CN104798458B - 元件安装机 - Google Patents

Abstract

本发明的元件安装机具备：元件供给装置，供给多种元件；元件移载装置，具有安装头及头驱动机构，上述安装头具有从元件供给装置吸附元件并安装于被定位的基板的吸嘴，上述头驱动机构使安装头在水平面内移动；及摄像装置，具有摄像元件及主透镜，并从下方拍摄吸嘴吸附了元件的状态的图像，摄像装置具有配置在安装头与摄像元件之间的多个副透镜，透过任一副透镜和主透镜而由摄像元件来拍摄分别配置于多种安装头的位置基准标记的图像。由此，能够同时拍摄多种安装头中的配置位置及配置高度中的至少一方不同的位置基准标记和吸附于吸嘴的元件，能够得到清晰的图像而有助于提高元件安装精度。进而，能够进行快速摄像而缩短安装节拍时间。

Description

元件安装机

技术领域

本发明涉及在基板上安装元件的元件安装机，更详细而言，涉及装备于元件安装机的摄像装置。

背景技术

作为生产安装有多个元件的基板的设备，有焊料印刷机、元件安装机、基板检查机、回流焊机等，通常通过基板搬运装置对它们进行连结而构筑基板生产线。其中，元件安装机具备基板搬运装置、元件供给装置、元件移载装置及摄像装置，分担在基板上安装元件的作业。摄像装置从下方拍摄元件移载装置的吸嘴吸附元件的状态的图像，用于确认元件吸附状态的用途。

在此，为了在摄像装置侧准确地掌握移动的吸嘴的位置，有时在安装头上配置有位置基准标记。通过摄像装置同时拍摄位置基准标记和吸附于吸嘴的元件，由此能提高元件吸附状态的判定精度及元件安装精度。即，由于知道吸嘴的准确位置，因此能够判定吸嘴是否良好地吸附元件的中央部，或者是否吸附元件的端部而不稳定等。此外，通过准确地判定元件吸附状态，也提高了将元件安装于基板时的位置的精度。上述位置基准标记与吸嘴的前端部相比配置在相当靠上的位置，当安装头在基板上移动时，不会与安装完的元件发生干扰。

近年来，为了缩短安装节拍时间，使安装头以高速移动，摄像时的曝光时间也趋于缩短。而且，吸嘴在摄像装置的上方不停地移动，一边移动一边进行摄像的快速摄像(OnThe Fly摄像)也不断发展，曝光时间进一步缩短。因此，需要打开透镜的光圈而增大摄像元件的受光量，结果是景深变窄。由此，适当的对焦高度的范围缩窄，会产生无法清晰地同时拍摄高度不同的吸嘴和位置基准标记的情况。

为了应对这样的情况，在专利文献1的表面安装机(元件安装机)中设有如下的透镜：将相机(摄像装置)的焦点位置定位在与印制配线板的安装面大致相同的高度，使基准标记定位于比移动头(安装头)的安装用元件高的位置，并使相机对焦于基准标记。由此，能够使相机同时对焦于安装用元件和基准标记，能够使快速摄像时的移动头的移动速度加快。

专利文献

专利文献1：日本特开2005-197564号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，在元件安装机中，当切换要生产的基板的种类而导致安装的元件变更时，为了缩短变更后的安装节拍时间，有时将安装头与吸嘴一起更换。在此，在多种安装头上配置的位置基准标记的配置高度及配置位置未必一致。这种情况下，在专利文献1的技术中，每当更换安装头时，需要更换成对焦高度不同的透镜或者变更透镜的位置，比较烦杂。

另外，在使两个安装头相向配置的相对型的元件移载装置中，由于两个安装头相互反转180°地配置，因此位置基准标记的配置位置不同。在该情况下，两个安装头具备共用的相机(摄像装置)时，专利文献1的技术仅能应对一个安装头。

本发明鉴于上述背景技术的问题点而作出，所要解决的课题在于提供一种元件安装机，同时拍摄多种安装头中的配置位置及配置高度中的至少一方不同的位置基准标记和吸附于吸嘴的元件，能够得到清晰的图像而有助于提高元件安装精度。

