CN104950485A - 基板处理装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种基板处理装置，提供一种能够高效地将线材安装在对基板进行热处理的载物台上或从该载物台拆卸该线材的技术。线材(3)配置在对基板(90)进行加热处理的载物台(2)的表面。线材(3)在载物台(2)的侧方折返，而连续多次横跨所述载物台的表面。在配置于载物台(2)的侧部的长条构件(40)上设置有用于钩挂线材(3)的多个钩(41)。长条构件(40)经由多个弹性构件(54)与固定在载物台(2)上的固定部(53)连接。通过多个弹性构件(54)，向下方对长条构件(40)施力。由此，牵拉被钩(41)钩挂的线材(3)。

Description

基板处理装置

技术领域

本发明涉及对基板进行热处理的技术。

背景技术

例如，作为液晶显示装置(LCD)的一个制造工序，存在在用于LCD的玻璃基板上形成规定的图案的光刻工序(Photolithography)。在该光刻工序中，通常，进行使清洗后的玻璃基板干燥的脱水烘烤(dehyd bake)处理、使涂敷在玻璃基板上的抗蚀剂凝固的预烘烤(pre-bake)处理或在显影后进行的后烘烤(post-bake)处理等热处理。

作为进行这样的热处理的处理单元公知有，在由加热板或冷却板等构成的载物台上载置玻璃基板，通过将载物台加热或冷却，来对基板进行热处理的处理单元。另外，通常在载物台的表面分散设置有多个防接触销(proximitypin)，使玻璃基板不与载物台直接接触。

另外，提出在载物台的表面上配置多个线材，来代替在载物台上设置防接触销，在该多个线材上载置基板(例如，专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2004-179384号公报

但是，在专利文献1记载的基板处理装置中，在加热板的长度方向上隔开规定的间隔配置多根线材。另外，利用设置在加热板的侧部上的多个线材固定夹具，一根根地固定各线材。因此，在加热板上安装各线材的情况下，需要在线材固定夹具上一根根地安装线材，从而作业变得复杂。另外，在从载物台拆卸线材时，也不得不一根根地从线材固定夹具拆卸线材，从而作业变得复杂。因此，不易于对载物台的表面进行维护。

发明内容

因此，本发明的目的在于，提供一种高效地将线材安装在对基板进行热处理的载物台上以及从该载物台拆卸该线材的技术。

为了解决上述问题，第一方式的基板处理装置，用于处理基板，具有：载物台，对基板进行热处理；一根以上的线材，配置在所述载物台的表面，通过折返而连续多次横跨所述载物台的表面；定位部，与所述线材的折返部分接触，规定所述线材在所述载物台的表面上的横跨位置。

另外，第二方式的基板处理装置，在第一方式的基板处理装置中，所述定位部具有：长条部，配置在所述载物台的侧部；多个钩挂部，安装在所述长条部上，并且钩挂所述线材。

另外，第三方式的基板处理装置，在第二方式的基板处理装置中，还具有施力机构，所述施力机构对所述长条部施力，来对钩挂在所述钩挂部上的所述线材进行牵拉。

另外，第四方式的基板处理装置，在第三方式的基板处理装置中，所述施力机构具有弹性构件，所述弹性构件将所述长条部以及所述载物台中的固定部之间进行连接，向所述固定部对所述长条部施力。

另外，第五方式的基板处理装置，在第三或第四方式的基板处理装置中，还具有检测器，所述检测器检测所述长条部向被所述施力机构施力的方向的移动。

另外，第六方式的基板处理装置，在第二至第五方式中的任一项的基板处理装置中，所述长条部具有安装结构，所述安装结构用于安装所述钩挂部，使所述钩挂部的在所述长条部上的安装位置能够改变。

