CN104723040B - 一种在钨板表面加工凹槽或盲孔的方法 - Google Patents
一种在钨板表面加工凹槽或盲孔的方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN104723040B CN104723040B CN201510148152.0A CN201510148152A CN104723040B CN 104723040 B CN104723040 B CN 104723040B CN 201510148152 A CN201510148152 A CN 201510148152A CN 104723040 B CN104723040 B CN 104723040B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- milling
- tungsten plate
- tungsten
- processing
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23C—MILLING
- B23C3/00—Milling particular work; Special milling operations; Machines therefor
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22F—CHANGING THE PHYSICAL STRUCTURE OF NON-FERROUS METALS AND NON-FERROUS ALLOYS
- C22F1/00—Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working
- C22F1/16—Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working of other metals or alloys based thereon
- C22F1/18—High-melting or refractory metals or alloys based thereon
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23C—MILLING
- B23C2220/00—Details of milling processes
- B23C2220/36—Production of grooves
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23C—MILLING
- B23C2220/00—Details of milling processes
- B23C2220/52—Orbital drilling, i.e. use of a milling cutter moved in a spiral path to produce a hole
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Milling Processes (AREA)
Abstract
本发明提供了一种在钨板表面加工凹槽或盲孔的方法,包括以下步骤:一、利用铣床对钨板进行预铣削加工;二、利用铣床对钨板进行粗铣削加工;三、进行退火处理;四、利用铣床对钨板进行精铣削加工。本发明通过对钨板进行预铣削加工和退火处理,能够极大地减少和改善钨板棱边的崩边情况,保证能够满足后道工序的表面要求,并为最终表面处理打下良好的基础。
Description
技术领域
本发明属于材料加工技术领域,具体涉及一种在钨板表面加工凹槽或盲孔的方法。
背景技术
钨是周期表中VI族元素,表面具有银灰色光泽,粉末呈暗灰色。其特点为:熔点、强度和弹性模量高,膨胀系数小,蒸气压低,导电、导热性良好及优越的抗蚀性能,缺点是低温脆化和高温氧化严重。因此,金属钨及其精加工异形件被广泛地用于医疗、光电、宇航和军事工业等领域中。
近几年,随着国内外电子信息产业蓬勃发展,造就了半导体设备庞大的市场,从而也带来了庞大的离子注入机的需求。其中,最核心的部件是离子源部分,主要包括蒸发器、弧光反应室及磁铁等组合而成,而弧光反应室主要由钨精加工异形件组成的容器,是整个反应进行的基础和平台。因此,弧光反应室是离子注入机核心部件。
由于使用条件要求,钨工件的外观尺寸以及表面粗糙度均有着严格的要求。而钨由于其硬脆性,在机加方面一直是个难点,传统的加工手段局限在线切割、磨削等。车削、铣削中刀具磨损极快,容易产生工件的崩边、掉渣等缺陷,并且没有成熟的加工工艺可以参考。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足,提供一种在钨板表面加工凹槽或盲孔的方法。该方法通过对钨板进行预铣削加工和退火处理,能够极大地减少和改善钨板棱边的崩边情况,保证能够满足后道工序的表面要求,并为最终表面处理打下良好的基础。
为解决上述技术问题,本发明采用的技术方案是:一种在钨板表面加工凹槽或盲孔的方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:
步骤一、利用铣床对钨板进行预铣削加工,具体过程为:选择直径为2mm~6mm的铣刀,在铣刀转速为3500r/min~5000r/min,进给速率为650mm/min~800mm/min的条件下沿加工棱边对钨板进行切深铣削,直至铣削深度达到0.10mm~0.35mm;所述加工棱边是指钨板板面与凹槽侧壁相交的棱边,或者钨板板面与盲孔侧壁相交的棱边;