用于解决课题的方案

解决上述课题的第一方案的元件安装机的发明具备：元件供给装置，供给多种元件；元件移载装置，具有安装头及头驱动机构，上述安装头具有从上述元件供给装置吸附上述元件并安装于被定位的基板的吸嘴，上述头驱动机构使上述安装头在水平面内移动；及摄像装置，具有摄像元件及主透镜，并从下方拍摄上述吸嘴吸附了上述元件的状态的图像，上述摄像装置具有配置在上述安装头与上述摄像元件之间的多个副透镜，透过任一副透镜和上述主透镜而由上述摄像元件来拍摄分别配置于多种安装头的位置基准标记的图像。

第二方案的发明以第一方案为基础，其中，上述多种安装头中的至少一种安装头具有在圆周上排列的多个吸嘴，上述摄像装置具有分别配置于上述摄像元件的矩形视野的四角中的任一角上的多个副透镜。

第三方案的发明以第一或第二方案为基础，其中，上述摄像装置具有分别配置于上述摄像元件的矩形视野的四角上的四个副透镜。

第四方案的发明以第一至第三方案中任一方案为基础，其中，上述多个副透镜具有至少两种对焦高度。

第五方案的发明以第一至第四方案中任一方案为基础，其中，分别配置于上述多种安装头的位置基准标记的配置位置及配置高度中的至少一方根据安装头的种类而不同。

第六方案的发明以第一至第五方案中任一方案为基础，其中，上述副透镜的光轴在入射侧与通过侧发生偏移。

第七方案的发明以第六方案为基础，其中，上述副透镜配置在上述安装头与上述主透镜之间，以从上述安装头朝向上述副透镜的入射侧为基准，在从上述副透镜朝向上述主透镜的通过侧，上述光轴朝上述主透镜的外缘侧偏移。

发明效果

在第一方案的元件安装机的发明中，摄像装置通过选择性地使用多个副透镜，能够使配置于多种安装头的各位置基准标记的对焦高度一致。因此，能够同时地进行透过副透镜和主透镜地对位置基准标记的拍摄、和仅透过主透镜地对元件的拍摄，从而得到清晰的图像。另外，由于能够同时并且清晰地拍摄位置基准标记和吸附于吸嘴的元件，因此吸嘴的元件吸附状态的判定精度提高，进而能够有助于提高将元件安装于基板时的位置精度。

在第二方案的发明中，多种安装头的至少一种具有在圆周上排列的多个吸嘴，因此摄像元件的矩形的视野的四角不用于元件的拍摄。摄像装置在该四角具有副透镜，能够有效地利用摄像元件的视野来拍摄位置基准标记，从而同时拍摄位置基准标记和元件两者。

在第三方案的发明中，摄像装置具有配置于摄像元件的矩形的视野的四角的四个副透镜。因此，只要多种安装头的位置基准标记的配置位置为四个部位以内，就不需要更换副透镜的烦杂的劳力和时间，而能够得到清晰的图像。具体而言，例如在相对型的元件移载装置中，即使两个安装头反转180°地配置且位置基准标记的配置位置不同，也能够不更换副透镜地应对。

在第四方案的发明中，多个副透镜具有至少两种对焦高度。因此，即使多种安装头的位置基准标记的配置高度不同，通过分开使用多个副透镜也能够得到清晰的图像。

在第五方案的发明中，分别配置于多种安装头的位置基准标记的配置位置及配置高度的至少一方根据安装头的种类而不同。在本发明中，对于多种安装头的位置基准标记的配置位置及配置高度的各种组合，能够不需要更换副透镜的烦杂劳力和时间地得到清晰的图像。

在第六方案的发明中，副透镜的光轴在入射侧与通过侧发生偏移。因此，透过副透镜及主透镜而拍摄的被摄体的图像会在摄像元件的视野内移位。由此，能够扩大安装头的位置基准标记的配置位置的设定范围。