另外，第七方式的基板处理装置，在第六方式的基板处理装置中，所述安装结构是将所述钩挂部能够装拆地安装在所述长条部上的结构。

另外，第八方式的基板处理装置，在第二至第七方式中的任一项的基板处理装置中，所述长条部具有沿着所述载物台成列配置的多个长条构件。

另外，第九方式的基板处理装置，在第二至第八方式中任一项的基板处理装置中，所述长条部具有卷绕并保持所述线材的端部的卷绕部。

另外，第十方式的基板处理装置，在第一至第九方式中任一项的基板处理装置中，所述一根以上的线材包括：第一线状部，沿着第一个方向横跨所述载物台的表面，多个第二线状部，沿着与所述第一个方向交叉的方向，横跨所述载物台的表面；所述第一线状部在与所述多个第二线状部交叉时，交替地通过各第二线状部的上方位置以及下方位置。

根据第一方式的基板处理装置，通过使线材折返，来使线材横跨载物台的表面，因此与将线材一根根地固定在横跨载物台的位置的情况相比，能够简化线材的安装作业。另外，在拆卸时，也与一根根固定的情况相比，作业变得更容易。因此，发挥能够高效地安装以及拆卸线材的效果。

另外，根据第二方式的基板处理装置，通过将线材钩挂在钩挂部上，能够使线材折返。

另外，根据第三方式的基板处理装置，由于能够通过施力机构牵拉线材，所以能够将线材良好地配置在载物台表面上。

另外，根据第四方式的基板处理装置，由于能够通过弹性构件牵拉线材，所以能够将线材良好地配置在载物台表面上。

另外，根据第五方式的基板处理装置，由于能够检测出因线材的延伸或切断而产生的长条构件的移动，所以能够掌握线材的维护时期，发挥将工艺不良防患于未然的效果。

另外，根据第六方式的基板处理装置，由于钩挂部的安装位置可变，所以能够自由变更钩挂部的安装位置。因此，发挥能够变更载物台2的线材的横跨位置的效果。

另外，根据第七方式的基板处理装置，由于能够装拆钩挂部，所以能够按照需要安装或拆卸钩挂部。因此，由于能够将钩挂部的数量抑制为需要的数量，所以发挥能够抑制部件成本的效果。

另外，根据第八方式的基板处理装置，能够针对作为长条部的一部分的长条构件进行更换。因此，与通过一个构件构成长条部的情况相比，更易于维护长条部。另外，只要进行部分更换即可，所以还能够抑制因更换而产生的部件成本。

另外，根据第九方式的基板处理装置，通过卷绕部，能够发挥卷绕保持剩余的线材的部分的效果。

另外，根据第十方式的基板处理装置，能够在第一线状部以及第二线状部交叉的部分以点状支撑基板。由此，能够减小基板与线材之间的接触面积。因此，发挥能够良好地对基板进行热处理的效果。

附图说明

图1是表示具有第一实施方式的基板处理装置的基板处理系统的概略俯视图。

图2是表示第一实施方式的基板处理装置的概略俯视图。

图3是表示从+X侧观察的第一实施方式的基板处理装置的概略侧视图。

图4是表示从图2所示的IV-IV位置观察的基板处理装置的概略剖视图。

图5是从载物台卸下一对板状构件的基板处理装置的概略剖视图。

图6是表示第一实施方式的变形例的基板处理装置的概略侧视图。

图7是表示第二实施方式的基板处理装置的概略俯视图。

图8是表示从图7所示的VIII-VIII位置观察的基板处理装置的概略主视图。

图9是表示第二实施方式的长条构件的概略立体图。

图10是表示第二实施方式的变形例的长条构件的局部概略图。

图11是表示从图10所示的XI-XI位置观察的长条构件的概略剖视图。

图12是表示线材的第一配置例至第四配置例的图。

图13是表示将线材交叉配置的配置例的局部概略剖视图。

其中，附图标记说明如下：

100：基板处理系统

1、1A：基板处理装置

2、2A：载物台

23：加热器

3：线材

30：折返部分

31：第一线状部

32：第二线状部

4、4A：定位部

40、40A、40B、401：长条构件(长条部)

402：槽

41：钩(钩挂部)

41A：滑轮(钩挂部)

411：连接部

42、42A：安装孔(安装结构)