步骤二、利用铣床对步骤一中预铣削加工后的钨板进行粗铣削加工,具体过程为:选择直径为2mm~10mm的铣刀,在铣刀转速为1800r/min~2500r/min,进给速率为300mm/min~500mm/min的条件下,以每次0.5mm~1.5mm的进刀深度对钨板进行多次平行铣削,直至加工余量为1mm~2mm;
步骤三、对步骤二中粗铣削加工后的钨板进行退火处理;
步骤四、利用铣床对步骤三中退火处理后的钨板进行精铣削加工,具体过程为:选择直径为2mm~10mm的铣刀,在铣刀转速为2600r/min~4500r/min,进给速率为500mm/min~800mm/min的条件下,以每次0.3mm~0.6mm的进刀深度对钨板进行多次平行铣削,直至将钨板铣削至成品尺寸。
上述的一种在钨板表面加工凹槽或盲孔的方法,其特征在于,步骤三中所述退火处理在氢气气氛或真空条件下进行。
上述的一种在钨板表面加工凹槽或盲孔的方法,其特征在于,步骤三中所述退火处理的温度为1100℃~1400℃,所述退火处理的时间为1h~3h。
本发明与现有技术相比具有以下优点:
1、现有技术在机加时棱边均会产生不同程度的崩边情况,这将对后续处理造成极大的困难。如果崩边情况严重,将造成工件直接报废。而采用本发明的方法对钨板进行预铣削和退火处理之后,将极大地减少和改善棱边的崩边情况,保证能够满足后道工序的表面要求,并为最终表面处理打下良好的基础。
2、由于钨本身的硬脆性,机加中刀具磨损严重。本发明在机加工过程中增加热处理工艺,以降低工件硬度、消除内应力,能够明显降低机加难度,提高刀具寿命和工件的表面质量。
3、本发明使用的均为常规数控加工设备,容易购买。
4、本发明无污染,制备过程不会产生任何废料、废酸等污染物。
下面结合实施例对本发明作进一步详细说明。
具体实施方式
实施例1
本实施例在钨板表面加工的是规格为:长度85mm,宽度12mm,深度5mm的凹槽;本实施例在钨板表面加工凹槽的方法包括以下步骤:
步骤一、利用铣床对钨板进行预铣削加工,具体过程为:选择直径为4mm的铣刀,在铣刀转速为4200r/min,进给速率为700mm/min的条件下沿加工棱边对钨板进行铣削,直至铣削深度达到0.2mm为止;所述加工棱边是指钨板板面与凹槽侧壁相交产生的棱边;
步骤二、利用铣床对步骤一中预铣削加工后的钨板进行粗铣削加工,具体过程为:选择直径为10mm的铣刀,在铣刀转速为1850r/min,进给速率为350mm/min的条件下,以每次0.8mm的进刀深度对钨板进行平行铣削,重复多次进刀直至加工余量为1mm为止;
步骤三、在氢气气氛或真空条件下,对步骤二中粗铣削加工后的钨板进行退火处理,退火温度为1200℃,退火时间为1.5h,冷却方式为随炉冷却;
步骤四、利用铣床对步骤三中退火处理后的钨板进行精铣削加工,具体过程为:选择直径为10mm的铣刀,在铣刀转速为2700r/min,进给速率为600mm/min的条件下,以每次0.3mm的进刀深度对钨板进行平行铣削,重复多次进刀直至将钨板加工至成品尺寸。
实施例2
本实施例在钨板表面加工的是规格为:直径25mm,深度8mm的盲孔;本实施例在钨板表面加工盲孔的方法包括以下步骤:
步骤一、利用铣床对钨板进行预铣削加工,具体过程为:选择直径为3mm的铣刀,在铣刀转速为4600r/min,进给速率为720mm/min的条件下沿加工棱边对钨板进行铣削,直至铣削深度达到0.2mm为止;所述加工棱边是指钨板板面与盲孔侧壁相交产生的棱边;
步骤二、利用铣床对步骤一中预铣削加工后的钨板进行粗铣削加工,具体过程为:选择直径为10mm的铣刀,在铣刀转速为1850r/min,进给速率为350mm/min的条件下,以每次1.0mm的进刀深度对钨板进行平行铣削,重复多次进刀直至加工余量为1.5mm为止;
步骤三、在氢气气氛或真空条件下,对步骤二中粗铣削加工后的钨板进行退火处理,退火温度为1250℃,退火时间为1.5h,冷却方式为随炉冷却;
步骤四、利用铣床对步骤三中退火处理后的钨板进行精铣削加工,具体过程为:选择直径为10mm的铣刀,在铣刀转速为2700r/min,进给速率为600mm/min的条件下,以每次0.5mm的进刀深度对钨板进行平行铣削,重复多次进刀直至将钨板加工至成品尺寸。
实施例3
本实施例在钨板表面加工的是规格为:长度110mm,宽度10mm,深度6mm的凹槽;本实施例在钨板表面加工凹槽的方法包括以下步骤:
步骤一、利用铣床对钨板进行预铣削加工,具体过程为:选择直径为2mm的铣刀,在铣刀转速为5000r/min,进给速率为800mm/min的条件下沿加工棱边对钨板进行铣削,直至铣削深度达到0.35mm为止;所述加工棱边是指钨板板面与凹槽侧壁相交产生的棱边;
步骤二、利用铣床对步骤一中预铣削加工后的钨板进行粗铣削加工,具体过程为:选择直径为6mm的铣刀,在铣刀转速为2500r/min,进给速率为500mm/min的条件下,以每次1.5mm的进刀深度对钨板进行平行铣削,重复多次进刀直至加工余量为2mm为止;
步骤三、在氢气气氛或真空条件下,对步骤二中粗铣削加工后的钨板进行退火处理,退火温度为1400℃,退火时间为1h,冷却方式为随炉冷却;
步骤四、利用铣床对步骤三中退火处理后的钨板进行精铣削加工,具体过程为:选择直径为6mm的铣刀,在铣刀转速为4500r/min,进给速率为800mm/min的条件下,以每次0.6mm的进刀深度对钨板进行平行铣削,重复多次进刀直至将钨板加工至成品尺寸。