在第七方案的发明中，副透镜配置在安装头与上述主透镜之间，以从安装头朝向副透镜的入射侧为基准而在通过侧使光轴朝主透镜的外缘侧偏移。因此，透过副透镜及主透镜而拍摄的被摄体的图像在摄像元件的视野内向主透镜的外缘侧移动。此外，透过副透镜及主透镜的光与仅透过主透镜的光发生干涉而产生的不清楚的视野范围、即所谓重影也向主透镜的外缘侧移动。因此，能够减少因设置副透镜所产生的重影而侵食拍摄元件的视野的影响，在能够在主透镜的中央附近确保拍摄元件的较大视野。

附图说明

图1是表示第一实施方式的元件安装机的整体结构的立体图。

图2是示意性地表示摄像装置及安装头的结构例的侧视图。

图3是从上方观察摄像装置的俯视图。

图4是对在第一实施方式中在拍摄的视野产生的重影范围进行说明的摄像装置的俯视图。

图5是对在第二实施方式中使用的副透镜的特性进行说明的侧视图。

图6是对第二实施方式的元件安装机的作用及效果进行说明的摄像装置的局部俯视图。

图7是对在第二实施方式的应用例中使用的副透镜的特性及配置进行说明的侧视图。

具体实施方式

参考图1～图3对本发明的第一实施方式的元件安装机1进行说明。图1是表示第一实施方式的元件安装机1的整体结构的立体图。图1示出在共用基座90上并排列设置有两台元件安装机1，以后对一台进行说明。元件安装机1将基板搬运装置2、元件供给装置3、元件移载装置4、摄像装置5及省略图示的控制计算机等组装于机台91而构成(附图标记仅标注于右前侧的元件安装机1)。如图1右上的XYZ坐标轴所示，将元件安装机1的水平宽度方向(图1的从纸面左上朝向右下的方向)设为X轴方向，将元件安装机1的水平长度方向(图1的从纸面右上朝向左下的方向)设为Y轴方向，将铅直高度方向设为Z轴方向。

基板搬运装置2设置在元件安装机1的长度方向的中间附近。基板搬运装置2是并排列设置有第一搬运装置21及第二搬运装置22的所谓双输送设备式的装置。第一及第二搬运装置21、22对两张基板K进行并行操作而沿X轴方向搬入、定位、搬出。第一及第二搬运装置21、22分别具有在机台91上分离而与X轴方向平行地并排列设置的一对输送轨道(省略附图标记)。各输送轨道形成搬运路径，将输送带(省略图示)装架成可旋转。输送带通过旋转而对所载置的基板K进行搬运。另外，第一及第二搬运装置21、22分别具有将被搬运至元件安装位置的基板K从机台91侧顶起而进行定位保持的基板保持装置(省略图示)。

元件供给装置3是供料器方式的装置，设置在元件安装机1的长度方向的前部(图1的左前侧)。元件供给装置3在机台91上将多个盒式供料器31沿X轴方向并排列设置而构成。各盒式供料器31具备：主体32，以可脱离的方式安装于机台91；供给带盘33，以可旋转且可拆装的方式安装于主体32的后部(元件安装机1的前侧)；及元件供给部34，设置在主体32的前端(元件安装机1的中央附近)。供给带盘33是供给元件的介质，卷绕有将多个元件以固定的间隔保持的载带(省略图示)。该载带的前端被引出至元件供给部34，各载带供给不同的元件。

元件移载装置4是能够沿X轴方向及Y轴方向移动的所谓XY机器人型的装置。元件移载装置4从元件安装机1的长度方向的后部(图1的右里侧)横跨到前部的元件供给装置3的上方地配置。元件移载装置4由头驱动机构41(在图1中省略大部分)、安装头45等构成。头驱动机构41将安装头45沿X轴方向及Y轴方向驱动。

在安装头45的下方设有吸嘴座46。吸嘴座46将利用负压而吸附及安装元件的多个吸嘴保持为朝下。安装头45具有将吸嘴座46绕着Z轴旋转驱动的R轴旋转驱动机构(省略图示)。此外，安装头45具有使所选择的吸嘴沿Z轴方向进行延伸动作及缩回动作的Z轴驱动机构(省略图示)及将所选择的吸嘴绕着Z轴旋转驱动的θ轴旋转驱动机构(省略图示)。上述驱动机构的驱动源使用伺服电动机，通过从伺服电动机输出的转矩来驱动。

头驱动机构41将多种安装头45与吸嘴座46及吸嘴一起更换并保持。在多种安装头45上分别配置有位置基准标记。各安装头45的位置基准标记的配置位置及配置高度未必一致。

摄像装置5是具有摄像元件51及主透镜52而从下方拍摄吸嘴吸附有元件的状态的图像的装置。摄像装置5朝上地配置在元件供给装置3的元件供给部34附近的机台91上。关于摄像装置5的详细结构例，在后文叙述。

省略图示的控制计算机通过通信线缆而与基板搬运装置2、元件供给装置3、元件移载装置4及摄像装置5连接。控制计算机从各装置2～5获得所需要的信息而进行运算、判定等，适当发出指令而控制各装置2～5的动作。操作员对从控制计算机输出的信息进行确认，而且为了进行所需要的操作、设定，而在上部的罩92的前侧上部配置有显示操作装置93。

在第一实施方式的元件安装机1中，从元件的吸附到安装的一连串的作业如下进行。即，首先，元件移载装置4的头驱动机构41将安装头45移动至被供给所安装的元件的盒式供料器31的元件供给部34的上方。接着，Z轴驱动机构动作，吸嘴朝下地进行延伸动作。吸嘴利用负压而在下方的前端部吸附元件。接着，头驱动机构41将安装头45移动至摄像装置5的上方。摄像装置5从下方拍摄吸嘴吸附元件的状态，并确认元件吸附状态。接着，头驱动机构41将安装头45移动至被定位的基板K的上方。接着，Z轴驱动机构动作，吸嘴朝下地进行延伸动作，元件抵接于基板K而被安装。

接着，对摄像装置5及安装头45的详细的结构例及摄像动作进行说明。图2是示意性地表示摄像装置5及安装头45的结构例的侧视图。另外，图3是从上方观察摄像装置5的俯视图。

如图2所示，安装头45具有两个吸嘴座461、462及摄像基准部48。第一吸嘴座461为大致环形。第一吸嘴座461具有从其下表面朝下延伸的多个大型吸嘴471、472。大型吸嘴471、472在圆周上等间隔地排列。第二吸嘴座462为大致圆柱形，配置在第一吸嘴座461的环形的内侧。第二吸嘴座462也具有从其下表面朝下延伸的多个小型吸嘴473、474。小型吸嘴473、474也在圆周上等间隔地排列。大型吸嘴471、472及小型吸嘴473、474的个数可分别设为4个、6个、8个、12个等。

能够由大型吸嘴471、472吸附的元件P1与能够由小型吸嘴473、474吸附的元件P2相比相对大型。各吸嘴471～474从吸嘴座461、462向下方进行延伸动作，但是在摄像装置5的上方维持在预定的高度。相对于摄像装置5的高度基准面H0，由大型吸嘴471、472吸附的元件P1的高度H1小，由小型吸嘴473、474吸附的元件P2的高度H2大。

摄像基准部48是成为安装头45的位置的基准的部件。在摄像基准部48的下表面上呈正方形配置地配置有四个小圆形的位置基准标记49。不限定于此，位置基准标记49的个数、形状及配置容许有自由度。安装头45上的摄像基准部48的配置位置、位置基准标记49的距高度基准面H0的配置高度H3根据安装头45的种类而变化。如图2所示，位置基准标记49的配置高度H3远大于元件P1、P2的高度H1、H2。因此，安装头45在基板K上移动时，摄像基准部48与安装完的元件不发生干扰。

摄像装置5由摄像元件51、主透镜52、四个副透镜53、光源部54及图像处理部55等构成。另外，图像处理部55也可以由控制计算机兼用。

摄像元件51设置在摄像装置5的下方，其视野511朝向上方。摄像元件51由多个受光元件二维地配置而构成，具有矩形的视野511。受光元件可以使用例如电荷耦合元件(CCD)或互补性金属氧化膜半导体(CMOS)，并不限定于此。

主透镜52连接于摄像元件51的上侧地设置，覆盖摄像元件51的视野511的全部范围。主透镜52可以使用众所周知的聚光用透镜。另外，主透镜52也可以组合多个凸透镜及凹透镜而构成。此外，也可以将减少了球面像差的非球面透镜、减少光的分散而减少色像差的低分散透镜等使用于主透镜52。主透镜52的焦点距离设定为对焦高度与元件P1及元件P2大致一致。另外，主透镜52可以与摄像元件51之间具有间隔地设置。

四个副透镜53比主透镜52小很多。四个副透镜53使用安装座531而隔着微小间隔地配置在主透镜52的上侧。如图3所示，各安装座531从摄像元件51的矩形的视野511的四角的外侧横跨到四角的内部地配置。四个副透镜53配置在摄像元件51的矩形的视野511的四角的内部，覆盖摄像元件51的视野511的一部分。并且，以任一副透镜53位于位置基准标记49的正下方的方式配置。位于位置基准标记49的正下方的副透镜53的焦点距离设定为从摄像元件51透过主透镜52及副透镜53观察到的对焦高度与位置基准标记49大致一致。

另一方面，其他三个副透镜53的焦点距离设定为对焦高度互不相同。并不限定于此，也可以使总共四个副透镜53中的几个副透镜的焦点距离一致。此外，对应于其他三个副透镜53的配置位置及对焦高度地设定更换的其他安装头的位置基准标记。即，总共四个副透镜53各自的配置位置及对焦高度不同，能够更换与各个副透镜53对应的多个安装头。

光源部54如图2的虚线的箭头Lt所示，从斜下方朝元件P1、P2、位置基准标记49等被摄体照射光。光源部54配置于副透镜53与高度基准面H0之间的高度。光源部54例如可以通过将多个发光二极管(LED)排列设置在曲面上而构成。光源部54照射的光的波长(颜色)、强度不作限定。另外，虽然在图2中省略，但是也可以具备直射用光源及半透半反镜而从正下方向被摄体照射光，与来自斜下方的光重叠。在高度基准面H0上张设有透明的玻璃(省略附图标记)。

图像处理部55与摄像元件51连接，从摄像元件51接收图像数据并实施预定的图像处理。图像处理部55通过进行图像处理，从而能够准确地掌握位置基准标记49及各吸嘴471～474的位置，能够判定元件P1、P2的吸附状态是否良好。

接着，对如上构成的第一实施方式的元件安装机1的作用及效果进行说明。当安装头45移动至摄像装置5的上方时，位置基准标记49、全部吸嘴471～474及元件P1、P2进入摄像元件51的视野511。位置基准标记49的图像如图2的单点划线的折线箭头Fg1所示，透过任一副透镜53和主透镜52而由摄像元件51拍摄。另一方面，吸附于吸嘴471～474的元件P1、P2的图像如单点划线的折线箭头Fg2例示的那样，仅透过主透镜52而由摄像元件51拍摄。因此，对于位置基准标记49及元件P1、P2双方，分别使对焦高度一致。因此，摄像装置5能够同时拍摄位置基准标记49及元件P1、P2双方而得到清晰的图像。

另外，由于摄像装置5能够同时并且清晰地拍摄位置基准标记49及元件P1、P2，因此吸嘴471～474的元件吸附状态的判定精度提高。进而，能够有助于提高将元件P1、P2安装于基板K时的位置精度。

另外，摄像装置5具有配置在摄像元件51的矩形的视野511的四角的四个副透镜。因此，摄像装置5将矩形的视野511的中央用于元件P1、P2的摄像，将视野511的四角用于位置基准标记49的摄像，能够有效地利用视野511整体。此外，四个副透镜53的对焦高度互不相同。因此，只要安装头45的位置基准标记49的配置位置及配置高度H3的各种组合为四种情况以内，就不需要更换副透镜53的烦杂的劳力和时间地进行应对，并能够得到清晰的图像。