43：端部保持夹具

44：卷绕夹具

45：安装夹具

46：移动夹具

47：固定夹具

51：板状构件

52：轨道

53：固定部

54：弹性构件(施力机构)

55：检测器

90：基板

P1、P2、P3：交叉部

具体实施方式

以下，参照附图，说明本发明的实施方式。此外，本实施方式记载的结构构件为示例，不用于将本发明的范围仅限定于此。另外，在附图中，为了易于理解，按照需要，有时夸张或简化表示各部分的尺寸或数量。

(1.第一实施方式)

＜基板处理系统100＞

图1是表示具有第一实施方式的基板处理装置1的基板处理系统100的概略俯视图。基板处理系统100处理用于制造液晶显示装置(LCD)的画面面板的方形玻璃基板90(以下，仅称为基板90)。

基板处理系统100具有搬入部10、清洗部11、脱水烘烤部12、涂敷部13、减压干燥部14以及作为预烘烤部的基板处理装置1。如图1所示，搬入部10、清洗部11、脱水烘烤部12、涂敷部13、减压干燥部14以及基板处理装置1(预烘烤部)按照顺序沿着一个方向(方向D1)以直线状相邻配置。

搬入部10是接受在基板处理系统100中被处理的基板90的部分。清洗部11对搬入搬入部10的基板90进行清洗使其净化。脱水烘烤部12对在清洗部11附着有清洗液的基板90进行干燥。

涂敷部13向在脱水烘烤部12被干燥的基板90的表面涂敷处理液(在此为抗蚀液)。减压干燥部14对在涂敷部13被涂敷的处理液进行减压干燥。作为预烘烤部的基板处理装置1通过对基板90进行加热来使处理液固化，从而在基板90上形成处理液的薄膜。

另外，基板处理系统100具有曝光部15，该曝光部15将形成有处理液薄膜的基板90的表面曝光为所需要的电路图案状。曝光部15向与方向D1垂直的方向D2延伸。曝光部15的一侧部分与作为预烘烤部的基板处理装置1相邻，曝光部15的另一侧的部分与显影部16相邻。

基板处理系统100还具有显影部16、冲洗部17、后烘烤部18以及搬出部19。显影部16将在曝光部15被曝光后的基板90浸渍在显影液中，进行显影处理。冲洗部17通过冲洗液对在显影部16进行了显影处理的基板90进行冲洗，从而使显影处理停止。

后烘烤部18对基板90进行加热，从而除去附着在基板90上的冲洗液。搬出部19是将在基板处理系统100进行完处理的基板90搬出至外部的部分。显影部16、冲洗部17、后烘烤部18以及搬出部19沿着与上述方向D1相反的方向D3以直线状相邻配置。在基板处理系统100中，基板90在曝光部15调转方向，使得处理的行进方向从方向D1变更为方向D3。

＜基板处理装置1＞

图2是表示第一实施方式的基板处理装置1的概略俯视图。图3是表示从+X侧观察的第一实施方式的基板处理装置1的概略侧视图。图4是表示从图2所示的IV-IV位置观察的基板处理装置1的概略剖视图。此外，在图2以后的各图中，示出在水平面内相互垂直的X方向及Y方向，和沿着铅垂方向的Z方向。这些方向是为了便于说明各构件的位置关系而定义的，并不限定各构件的位置关系。

基板处理装置1具有载物台2、线材3和定位部4。载物台2是大致长方体形状的构件。载物台2的表面(上表面)是与水平面平行的平滑的面。在载物台2的表面配置有一根线材3。

基板处理装置1具有贯通载物台2的多个升降销21。如图4所示，基板处理装置1具有使多个升降销21同时升降的销驱动装置22。销驱动装置22具有安装有多个升降销21的下端的板状构件、使板状构件上下升降的活塞部。

通过销驱动装置22，能够使多个升降销21上升至比载物台2的表面高的位置，并且能够使多个升降销21下降至比载物台2的表面低的位置。多个升降销21通过上端部接受并支撑通过搬运机械手从外部搬运来的基板90。并且，通过使多个升降销21下降，使基板90载置在配置于载物台2的表面上的线材3上。