实施例4
本实施例在钨板表面加工的是规格为:直径20mm,深度10mm的盲孔;本实施例在钨板表面加工盲孔的方法包括以下步骤:
步骤一、利用铣床对钨板进行预铣削加工,具体过程为:选择直径为2mm的铣刀,在铣刀转速为3500r/min,进给速率为650mm/min的条件下沿加工棱边对钨板进行铣削,直至铣削深度达到0.1mm为止;所述加工棱边是指钨板板面与盲孔侧壁相交产生的棱边;
步骤二、利用铣床对步骤一中预铣削加工后的钨板进行粗铣削加工,具体过程为:选择直径为10mm的铣刀,在铣刀转速为1800r/min,进给速率为300mm/min的条件下,以每次0.5mm的进刀深度对钨板进行平行铣削,重复多次进刀直至加工余量为1mm为止;
步骤三、在氢气气氛或真空条件下,对步骤二中粗铣削加工后的钨板进行退火处理,退火温度为1100℃,退火时间为3h,冷却方式为随炉冷却;
步骤四、利用铣床对步骤三中退火处理后的钨板进行精铣削加工,具体过程为:选择直径为10mm的铣刀,在铣刀转速为2600r/min,进给速率为500mm/min的条件下,以每次0.3mm的进刀深度对钨板进行平行铣削,重复多次进刀直至将钨板加工至成品尺寸。
对比例1
本对比例与实施例1相同,其中不同之处在于:并未进行步骤一所述的预铣削处理,也未进行步骤三所述的退火处理。
经检测,经实施例1加工后的钨板与经实施例1加工后的钨板在以下两方面有明显区别:
(1)对比例1由于未采取预铣削处理,在粗铣阶段棱边出现明显崩边及掉渣,个别位置较为严重,精铣后无法去除,这直接影响到了钨板最终的表面质量。而实施例1采用预铣削处理后,棱边平整光滑,无崩边及掉渣情况,为后续加工及最终表面处理打下良好基础。
(2)对比例1由于粗铣后未进行退火处理,加工硬化无法去除,造成精铣刀具磨损较快,寿命下降,增加了加工成本,同时工件表面质量也不如实施例1。而实施例1增加退火处理后,工件硬度下降、内应力释放完全,刀具寿命明显增加,降低了成本,同时表面质量有明显提高。
由此可知,本发明通过对钨板进行预铣削加工和退火处理,能够极大地减少和改善钨板棱边的崩边情况,保证能够满足后道工序的表面要求,并为最终表面处理打下良好的基础。
以上所述,仅是本发明的较佳实施例,并非对本发明作任何限制。凡是根据发明技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效变化,均仍属于本发明技术方案的保护范围内。
Claims (3)
1.一种在钨板表面加工凹槽或盲孔的方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:
步骤一、利用铣床对钨板进行预铣削加工,具体过程为:选择直径为2mm~6mm的铣刀,在铣刀转速为3500r/min~5000r/min,进给速率为650mm/min~800mm/min的条件下沿加工棱边对钨板进行切深铣削,直至铣削深度达到0.10mm~0.35mm;所述加工棱边是指钨板板面与凹槽侧壁相交的棱边,或者钨板板面与盲孔侧壁相交的棱边;
步骤二、利用铣床对步骤一中预铣削加工后的钨板进行粗铣削加工,具体过程为:选择直径为2mm~10mm的铣刀,在铣刀转速为1800r/min~2500r/min,进给速率为300mm/min~500mm/min的条件下,以每次0.5mm~1.5mm的进刀深度对钨板进行多次平行铣削,直至加工余量为1mm~2mm;
步骤三、对步骤二中粗铣削加工后的钨板进行退火处理;
步骤四、利用铣床对步骤三中退火处理后的钨板进行精铣削加工,具体过程为:选择直径为2mm~10mm的铣刀,在铣刀转速为2600r/min~4500r/min,进给速率为500mm/min~800mm/min的条件下,以每次0.3mm~0.6mm的进刀深度对钨板进行多次平行铣削,直至将钨板铣削至成品尺寸。
2.根据权利要求1所述的一种在钨板表面加工凹槽或盲孔的方法,其特征在于,步骤三中所述退火处理在氢气气氛或真空条件下进行。
3.根据权利要求1所述的一种在钨板表面加工凹槽或盲孔的方法,其特征在于,步骤三中所述退火处理的温度为1100℃~1400℃,所述退火处理的时间为1h~3h。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510148152.0A CN104723040B (zh) | 2015-03-31 | 2015-03-31 | 一种在钨板表面加工凹槽或盲孔的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510148152.0A CN104723040B (zh) | 2015-03-31 | 2015-03-31 | 一种在钨板表面加工凹槽或盲孔的方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN104723040A CN104723040A (zh) | 2015-06-24 |
CN104723040B true CN104723040B (zh) | 2017-04-26 |
Family
ID=53447765
