CN104950595B - 一种侧立安装式双工件台装置 - Google Patents
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Abstract
一种侧立安装式双工件台装置,其括一基座,所述基座包括一底座与两侧边,所述两侧边分别设有相互平行的水平导轨,所述两水平导轨上分别设置有第一滑动工作台组件、第二滑动工作台组件,所述两滑动工作台组件沿各自所在水平导轨方向上具有相同的水平滑动行程;所述第一滑动工作台组件包括一第一工作台,所述第二滑动工作台组件包括一第二工作台,所述第一工作台与第二工作台之间具有一平行间距,所述两工作台可分别平行移动至对方所在的平面。本发明的两个工作台通过水平导轨、竖直导轨交换各自位置,在不同位置完成不同的工序,并通过交换位置完成工序的交换,实现了PCB板曝光与装卸的同时进行,增加了曝光效率。
Description
技术领域
本发明涉及一种工件台装置,特别是一种具有两相互独立工作的工件台的装置。
背景技术
定位平台是PCB直接成像设备必须配置的零部件,用于吸附固定PCB板,初步定位PCB板的位置,保证在LDI光刻过程中PCB能随工件台的移动到达正确的位置及以正确的路线和速度移动。由于PCB板的表面需要涂覆感光膜,所以PCB板的定位固定方式多用吸附式。在现代工业生产中,对效率的追求是无止境的。双工件台装置可以有效的提升LDI曝光机的效率,在上工件台面完成收板和放板,以及对准的工作,在下工件台面完成曝光的工作。相当于一台设备完成两台设备的工作量。由于上下两个工件台是互不干涉的,所以工作可以并行进行。目前PCB直接成像设备使用的工件台基本上以单工件台为主,也有双工件台的。但是,目前的双工件台就是两个工件台的叠加,两个工件台平行放置。人机交互就是两个工位,没有上下的交换。虽然对效率也有一定的提升,但不能算是真正的双工件台。
发明内容
本发明提供了一种侧立安装式双工件台装置,其包括一基座,所述基座包括一底座与两侧边,所述两侧边分别设有相互平行的水平导轨,所述两水平导轨上分别设置有第一滑动工件台组件、第二滑动工件台组件,所述第一滑动工件台组件、第二滑动工件台组件沿各自所在水平导轨方向上具有相同的水平滑动行程,所在两工件台组件分别在两水平导轨上独立滑动;
所述第一滑动工件台组件包括一第一工件台,所述第二滑动工件台组件包括一第二工件台,所述第一工件台与第二工件台用于固定工件,所述第一工件台、第二工件台分别与所述底座平行,所述第一工件台与第二工件台之间具有一平行间距,所述两工件台可分别平行移动至对方所在的平面。
较佳地,所述第一滑动工件台组件包括一第一水平滑座,第二滑动工件台组件包括一第二水平滑座,所述第一水平滑座与第二水平滑座分别与两水平导轨连接,所述两水平滑座上分别设有与底座垂直的竖直导轨,所述竖直导轨上设有竖直滑座,所述竖直滑座上连接有支撑架,所述第一工件台、第二工件台分别设于两支撑架上。
较佳地,所述第一工件台、第二工件台分别设有工作吸盘。
较佳地,所述第一滑动工件台组件、第二滑动工件台组件分别位于水平滑动行程的第一端点/第二端点、第二端点/第一端点;所述第一滑动工件台位于第一端点时,所述第二滑动工件台位于第二端点,所述第一工件台位于所述第二工件台上端,所述第一工件台所在区域为PCB装卸区域,所述第二工件台所在区域为PCB曝光区域;所述第一工件台与第二工件台可通过水平位移与竖直位移完成位置互换。
较佳地,所述两侧边内侧分别开有条形安装槽,所述两水平导轨分别设于所述条形安装槽内。
较佳地,所述第一滑动工件台组件与第二滑动工件台组件分别具有水平驱动装置、竖直驱动装置,所述水平驱动装置用于驱动滑动工件台组件在水平导轨上移动,所述竖直驱动装置用于驱动两工件台平行移动至对方所在的平面。
较佳地,包括以下步骤:
S1:分别将第一滑动工件台组件与第二滑动工件台组件在各自水平导轨上移动至第一端点与第二端点;将所述第一工件台移动至上端面,将第二工件台移动至下端面;
S2:将一待曝光PCB板放置在所述第一工件台上,将所述第一工件台与第二工件台所在平面位置调换,并将所述第一滑动工件台组件滑动至所述第二端点,将所述第二滑动工件台组件滑动至所述第一端点;
S3:开启曝光装置对所述第一工件台上的PCB板进行曝光,同时在所述第二工件台上放置PCB板;
