CN104821270B - 基板处理装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种能够既避免装置的大型化、成本升高又减轻主控制装置的负担并确保反馈控制的实时性的基板处理装置。阀控制部(23)具有读取在串行总线(SB)上传输的各信号，并从读取的上述各信号中选择流量数据信号的数据读取选择部(500)。因此，阀控制部(23)能够不经由主IC(300)就从串行总线(SB)取得流量数据信号。因此，能够既减轻控制主IC(300)的CPU的负担，又确保基于来自流量计(26)的测量结果对针型阀(407)进行调节的反馈控制的实时性。另外，由于不需要设置用于在从属装置之间传输模拟信号的附加设备，所以能够避免装置的大型化、成本升高。

Description

基板处理装置
技术领域
本发明涉及一种基板处理装置。
背景技术
作为基板处理装置，已知逐张地处理半导体晶片等基板的单张式的装置。这种装置具有：多个处理单元；搬运机器人，能够向各处理单元搬运基板；控制部。通过控制部控制多个处理单元和搬运机器人，对多个基板依次执行基板处理。
在该情况下，一般地，将控制部作为主控制装置，将各处理单元的驱动部、搬运机器人作为设置为主控制装置的相对下位的控制等级的多个从属装置，主控制装置通过主从方式控制多个从属装置。
专利文献1：JP特开2010-123709号公报
例如，在专利文献1中，在各处理单元中用于向基板供给处理液的处理液供给管道中安装有：阀控制部(从属装置)，使用阀调节流经该管道的处理液的流量；流量计(从属装置)，测量流经该管道的处理液的流量。而且，进行如下的反馈控制，即，将用流量计测量出的流量值经由控制部(主控制装置)给予阀控制部，并基于该流量值用阀控制部调节阀的开度。
但是，在经由控制部(主控制装置)进行数据传输的上述实施方式中，伴随着受主控制装置控制的从属装置的增加，主控制装置的负担增大，变得难以确保上述反馈控制的实时性。
因此，作为其他的实施方式，还考虑到用模拟信号线连接流量计与阀控制部，从流量计直接向阀控制部传输流量值的数据的实施方式。但是，在该方式中，能够既减轻主控制装置的负担又确保上述反馈控制的实时性，另一方面，却产生了因数模转换产生的误差、信号传递速度的延迟。另外，还因需要设置用于传输模拟信号的附加设备，而导致了装置的大型化、成本升高。
这些问题不仅是在进行上述的流量调节的基板处理装置，而是进行反馈控制的各种基板处理装置的公共问题，其中进行反馈控制的各种基板处理装置具有：测量从属部，将与基板处理的动作状态相关的至少一个物理量作为指标值进行测量；调节部，基于来自测量从属部的测量结果进行上述动作状态的调节。
发明内容
本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的在于提供一种能够既避免装置的大型化、成本升高，又减轻主控制装置的负担，并能够确保反馈控制的实时性的基板处理装置。
本发明的第一实施方式的基板处理装置，其特征在于，具有：第一主控制部，对所述基板处理装置进行控制，多个下位控制部，作为所述第一主控制部的相对下位的控制等级设置，能够经过总线与所述第一主控制部进行串行通信；多个所述下位控制部具有：测量从属部，将与基板处理的动作状态相关的至少一个物理量作为指标值进行测量，将测量结果形成为能够被所述第一主控制部读取的测量数据信号发送至所述总线，主从复合系统，设为针对调节部的控制系统，该调节部用于调节所述动作状态，该主从复合系统具有调节指令从属部、数据读取选择部、运算部、调节控制部，所述调节指令从属部从所述第一主控制部接收与所述动作状态的调节相关的指令信号，所述数据读取选择部具有第二主控制部，所述第二主控制部与所述第一主控制部并列地读取从所述下位控制部分别发送至所述总线的各信号，所述数据读取选择部选择所述各信号中的所述测量数据信号，所述运算部基于所述测量数据信号进行运算，生成针对所述调节部的控制信号，所述调节控制部基于来自所述运算部的所述控制信号来控制所述调节部。