如图4所示，在载物台2中内置有加热器23。在通过加热器23加热载物台2的表面时，通过来自载物台2的表面的辐射热对被线材3支撑的基板90进行加热处理。

如图2所示，一个线材3通过折返，来连续地多次横跨载物台2的表面。在图2所示的例子中，一个线材3沿着X方向，横跨载物台2七次。

作为线材3，能够使用金属线材、玻璃纤维等玻璃线材、具有耐热性的树脂线材，或者由上述材料中的两种以上的复合材料构成的线材。另外，作为线材3，优选热导率小的线材。这是因为，通过使热导率小，能够抑制从载物台2经由线材3向基板90传递热量。对线材3的粗度并不特别限定，但是为了使载物台2的热辐射均匀，例如，形成大约0.1mm～大约1mm的范围内的粗度。此外，对于线材3，可以通过将多个单线搓捻在一起来构成一根线材。

线材3借助设置在载物台2的X方向上的两侧部上的一对定位部4、4进行折返。定位部4具有配置在载物台2的侧部的长条构件40、安装在长条构件40(长条部)上且钩挂线材3的多个钩41(钩挂部)。

如图2所示，线材3钩挂在两个钩41、41上而发生折返。例如，在观察设置在载物台2的-X侧的相邻的两个钩41、41时，从+X侧向-X侧延伸的线材3钩挂在沿着Y方向排列的两个钩41、41中的配置在-Y侧的钩41上，由此从X方向向Y方向弯折，沿着Y方向延伸至配置在+Y侧的钩41。然后，线材3钩挂在配置在+Y侧的钩41上，由此从Y方向再次向X方向弯折，并延伸至配置在+X侧的钩41。在以下的说明中，将与这两个钩41、41接触而弯折的部分以及在这些弯折的部分之间的部分称为线材3的折返部分30。

长条构件40在沿着载物台2的侧部的Y方向上延伸。另外，各钩41能够装拆地安装在沿着Y方向以规定的间隔形成在长条构件40的上表面(+Z侧的表面)上的安装孔42中。考虑钩41的各种安装方式，例如，可以在安装孔42内设置内螺纹，在钩41的后端部设置外螺纹，来使它们螺合。另外，可以在将钩41插入安装孔42时，钩41的一部分在规定位置钩挂，使钩41难于从安装孔42拔出。另外，可以在安装孔42的内部或钩41安装磁铁，借助磁力使钩41与长条构件40结合。多个安装孔42是用于将钩挂部即钩41安装在长条构件40上的安装结构的一个例子。

如图2所示，在长条构件40上设置有多个安装孔42。因此，通过变更多个钩41的安装位置，能够使载物台2上的线材3的横跨位置在Y方向上移动。即，通过变更多个钩41的安装间距，能够变更线材3在Y方向上的间距。

另外，能够按照需要安装或拆卸钩41。因此，能够将钩41的数量控制为线材3的定位所需的数量。因此，能够抑制部件成本。

线材3的一端部被端部保持夹具43保持。端部保持夹具43设置在配置于-X侧的长条构件40的-Y侧端部附近。作为将线材3固定的方法，例如，可以在端部保持夹具43卷绕线材3，来固定线材3的端部。另外，可以在端部保持夹具43上设置孔，使线材3的端部穿过该孔，并盖上该孔，来固定线材3的端部。此外，端部保持夹具43可以安装在载物台2等上。

线材3的另一端部保持在卷绕夹具44(卷绕部)上。卷绕夹具44设置在配置于+X侧的长条构件40的+Y侧端部附近。卷绕夹具44具有隔开细小间隙相向配置的两个板构件、将这些板构件的中央部连接的连接构件。线材3穿过卷绕夹具44中的两个板构件之间的间隙，在连接构件上重叠卷绕几层，来固定在卷绕夹具44上。