S4:曝光结束后,调换所述第一工件台与第二工件台所在平面,同时分别将第一滑动工件台组件、第二滑动工件台组件在各自水平导轨上移动至第一端点、第二端点;
S5:将所述第一工件台上的PCB板取下并放置另一未曝光的PCB板,同时开启曝光装置对第二工件台上的PCB板曝光;
S6:曝光结束后,调换所述第一工件台与第二工件台所在平面,同时分别将第一滑动工件台组件、第二滑动工件台组件在各自水平导轨上移动至第二端点、第一端点;
S7:将所述第二工件台上的PCB板取下并放置另一未曝光的PCB板,同时开启曝光装置对第一工件台上的PCB板曝光;
S8:继续执行步骤S4至S7直至完成所有PCB板的曝光处理。
本发明具有以下有益效果:
本发明的两个工件台通过水平导轨、竖直导轨交换各自位置,在不同位置完成不同的工序,并通过交换位置完成工序的交换,且两个工件台的工序之间互相不影响,实现了PCB板曝光与装卸的同时进行,增加了曝光效率。
当然,实施本发明的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案,下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的侧立安装式双工件台装置主视图;
图2为本发明实施例提供的侧立安装式双工件台装置立体图;
图3为本发明实施例提供的侧立安装式双工件台装置侧面剖视图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本发明保护的范围。
本发明实施例提供了一种侧立安装式双工件台装置,其包括一基座,图1为本发明实施例提供的侧立安装式双工件台装置主视图,图2为本发明实施例提供的侧立安装式双工件台装置立体图;其具体为一凹形,所述基座包括一底座1、第一侧边11、第二侧边12,第一侧边设有第一水平导轨21,第二侧边上设有第二水平导轨22,第一水平导轨21与第二水平导轨22相互平行,第一水平导轨21、第二水平导轨22上分别设置有第一滑动工件台组件、第二滑动工件台组件,所述第一滑动工件台组件、第二滑动工件台组件沿各自所在水平导轨方向上具有相同的水平滑动行程,所在两工件台组件分别在两水平导轨上独立滑动,两工件台组件在各自的水平导轨上来回滑动相互没有影响;
所述第一滑动工件台组件包括一第一工件台71,所述第二滑动工件台组件包括一第二工件台72,第一工件台71与第二工件台72用于固定工件,第一工件台71、第二工件台72分别与底座1平行,第一工件台71与第二工件台72之间具有一平行间距,所述两工件台可分别平行移动至对方所在的平面,如图3所示,本实施例中两工件台分别位于工件台面A与工件台面B。
本实施例中,所述第一滑动工件台组件包括一第一水平滑座31,第二滑动工件台组件包括一第二水平滑座32,所述第一水平滑座31与第二水平滑座32分别与两水平导轨连接,第一水平滑座31、第二水平滑座32分别设有与底座垂直的第一竖直导轨41、第二竖直导轨42,第一竖直导轨41上设有第一竖直滑座51,第二竖直导轨42上设有第二竖直滑座52,第一竖直滑座51、第二竖直滑座52上分别连接有第一支撑架61、第二支撑架62,第一工件台71、第二工件台72分别设于第一支撑架61、第二支撑架62上。
本实施例中,第一工件台71、第二工件台72分别设有工作吸盘。工作吸盘用于吸附工件,使工件固定在工件台上。
本实施例用于加工的工件为PCB板,主要是对PCB板进行曝光处理。
本实施例提供的水平滑动行程的两个端点分别为第一端点与第二端点,所述第一滑动工件台组件、第二滑动工件台组件分别位于水平滑动行程的第一端点/第二端点、第二端点/第一端点;所述第一滑动工件台位于第一端点时,所述第二滑动工件台位于第二端点,第一工件台71位于第二工件台72上端,第一工件台71所在区域为PCB装卸区域,第二工件台72所在区域为PCB曝光区域;PCB装卸区域用于在工件台上安放待曝光PCB板,以及卸下已完成曝光的PCB板,装卸工作可有机械手完成,也可以由人工完成,由于执行装卸操作需要一定空间,所以PCB装卸区域位于上端面;PCB曝光区域在曝光装置的曝光环境下,在此区域内的PCB板完成曝光工序。第一工件台71与第二工件台72可通过水平位移与竖直位移完成位置互换。
本实施例中所述两侧边内侧分别开有条形安装槽,所述两水平导轨分别设于所述条形安装槽内,通过安装槽可以节省基座内的空间,为其他结构的实施节省足够的空间。当然本发明也可以直接将导轨安装在两侧边上,本发明不对安装结构进行具体限制。
所述第一滑动工件台组件与第二滑动工件台组件分别具有水平驱动装置、竖直驱动装置,所述水平驱动装置用于驱动滑动工件台组件在水平导轨上移动,所述竖直驱动装置用于驱动两工件台平行移动至对方所在的平面。本实施例中水平驱动装置、竖直驱动装置可以是电机。
本实施例提供了一种侧立安装式双工件台装置的工作方法,其包括以下步骤:
S1:分别将第一滑动工件台组件与第二滑动工件台组件在各自水平导轨上移动至第一端点与第二端点;将第一工件台71移动至上端面,将第二工件台72移动至下端面,如图3所示上端面、下端面为工件台面A、工件台面B;
S2:将一待曝光PCB板放置在第一工件台71上,将第一工件台71与第二工件台72所在平面位置调换,并将所述第一滑动工件台组件滑动至所述第二端点,将所述第二滑动工件台组件滑动至所述第一端点;
S3:开启曝光装置对第一工件台71上的PCB板进行曝光,同时在第二工件台72上放置PCB板;
S4:曝光结束后,调换第一工件台71与第二工件台72所在平面,同时分别将第一滑动工件台组件、第二滑动工件台组件在各自水平导轨上移动至第一端点、第二端点;
S5:将第一工件台71上的PCB板取下并放置另一未曝光的PCB板,同时开启曝光装置对第二工件台72上的PCB板曝光;
S6:曝光结束后,调换第一工件台71与第二工件台72所在平面,同时分别将第一滑动工件台组件、第二滑动工件台组件在各自水平导轨上移动至第二端点、第一端点;
S7:将第二工件台72上的PCB板取下并放置另一未曝光的PCB板,同时开启曝光装置对第一工件台71上的PCB板曝光;
S8:继续执行步骤S4至S7直至完成所有PCB板的曝光处理。
本发明的两个工件台通过水平导轨、竖直导轨交换各自位置,在不同位置完成不同的工序,并通过交换位置完成工序的交换,且两个工件台的工序之间互相不影响,实现了PCB板曝光与装卸的同时进行,增加了曝光效率。
以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节,也不限制该发明仅为所述的具体实施方式。显然,根据本说明书的内容,可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例,是为了更好地解释本发明的原理和实际应用,从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。
Claims (6)
1.一种侧立安装式双工件台装置,其特征在于,包括一基座,所述基座包括一底座与两侧边,所述两侧边分别设置有一水平导轨,所述两侧边上设置的水平导轨相互平行,所述两水平导轨上分别设置有第一滑动工件台组件、第二滑动工件台组件,所述第一滑动工件台组件、第二滑动工件台组件沿各自所在水平导轨方向上具有相同的水平滑动行程,所述两工件台组件分别在两水平导轨上独立滑动;
所述第一滑动工件台组件包括一第一工件台,所述第二滑动工件台组件包括一第二工件台,所述第一工件台与第二工件台用于固定工件,所述第一工件台、第二工件台分别与所述底座平行,所述第一工件台与第二工件台之间具有一平行间距,所述两工件台可分别平行移动至对方所在的平面;
所述第一滑动工件台组件包括一第一水平滑座,第二滑动工件台组件包括一第二水平滑座,所述第一水平滑座与第二水平滑座分别与两水平导轨连接,所述两水平滑座上分别设有与底座垂直的竖直导轨,所述竖直导轨上设有竖直滑座,所述竖直滑座上连接有支撑架,所述第一工件台、第二工件台分别设于两支撑架上。
2.如权利要求1所示的侧立安装式双工件台装置,其特征在于,所述第一工件台、第二工件台分别设有工作吸盘。
3.如权利要求2所述的侧立安装式双工件台装置,其特征在于,所述第一滑动工件台组件、第二滑动工件台组件分别位于水平滑动行程的第一端点、第二端点;所述第一滑动工件台位于第一端点时,所述第二滑动工件台位于第二端点,所述第一工件台位于所述第二工件台上端,所述第一工件台所在区域为PCB装卸区域,所述第二工件台所在区域为PCB曝光区域;所述第一工件台与第二工件台可通过水平位移与竖直位移完成位置互换。
4.如权利要求3所述的侧立安装式双工件台装置,其特征在于,所述两侧边内侧分别开有条形安装槽,所述两水平导轨分别设于所述条形安装槽内。