例如，在元件安装机1具备相对型的元件移载装置的情况下，由于两个安装头相互反转180°地配置，因此即便使用相同的安装头，位置基准标记的配置位置也不同。在该情况下，根据本第一实施方式，能够通过配置位置互不相同且焦点距离相互一致的两个副透镜53进行应对。另外，在位置基准标记49的配置位置及配置高度H3的组合有五种情况以上的情况下、后续追加的安装头的配置位置及配置高度不同的情况下，由于仅更换中继透镜53即可，因此容易应对。

此外，摄像装置5分别使位置基准标记49及元件P1、P2的对焦高度一致，因此能够缩短曝光时间。因此，能够一边使安装头45高速移动一边进行快速摄像，能够缩短安装节拍时间。

然而，当对应于位置基准标记49的配置高度H3而设置副透镜53时，与仅为主透镜52的结构相比，对焦高度变化。由此，摄像装置5在相当于副透镜53的正上方的视野范围内无法清晰地拍摄元件。另外，在相当于安装座531的正上方的视野范围内也无法清晰地拍摄元件。此外，通过副透镜53及主透镜52的光与仅通过主透镜52的光会发生干涉而产生不清楚的视野范围、即所谓的重影。摄像装置5在重影范围中也无法清晰地拍摄元件。

图4是对第一实施方式中拍摄的视野511产生的重影范围512进行说明的摄像装置5的俯视图。在第一实施方式中，副透镜53的光轴在入射侧与通过侧一致。在该情况下，如图4所示，在摄像元件51的视野511内，在副透镜53周围的中央附近产生重影范围512。重影范围512的形状如图4的阴影所示，成为具有大致一定的宽度的圆弧状，且连续至被安装座531遮挡的位置。如此，当设置有副透镜53时，会产生圆弧状的重影范围512。在第一实施方式的结构中，拍摄元件的视野被侵食重影范围512的量。

另一方面，在具有大型的吸嘴座的安装头等中，位置基准标记的配置位置的限制比较严格。由此，会产生在透过了摄像装置5的主透镜52及副透镜53的视野内无论如何都无法配置位置基准标记的情况。在该情况下，通过第一实施方式的结构无法拍摄位置基准标记。

作为解决上述重影范围512产生的摄像视野的侵食的问题点、位置基准标记的配置位置的限制的问题点等的方案，可以使用第二实施方式的元件安装机。第二实施方式的元件安装机的副透镜6的特性与第一实施方式不同，其他部分的结构与第一实施方式相同。图5是对第二实施方式使用的副透镜6的特性进行说明的侧视图。

如图5所示，第二实施方式使用的副透镜6的光轴在入射侧和通过侧发生偏移。详细而言，在以从安装头45朝向副透镜6的入射侧的光轴A1为基准时，从副透镜6朝向主透镜52的通过侧的光轴A2向主透镜52的外缘521侧偏移了光轴差ΔA。

接着，对第二实施方式的元件安装机的作用及效果进行说明。图6是对第二实施方式的元件安装机的作用及效果进行说明的摄像装置的局部俯视图。在图5中，从被摄体入射到副透镜6的任意位置的光在通过副透镜6时向主透镜52的外缘521侧偏移了光轴差ΔA，然后入射到主透镜52。因此，如图6所示，入射到副透镜6的被摄体的图像61(双点划线所示)当通过了副透镜6时，成为向主透镜52的外缘侧521移位了光轴差ΔA的图像62(实线所示)。

并且，摄像元件51拍摄移位后的图像62。另外，图像处理部55预先保持有相当于光轴差ΔA的移位量及关于移位的图像62的区域的信息。因此，图像处理部55对移位后的图像62所包含的位置基准标记进行与光轴差ΔA对应的校正运算，从而能够求出位置基准标记的真正的位置。

与图像61、62相同，图4的重影范围512也如图6所示那样移位。即，重影范围512成为向主透镜52的外缘侧521移位了光轴差ΔA的重影范围513而被拍摄。移位后的重影范围513的大部分与相当于安装座531的位置重叠。并且，图4所示的重影范围512消失，能够清晰地拍摄元件。即，能够减少由于重影范围512而拍摄元件的视野受侵食的影响，能够在主透镜52的中央522附近确保拍摄元件的较大视野。