通过卷绕夹具44能够卷绕并保持线材3的剩余的端部。此外，可以仅保持线材3的剩余的端部中的一部分，使其前端侧的部分向下垂。但是，利用卷绕夹具44，能够去除这样的线材3的下垂，因此能够整理载物台2的周边。

在载物台2的+X侧以及-X侧的两侧面分别安装有板状构件51、51。板状构件51是位于载物台2的侧面以及长条构件40之间的构件。板状构件51的Y方向上的长度比长条构件40的Y方向上的长度长(参照图3)。板状构件51例如通过螺栓等固定在载物台2的侧面。

在板状构件51上设置有在Z方向上延伸的一对轨道52、52以及在Y方向上延伸的固定部53。

一对轨道52、52设置在板状构件51的-Y侧以及+Y侧的端部附近。一对轨道52、52与长条构件40的一部分连接，由此限制长条构件40在左右方向(Y方向)上的移动。长条构件40借助一对轨道52、52，能够仅在上下方向(Z方向)上直线移动。此外，可以省略一对轨道52、52。

固定部53是经由板状构件51固定在载物台2上的部分。固定部53是从载物台2向侧方(+X方向或-X方向)突出的部分。在固定部53的上表面(+Z侧的表面)安装有多个弹性构件54(螺旋弹簧)的一端。多个弹性构件54的另一端安装在配置于固定部53的上方的长条构件40的下表面(-Z侧的表面)。多个弹性构件54朝向固定部53对长条构件40施力。由此，安装在长条构件40上的多个钩41向下方牵拉线材3。在此，多个弹性构件54向下方对载物台2的+X侧以及-X侧的各长条构件40施力。因此，横跨载物台2的表面的线材3被从两侧牵拉，不松弛。因此，在本实施方式中，通过与固定部53连接的多个弹性构件54构成施力机构。

此外，可以省略板状构件51，而将轨道52以及固定部53设置在载物台2自身上。但是，此时，需要加工载物台2，成本有可能变高。相对于此，在本实施方式中，通过将这些结构体设置在板状构件51上，能够省略对载物台2的加工，因此能够抑制加工成本。

图5是从载物台2卸下一对板状构件51、51的基板处理装置1的概略剖视图。在本实施方式中，通过从载物台2卸下一对板状构件51、51，能够从载物台2卸下线材3以及一对定位部4、4。例如，能够通过向上方抬升且支撑一对板状构件51、51，来容易地维护载物台2的表面及其周边部。

在固定部53的上表面上，设置有用于检测长条构件40在上下方向上的移动的多个检测器55(参照图3)。检测器55例如由限位开关传感器等构成。限位开关传感器具有将从外部接受的力传递给微型开关来使电路开闭的结构。通过该限位开关传感器，来检测长条构件40是否下降，由此能够检测线材3是否延伸或断线等。

根据本实施方式的基板处理装置，通过线材3支撑基板90。因此，不用如以往那样为了通过多个防接触销支撑基板，而在载物台2形成多个防接触销固定用的孔，或设置防接触销。由此，能够大幅降低载物台2的加工成本。另外，由于不设置防接触销，所以能够使载物台2的表面平坦，因此能够高效地清扫载物台2的表面，并且能够高度地进行净化。即，通过利用线材3，能够容易地对基板处理装置1进行维护作业。

另外，在本实施方式中，通过使一个线材3折返，能够使线材3多次横跨载物台2的表面。因此，与如专利文献1记载的基板处理装置那样，将多根线材一根根地固定在载物台(加热板)上的将要横跨的每个位置上的情况相比，能够简化线材3的安装作业。因此，能够高效地将线材3安装在载物台2上。另外，在拆卸时，也能够与一根根地固定多根线材的情况相比，更高效地进行拆卸。

在本实施方式中，借助弹性构件54向下方对长条构件40施力，由此牵拉线材3。因此，即使载物台2因加热器23而热膨胀来发生变形，也能够使线材3不松弛地配置在载物台2上的规定位置。此外，可以代替弹性构件54，在长条构件40上安装配重，来向下方对长条构件40施力。另外，可以通过在线材3的折返部分30安装配重，来牵拉线材3。