本发明的第二实施方式的基板处理装置的特征在于，在本发明的第一实施方式的基板处理装置中，所述数据读取选择部具有：所述第二主控制部，选择用从属部，能够经过所述总线与所述第一主控制部通信，根据与所述第一主控制部的通信发送选通信号，选择部，从所述第二主控制部接收所述各信号，从所述选择用从属部接收所述选通信号，基于所述选通信号来确定所述各信号的串行传输时机，来从所述各信号中选择所述测量数据信号。
本发明的第三实施方式的基板处理装置的特征在于，在本发明的第一实施方式的基板处理装置中，在所述各信号中包含信号的发送源的地址信息，所述数据读取选择部具有：所述第二主控制部，选择部，从所述第二主控制部接收所述各信号，选择所述各信号中的包含所述测量从属部的地址信息的信号来作为所述测量数据信号。
本发明的第四实施方式的基板处理装置的特征在于，在本发明的第一实施方式至第三实施方式中任一个基板处理装置中，所述动作状态为在所述基板处理中的特定的流体的状态；所述指标值为所述流体的流量值，所述测量从属部为流量计。
本发明的第五实施方式的基板处理装置的特征在于，在本发明的第一实施方式至第三实施方式中任一个基板处理装置中，所述动作状态为在所述基板处理中的特定的流体的状态；所述指标值为所述流体的压力值，所述测量从属部为压力计。
本发明的第六实施方式的基板处理装置的特征在于，在本发明的第一实施方式至第三实施方式中任一个基板处理装置中，所述动作状态为在所述基板处理中的特定的流体的状态；所述指标值为在多个点处的所述流体的压力值的差，所述测量从属部为压差计。
本发明的第七实施方式的基板处理装置的特征在于，在本发明的第四实施方式的基板处理装置中，所述调节部为调节所述流量值的阀。
本发明的第八实施方式的基板处理装置的特征在于，在本发明的第五实施方式的基板处理装置中，所述调节部为调节所述压力值的阻尼器。
本发明的第九实施方式的基板处理装置的特征在于，在本发明的第六实施方式的基板处理装置中，所述调节部为调节所述压力值的阻尼器。
本发明的第十实施方式的基板处理装置的特征在于，在本发明的第一实施方式的基板处理装置中，所述主从复合系统的各元件安装于一个控制基板上。
本发明的各实施方式的基板处理装置具有测量从属部和主从复合系统；该测量从属部作为能够与第一主控制部经过总线串行通信的下位控制部，将测量结果作为测量数据信号发送至总线。
主从复合系统具有数据读取选择部，该数据读取选择部读取从多个下位控制部分别发送至总线的各信号，再从所读取的上述各信号中选择测量数据信号。因此，在主从复合系统中，能够不经由第一主控制部而从总线取得测量数据信号。
因此，在该基板处理装置中，能够既减轻第一主控制部的负担，又确保基于来自测量从属部的测量结果调节调节部的控制(反馈控制)的实时性。
另外，在该基板处理装置中，由于不需要设置用于在下位控制部之间传输模拟信号的附加设备，能够避免装置的大型化和成本升高。
附图说明
图1为示出处理单元6的概略结构的示意图。
图2为示出针型阀407的概略结构的剖视图。
图3为示出基板处理装置1的电结构的框图。
图4为示出从属装置40a(阀控制部23)的电结构的框图。
图5为用基板处理装置1传输的信号的时序图。
图6为示出比较例的阀控制部23A的电结构的框图。
图7为示出比较例的阀控制部23B的电结构的框图。
图8为示出比较例的阀控制部23C的电结构的框图。
其中，附图标记说明如下：
1 基板处理装置
6 处理单元
20～25、23A～23C 阀控制部
26～28 流量计
30 主控制装置
40a～40y 从属装置
300、401 主IC
400a、400z、400A、400B 从属IC
403、403A～403C CPU
405 马达驱动器
406 马达
407 针型阀
500、500C 数据读取选择部
600、600C 控制基板
701 信号线
702 通信控制部
703 A/D转换部
Sa～Sz 信号
STBa～STBz 选通信号
SB 串行总线
具体实施方式
＜1第一实施方式＞
＜1.1基板处理装置1的概略结构＞
图1为示出处理单元6的概略结构的示意图。
基板处理装置1为逐张地处理半导体晶片等基板W的单张式的装置，具有：多个处理单元6、能够向各处理单元6搬运基板W的搬运机器人CR(图3)、对该基板处理装置1进行装置控制的主控制装置30。因此，通过搬运机器人CR将未处理的基板W搬入任一个处理单元6，并将处理完成的基板W从处理单元6搬出，能够对多个基板W依次施加基板处理。