另外，应用第二实施方式，也可以如图7所示那样配置副透镜6。图7是对第二实施方式的应用例中使用的副透镜6的特性及配置进行说明的侧视图。在应用例中，在使副透镜6的偏移方向相反，并以入射侧的光轴A1为基准时，通过侧的光轴A2向主透镜52的中央522偏移了光轴差ΔA。此外，将副透镜6的中心配置在主透镜52的外缘521附近、或者比外缘521靠外侧。

在上述的应用例的结构中，被摄体的图像成为当通过了副透镜6时向主透镜52的中央522移位光轴差ΔA的图像。因此，即使将位置基准标记配置于比主透镜52的外缘521靠外侧的位置，也能够通过摄像元件51进行拍摄。即，与第一实施方式相比，能够扩大安装头的位置基准标记的配置位置的设定范围。

另外，在第一及第二实施方式中，副透镜53、6配置在安装头45与主透镜52之间，但并不限定于此。例如，可以在主透镜52与摄像元件51之间配置副透镜53、6，或者，可以在构成主透镜52的多个透镜之间配置副透镜53、6。而且，第二实施方式中在副透镜6设置偏移的形态即使副透镜6为一个也能产生效果。即，副透镜6未以多个为构成要件。本发明除此之外还可以进行各种应用、变形。

附图标记说明

1：元件安装机

2：基板搬运装置 3：元件供给装置

4：元件移载装置

41：头驱动机构 45：安装头

46：吸嘴座

461：第一吸嘴座 462：第二吸嘴座

471、472：大型吸嘴

473、474：小型吸嘴

48：摄像基准部 49：位置基准标记

5：摄像装置

51：摄像元件 511：视野

512：重影范围 513：移位后的重影范围

52：主透镜 521：外缘 522：中央

53：副透镜 531：安装座

54：光源部 55：图像处理部

6：副透镜(第二实施方式)

K：基板 P1、P2：元件

A1、A2：光轴 ΔA：光轴差

Claims (8)

1.一种元件安装机，具备：元件供给装置，供给多种元件；元件移载装置，具有安装头及头驱动机构，所述安装头具有从所述元件供给装置吸附所述元件并安装于被定位的基板的吸嘴，所述头驱动机构使所述安装头在水平面内移动；及摄像装置，具有摄像元件及主透镜，并从下方拍摄所述吸嘴吸附了所述元件的状态的图像，

所述头驱动机构对位置基准标记的配置位置不同的多种安装头以能够更换的方式进行保持，

所述摄像装置具有配置在所述安装头与所述摄像元件之间的多个副透镜，根据保持于所述头驱动机构的所述安装头的种类，透过任一副透镜和所述主透镜而由所述摄像元件来拍摄分别配置于多种安装头的位置基准标记的图像，同时仅透过所述主透镜而由所述摄像元件来拍摄吸附于所述吸嘴的元件的图像。

2.根据权利要求1所述的元件安装机，其中，

所述多种安装头中的至少一种安装头具有在圆周上排列的多个吸嘴，

所述摄像装置具有分别配置于所述摄像元件的矩形视野的四角中的任一角上的多个副透镜。

3.根据权利要求1所述的元件安装机，其中，

所述摄像装置具有分别配置于所述摄像元件的矩形视野的四角的四个副透镜。

4.根据权利要求2所述的元件安装机，其中，

所述摄像装置具有分别配置于所述摄像元件的矩形视野的四角的四个副透镜。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的元件安装机，其中，

所述多个副透镜具有至少两种对焦高度。

6.根据权利要求1～4中任一项所述的元件安装机，其中，

分别配置于所述多种安装头的位置基准标记的配置位置及配置高度中的至少一方根据安装头的种类而不同。

7.根据权利要求1～4中任一项所述的元件安装机，其中，

所述副透镜的光轴在入射侧与通过侧发生偏移。

8.根据权利要求7所述的元件安装机，其中，

所述副透镜配置在所述安装头与所述主透镜之间，以从所述安装头朝向所述副透镜的入射侧为基准，在从所述副透镜朝向所述主透镜的通过侧，所述光轴朝所述主透镜的外缘侧偏移。