图6是表示第一实施方式的变形例的基板处理装置1的概略侧视图。在图2至图4所示的基板处理装置1中，一个长条构件40配置在载物台2的侧方。相对于此，在图6所示的基板处理装置1中，长条构件40被两个长条构件401、401置换。

两个长条构件401、401沿着Y轴方向形成列。在各长条构件401上，设置有用于安装钩41的多个安装孔42。另外，通过一对轨道52将各长条构件401的移动方向仅限制在上下方向。

此时，能够针对各长条构件401进行更换。因此，与由一个长条构件40构成的情况相比，更易于维护。另外，只要进行部分更换即可，所以能够抑制与更换相关的部件成本。此外，可以将长条构件40分割为3个以上的长条构件。另外，可以将板状构件51以及设置在板状构件51上的固定部53与长条构件401同样地进行分割。

(2.第二实施方式)

接着，说明第二实施方式。此外，在以后的说明中，对于具有与已经说明的构件相同的功能的构件，有时标注相同的附图标记或追加字母的附图标记，省略详细的说明。

图7是表示第二实施方式的基板处理装置1A的概略俯视图。另外，图8是表示从图7所示的VIII-VIII位置观察的基板处理装置1A的概略主视图。在基板处理装置1A中，两根线材3、3分别折返，来在X方向上多次横跨载物台2。另外，两个线材3、3通过配置于载物台2A的+X侧以及-X侧的定位部4A进行定位。

定位部4A具有长条构件40A和多个滑轮41A。长条构件40A是与第一实施方式的长条构件40同样地在Y方向上延伸的构件，借助设置在板状构件51上的一对轨道52、52，将长条构件40A的移动方向限制为上下方向。另外，长条构件40A通过多个弹性构件54与设置在板状构件51上的固定部53连接。由此，向下方对长条构件40A施力。

滑轮41A能够自由装拆地安装在长条构件40A上。滑轮41A具有能够围绕在X方向上延伸的轴自由旋转的圆板部。圆板部配置为与YZ平面平行，在形成于圆板的中央部的周槽内，钩挂线材3。如图7所示，线材3钩挂在两个滑轮41A、41A上而折返。

例如，关注设置在载物台2A的-X侧的相邻的两个滑轮41A、41A。则，从+X侧向-X侧延伸的线材3钩挂在-Y侧的滑轮41A上，由此从X方向向Y方向弯折，延伸至+Y侧的滑轮41A。另外，线材3钩挂在配置于+Y侧的滑轮41A上，由此从Y方向再次向X方向弯折，延伸至配置在+X侧的滑轮41A。这样，在本实施方式中，通过两个滑轮41A、41A使线材3折返。

如图8所示，线材3中的从载物台2A的表面伸出的部分(以下，称为“伸出部分”)相对于水平面向斜下方延伸。另外，滑轮41A的圆板部与YZ平面平行配置，因此线材3因滑轮41A而向Z方向弯折。在该弯折的幅度大的情况下，有可能从滑轮41A脱落。为了避免该情况，可以以与线材3的伸出部分的延伸方向一致的方式，使滑轮41A的圆板部相对于YZ平面倾斜。

图9是表示第二实施方式的长条构件40A的概略立体图。在长条构件40A的侧面设置有安装孔42A，通过向该安装孔42A中插入从滑轮41A的圆板部延伸的棒状的连接部411，来将滑轮41A安装在长条构件40A上。滑轮41A的连接部411的安装方式可以与钩41的安装方式相同。

在长条构件40A中，设置有多个安装孔42A。因此，能够在任意的安装孔42A中安装滑轮41A。因此，能够通过变更滑轮41A的设置位置，来变更线材3在载物台2A上的横跨位置。

