CN104793064A - 基板检测系统 - Google Patents

Abstract

一种基板检测系统，其包含：一置料装置、一载运装置、一第一基板吸附载台及一第一检测装置。置料装置用以置放至少一基板。载运装置用以载运置放于置料装置的基板。第一基板吸附载台可活动地设置于一第一导轨上，用以吸附载运装置所置放的基板。第一检测装置用以检测置设于第一基板吸附载台的基板。由此，可快速而有效地对基板进行检测。本发明的基板检测系统可以有效提升基板的检测效率及其成效，进而达到快速而高品质生产的竞争需求。

Description

基板检测系统

技术领域

本发明涉及一种基板检测系统，特别涉及一种可快速而精准地对基板进行检测的基板检测系统。

背景技术

电路板成品检测是生产流程中的重要环节，成品检测中最重要地莫过于电性导线的检测。传统的电路板测试需要依靠作业员的手工操作，对于那些电路比较简单、测试信号比较少的电路板来说，手工操作尚能满足要求，但随着电子技术的进步，电路越来越复杂，测试信号越来越多，产品的生命周期越来越短、小批量、多品种的产品任务比较多，手工操作的电路板测试方法不仅效率低，且容易出错，已不能满足快速高品质生产的竞争需求。缘此，本发明人有感上述问题的可改善，乃潜心研究并配合学理的运用，而提出一种设计合理且有效改善上述问题的本发明。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种基板检测系统，其利用载运装置快速地进行基板的装载，且配合第一基板吸附载台，而可有效地将基板定位，以可通过第一检测装置进行精准地相关电路导线的检测，进而可解决公知技术中利用人工，无法快速而精准地进行基板相关导线的检测，而无法满足快速高品质生产的竞争需求的问题。

为了实现上述目的，本发明提供一种基板检测系统，其包含：一置料装置、一载运装置、一第一基板吸附载台及一第一检测装置。置料装置用以置放至少一基板。载运装置用以载运置放于置料装置的基板。第一基板吸附载台可活动地设置于一第一导轨上，用以吸附载运装置所置放的基板。第一检测装置用以检测置设于第一基板吸附载台的基板。

在本发明的基板检测系统的一个实施方式中，所述基板检测系统进一步包含一第二基板吸附载台、一基板翻转装置及一第二检测装置，该第二基板吸附载台可活动地设置于一第二导轨上，而该第二导轨邻近该第一导轨设置，该基板翻转装置用以翻转该第一基板吸附载台上的该基板，并将翻转后的该基板置放于该第二基板吸附载台，以使该基板受该第二检测装置检测。

在本发明的基板检测系统的另一个实施方式中，该基板翻转装置包含一第一夹爪模块及一第二夹爪模块，该第一夹爪模块与该第二夹爪模块相对应的分别邻近于该第一导轨及该第二导轨的一侧设置；其中，该第一夹爪模块用以夹取设置于该第一基板吸附载台的该基板，该第二夹爪模块用以夹取该第一夹爪模块的该基板，并将该基板设置于该第二基板吸附载台。

在本发明的基板检测系统的另一个实施方式中，该第一夹爪模块及该第二夹爪模块分别包含至少一组夹爪，且该第一基板吸附载台及该第二基板吸附载台的一载台本体分别包含至少一组可对应容置该夹爪的沟槽。

在本发明的基板检测系统的另一个实施方式中，该第一基板吸附载台及该第二基板吸附载台分别包含一挡板，且该第一基板吸附载台及该第二基板吸附载台分别连接一倾斜装置，该倾斜装置用以使该第一基板倾斜装置及该第二基板吸附载台的该载台本体倾斜，而使设置于该载台本体上的该基板的一侧边抵靠于该挡板。

在本发明的基板检测系统的另一个实施方式中，该第一基板吸附载台及该第二基板吸附载台分别包含一第一阻气模块、数个第二阻气模块及数个吸附孔，该第一阻气模块可选择地启闭至少一列X方向的该些吸附孔，而各该第二阻气模块可选择地启闭至少一排Y方向的该些吸附孔。

在本发明的基板检测系统的另一个实施方式中，该第一基板吸附载台及该第二基板吸附载台进一步分别包含：

一主气道，其与一抽气装置相连接，且该主气道包含数个主气孔；

数个第一气道，各该第一气道分别与该主气道的各该主气孔相连通，且各该第一气道包含数个第一气孔；以及

数个第二气道，各该第二气道包含数个第二气孔，各该第二气孔分别对应与一排的该些吸附孔相连通，且各该第一气道的各该第一气孔分别对应与该第二气道相连通；

其中，该第一阻气模块可活动地设置于该主气道中，以可选择地关闭至少一主气孔，各该第二阻气模块分别设置于各该第二气道中，以可选择地关闭至少一该第二气孔。

在本发明的基板检测系统的另一个实施方式中，该第一基板吸附载台及该第二基板吸附载台进一步分别包含一第一阻气模块、一第二阻气模块及数个吸附孔，该第一阻气模块可选择地启闭至少一列X方向的该些吸附孔，而该第二阻气模块可选择地启闭至少一排Y方向的该些吸附孔。

在本发明的基板检测系统的另一个实施方式中，该第一基板吸附载台及该第二基板吸附载台进一步分别包含：

一主气道，其与一抽气装置相连接，且该主气道包含数个主气孔；

数个第一气道，各该第一气道分别与X方向各列的该些吸附孔相连通，且各该第一气道分别与各该主气孔相连通；

一次气道，其与该抽气装置相连接，且该次气道包含数个次气孔；以及

数个第二气道，各该第二气道分别与Y方向各排的该些吸附孔相连通，且各该第二气道分别与各该次气孔相连通；

其中，该第一阻气模块可活动地设置于该主气道中，以可选择地关闭至少一该主气孔，该第二阻气模块设置于该次气道中，以可选择地关闭至少一该次气孔。

在本发明的基板检测系统的另一个实施方式中，所述基板检测系统进一步包含一防迭片装置，其包含一感测模块及至少一弹性夹持臂；当该载运装置将其所载运的该基板，置放于该夹持模块时，该基板抵顶该弹性夹持臂，而该感测模块据以感测该基板的厚度。

本发明的有益效果为：可以有效提升基板的检测效率及其成效，进而达到快速而高品质生产的竞争需求。

为了能更进一步了解本为达成既定目的所采取的技术、方法及功效，请参阅以下有关本发明的详细说明、附图，相信本发明的目的、特征与特点，当可由此得以深入且具体的了解，然而所附图式仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制者。

附图说明

图1为本发明的基板检测系统的第一实施例的示意图。

图2为本发明的基板检测系统的第一实施例的载运装置及防迭片装置的示意图。

图3为本发明的基板检测系统的第一实施例的第一检测装置及第一基板吸附载台的示意图。

图4为本发明的基板检测系统的第一实施例的第一基板吸附载台的部分上视透视图。

图5为本发明的基板检测系统的第一实施例的第一基板吸附载台的部分剖视图。

图6为本发明的基板检测系统的第一实施例的另一方式的第一基板吸附载台的示意图。

图7为本发明的基板检测系统的第一实施例的另一方式的第一基板吸附载台的上视透视图。

图8为本发明的基板检测系统的第二实施例的示意图。

图9为本发明的基板检测系统的第二实施例的第二检测装置及基板翻转装置的示意图。

其中，附图标记说明如下：

1：基板检测系统

10：置料装置

11：第一基板置放区

111、121：可活动载台

12：第二基板置放区

20：载运装置

201：吸附载台

202：吸附孔

21：活动载臂

22：防迭片装置

221：弹性夹持臂

30、30’：第一基板吸附载台

300：第一导轨

301：载台本体

3011：吸附孔

3012：第一沟槽

3013：第二沟槽

302：第一气道

3021：第一气孔

303：第二气道

3031：第二气孔

31、31’：第一阻气模块

311：主气道

3111：主气孔

311’：次气道

3111’：次气孔

3112、3112’：抽气孔

312、312’：阻气单元

313、313’：操作单元

32：第二阻气模块

321：操作部

322：轴体

323：阻隔单元

324：连通空间

33：挡板

34：倾斜装置

40：第一检测装置

50：第二基板吸附载台

500：第二导轨

501：载台本体

5011：吸附孔

5012：第一沟槽

5013：第二沟槽

60：基板翻转装置

61：第一夹爪模块

611：第一夹爪

612：第二夹爪

62：第二夹爪模块

621：第一夹爪

622：第二夹爪

63：支撑架

70：第二检测装置

A：基板

具体实施方式

〔第一实施例〕

请一并参阅图1至图7，其为本发明的基板检测系统的第一实施例的示意图。如图1所示，基板检测系统1包含：一置料装置10、一载运装置20、一第一基板吸附载台30及一第一检测装置40。置料装置10包含一第一基板置放区11及一第二基板置放区12；举例来说，第一基板置放区11可以放置待检测的基板A，而第二基板置放区12可以是放置已检测完成的基板A，在实际应用中，更可以是依据第一检测装置40所检测出的结果，设计例如是基板再检测区、基板毁坏区等等的。第一基板置放区11及第二基板置放区12可以是分别设置有一可活动载台111、121，用以置放至少一待检测或是已检测完成的基板A，而可随着基板A的数量多寡而升降可活动载台的高度。

载运装置20可以是机械连接于至少一活动载臂21，而可活动地于X或Y方向移动以及上下移动，以将置放于第一基板置放区11的基板A载运至第一基板吸附载台30，或是将已检测完成的基板A由第一基板吸附载台30载运至第二基板置放区12；且载运装置20可以是包含有一吸附载台201及数个吸附孔202，以通过吸附的方式载运基板A；在另外的实施方式中，载运装置20亦可以是通过夹爪的方式进行基板A的载运。第一基板吸附载台30可活动地设置于第一导轨300上，而可活动地做线性位移，以将由载运装置20所置放的基板A载运至邻近第一检测装置40的位置，以供第一检测装置40进行检测。第一检测装置40可以是包含有感光耦合元件(Charge-coupledDevice,CCD)，用以对基板A的表面进行检测。其中，基板A较佳地可以是电路基板。

如图2所示，载运装置20更可以包含有一防迭片装置22，其可以包含有一感测模块(图未示)及一弹性夹持臂221。载运装置20的吸附载台201吸附基板A后，可以是先将基板A旋转而直立设置，以使基板A可进入两个弹性夹持臂221间，而推抵其中一个弹性夹持臂221，由此通过判断弹性夹持臂221受推抵后的位移量，以通过感测模块判读出基板A的厚度，据以判断载运装置20是否载运单一个基板A，而可有效地避免载运装置20同时载运两片基板A，进而造成其中一基板A无法被第一基板吸附载台30吸附，而掉落的问题。较佳地，更可以是于弹性夹持臂221的前端与基板A接触的地方设置胶轮，以避免基板A碰撞弹性夹持臂221而毁坏的问题。

如图3所示，第一基板吸附载台30包含一载台本体301、第一阻气模块31、数个第二阻气模块32、一挡板33及一倾斜装置34。载台本体301具有数个规则排列的吸附孔3011。第一阻气模块31设置于载台本体301的一侧，其包含一操作单元313，用以可选择地关闭至少一列X方向的吸附孔3011。各个第二阻气模块32分别设置于载台本体301的另一侧，其包含一操作部321，用以可选择地关闭至少一排Y方向的吸附孔3011。倾斜装置34机械连接载台本体301，而可选择地使载台本体301呈现倾斜状态。挡板33设置于载台本体301的侧边，而可于载台本体301呈现倾斜状态时，抵靠基板A，以避免基板A滑落。

如图4所示，其为第一基板吸附载台30的上视透视图。载台本体301包含数个分别平行于X方向设置的第一气道302及数个平行于Y方向设置的第二气道303。第一气道302包含数个第一气孔3021，第二气道303包含数个第二气孔3031，且各第二气孔3031分别对应与一个吸附孔3011相连通，且各列第一气道302的各第一气孔3021分别与各排第二气道303相互连通，亦即各排第二气道303的各第二气孔3031分别与其中一列第一气道302相连通。其中，各第一气道302及各第二气道303可以是形成于载台本体301内的通道，亦可以是设置于载台本体301下方的独立气管。

第一阻气模块31包含一主气道311、一阻气单元312及一操作单元313，主气道311包含数个主气孔3111及一抽气孔3112，各主气孔3111分别与各第一气道302相连通，抽气孔3112与一抽气装置(图未示)相连接。阻气单元312可活动地设置于主气道311中；操作单元313外露于第一阻气模块31外，且与阻气单元312机械连接，由此控制调整阻气单元312于主气道311中的位置。其中，阻气单元312可以是活塞等，可完全密封阻隔气体的构件；第一阻气模块31可以是与载台本体301一体形成，又或者可以是两个可拆卸的独立构件。

举例来说，阻气单元312可以是设置于与主气道311设置有抽气孔3112的相反端，当阻气单元312未遮蔽任何主气孔3111而设置于主气道311的一端时，各主气孔3111与抽气孔3112相连通，而使各个与主气孔3111相连通的第一气道302，所对应连通的各列X方向的吸附孔3011呈现具有吸附力的状态；当阻气单元312受操作单元313操作，向抽气孔3112移动，而遮蔽其中一主气孔3111时，被遮蔽的主气孔3111及位于阻气单元312后方而远离抽气孔3112的主气孔3111，受阻气单元312的阻隔，而无法与抽气孔3112相连通，进而使其所对应的该列X方向的吸附孔3011不具有吸附力，而达到关闭X方向吸附孔3011的作用。

换言之，阻气单元312与抽气孔3112分别设置于主气道311的两端时，在操作单元313未移动时，各列X方向的吸附孔3011呈现具有吸附力的状态，而随着操作单元313逐渐向抽气孔3112靠近的同时，相对应于操作单元313的该列X方向的吸附孔3011被阻气单元312阻隔，而不具有吸附力，亦即操作单元313经过的各列X方向的吸附孔3011皆被阻气单元312阻隔而不具吸附力。值得一提的是，附图中是以抽气孔与阻气单元分别设置于气道两端为例，但实际应用并不局限于此，亦可以是两者设置于气道相同的一端，而其阻气单元的操作方式，则与本实施例所述的方式相反。

各第二阻气模块32包含一轴体322及数个间隔设置的阻隔单元323，且轴体322外露于载台本体301的一端为操作部321，而各个阻隔单元323间形成有一连通空间324。在实际应用中，各阻隔单元323可以是与轴体322一体成形，或是另外套设于轴体322上的独立构件，且各阻隔单元323更可以选择性地配合设置有密封橡圈。当第二阻气模块32的操作部321受压时，各阻隔单元323对应阻隔各第二气孔3031与第一气孔3021间的连通，而阻隔吸附孔3011与第一气道302的连通，由此关闭第二阻气模块32所对应的该排Y方向的吸附孔3011，使其不具有吸附力。

如图4及图5所示，当第二阻气模块32的操作部321受拉，而使轴体322及各阻隔单元323于第二气道303中移动，以使各阻隔单元323间的连通空间324对应位于第二气孔3031与第一气孔3021间时，各第二气孔3031可通过该连通空间324与该第一气孔3021相连通，而使各吸附孔3011与第一气道302及主气道311相连通，进而使各吸附孔3011具有吸附力。特别一提的是，于本实施例中，是以按压第二阻气模块32的操作部321为关闭对应的该排Y方向的吸附孔3011，而以抽拉第二阻气模块32的操作部321为开启吸附孔3011为例，但实际应用中，亦可以是配合第二阻气模块32的各阻隔单元323、各第二气孔3031及各第一气孔3021的设计，改以按压操作部321时为开启吸附孔3011，抽拉操作部321时为关闭吸附孔3011。又，在另外的实施中，亦可以是使第二阻气模块32的两端皆外露于载台本体301外，亦即第二阻气模块32具有两个外露的操作部321，由此使用者可以只通过按压的方式进行吸附孔3011的启闭。

请一并参阅图6及图7，其为第一基板吸附载台的另一实施方式，如图所示，第一基板吸附载台30’可以包含有两个相同内部结构的第一阻气模块31、31’，其分别设置于载台本体301的X及Y方向的一侧，由此分别控制关闭至少一列X方向的吸附孔3011及至少一排Y方向的吸附孔3011。其中，关于第一阻气模块31的内部结构及其相关作动关系，与前述所载相同，于此不多加赘述，于此仅简单叙述第一阻气模块31’，为利区分以下将以不同的名词及标号叙明。如图7所示，第一阻气模块31’包含一次气道311’、一阻气单元312’及一操作单元313’。该次气道311’包含数个次气孔3111’及一抽气孔3112’，且各次气孔3111’分别连通于各第二气道303。阻气单元312’与操作单元313’机械性连接，而受操作单元313’控制，以选择性地阻隔其中一次气孔3111’。

诚如上述，实际的基板A检测过程可以是：首先，通过载运装置20由置料装置10的第一基板置放区11载运基板A，并通过防迭片装置22，以判断载运装置20是否仅载运单一片基板A，随后载运装置20将该基板A置放于第一基板吸附载台30，此时第一基板吸附载台30可以是平行于水平线而未倾斜，而当基板A设置于载台本体301上后，倾斜装置34则控制使载台本体301倾斜，而使基板A的一侧抵靠于挡板33；随后，第一基板吸附载台30于第一导轨300上移动，而使基板A对应于第一检测装置40，以进行基板A的表面检测作业；当检测完成后，载运装置20则可以将该基板A载运回原始邻近于载运装置20的位置，以使载运装置20将基板A载运置放于置料装置10的第二基板置放区12，以完成基板检测作业。

〔第二实施例〕

请一并参阅图8及图9，其为本发明的基板检测系统的第二实施例的示意图。如图8所示，基板检测系统2包含：一置料装置10、一载运装置20、一第一基板吸附载台30、一第一检测装置40、一第二基板吸附载台50、一基板翻转装置60及一第二检测装置70。关于置料装置10、载运装置20、第一基板吸附载台30及第一检测装置40的相关连接关系与前述实施例相同，与此不多加赘述。本实施例特别说明的是，基板检测系统2更可以包含有一与第一导轨300平行设置的第二导轨500，而第二基板吸附载台50可活动地设置于该第二导轨500上；其中第二基板吸附载台50的详细结构可以是与前述实施例所载的第一基板吸附载台30相同，亦可以是仅具有数个吸附孔5011的基板承载装置。

如图9所示(为利清楚显示基板翻转装置60，于图示中省略第一检测装置40及第二检测装置70的绘示)，基板翻转装置60设置于第一导轨300及第二导轨500的一端，其包含有一第一夹爪模块61、一第二夹爪模块62及一支撑架63，支撑架63可以是横跨于第一导轨300及第二导轨500设置，且支撑架63的左右两内侧分别设置有一第一夹爪模块61及一第二夹爪模块62，且第一夹爪模块61邻近于第一基板吸附载台30设置，而第二夹爪模块62邻近于第二基板吸附载台50设置。第二检测装置70可以是相对于第一检测装置40而邻近于第二基板吸附载台50设置，用以检测第二基板吸附载台50上的基板A。

进一步地说，第一夹爪模块61可以包含有数个第一夹爪611及数个相对应第一夹爪611设置的第二夹爪612；而第二夹爪模块62相同地可以包含有数个第一夹爪621及数个相对应第一夹爪611设置的第二夹爪612；第一基板吸附载台30的载台本体301对应于数个第一夹爪611及数个第二夹爪612具有数个第一沟槽3012及数个第二沟槽3013；相同地，第二基板吸附载台50的载台本体501亦可以具有数个第一沟槽5012及数个第二沟槽5013。

当第一检测装置40检测完第一基板吸附载台30上的基板A后，第一基板吸附载台30移动至邻近第一夹爪模块61的位置，而第一夹爪模块61的第一夹爪611及第二夹爪612对应伸入第一沟槽3012及第二沟槽3013中，以将基板A由第一基板吸附载台30夹起。随后，通过第二夹爪模块62将基板A由第一夹爪模块61抓取后，置放于第二基板吸附载台50，而达到将基板A翻面的目的，进而可使基板A的另一侧面受第二检测装置70进行检测，而可达到检测基板A正反面的功效。其中，在较佳的实施中，更可于邻近第二基板吸附载台50处设置有另一载运装置(图未示)，由此对应与原载运装置20相互配合，而将经检测后的基板A设置于置料装置10相对应的基板置放区。

诚如上述，具体地说，基板A的检测过程可以是，首先通过载运装置20由置料装置10的第一基板置放区11吸附待测基板A，通过防迭片装置22检测后，将其置放于第一基板吸附载台30，通过倾斜装置34使载台本体301倾斜后，沿第一导轨300移动至邻近第一检测装置40的位置，以使基板A受第一检测装置40检测；随后，通过第一夹爪模块61抓取基板A，再通过第二夹爪模块62抓取基板A，并将基板A设置于第二基板吸附载台50，而使基板A的另一面受第二检测装置70进行检测，最后再通过另一载运装置或是原始的载运装置20将双面检测后的基板A载运至置料装置10的第二基板置放区12或是相对应的基板置放区(例如：基板毁坏区、基板再检测区等)，由此完成单一基板的检测作业。

惟以上所述仅为本发明的较佳实施例，非意欲局限本发明的专利保护范围，故举凡运用本发明说明书及附图内容所为的等效变化，均同理皆包含于本发明的权利保护范围内，合予陈明。

Claims (10)

1.一种基板检测系统，其特征在于，所述基板检测系统包含：

一置料装置，其用以置放至少一基板；

一载运装置，其用以载运置放于该置料装置的该基板；

一第一基板吸附载台，其可活动地设置于一第一导轨上，用以吸附该载运装置所置放的该基板；以及

一第一检测装置，其用以检测置设于该第一基板吸附载台的该基板。

2.根据权利要求1的基板检测系统，其特征在于，所述基板检测系统进一步包含一第二基板吸附载台、一基板翻转装置及一第二检测装置，该第二基板吸附载台可活动地设置于一第二导轨上，而该第二导轨邻近该第一导轨设置，该基板翻转装置用以翻转该第一基板吸附载台上的该基板，并将翻转后的该基板置放于该第二基板吸附载台，以使该基板受该第二检测装置检测。

3.根据权利要求2的基板检测系统，其特征在于，该基板翻转装置包含一第一夹爪模块及一第二夹爪模块，该第一夹爪模块与该第二夹爪模块相对应的分别邻近于该第一导轨及该第二导轨的一侧设置；其中，该第一夹爪模块用以夹取设置于该第一基板吸附载台的该基板，该第二夹爪模块用以夹取该第一夹爪模块的该基板，并将该基板设置于该第二基板吸附载台。

4.根据权利要求3的基板检测系统，其特征在于，该第一夹爪模块及该第二夹爪模块分别包含至少一组夹爪，且该第一基板吸附载台及该第二基板吸附载台的一载台本体分别包含至少一组可对应容置该夹爪的沟槽。

5.根据权利要求2至4中任一项的基板检测系统，其特征在于，该第一基板吸附载台及该第二基板吸附载台分别包含一挡板，且该第一基板吸附载台及该第二基板吸附载台分别连接一倾斜装置，该倾斜装置用以使该第一基板倾斜装置及该第二基板吸附载台的该载台本体倾斜，而使设置于该载台本体上的该基板的一侧边抵靠于该挡板。

6.根据权利要求2至4中任一项的基板检测系统，其特征在于，该第一基板吸附载台及该第二基板吸附载台分别包含一第一阻气模块、数个第二阻气模块及数个吸附孔，该第一阻气模块可选择地启闭至少一列X方向的该些吸附孔，而各该第二阻气模块可选择地启闭至少一排Y方向的该些吸附孔。

7.根据权利要求6的基板检测系统，其特征在于，该第一基板吸附载台及该第二基板吸附载台进一步分别包含：

一主气道，其与一抽气装置相连接，且该主气道包含数个主气孔；

数个第一气道，各该第一气道分别与该主气道的各该主气孔相连通，且各该第一气道包含数个第一气孔；以及

数个第二气道，各该第二气道包含数个第二气孔，各该第二气孔分别对应与一排的该些吸附孔相连通，且各该第一气道的各该第一气孔分别对应与该第二气道相连通；

其中，该第一阻气模块可活动地设置于该主气道中，以可选择地关闭至少一主气孔，各该第二阻气模块分别设置于各该第二气道中，以可选择地关闭至少一该第二气孔。

8.根据权利要求2至4中任一项的基板检测系统，其特征在于，该第一基板吸附载台及该第二基板吸附载台进一步分别包含一第一阻气模块、一第二阻气模块及数个吸附孔，该第一阻气模块可选择地启闭至少一列X方向的该些吸附孔，而该第二阻气模块可选择地启闭至少一排Y方向的该些吸附孔。

9.根据权利要求8的基板检测系统，其特征在于，该第一基板吸附载台及该第二基板吸附载台进一步分别包含：

一主气道，其与一抽气装置相连接，且该主气道包含数个主气孔；

数个第一气道，各该第一气道分别与X方向各列的该些吸附孔相连通，且各该第一气道分别与各该主气孔相连通；

一次气道，其与该抽气装置相连接，且该次气道包含数个次气孔；以及

数个第二气道，各该第二气道分别与Y方向各排的该些吸附孔相连通，且各该第二气道分别与各该次气孔相连通；

其中，该第一阻气模块可活动地设置于该主气道中，以可选择地关闭至少一该主气孔，该第二阻气模块设置于该次气道中，以可选择地关闭至少一该次气孔。

10.根据权利要求2至4中任一项的基板检测系统，其特征在于，所述基板检测系统进一步包含一防迭片装置，其包含一感测模块及至少一弹性夹持臂；当该载运装置将其所载运的该基板，置放于该夹持模块时，该基板抵顶该弹性夹持臂，而该感测模块据以感测该基板的厚度。