处理单元6在用隔板9划分出的处理室10内具有：保持基板W的保持部13、使保持于保持部13上的基板W绕铅垂轴线旋转的旋转卡盘11、用于向保持于旋转卡盘11上的基板W的上表面供给处理液的处理液喷嘴12。
处理液喷嘴12以使喷出口朝向下方的状态配置于旋转卡盘11的上方。处理液喷嘴12能够将从处理液供给管道14供给的处理液朝向保持于旋转卡盘11上的基板W的上表面喷出。
当在处理单元6中处理基板W时，例如，一边借助旋转卡盘11保持基板W并使基板W旋转，一边从处理液喷嘴12向该基板W的上表面中央部连续喷出作为处理液的药液。从处理液喷嘴12喷出的药液落在基板W的上表面中央部，并受到基板W的旋转产生的离心力，瞬间向基板W的上表面周边部扩散开来。通过这样，药液被供给至基板W的整个上表面，在基板W的上表面进行借助药液的处理。在进行借助药液的处理之后，从处理液喷嘴12向旋转状态的基板W的上表面供给作为处理液的清洗液，冲洗基板W上的药液。然后，借助旋转卡盘11使基板W高速旋转以使该基板W干燥。
在处理液供给管道14的上游侧端部连接有多个管道，从这些管道向处理液供给管道14供给处理液。在本实施方式中，第一药液供给管道17、第二药液供给管道18以及清洗液供给管道19与处理液供给管道14的上游侧端部连接。
在各管道17～19上分别安装有阀控制部20～22。在本实施方式中，阀控制部20～22实现混合阀15的功能。混合阀15能够在内部将从管道17～19中2个以上的管道供给的处理液混合，并将混合处理液供给至处理液供给管道14。例如，能够通过用阀控制部20、21使阀处于打开状态，从而使第一药液与第二药液在混合阀15中混合，将这些药液的混合液供给至处理液供给管道14。另外，混合阀15能够将从管道17～19中的一条管道供给的处理液供给至处理液供给管道14。混合阀15的开闭(各阀控制部20～22的开闭)由主控制装置30控制。
另外，在各管道17～19上分别安装有：阀控制部23～25，使用针型阀407调节流经该管道处理液的流量；流量计26～28(例如，超声波流量计)，测量流经该管道处理液的流量。并且，进行如下的反馈控制，通过阀控制部23～25基于该流量值调节各针型阀407的阀开度。
针型阀407为能够借助马达406(促动器)改变开度的电动式阀。在处理液的流通方向上，流量计26～28配置于阀控制部23～25的针型阀407的下游侧。
阀控制部23～25分别提取借助后述的方法从流量计26～28(测量从属部)输出的流量值，基于该流量值来控制马达406。通过这样，阀控制部23～25能够在针型阀407的流量调整幅度的范围内，改变向处理液喷嘴12供给的处理液的流量。
图2为示出针型阀407的内部结构的概略剖视图。
针型阀407具有阀体408和针409，并与前述的马达406连接。在阀体408中形成有处理液流通的流路410，在流路410的途中部设有安置针409的阀座411。阀体408、针409等与处理液接触的部分由具有对该处理液的耐受性，且因温度变化而引起的形变量小的材料(例如，合成树脂)形成。这样，能够抑制或者防止处理液导致的膨胀、温度变化导致的形变使得针型阀407的开度发生变化。
针409以其中心轴线铅垂的姿势配置于阀座411的上方。针409以顶端部(在图3中为下端部)能够上下移动来接近或者远离阀座411的方式保持于阀体408。针409的顶端部例如为顶端逐渐变细的圆锥状，能够安置于阀座411上堵塞流路410。通过控制针409相对于阀座411的位置，能够调整针409与阀座411的流路截面积，来调整流向阀座411的下游侧的处理液的流量。
另外，在针409的上端部外套有螺旋弹簧412。螺旋弹簧412保持在设于针409的上端的凸缘部413与阀体408之间。当针409从原点位置向下方移动时，螺旋弹簧412发生弹性形变，向原点位置对针409施力。针409的原点位置设定于针409的顶端部远离阀座411并打开流路410的位置。
马达406位于针409的上方，并以其中心轴线铅垂的姿势保持于阀体408。在马达406上安装有形成了未图示的螺纹部的螺纹轴414。螺纹轴414以其中心轴线铅垂的姿势配置于针409与马达406之间。螺纹轴414受到来自马达406的旋转力，一边绕其中心轴线旋转一边升降。