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201510148152.0A Active CN104723040B (zh) | 2015-03-31 | 2015-03-31 | 一种在钨板表面加工凹槽或盲孔的方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN104723040B (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115055744A (zh) * | 2022-06-29 | 2022-09-16 | 中国航发动力股份有限公司 | 一种基于数控机床的圆弧凹槽铣加工方法及应用 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103862236A (zh) * | 2014-03-07 | 2014-06-18 | 苏州捷德瑞精密机械有限公司 | 一种机械零件的加工方法 |
CN104015016A (zh) * | 2014-06-25 | 2014-09-03 | 西安北方光电科技防务有限公司 | 高精度薄壁深腔零件的加工方法 |
CN104289870A (zh) * | 2014-09-03 | 2015-01-21 | 安徽应流机电股份有限公司 | 一种薄壁铣槽不锈钢零件加工工艺 |
CN104439996A (zh) * | 2014-12-17 | 2015-03-25 | 常熟市华星精密铸件有限公司 | 一种电机轴的精密加工工艺 |
-
2015
- 2015-03-31 CN CN201510148152.0A patent/CN104723040B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103862236A (zh) * | 2014-03-07 | 2014-06-18 | 苏州捷德瑞精密机械有限公司 | 一种机械零件的加工方法 |
CN104015016A (zh) * | 2014-06-25 | 2014-09-03 | 西安北方光电科技防务有限公司 | 高精度薄壁深腔零件的加工方法 |
CN104289870A (zh) * | 2014-09-03 | 2015-01-21 | 安徽应流机电股份有限公司 | 一种薄壁铣槽不锈钢零件加工工艺 |
CN104439996A (zh) * | 2014-12-17 | 2015-03-25 | 常熟市华星精密铸件有限公司 | 一种电机轴的精密加工工艺 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
盲孔铣槽法一例;方兆楣;《机械工艺师》;19860630(第06期);第39页 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104723040A (zh) | 2015-06-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6409930B2 (ja) | Cvdダイヤモンド単結晶 | |
CN104416325B (zh) | 钨靶材的制作方法 | |
CN105522353B (zh) | 一种利用普通数控铣床设备进行高精度薄壁零件的加工方法 | |
CN104015016A (zh) | 高精度薄壁深腔零件的加工方法 | |
CN102145403B (zh) | 钨合金靶材铣削加工方法 | |
CN104561890A (zh) | 靶材的机械加工方法 | |
CN108480927A (zh) | 一种具有冶金结合耐磨蚀层核电用钩爪的制备方法 | |
CN104723040B (zh) | 一种在钨板表面加工凹槽或盲孔的方法 | |
CN104384848B (zh) | 一种调节斜块的加工方法 | |
CN106670753B (zh) | 一种适用于眼镜布切割的齿形长切刀的加工方法 | |
CN109277786B (zh) | 一种刀模加工方法 | |
CN207272191U (zh) | 一种难加工材料高频加热高速加工车床 | |
CN206967280U (zh) | 一种加工氧化锆陶瓷平面的金刚石磨头 | |
CN106975896A (zh) | 6mw风电转子房的生产方法 | |
CN106271425B (zh) | 一种连杆的机械加工工艺 | |
CN103100822B (zh) | 升降平台的臂间连接部件加工方法 | |
CN107953080A (zh) | 磁控管钼锥形筒加工方法 | |
CN108000294A (zh) | 一种基于机器人智能磨削的工件表面强化方法 | |
CN111876706A (zh) | 一种薄壁损伤容限型tc4-dt钛合金零件的热处理方法 | |
CN106392495A (zh) | 带凸缘方形引伸封接环的加工方法 | |
CN109732791B (zh) | 石墨坩埚加工工艺 | |
Muženič et al. | Improvements in Machinability of Zinc Oxide Ceramics by Laser-Assisted Milling | |
CN105382505A (zh) | 一种铣刀的加工工艺 | |
CN107695612A (zh) | 左右摇杆加工工艺 | |
Hu et al. | Cutting parameters optimization of high-speed milling of thin-walled graphite electrode |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |