CN103517628A - 元件安装装置及元件安装方法 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于提供一种元件安装装置及元件安装方法，能够获得变形较少的拍摄单元的拍摄图像而能够进行精度高的元件安装作业。以作为位置偏差计算用的拍摄对象物的工具（JG）在与基准路径（R0）平行的多个检查路径（第一检查路径（R1）及第二检查路径（R2））上行进的方式使工具（JG）移动，配合工具（JG）沿各检查路径行进而由3D传感器（21）连续地取得一维排列图像，将该取得的工具（JG）的一维排列图像结合而生成多个工具（JG）的图像之后，基于该生成的多个工具（JG）的图像来算出3D传感器（21）具有的一维排列图像的位置偏差的校正值。由此，使用算出的校正值来进行将元件（4）安装于基板（2）时的元件（4）的图像的校正。

Description

元件安装装置及元件安装方法

技术领域

本发明涉及一种将吸附于吸嘴的元件安装于基板的元件安装装置及元件安装方法。

背景技术

元件安装装置使吸嘴吸附元件之后，以元件沿在拍摄单元的上方区域规定的水平的基准路径行进的方式使吸嘴移动，元件沿基准路径行进时，拍摄单元配合元件的行进而连续地取得以沿与元件的行进方向正交的方向延伸的一定区域为拍摄范围的一维排列图像，并进行基于将该连续地取得的一维排列图像结合而生成的元件的图像的各种判断（例如，引线元件的引线是否发生变形等），然后将元件安装于基板。在此，作为取得上述一维排列图像的拍摄单元，已知有例如通过多面反射镜而使检查光沿拍摄范围的延伸方向进行扫描并由一个或多个受光元件来接受该反射光的类型的结构（例如，参照专利文献1），或将多个受光元件沿拍摄范围的延伸方向排列而同时取得一维排列图像的类型的结构等。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平10-51195号公报

发明内容

然而，在上述现有的元件安装装置所具备的拍摄单元中，决定检查光的方向的透镜（一般为fθ透镜）的安装精度或加工精度相对于要求精度不足、或因驱动多面反射镜旋转的电动机的安装公差的影响等而电动机的轴从设计上的基准的位置偏离，由此检查光实际扫描的移动轨迹从作为目标的轨迹偏离、或检查光的移动速度不一样、或因沿拍摄范围的延伸方向排列的受光元件的列（受光元件单元）的安装公差而实际所形成的一维排列图像的轴线从基准的轴线偏离，从而使所获得的一维排列图像整体性地或局部性地产生位置偏差，在这样的情况下，将多个一维排列图像结合而生成的整体图像存在变形，并存在通过拍摄单元的元件等的识别精度降低而可能妨碍精度高的元件安装作业的执行的问题。而且，该整体图像的变形除了沿拍摄范围的延伸方向发生线性变化的情况外，也可能存在在对从多面反射镜入射的检查光的方向及移动速度进行调整的上述fθ透镜的局部发生局部性的变形等这样的情况下沿拍摄范围的延伸方向发生非线性变化（有局部性的变形）的情况。而且，该变形的方向大多根据透镜的变形情况等而各不相同。

因此，本发明的目的在于提供一种能够获得变形较少的拍摄单元的拍摄图像而能够进行精度高的元件安装作业的元件安装装置及元件安装方法。

在技术方案1中记载的元件安装装置使吸嘴吸附元件之后，以所述元件沿在拍摄单元的上方区域规定的水平的基准路径行进的方式使所述吸嘴移动，所述元件沿所述基准路径行进时，所述拍摄单元配合所述元件的行进而连续地取得以沿与所述元件的行进方向正交的方向延伸的一定区域为拍摄范围的一维排列图像，基于将该连续地取得的一维排列图像结合而生成的所述元件的图像，将所述元件安装于基板，在使位置偏差计算用的拍摄对象物沿与所述基准路径在水平面内平行的多个检查路径行进的情况下，所述拍摄单元配合所述拍摄对象物沿所述各检查路径的行进而连续地取得一维排列图像，所述元件安装装置具备：校正值计算单元，基于将所述拍摄单元取得的所述拍摄对象物的一维排列图像结合而生成的多个所述拍摄对象物的图像来算出所述拍摄单元具有的一维排列图像的位置偏差的校正值；以及图像校正单元，使用所述校正值计算单元算出的所述校正值来进行将所述元件安装于基板时的所述元件的图像的校正。

在技术方案2中记载的元件安装方法使吸嘴吸附元件之后，以所述元件沿在拍摄单元的上方区域规定的水平的基准路径行进的方式使所述吸嘴移动，所述元件沿所述基准路径行进时，所述拍摄单元配合所述元件的行进而连续地取得以沿与所述元件的行进方向正交的方向延伸的一定区域为拍摄范围的一维排列图像，基于将该连续地取得的一维排列图像结合而生成的所述元件的图像，将所述元件安装于基板，所述元件安装方法包括：图像生成工序，使位置偏差计算用的拍摄对象物沿与所述基准路径在水平面内平行的多个检查路径行进，并通过所述拍摄单元，配合所述拍摄对象物沿所述各检查路径的行进而连续地取得一维排列图像，将该取得的所述拍摄对象物的一维排列图像结合而生成多个所述拍摄对象物的图像；校正值计算工序，基于在所述图像生成工序生成的多个所述拍摄对象物的图像来算出所述拍摄单元具有的一维排列图像的位置偏差的校正值；以及图像校正工序，使用在所述校正值计算工序算出的所述校正值来进行将所述元件安装于基板时的所述元件的图像的校正。

发明效果

在本发明中，使位置偏差计算用的拍摄对象物沿与基准路径在水平面内平行的多个检查路径行进而取得一维排列图像，基于将该取得的一维排列图像结合而生成的多个拍摄对象物的图像来算出拍摄单元具有的一维排列图像的位置偏差的校正值。而且，使用该算出的校正值，进行将元件安装于基板时的元件的图像的校正，因此能够获得变形较少的拍摄单元的拍摄图像，从而能够进行精度高的元件安装作业。

附图说明

图1是本发明的一实施方式中的元件安装装置的要部立体图。

图2是表示本发明的一实施方式中的元件安装装置的控制系统的框图。

图3是本发明的一实施方式中的元件安装装置所具备的3D传感器的（a）截面主视图（b）截面侧视图。

图4是表示本发明的一实施方式中的元件安装装置所进行的元件安装作业的执行步骤的流程图。

图5是本发明的一实施方式中的元件安装装置的局部俯视图。

图6是表示对本发明的一实施方式中的元件安装装置所具备的元件识别相机设定的检查路径的一例的图。

图7是表示本发明的一实施方式中的元件安装装置所进行的校正值取得作业的执行步骤的流程图。

图8是表示本发明的一实施方式中的元件安装装置取得的一维排列图像的一例的图。

图9是表示本发明的一实施方式中的元件安装装置所生成的工具的图像的一例的图。

标号说明

1     元件安装装置

2     基板

4     元件

17    吸嘴

21    3D传感器（拍摄单元）

30e   校正值计算部（校正值计算单元）

30f   图像校正部（图像校正单元）

R0    基准路径

R1    第一检查路径（检查路径）

R2    第二检查路径（检查路径）

JG    工具（位置偏差计算用的拍摄对象物）

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的实施方式。图1所示的元件安装装置1反复执行一系列动作，包括从未图示的上游工序侧的装置（例如，焊锡印刷机或其他元件安装装置）送来的基板2的搬入及定位、元件4向定位后的基板2上的电极部3的安装及安装了元件4的基板2向下游工序侧的装置（例如，其他元件安装装置或检查机、回流炉等）的搬出。以下，为了说明的方便，设基板2的搬运方向为X轴方向（从操作者OP观察的左右方向），与X轴方向正交的水平面内方向为Y轴方向（从操作者OP观察的前后方向）。另外，设上下方向为Z轴方向。

在图1中，元件安装装置1在基台11的中央部具有将基板2沿X轴方向搬运的基板搬运输送机12，在基台11的Y轴方向的端部沿X轴方向并排地安装有向元件供给口13a连续地供给元件4的多个元件供料器13。

在基台11上设置有由正交坐标机器人构成的头移动机构14，安装头15利用该头移动机构14在水平面内移动。头移动机构14由固定于基台11而沿Y轴方向延伸的Y轴工作台14a、沿Y轴工作台14a移动的沿X轴方向延伸的X轴工作台14b及沿X轴工作台14b移动的移动台14c构成，安装头15安装于移动台14c。头移动机构14通过进行组合X轴工作台14b相对于Y轴工作台14a的向Y轴方向的移动动作、和移动台14c相对于X轴工作台14b的向X轴方向的移动动作后的动作而使安装头15在水平面内移动。

在安装头15上向下方延伸地设置有多个轴部件16，在各轴部件16上拆装自如地设置有用于吸附元件4的吸嘴17。各轴部件16由设置在安装头15上的轴部件驱动机构18驱动并进行相对于安装头15的向上下方向（设为Z轴方向）的移动和绕上下轴的旋转动作。

在安装头15上安装有使拍摄视场朝向下方的基板识别相机19，在基台11上的基板搬运输送机12与元件供料器13之间的区域安装有使拍摄视场朝向上方的元件识别相机20和3D传感器21。

在图2中，基于基板搬运输送机12的基板2的搬运及定位动作、基于各元件供料器13的元件4的供给动作、基于头移动机构14的安装头15的移动动作、基于轴部件驱动机构18的各轴部件16的上下移动及绕上下轴（Z轴）的旋转的各动作的控制通过元件安装装置1所具备的控制装置30的安装执行部30a来完成。另外，基于各轴部件16的经由吸嘴17的吸附动作通过控制装置30的安装执行部30a进行设置在安装头15内的由未图示的促动器等构成的吸附机构31的动作控制来完成。

基于基板识别相机19的拍摄动作控制、基于元件识别相机20的拍摄动作控制及基于3D传感器21的拍摄动作控制由元件安装装置1所具备的控制装置30的安装执行部30a来完成，通过基于基板识别相机19的拍摄动作而获得的图像数据、通过元件识别相机20的拍摄动作而获得的图像数据及通过3D传感器21而获得的图像数据（3D图像数据）分别被发送至控制装置30并在控制装置30的图像识别部30b（图2）中完成图像识别。

在图3（a）、（b）中，3D传感器21在设置于基台11上并向上方开口的壳体40内具备半导体激光器41、聚光整形透镜42、半透半反镜43、反射镜44、多面反射镜45、fθ透镜46、作为受光元件的多个PSD（Position Sensitive Detector：光位置传感器）47及旋转量传感器48。

半导体激光器41朝向上方射出激光，该射出的激光在聚光整形透镜42中完成聚光整形之后，入射至在半导体激光器41的上方设置的半透半反镜43而分离为透过光和反射光。向上方透过半透半反镜43的激光在位于半透半反镜43的上方的反射镜44中反射而沿水平方向朝向多面反射镜45的上半部分的区域前进，在半透半反镜43反射的激光沿水平方向朝向多面反射镜45的下半部分的区域前进。

多面反射镜45由设置在壳体40内的旋转电动机45m驱动，绕与X轴平行的轴AX向恒定的方向以定速旋转（图3（b）中表示的箭头A）。因此，在反射镜44反射而沿水平方向前进的激光在设置在绕轴AX旋转的多面反射镜45的外周的多个反射面中的一个位于上半部分的状态的反射面向上方反射，然后向上方通过fθ透镜46而向壳体40的上方射出。

多面反射镜45绕轴AX旋转，在多面反射镜45的反射面反射的激光入射至fθ透镜46的入射点随着多面反射镜45的旋转而从fθ透镜46的Y轴方向的一端向另一端移动（图3（b）中表示的箭头B），但fθ透镜46将从多面反射镜45入射的激光调整为垂直并向Y轴方向的移动速度恒定的光，因此在fθ透镜46的上方形成向Y轴方向的恒定方向以恒定速度进行移动的垂直方向的扫描激光（以下，将该扫描激光称为检查光）。

另一方面，在半透半反镜43反射的激光在位于多面反射镜45的下半部分的状态的反射面上反射而向下方前进，并输入至旋转量传感器48而用于多面反射镜45的转速的计测。

如上述，沿Y轴方向进行扫描的检查光向壳体40的上方射出，元件4或后述的工具JG等拍摄对象物相对于该射出的检查光沿X轴方向通过时（图3（a）中表示的箭头C），一次扫描的检查光与拍摄对象物接触的区域沿X轴方向一点点地偏移。

构成检查光的激光接触到拍摄对象物的表面时，该激光在拍摄对象物的表面发生反射（散射），该散射的光由多个PSD47接受，并向控制装置30的图像生成部30c（图2）传送。控制装置30的图像生成部30c基于由各PSD47所接受的光的受光信号，算出激光发生反射的拍摄对象物的表面上的点的位置（高度），因此，一次扫描的检查光照射至拍摄对象物时，取得以沿与拍摄对象物的行进方向（X轴方向）正交的方向（Y轴方向）延伸的一定区域为拍摄范围的一维排列图像，配合拍摄对象物沿X轴方向的移动而反复取得该一维排列图像之后，通过将获得的一维排列图像结合而生成拍摄对象物的整体的图像。

控制装置30的安装执行部30a基于存储于存储部30d（图2）的元件安装程序，按照图4的流程图所示的步骤，执行将元件4安装于基板2上的电极部3的元件安装作业。

在元件安装作业中，控制装置30的安装执行部30a首先使基板搬运输送机12动作，接受从元件安装装置1的上游工序侧的装置送来的基板2而将基板2搬入元件安装装置1的内部（图1中表示的箭头D），并定位于规定的作业位置（图4所示的步骤ST1）。

控制装置30的安装执行部30a进行了基板2的定位之后，使安装头15移动而使基板识别相机19移动至基板2的上方，使基板识别相机19进行基板2上的一对基板标记2m（图1）的拍摄而进行图像识别。然后，通过将所获得的一对基板标记2m的位置与预先设定的基准的位置进行比较，算出基板2距基准的位置的位置偏差（步骤ST2）。

算出基板2距基准的位置的位置偏差之后，控制装置30的安装执行部30a进行各元件供料器13的动作控制而向该元件供料器13的元件供给口13a供给元件4，另一方面，使安装头15位于元件供料器13的上方，使吸嘴17吸附供给至元件供料器13的元件供给口13a的元件4（步骤ST3）。

控制装置30的安装执行部30a使吸嘴17吸附元件4之后，对于吸附于该吸嘴17的元件4进行是否需要3D图像的判断（步骤ST4）。然后，在判断为不需要3D图像的情况下，以吸附于吸嘴17的元件4通过元件识别相机20的上方的方式使安装头15移动并使元件识别相机20进行各元件4的拍摄，取得元件4的图像（2D图像）而进行元件4的图像识别（步骤ST5）。另一方面，在步骤ST4判断为需要3D图像的情况下，以元件4通过3D传感器21的上方的方式使安装头15移动，而通过3D传感器取得元件4的3D图像（步骤ST6）。然后，用预先求出的校正值（后述）对所获得的3D图像进行校正（步骤ST7），基于进行该校正后的元件4的3D图像来进行图像识别，并且进行该元件4的良否的判断（步骤ST8）。

在此，上述步骤ST4中判断为需要元件4的3D图像的情况是指例如元件4是具备引线的元件、或是具备向下方突出的凸点的元件的情况，在这种情况下，在步骤ST8中判断引线或凸点是否发生变化等。另外，在步骤ST4中判断为需要元件4的3D图像的情况下，控制装置30的安装执行部30a以元件4在沿X轴方向延伸而规定的基准路径R0（图5及图6）上行进的方式使安装头15在3D传感器21的沿Y轴方向延伸的拍摄范围的大致中央部的上方移动。

在步骤ST5中进行了基于元件识别相机20的元件4的图像识别之后，或在步骤ST8中进行了基于3D传感器21的元件4的图像识别及良否判断之后，控制装置30的安装执行部30a基于在步骤ST5中获得的2D图像的图像识别结果或在步骤ST8中获得的3D图像的图像识别结果，算出元件4相对于吸嘴17的位置偏差（吸附偏差）（步骤ST9）。

控制装置30的安装执行部30a算出各元件4相对于吸嘴17的位置偏差之后，使安装头15位于基板2的上方，使吸附于吸嘴17的各元件4与基板2上的电极部3接触，然后解除真空压向各吸嘴17的供给，从而将所吸附的元件4安装于基板2（步骤ST10）。在该步骤ST10中，控制装置30的安装执行部30a进行各吸嘴17相对于基板2的位置校正，以使在步骤ST2中求出的基板2的位置偏差和在步骤ST9中求出的元件4的吸附偏差得以修正。

控制装置30的安装执行部30a进行了元件4相对于基板2的安装之后，进行应安装于基板2的所有的元件4的安装是否已结束的判断（步骤ST11）。然后，在应安装于基板2的所有的元件4的安装未结束时，返回步骤ST3，在应安装于基板2的所有的元件4的安装已结束时，使基板搬运输送机12动作而将基板2从元件安装装置1搬出（步骤ST12）。由此，结束每一张基板2的元件安装作业。

如此，本实施方式中的元件安装装置1通过吸嘴17吸附元件4之后，以元件4沿在3D传感器21的上方区域规定的水平的基准路径R0行进的方式使吸嘴17移动，元件4沿基准路径R0行进时，3D传感器21配合元件4的行进而连续地取得以沿与元件4的行进方向（X轴方向）正交的方向（Y轴方向）延伸的一定区域为拍摄范围的一维排列图像，基于将该连续地取得的一维排列图像结合而生成的元件4的图像而将元件4安装于基板2。

然而，在上述结构的元件安装装置1所具备的3D传感器21中，驱动多面反射镜旋转45的旋转电动机45m的轴AX因安装公差的影响等而从设计上的基准的轴偏离，因此实际扫描的激光的移动轨迹从作为目标的轨迹偏离，在该情况下，在控制装置30的图像生成部30c取得的一维排列图像从原来获得的位置产生位置偏差（图8）。在这种情况下，将多个一维排列图像结合而生成的整体图像存在变形，因此需要定期地进行用于校正一维排列图像的位置偏差的校正值的取得作业，以所获得的校正值进行3D图像（在步骤ST6中取得的3D图像）的校正。以下，使用图7的流程说明校正值取得作业的执行步骤。

在3D传感器21的校正值取得作业中，控制装置30使作为位置偏差计算用的拍摄对象物的工具JG在相对于前述的基准路径R0在水平面内平行的多个检查路径（在此为第一检查路径R1及第二检查路径R2）上行进，通过3D传感器21，配合工具JG沿各检查路径行进而连续地取得一维排列图像（步骤ST21～步骤ST22）。然后，在图像生成部30c中，将在步骤ST21～步骤ST22中取得的工具JG的一维排列图像结合而生成多个（在此为两个）工具JG的图像（步骤ST23。图像生成工序）。

此外，在此所使用的工具JG优选不管在哪个检查路径上移动都能将工具JG的整体显示出的那样的大小。

在此，两个检查路径（第一检查路径R1及第二检查路径R2）优选隔着基板路径R0而配置，并且，设定为尽可能通过3D传感器21的拍摄范围的端部侧。这是因为在驱动多面反射镜45旋转的旋转电动机45m的轴AX从基准的位置偏离的情况下，一维排列图像整体以其中心部为中心绕Z轴旋转，但为了获得将这样的一维排列图像的位置校正为正确的位置的校正值，取得尽可能接近一维排列图像的两端部的位置的数据的情况下校正的精度高而有利。

如上述，控制装置30在图像生成部30c中生成多个工具JG的图像之后，基于该生成的多个工具JG的图像，在校正值计算部30e（图2）中算出3D传感器21具有的一维排列图像的位置偏差的校正值（步骤ST24。校正值计算工序）。该校正值可以设为能够消除一维排列图像的位置偏差的值，即使距原来所获得位置的偏差的符号反转的值。

图9是将使工具JG在设定于与基准路径R0相距Y轴的正方向的距离D1的部位的第一检查路径R1上移动而生成的工具JG的3D图像数据（第一图像数据GdP1）、和使工具JG在设定于与基准路径R0相距Y轴的负方向的距离D2的部位的第二检查路径R2上移动而生成的工具JG的3D图像数据（第二图像数据GdP2）显示在同一画面GM上的图。在该例子中，两个3D图像数据（第一图像数据GdP1及第二图像数据GdP2）分别从用虚线表示的原来的（一维排列图像没有发生位置偏差的情况的）3D图像数据GdP1s、GdP2s产生位置偏差，求出第一图像数据GdP1的中心位置P1距原来的位置P1s的偏差（△x1，△y1）、和第二图像数据GdP2的中心位置P2距原来的位置P2s的偏差（△x2，△y2）作为该位置偏差。

对于所述第一图像数据GdP1的中心位置P1和第二图像数据GdP2的中心位置P2以外的部位的位置偏差，应用通过使用了上述两偏差与该部位距基准路径R0的Y轴方向的距离的关系的线性插补等而算出的校正值即可，由此能够对3D传感器21的拍摄范围的各部（各像素）进行位置偏差的校正。这样算出的校正值在图像校正部30f（图2）中，用于将元件4安装于基本2时（前述的步骤ST10）的元件4的图像的校正（前述的步骤ST7）（图像校正工序）。

此外，上述的例子中，为了简单地进行说明，假设所获得的整体图像的变形沿拍摄范围的延伸方向（Y轴方向）发生线性变化的情况，仅设定隔着基准路径R0而配置的两个检查路径（第一检查路径R1及第二检查路径R2），但在fθ透镜46的局部发生局部性的变形那样的情况等预想到整体图像的变形沿拍摄范围的延伸方向发生非线性变化的情况下，在隔着基准路径R0的两区域（在前述的例子中而言，第一检查路径R1侧及第二检查路径R2侧）各设定多个检查路径，进行工具JG沿该设定的所有检查路径的移动，而取得更多部位的校正值。在这种情况下，检查路径的数量越多，越能够进行更准确的整体图像（3D图像）的校正。

如此，在本实施方式中的元件安装装置1中，在使作为位置偏差计算用的拍摄对象物的工具JG在相对于基准路径R0在水平面内平行的多个检查路径上行进的情况下，3D传感器21配合工具JG沿各检查路径行进而连续地取得一维排列图像，元件安装装置1具备：校正值计算单元（控制装置30的校正值计算部30e），基于将3D传感器21取得的工具JG的一维排列图像结合而生成的多个工具JG的图像来算出3D传感器21具有的一维排列图像的位置偏差的校正值；及图像校正单元（控制装置30的图像校正部30f），使用校正值计算单元算出的校正值来进行将元件4安装于基板2时的元件4的图像的校正。

另外，使用了该元件安装装置1的元件安装方法包括：图像生成工序（步骤ST23），使作为位置偏差计算用的拍摄对象物的工具JG在相对于基准路径R0在水平面内平行的多个检查路径上行进，并通过3D传感器，配合工具JG沿各检查路径行进而连续地取得一维排列图像，将该取得的工具JG的一维排列图像结合而生成多个工具JG的图像；校正值计算工序（步骤ST24），基于在图像生成工序所生成的多个工具JG的图像来算出3D传感器21具有的一维排列图像的位置偏差的校正值；及图像校正工序（步骤ST7），使用在校正值计算工序中算出的校正值来进行将元件4安装于基板2时的元件4的图像的校正。

在本实施方式中的元件安装装置1及元件安装方法中，基于将使位置偏差计算用的拍摄对象物（上述的例子中为工具JG）在相对于基准路径R0在水平面内平行的多个检查路径上行进而取得的一维排列图像结合而生成的多个工具JG的图像，算出3D传感器21具有的一维排列图像的位置偏差的校正值，并使用该算出的校正值，进行将元件4安装于基板2时的元件4的图像的校正，因此能够获得变形较少的3D传感器21的拍摄图像，从而能够进行精度高的元件安装作业。

而且，检查路径越多，越能够对应整体图像的各种变形的图形，不仅能够对应变形沿拍摄范围的延伸方向发生线性变化的情况，也能够对应变形沿拍摄范围的延伸方向发生非线性变化的情况，而且，能够对应变形的方向各种各样的情况。

此外，在上述的实施方式中，作为位置偏差计算用的拍摄对象物而使用的工具JG也可以是安装于基板2的元件4本身。另外，也可以不使吸嘴17吸附工具JG或元件4，而将吸嘴17本身换为位置偏差计算专用的工具JG。