5.如权利要求3所述的侧立安装式双工件台装置,其特征在于,所述第一滑动工件台组件与第二滑动工件台组件分别具有水平驱动装置、竖直驱动装置,所述水平驱动装置用于驱动滑动工件台组件在水平导轨上移动,所述竖直驱动装置用于驱动两工件台平行移动至对方所在的平面。
6.如权利要求3所述的侧立安装式双工件台装置的工作方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1:分别将第一滑动工件台组件与第二滑动工件台组件在各自水平导轨上移动至第一端点与第二端点;本工件台装置具有一上端面与下端面,所述上端面位于所述下端面上方,将所述第一工件台移动至上端面,将第二工件台移动至下端面;
S2:将一待曝光PCB板放置在所述第一工件台上,将所述第一工件台与第二工件台所在平面位置调换,并将所述第一滑动工件台组件滑动至所述第二端点,将所述第二滑动工件台组件滑动至所述第一端点;
S3:开启曝光装置对所述第一工件台上的PCB板进行曝光,同时在所述第二工件台上放置PCB板;
S4:曝光结束后,调换所述第一工件台与第二工件台所在平面,同时分别将第一滑动工件台组件、第二滑动工件台组件在各自水平导轨上移动至第一端点、第二端点;
S5:将所述第一工件台上的PCB板取下并放置另一未曝光的PCB板,同时开启曝光装置对第二工件台上的PCB板曝光;
S6:曝光结束后,调换所述第一工件台与第二工件台所在平面,同时分别将第一滑动工件台组件、第二滑动工件台组件在各自水平导轨上移动至第二端点、第一端点;
S7:将所述第二工件台上的PCB板取下并放置另一未曝光的PCB板,同时开启曝光装置对第一工件台上的PCB板曝光;
S8:继续执行步骤S4至S7直至完成所有PCB板的曝光处理。
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Families Citing this family (1)
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002267410A (ja) * | 2000-11-28 | 2002-09-18 | Nikon Corp | ステージ組品の反射鏡を較正するための装置、及び方法 |
CN1578596A (zh) * | 2003-07-03 | 2005-02-09 | 富士胶片株式会社 | 图像形成装置 |
CN201364459Y (zh) * | 2009-01-20 | 2009-12-16 | 清华大学 | 一种光刻机硅片台双台交换装置 |
CN101614964A (zh) * | 2009-08-11 | 2009-12-30 | 上海微电子装备有限公司 | 硅片台双台交换曝光系统及双台交换方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10209039A (ja) * | 1997-01-27 | 1998-08-07 | Nikon Corp | 投影露光方法及び投影露光装置 |
US20020117109A1 (en) * | 2001-02-27 | 2002-08-29 | Hazelton Andrew J. | Multiple stage, stage assembly having independent reaction force transfer |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002267410A (ja) * | 2000-11-28 | 2002-09-18 | Nikon Corp | ステージ組品の反射鏡を較正するための装置、及び方法 |
CN1578596A (zh) * | 2003-07-03 | 2005-02-09 | 富士胶片株式会社 | 图像形成装置 |
CN201364459Y (zh) * | 2009-01-20 | 2009-12-16 | 清华大学 | 一种光刻机硅片台双台交换装置 |
CN101614964A (zh) * | 2009-08-11 | 2009-12-30 | 上海微电子装备有限公司 | 硅片台双台交换曝光系统及双台交换方法 |
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