通过马达406使螺纹轴414旋转下降，能够通过螺纹轴414的下端部向下方按压凸缘部413，从而使针409下降。通过使针409下降，能够一边使螺旋弹簧412发生弹性形变，一边使针409的顶端部接近阀座411，来使针409与阀座411的流路截面积减少。这样，能够使处理液的流量减少。
另外，通过使螺纹轴414从向下方按压针409的状态起上升，能够借助螺旋弹簧412的复原力使针409上升，从而使针409的顶端部远离阀座411。这样，能够使针409与阀座411间的流路截面积增加，来使处理液的流量增加。另外，马达406的旋转角度由马达驱动器405(图4)调节。
在本实施方式中，在各处理单元6中，通过使混合阀15的开闭和各针型阀407的开度的调整连动，能够调整各处理液的供给比率，将调整之后的处理液(一种处理液或者多种混合处理液)供给至处理液喷嘴12。
＜1.2基板处理装置1的电结构＞
图3为示出用串行总线SB将主控制装置30与多个从属装置40a～40y(下位控制部)连接起来的样子的框图，多个从属装置40a～40y(下位控制部)在基板处理装置1的控制系统中设置为主控制装置30的相对下位的控制等级。图4为示出从属装置40a(阀控制部23)的电结构的框图。
此外，从属装置40a构成为不仅具有从属IC400a还具有主IC401的“主从复合系统”(图4)。因此，尽管从属装置40a并不是仅具有从属IC(从属功能)而不具有主IC(主功能)的单纯的从属装置，但是为了便于说明，决定与其他的从属装置40b～40y同样地称为“从属装置”。上级的主控制装置30具有作为基板处理装置1的整体的(全局)控制系统的主功能，下位的主IC401具有作为应用控制流量计26等特定的部分的局部的控制系统的主功能(详细情况后述)。
如图3所示，各处理单元6的阀控制部20～25以及流量计26～28作为从属装置分别与主控制装置30连接。另外，基板处理装置1的其他结构(例如，搬运机器人CR等)也作为从属装置与主控制装置30连接。
在本实施方式中，主控制装置30与多个从属装置40a～40y以所谓的主从方式连接。具体地，如下所述。
如图4所示，主控制装置30具有主IC300。另一方面，各从属装置40a～40y具有从属IC400a～400y(未图示400b～400y)。在本说明书中，将从属IC400a～400y以及后述的从属IC400z总称为“从属IC”。
没有分配给主IC300识别用固有号码，给各从属IC分别分配有识别用固有号码(从属地址)。当在串行总线SB上传输信号时，例如，各从属地址用7位的二进制数表示。
主IC300将作为通信对象的从属IC的从属地址包含在信号的一部分(例如，头信息等)中，能够向各从属IC传输信号。各从属IC接收来自主IC300的信号，在该信号所包含的从属地址与自身的从属地址一致的情况下，发送选通信号(strobe signal)。该选通信号为在该从属IC所配置的从属装置的内部使用的信号，是为了取得同步而使用的。对选通信号的详细情况，参照图5说明。
接收了来自主IC300的信号的从属IC，对该信号进行响应而向其他的各部(主IC300、从属装置内的其他的IC等)传输信号。例如，当从主控制装置30的主IC300向预定的处理单元6的流量计26(从属装置40b)的从属IC400b传输要求流量数据的信号时，该流量计26将流量的测量结果形作为主IC300(第一主控制部)可读取的流量数据信号(测量数据信号)发送至串行总线SB。
另一方面，没有接收到来自主IC300的信号的从属IC无法从自身向其他的各部分自发地传输信号。即，在来自主IC300的命令与各从属IC的从属地址不匹配的情况下，从属IC不发出信号而维持待机状态。
由于有如这样的结构，所以因被主控制装置30所控制的从属装置的增加(例如，伴随处理单元6的增加，而阀控制部20～25的增加、流量计26～28的增加等)，控制主IC300的CPU的负担增大。因此，例如，如下那样的经由主控制装置30进行的反馈控制难以确保实时性，即，通过将从流量计26输出的流量数据信号传送至主控制装置30，再从主控制装置30向阀控制部23传送流量数据信号，阀控制部23调节阀开度。
以下，一边参照图4以及图5，一边对能够既减轻控制主IC300的CPU的负担又确保各处理单元6中的流量控制的实时性的结构进行说明。
如图4所示，从属装置40a具有从属IC400a、主IC401、从属IC400z、CPU403、马达驱动器405、马达406、针型阀407。以下，对各部的功能进行说明。
从属IC400a为具有通信控制部的部分，经由串行总线SB与主IC300(第一主控制部)连接，从而能够与主IC300通信。以下，为了便于说明，将从属IC400a～400z的从属地址称为“地址a”～“地址z”。
从属IC400a为接收来自主IC300的与处理液的流量调节相关的指令信号的调节指令从属部。就本实施方式的流量调节的反馈控制而言，通过从主IC300向从属IC400a传输指示开始进行该反馈控制的指令信号，从属IC400a对此进行响应而开始。指令信号从从属IC400a向CPU403传输。
主IC401(第二主控制部)构成为具有与主IC300(第一主控制部)同样的功能。因此，主IC401构成为可与各从属IC400a～400z通信。在本实施方式中，主IC401与主IC300并列地进行读取从各从属IC400a～400z发送至串行总线SB上的各信号的动作。主IC401所读取的各信号传输至CPU403。
如这样，虽然主IC401与作为第一主控制部的主IC300同样地读取发送至串行总线SB上的各信号，但是不像主IC300那样将指令发送各从属IC。主IC401只要能够读取发送至串行总线SB上的各信号即可，不一定需要与主IC300为同样的结构。在本实施方式中，为了简化说明，以主IC300与主IC401由相同的IC电路构成的情况进行说明。
从属IC400z为具有通信控制部的部分，通过串行总线SB与主IC300连接从而能够与主IC300通信。
从属IC400z为静区(shadow)从属IC，即使在从主IC300向从属IC400z传输信号的情况下，也不会从从属IC400z向主IC300传输信号。从属IC400z(选择用从属部)仅具有在接收从主IC300传输至地址z的信号的情况下，根据该接收来发送选通信号的功能。该选通信号传输至CPU403。
如这样，从属装置40a作为与串行总线SB直接连接的结构，除了从属IC400a以外还具有主IC401和从属IC400z。
CPU403具有如下的功能，即，从由主IC401所读取的多个信号(在串行总线SB上传输的多个信号)中，选择控制针型阀407所需要的一个信号的功能。如图1以及图3所示，用阀控制部23(从属装置40a)控制针型阀407所需要的信号为，从设于同一处理单元6且安装于与该针型阀407相对应的管道中的流量计26(从属装置40b)发送出的流量数据信号。因此，CPU403从由主IC401读取的多个信号中选择上述流量数据信号。
以下，对CPU403选择上述流量数据信号的方法进行说明。
图5为示出在串行总线SB上传输的信号Sa～Sz与用各从属IC400a～400z发送的选通信号STBa～STBz的关系的时序图。信号Sa是指，在主IC300与从属IC400a之间传输的信号。同样地，信号Sb～Sz是指在主IC300与从属IC400b～400z之间传输的信号。另外，选通信号STBa是指由从属IC400a发送的选通信号。同样地，信号STBb～STBz是指由从属IC400b～400z发送的选通信号。
CPU403基于各信号Sa～Sz在串行总线SB上的传输时机，从由主IC401读取的信号Sa～Sz中选择上述流量数据信号(信号Sb)。
如图5所示，在本实施方式中，各从属IC400a～400z与主IC300的通信时间相同，各从属IC400a～400z依时间顺序与主IC300通信。在该情况下，某个从属IC与主IC300进行通信的时机与下一个地址的从属IC与主IC300进行通信的时机之间的时间间隔t为，某个从属IC与主IC300进行通信的时机与下一次相同的从属IC与主IC300进行通信的时机之间的时间间隔T(整个从属循环周期)，除以从属IC400a～400z的总数得到的值。
如上所述，由于CPU403接收来自从属IC400z的选通信号STBz，所以CPU403能够得到传输的选通信号STBz的发送时刻和传输的选通信号STBz的发送时刻的间隔(时间间隔T)。另外，从主IC300向CPU403发送含有从属IC400a～400z的总数的信号。
因此，CPU403能够通过将时间间隔T除以从属IC400a～400z的总数，来计算出如上述的时间间隔t。
而且，从主IC300预先向CPU403发送从属装置40b的从属地址(地址b)，从属装置40b的从属地址(地址b)是用于发送为了进行反馈控制而CPU403需要提取的信号(信号Sb)的地址。
如图5所示，在从选通信号STBz的发送时刻起经过时间间隔t的时间点，在串行总线SB上传输信号Sa。另外，在从选通信号STBz的发送时刻起经过2×时间间隔t的时间点，在串行总线SB上传输信号Sb。同样地，其他的信号Sc～Sz在串行总线SB上传输的时刻也能够基于选通信号STBz的发送时刻、时间间隔t计算出来。
CPU403基于选通信号STBz的发送时刻、时间间隔t以及作为信号提取的对象的从属IC40b的地址b，计算出信号Sb在哪个时机会发送至串行总线SB上，再从来自主IC401的信号Sa～Sz中选择流量数据信号(信号Sb)。
如这样，CPU403发挥如下的选择部的功能，即，基于选通信号STBz来确定主IC401所读取的各信号Sa～Sz的串行传输时机，从各信号Sa～Sz中选择流量数据信号(信号Sb)。另外，将由主IC401、从属IC400z以及CPU403实现的功能部称为数据读取选择部500。
然后，CPU403基于借助数据读取选择部500的上述功能选择并提取的流量数据信号(信号Sb)进行运算，并生成对针型阀407(调节部)的控制信号。将生成的控制信号从CPU403传输至马达驱动器405。
马达驱动器405(调节控制部)基于从CPU403(运算部)给予的上述控制信号而驱动马达406，来调节针型阀407的开度。
此外，在本实施方式中，由从属IC400a、数据读取选择部500以及马达驱动器405构成的针型阀407的控制系统(主从复合系统)的各元件安装于单独一个控制基板600上。
图6为示出比较例的阀控制部23A的电结构的框图。
阀控制部23A具有从属IC400A、CPU403A、马达驱动器405、马达406、针型阀407。如这样，阀控制部23A没有相当于数据读取选择部500的结构。因此，即使从从属IC400b在串行总线SB上向主IC300传输流量数据信号(信号Sb)，阀控制部23A也无法与主控制装置30提取该信号相并列地提取该信号。
因此，在该比较例中，在进行上述反馈控制的情况下，流量数据信号(信号Sb)首先从属IC400b向主IC300传输，然后，在从主IC300对从属IC400A发出指令信号的时机开始将该信号从主IC300传输至从属IC400A。
在本实施方式的阀控制部23中，由于不需要如阀控制部23A那样进行经由主IC300的信号传输，所以能够减轻控制主IC300的CPU的负担。因此，无论控制主IC300的CPU的处理状况如何，都能够确保各处理单元6中的流量控制的实时性。
图7为示出比较例的阀控制部23B的电结构的框图。
阀控制部23B具有从属IC400B、CPU403B、马达驱动器405、马达406、针型阀407、通信控制部702、A/D转换部703。如这样，阀控制部23B不具有相当于数据读取选择部500的结构。因此，即使从从属IC400b在串行总线SB上向主IC300传输流量数据信号(信号Sb)，阀控制部23B也无法与主控制装置30提取该信号相并列地提取该信号。
在该比较例中，在进行上述反馈控制的情况下，首先，将流量数据信号(模拟信号)经过信号线701从流量计26向阀控制部23B传输。传输至阀控制部23B的流量数据信号，经由通信控制部702传输至A/D转换部703。然后，通过A/D转换部703将流量数据信号转换为数字信号之后，向CPU403B传输流量数据信号(数字信号)。
在该方式中，能够既减轻控制主IC300的CPU的负担又确保各处理单元6中的流量控制的实时性，另一方面，会产生如下问题：必然会发生因数字/模拟转换而引起的误差，发生伴随着数字/模拟转换的数据传输的延迟，需要设置用于传输模拟信号的附加设备(信号线701、通信控制部702、A/D转换部703等)。