载物台2A的表面侧两端部形成有对长方形的棱角部进行圆角处理而成的圆角部2R。通过形成圆角部2R，能够抑制线材3折断。

在本实施方式中，例如配置在载物台2的+X侧的滑轮41A从载物台2A的侧面向+X侧突出，配置在载物台2的-X侧的滑轮21A从载物台2A的侧面向-X侧突出。因此，线材3的伸出部分，在载物台2A的+X侧的部分向+X方向以及-Z方向延伸，在载物台2A的-X侧的部分向-X方向以及-Z方向延伸。还考虑使该线材3的伸出部分例如仅向-Z方向延伸。具体地说，通过使载物台2A的+X侧以及-X侧的侧面向内侧凹陷，来使板状构件51向载物台2A的内侧移动。由此，能够使配置在载物台2A的+X侧以及-X侧的滑轮41A向载物台2A的内侧(-X侧以及+X侧)移动。因此，使线材3的伸出部分仅向下方(-Z方向)延伸。

图10是表示第二实施方式的变形例的长条构件40B的局部概略图。另外，图11是表示从图10所示的XI-XI位置观察的长条构件40B的概略剖视图。长条构件40B具有如下形状：使中空的四棱柱的各侧面的中央部分凹陷以形成沿着长度方向(Y方向)延伸的棱柱状的槽402。作为长条构件40B，例如采用铝制的拉伸材料等。

例如在向长条构件40B安装滑轮41A的情况下，使用安装夹具45。安装夹具45由插入槽402中能够沿着槽402在Y方向上移动的移动夹具46、用于固定移动夹具46的一对固定夹具47、47构成。

在移动夹具46的中央部设置有用于安装滑轮41A的安装孔42A。固定夹具47通过夹持长条构件40B的上端和下端，将自身固定在长条构件40B上。两个固定夹具47、47以分别重叠在移动夹具46的-Y侧端部以及+Y侧端部的方式安装在长条构件40B上，由此能够固定移动夹具46的位置。从易于拆卸固定夹具47的角度来说，优选固定夹具47例如由橡胶等材料形成。

在使用这样的长条构件40B以及安装夹具45的情况下，能够在槽402内自由设定移动夹具46的安装位置。因此，由于能够任意设定滑轮41A的位置，所以能够自由地设定线材3的横跨位置。

图12是表示线材3的第一配置例至第四配置例的图。图12所示的第一配置例至第四配置例均表示从+Z侧观察的载物台2的俯视图。第一配置例是使线材3沿着X方向横跨的例子。这与图2以及图7所示的实施方式的配置方式相同。

第二配置例是使线材3沿着Y方向横跨的例子。此时，可以在载物台2的+Y侧以及-Y侧分别配置用于使线材3折返的定位部4(或定位部4A)。

第三配置例是使线材3不仅在X方向上横跨而且在Y方向上也横跨，来使线材3交叉的例子。此时，只要在载物台2的+X侧及-X侧、以及+Y侧及-Y侧上配置定位部4(或定位部4A)来使线材折返即可。另外，可以使一根线材3折返，也可以使多根线材3组合配置。若如图所示那样使一根线材3如一笔描画那样折返配置，则能够更加高效地将线材3安装在载物台2上或从载物台2拆卸线材3。

第四配置例是使线材3相对于X方向以及Y方向倾斜地横跨来使线材3交叉的例子。此时，若使一根线材3如一笔描画那样折返配置，则能够高效地将线材3安装在载物台2上或从载物台2拆卸线材3。

图13是表示将线材3交叉配置的配置例的局部概略剖视图。图13所示的第一线状部31以及第二线状部32为同一线材3或不同线材3的一部分。另外，第一线状部31沿着Y方向横跨载物台2的表面。另外，第二线状部32在与Y方向交叉的(在此为垂直)X方向上延伸。

如图所示，第一线状部31在与多个第二线状部32交叉时，交替地通过各第二线状部32的上方位置以及下方位置。通过这样使线材3以编织的方式进行交叉，能够在各交叉的部分(交叉部P1、P2、P3)，以点状支撑基板90。由此，能够减小基板90与线材3之间的接触面积。因此，能够均匀地对基板90进行热处理。

(3.变形例)