另外，在上述的实施方式中，进行元件4的拍摄的拍摄单元是3D传感器21，但这是一个例子，不一定是3D传感器21，只要是在元件4沿基准路径R0行进时能够获得以沿与元件4的行进方向正交的方向延伸的一定区域为拍摄范围的一维排列图像的装置即可。3D传感器21是通过多面反射镜而使检查光沿拍摄范围的延伸方向（图像的排列方向）进行扫描并由一个或多个受光元件接受该反射光的类型的结构，但并不限定于这样的结构，也可以是将多个受光元件沿拍摄范围的延伸方向排列而同时取得一维排列图像的类型的结构等。在后一种类型（将多个受光元件沿拍摄范围的延伸方向排列而取得一维排列图像的类型）的结构中，通过所获得的校正值对沿拍摄范围的延伸方向排列的受光元件的列（受光元件单元）相对于壳体的安装角度进行校正，从而能够消除一维排列图像的位置偏差的影响。

此外，在基于3D传感器21取得实际的元件4的图像时，在检查光沿拍摄范围的延伸方向（Y轴方向）移动的期间，因为元件4沿与检查光的移动方向正交的方向（X轴方向）进行微小量移动，所以结果在未进行校正的整体图像中包含因这种元件4的移动（向与检查光的移动方向正交的方向的移动）而产生的变形，但在本实施方式中，在与对实际的元件4的图像取得时相同的状况下取得校正值，因此校正应用后的3D图像为除去那种变形后的图像，在这方面也能够获得变形较少的拍摄图像。

工业实用性

提供一种能够获得变形较少的拍摄单元的拍摄图像而能够进行精度高的元件安装作业的元件安装装置及元件安装方法。

Claims (2)

1.一种元件安装装置，使吸嘴吸附元件之后，以所述元件沿在拍摄单元的上方区域规定的水平的基准路径行进的方式使所述吸嘴移动，所述元件沿所述基准路径行进时，所述拍摄单元配合所述元件的行进而连续地取得以沿与所述元件的行进方向正交的方向延伸的一定区域为拍摄范围的一维排列图像，基于将该连续地取得的一维排列图像结合而生成的所述元件的图像，将所述元件安装于基板，所述元件安装装置的特征在于，

在使位置偏差计算用的拍摄对象物沿与所述基准路径在水平面内平行的多个检查路径行进的情况下，所述拍摄单元配合所述拍摄对象物沿所述各检查路径的行进而连续地取得一维排列图像，

所述元件安装装置具备：

校正值计算单元，基于将所述拍摄单元取得的所述拍摄对象物的一维排列图像结合而生成的多个所述拍摄对象物的图像来算出所述拍摄单元具有的一维排列图像的位置偏差的校正值；以及

图像校正单元，使用所述校正值计算单元算出的所述校正值来进行将所述元件安装于基板时的所述元件的图像的校正。

2.一种元件安装方法，使吸嘴吸附元件之后，以所述元件沿在拍摄单元的上方区域规定的水平的基准路径行进的方式使所述吸嘴移动，所述元件沿所述基准路径行进时，所述拍摄单元配合所述元件的行进而连续地取得以沿与所述元件的行进方向正交的方向延伸的一定区域为拍摄范围的一维排列图像，基于将该连续地取得的一维排列图像结合而生成的所述元件的图像，将所述元件安装于基板，所述元件安装方法的特征在于，包括：

图像生成工序，使位置偏差计算用的拍摄对象物沿与所述基准路径在水平面内平行的多个检查路径行进，通过所述拍摄单元，配合所述拍摄对象物沿所述各检查路径的行进而连续地取得一维排列图像，将该取得的所述拍摄对象物的一维排列图像结合而生成多个所述拍摄对象物的图像；

校正值计算工序，基于在所述图像生成工序生成的多个所述拍摄对象物的图像来算出所述拍摄单元具有的一维排列图像的位置偏差的校正值；以及

图像校正工序，使用在所述校正值计算工序算出的所述校正值来进行将所述元件安装于基板时的所述元件的图像的校正。

Images