给对辊(103)、模切刀辊(102)、旋转轴(201)和载带输送对辊(602)的转动位置实时获取位置反馈信号，然后通过位置控制器优选依照以下公式对它们执行统一的同步控制：
其中，r1表示所述薄膜进给对辊的半径，表示所述位置控制器对该薄膜进给对辊所施加的转动位移指令；r2表示所述模切刀辊的半径，表示所述位置控制器对该模切刀辊所施加的转动位移指令；r3表示所述旋转轴的半径，表示所述位置控制器对该旋转轴所施加的转动位移指令；r4表示所述载带输送对辊的半径，表示所述位置控制器对该载带输送对辊所施加的转动位移指令。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109399312A (zh) * 2018-12-25 2019-03-01 美塞斯（珠海）工业自动化设备有限公司 一种真空辊
CN110342010A (zh) * 2019-07-29 2019-10-18 艾达(广东)智能设备有限公司 转帖系统及复合系统
WO2020042744A1 (zh) * 2018-08-29 2020-03-05 华中科技大学 一种基于卷绕工艺的微器件激光剥离巨量转移装置及方法
CN111044841A (zh) * 2019-12-31 2020-04-21 武汉数字化设计与制造创新中心有限公司 一种柔性电子卷绕检测设备及方法
CN113715466A (zh) * 2021-08-31 2021-11-30 东莞市艾尔玛科技有限公司 一种纳米纹理转印装饰面板的制作装置及工艺

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61197364A (ja) * 1985-02-28 1986-09-01 Sanyo Electric Co Ltd 電子部品の自動装着装置におけるテ−プ移送装置
JP2004167726A (ja) * 2002-11-18 2004-06-17 Japan Wavelock Co Ltd エンボスキャリアテープの製造方法、及び、エンボスキャリアテープ製造装置
CN101341501A (zh) * 2005-12-22 2009-01-07 艾利丹尼森公司 制造rfid器件的方法
CN101923656A (zh) * 2010-09-28 2010-12-22 黄佳佳 一种模切型标签的加工方法及加工设备

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61197364A (ja) * 1985-02-28 1986-09-01 Sanyo Electric Co Ltd 電子部品の自動装着装置におけるテ−プ移送装置
JP2004167726A (ja) * 2002-11-18 2004-06-17 Japan Wavelock Co Ltd エンボスキャリアテープの製造方法、及び、エンボスキャリアテープ製造装置
CN101341501A (zh) * 2005-12-22 2009-01-07 艾利丹尼森公司 制造rfid器件的方法
CN101923656A (zh) * 2010-09-28 2010-12-22 黄佳佳 一种模切型标签的加工方法及加工设备

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020042744A1 (zh) * 2018-08-29 2020-03-05 华中科技大学 一种基于卷绕工艺的微器件激光剥离巨量转移装置及方法
US11031263B2 (en) 2018-08-29 2021-06-08 Huazhong University Of Science And Technology Laser stripping mass-transfer device and method for microdevices based on winding process
CN109399312A (zh) * 2018-12-25 2019-03-01 美塞斯（珠海）工业自动化设备有限公司 一种真空辊
CN110342010A (zh) * 2019-07-29 2019-10-18 艾达(广东)智能设备有限公司 转帖系统及复合系统
CN111044841A (zh) * 2019-12-31 2020-04-21 武汉数字化设计与制造创新中心有限公司 一种柔性电子卷绕检测设备及方法
CN113715466A (zh) * 2021-08-31 2021-11-30 东莞市艾尔玛科技有限公司 一种纳米纹理转印装饰面板的制作装置及工艺

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