以上，说明了实施方式，但是本发明并不限于上述内容，能够进行各种变形。

例如，在第一实施方式中，作为钩挂部的钩41，在载物台2的表面的下侧的高度位置，向下方牵拉线材3。因此，线材3的从载物台2伸出的伸出部分被牵拉至下侧。例如，若钩41在载物台2的表面的高度位置，向载物台2的外侧(侧方)牵拉线材3，则能够抑制向下方牵拉线材3。由此，能够抑制线材3在载物台2的角部折断。

另外，在第一实施方式中，配设在载物台2的两侧侧面上的定位部4均被弹性构件54钩挂而固定。但是，可以一个被弹性构件54钩挂，而另一个被与使用弹性构件54的方式不同的结构钩挂。作为这样的结构的结构例，例如，考虑将长条构件40直接固定在板状构件51上的结构。

另外，在上述实施方式中，说明了基板处理装置1构成基板处理系统100的预烘烤部的情况。但是，在构成基板处理系统100的脱水烘烤部12或后烘烤部18的基板处理装置中，本发明也是有效的。

另外，在上述实施方式中，说明了对基板进行加热处理的基板处理装置。但是，在对基板进行冷却处理的基板处理装置中，本发明也是有效的。通过冷却载物台，能够冷却载置在载物台表面的线材上的基板。作为冷却载物台的结构，例如考虑利用帕尔贴(Peltier)元件的结构，或在载物台内设置流动冷却水的流路的结构等各种结构。另外，在放置基板进行自然冷却的情况下，本发明也是有效的。

在上述实施方式中，说明基板处理装置的处理对象为液晶显示装置用的玻璃基板的情况。但是，成为处理对象的基板可以是半导体晶片、等离子显示器用玻璃基板、磁盘或光盘用的玻璃或陶瓷基板、有机EL用玻璃基板、太阳能电池用玻璃基板或硅基板、其它柔性基板以及印刷基板等面向电子设备的各种被处理基板。

虽然详细说明了本发明，但是上述说明在所有方面均为示例，本发明并不限定于此。应解释为，在不脱离本发明的范围的情况下能够想到没有被例示的无数的变形例。另外，在上述各实施方式以及各变形例中说明的各结构只要不相互矛盾，就能够适当组合或省略。

Claims (10)

1.一种基板处理装置，用于处理基板，其特征在于，

具有：

载物台，对基板进行热处理；

一根以上的线材，配置在所述载物台的表面，通过折返而连续多次横跨所述载物台的表面；

定位部，与所述线材的折返部分接触，规定所述线材在所述载物台的表面上的横跨位置。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

所述定位部具有：

长条部，配置在所述载物台的侧部；

多个钩挂部，安装在所述长条部上，并且钩挂所述线材。

3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，

还具有施力机构，所述施力机构对所述长条部施力，来对钩挂在所述钩挂部上的所述线材进行牵拉。

4.根据权利要求3所述的基板处理装置，其特征在于，

所述施力机构具有弹性构件，所述弹性构件将所述长条部以及所述载物台中的固定部之间进行连接，向所述固定部对所述长条部施力。

5.根据权利要求3所述的基板处理装置，其特征在于，

还具有检测器，所述检测器检测所述长条部向被所述施力机构施力的方向的移动。

6.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，

所述长条部具有安装结构，所述安装结构用于安装所述钩挂部，使所述钩挂部的在所述长条部上的安装位置能够改变。

7.根据权利要求6所述的基板处理装置，其特征在于，

所述安装结构是将所述钩挂部能够装拆地安装在所述长条部上的结构。

8.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，

所述长条部具有沿着所述载物台成列配置的多个长条构件。

9.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，

所述长条部具有卷绕并保持所述线材的端部的卷绕部。

10.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

所述一根以上的线材包括：

第一线状部，沿着第一个方向横跨所述载物台的表面，

多个第二线状部，沿着与所述第一个方向交叉的方向，横跨所述载物台的表面；

所述第一线状部在与所述多个第二线状部交叉时，交替地通过各第二线状部的上方位置以及下方位置。