在本实施方式的阀控制部23中，不会产生如前述的误差或者延迟的问题。另外，通过将数据读取选择部500安装于阀控制部23的控制基板600上，能够经过串行总线SB提取流量数据信号，由于不需要设置尺寸较大的附加设备，所以能够实现装置的小型化。另外，一般地，如本实施方式这样设置数据读取选择部500的方式与设置用于传输模拟信号的附加设备的方式相比更廉价。
＜2第二实施方式＞
图8为示出第二实施方式的阀控制部23C的电结构的框图。第二实施方式的基板处理装置具有阀控制部23C以取代第一实施方式的基板处理装置1的阀控制部23。由于第二实施方式的基板处理装置的其他的各部分与第一实施方式同样，在以下的说明中，对与第一实施方式相同的部分标上相同的附图标记，并省略重复说明。
阀控制部23C具有从属IC400a、主IC401、CPU403C、马达驱动器405、马达406、针型阀407。
如上所述，主IC401与主IC300并列地读取从各从属装置40a～40y的各从属IC发送至串行总线SB上的各信号Sa～Sz。
在第二实施方式中，从各从属IC发送至串行总线SB上的各信号Sa～Sz包含发送源的地址信息(从属地址)。
然后，将由主IC401读取的各信号Sa～Sz传输至CPU403C。CPU403C接收来自主IC401的各信号Sa～Sz，再选择各信号Sa～Sz中包含从属装置40b的地址信息(地址b)的信号来作为流量数据信号(信号Sb)。如这样，CPU403C实现从主IC401传输出的信号Sa～Sz中选择流量数据信号(信号Sb)的选择部的功能。另外，将借助主IC401以及CPU403C而实现的功能部称为数据读取选择部500C。
当将由CPU403C选择出的流量数据信号(信号Sb)从CPU403向马达驱动器405传输时，与第一实施方式同样，通过马达驱动器405来驱动马达406，来调节针型阀407的开度。在第二实施方式中，将由从属IC400a、数据读取选择部500C以及马达驱动器405构成的针型阀407的控制系统(主从复合系统)的各元件安装于一个控制基板600C上。
在第二实施方式的阀控制部23C中，由于不需要如图6所示的比较例那样进行经由主IC300的信号传输，所以能够既减轻控制主IC300的CPU的负担又确保各处理单元6中的流量控制的实时性。
另外，在第二实施方式的阀控制部23C中，能够通过将数据读取选择部500C安装于阀控制部23的控制基板600C上而经过串行总线SB提取流量数据信号。因此，不需要如图7所示的比较例那样设置尺寸较大的附加设备，能够避免装置的大型化、成本升高。
此外，在第二实施方式中，需要存储从各从属IC传输至串行总线SB上的所有的信号Sa～Sz，再通过CPU403C从该信号Sa～Sz中进行取舍来选择流量数据信号(信号Sb)。因此，主IC401以及CPU403C的负担与第一实施方式相比增加了。
另外，在将传输至串行总线SB上的信号中的来自一部分从属IC的信号加密等的情况下，CPU403C的负担进一步地增加了。
＜3变形例＞
以上，对本发明的第一实施方式以及第二实施方式进行了说明，但是本发明只要不脱离其宗旨，除了上述的以外还能够进行各种改变。
在上述各实施方式中，对进行流量调节的基板处理装置进行了说明，但是并不仅限于此。本发明能够适用于进行反馈控制的各种基板处理装置，该基板处理装置具有：将与基板处理的动作状态相关的至少一个物理量作为指标值进行测量的测量从属部；基于来自测量从属部的测量结果来调节上述动作状态的调节部。
在上述各实施方式中说明了如下的实施方式，即，动作状态为基板处理中的处理液(特定的流体)的状态，指标值为流体的流量值，测量从属部为流量计，调节部为调节流量值的阀。
除此以外，例如，实施方式也可以是动作状态为基板处理中的特定的流体的状态，指标值为该流体的压力值，测量从属部为压力计。在该情况下，作为调节部，例如，能够采用调节压力值的阻尼器。
另外，实施方式也可以是动作状态为基板处理中的特定的流体的状态，指标值为多个点处的该流体的压力值之差，测量从属部为压差计。在该情况下，作为调节部，例如，也能够采用调节压力值的阻尼器。
另外，实施方式也可以是动作状态为基板处理中的基板的旋转状态，指标值为基板的旋转速度，测量从属部为旋转式编码器。在该情况下，作为调节部，例如，能够采用保持基板并使该基板绕旋转轴旋转的旋转卡盘的伺服马达。
另外，实施方式也可以是动作状态为基板处理中的特定的流体的状态，指标值为该流体的温度，测量从属部为温度计(例如，热电偶等)。在该情况下，作为调节部，例如，能够采用调节温度的调温部(例如，加热器，冷却器，热板等)。
另外，在上述第一实施方式中仅阀控制部23具有数据读取选择部500，虽然在上述第二实施方式中仅阀控制部23C具有数据读取选择部500C，但是并不仅限于此。多个从属装置都具有数据读取选择部的结构也可以。
另外，在上述实施方式中，虽然对将针型阀407作为调节部使用的方式进行了说明，但是除此以外，还能够使用空气阀、回吸阀、蝶形阀等各种构件。
以上，虽然对实施方式以及其变形例的基板处理装置进行了说明，但是这些是对本发明来说优选的实施方式的例子，并不限定本发明实施的保护范围。就本发明而言，在发明的保护范围内可以有各实施方式的自由组合、或者各实施方式的任意的构成要素的变形、或者在各实施方式中省略任意的构成要素。

Claims (10)

1.一种基板处理装置，其特征在于，具有：
第一主控制部，对所述基板处理装置进行控制，
多个下位控制部，作为所述第一主控制部的相对下位的控制等级设置，能够经过总线与所述第一主控制部进行串行通信；
多个所述下位控制部具有：
测量从属部，将与基板处理的动作状态相关的至少一个物理量作为指标值进行测量，将测量结果形成为能够被所述第一主控制部读取的测量数据信号发送至所述总线，
主从复合系统，设为针对调节部的控制系统，该调节部用于调节所述动作状态，该主从复合系统具有调节指令从属部、数据读取选择部、运算部、调节控制部，所述调节指令从属部从所述第一主控制部接收与所述动作状态的调节相关的指令信号，所述数据读取选择部具有第二主控制部，所述第二主控制部与所述第一主控制部并列地读取从所述多个下位控制部分别发送至所述总线的各信号，所述数据读取选择部选择所述各信号中的所述测量数据信号，所述运算部基于所述测量数据信号进行运算，生成针对所述调节部的控制信号，所述调节控制部基于来自所述运算部的所述控制信号来控制所述调节部。
2.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
所述数据读取选择部具有：
所述第二主控制部，
选择用从属部，能够经过所述总线与所述第一主控制部通信，根据与所述第一主控制部的通信发送选通信号，
选择部，从所述第二主控制部接收所述各信号，从所述选择用从属部接收所述选通信号，基于所述选通信号来确定所述各信号的串行传输时机，来从所述各信号中选择所述测量数据信号。
3.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
在所述各信号中包含信号的发送源的地址信息，
所述数据读取选择部具有：
所述第二主控制部，
选择部，从所述第二主控制部接收所述各信号，选择所述各信号中的包含所述测量从属部的地址信息的信号来作为所述测量数据信号。
4.如权利要求1至权利要求3中任一项所述的基板处理装置，其特征在于，
所述动作状态为在所述基板处理中的特定的流体的状态；
所述指标值为所述流体的流量值，所述测量从属部为流量计。
5.如权利要求1至权利要求3中任一项所述的基板处理装置，其特征在于，
所述动作状态为在所述基板处理中的特定的流体的状态；
所述指标值为所述流体的压力值，所述测量从属部为压力计。
6.如权利要求1至权利要求3中任一项所述的基板处理装置，其特征在于，
所述动作状态为在所述基板处理中的特定的流体的状态；
所述指标值为在多个点处的所述流体的压力值的差，所述测量从属部为压差计。
7.如权利要求4所述的基板处理装置，其特征在于，所述调节部为调节所述流量值的阀。
8.如权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于，所述调节部为调节所述压力值的阻尼器。
9.如权利要求6所述的基板处理装置，其特征在于，所述调节部为调节所述压力值的阻尼器。
10.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，所述主从复合系统的各元件安装于一个控制基板上。
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