CN104685333B - 泄漏检测装置以及具有该泄漏检测装置的流体控制器 - Google Patents

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Abstract

提供一种泄漏检测装置及具有该泄漏检测装置的流体控制器，该泄漏检测装置能够实现小型化而始终安装在流体控制器等泄漏检测对象部件上，由此，能够始终监视流体的泄漏。流体控制器(1)由流体控制器主体(2)和安装在流体控制器主体(2)上的泄漏检测装置(3)构成。在流体控制器主体(2)上设有用于检测泄漏的泄漏口(16)。泄漏检测装置(3)具有：传感器保持体(21)，其安装在流体控制器主体(2)上；超声波传感器(22)，其以与泄漏口(16)相对的方式保持在传感器保持体(21)上；超声波通路(23)，其设在超声波传感器(22)的感应面与泄漏口(16)之间；处理电路(24)，其处理由超声波传感器(22)得到的超声波。

Description

泄漏检测装置以及具有该泄漏检测装置的流体控制器
技术领域
本发明涉及检测流体泄漏的泄漏检测装置以及具有该泄漏检测装置的流体控制器。
背景技术
作为设有泄漏检测装置的流体控制器，而已知在流体控制器主体上安装有振动传感器(pick up)的流体控制器(专利文献1)。
另外，作为检测流体控制器的泄漏的装置，而已知使用了超声波传感器的装置(专利文献2)。
在先技术文献
专利文献1：日本实开昭61-8850号公报
专利文献2：日本特开2001-305005号公报
在上述专利文献1所述的装置中，具有流体泄漏的检测精度差的问题。如专利文献2那样地，通过使用超声波传感器而提高泄漏检测的精度。专利文献2的泄漏检测装置是根据需要来检测泄漏的装置，并非始终进行监视。为了始终进行监视，需要将泄漏检测装置始终安装在流体控制器主体上，由此，小型化成为课题。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种泄漏检测装置及具有该泄漏检测装置的流体控制器，该泄漏检测装置能够实现小型化而始终安装在流体控制器等泄漏检测对象部件上，由此，能够始终监视流体的泄漏。
本发明的泄漏检测装置，检测流体的泄漏，其特征在于，具有：传感器保持体；超声波传感器，其以与泄漏口相对的方式保持在所述传感器保持体上，该泄漏口设在泄漏检测对象部件上并将所述泄漏检测对象部件内的密封部分和外部连通；超声波通路，其设在所述超声波传感器的感应面与所述泄漏口之间；处理电路，其处理由所述超声波传感器得到的超声波。
本发明的流体控制器，其特征在于，由控制流体流动的流体控制器主体、和检测所述流体控制器主体内的流体泄漏的泄漏检测装置构成，在所述流体控制器主体上设有将所述流体控制器主体内的密封部分和外部连通的泄漏口，所述泄漏检测装置是上述的泄漏检测装置。
流体控制器主体例如为公知的隔膜阀，通常设有用于检测泄漏的泄漏口。当因隔膜的破损等而导致流体控制器主体内的密封性被破坏时，流体会从泄漏口泄漏。根据该泄漏，会产生超声波(大约40kHz)，通过超声波传感器能够检测有没有产生超声波，即有无泄漏。处理电路会在持续检测到超声波的情况下发出警报。泄漏检测装置以利用处于超声波产生部位处的泄漏口的方式安装，由此，能够高精度地检测有无泄漏。由此，被小型化的泄漏检测装置能够经由传感器保持体容易地安装在流体控制器主体上，根据如此得到的流体控制器，能够始终监视流体控制器内的泄漏。
上述的泄漏检测装置只要对于设有泄漏口的部件就能够适用，作为泄漏检测对象部件的其他例，而具有在螺母侧面形成有泄漏口的接头。接头的类型没有特别地限定，泄漏检测装置能够适用于使用垫圈来密封的接头、或使用金属箍(ferrule；ring)等来固定的方法等的、使用了设有泄漏口的螺母的各种接头。
发明的效果
根据本发明的泄漏检测装置，使用设在泄漏检测对象部件上的泄漏口，并使超声波感应面对泄漏口，由此，能够提高流体泄漏的检测精度，并实现超声波传感器的小型化。由此，能够将超声波传感器经由传感器保持体始终安装在泄漏检测对象部件上，而能够始终监视泄漏检测对象部件内的泄漏。
附图说明
图1是表示本发明的泄漏检测装置以及具有该泄漏检测装置的流体控制器的一个实施方式的局部剖切侧视图。
图2是图1的俯视图。
图3是流体控制器主体的正视图。
图4是泄漏检测装置的传感器保持体的立体图。
附图标记说明
1：流体控制器，2：流体控制器主体，3：泄漏检测装置，16：泄漏口，21：传感器保持体，22：超声波传感器，23：超声波通路，24：处理电路
具体实施方式
以下，参照附图来说明本发明的实施方式。在以下说明中，上下以及左右指定为图1的上下以及左右。
如图1以及图2所示，流体控制器1由控制(截断开放、流量调整等)流体流动的流体控制器主体(泄漏检测对象部件)2、和检测流体控制器主体2内的流体泄漏的泄漏检测装置3构成。
流体控制器主体2是公知的隔膜阀，虽然省略了内部构成，但如图3所示，流体控制器主体2具有：主体11，其设有入口管接头部12以及出口管接头部13；大致圆筒状的阀盖14，其嵌合覆盖在主体11上部；和壳体15，其安装在阀盖14上方。
在流体控制器主体2的阀盖14上设有用于检测泄漏的泄漏口16，该泄漏口16将流体控制器主体2内的密封部分和外部连通。
泄漏检测装置3利用超声波传感器来检测来自设在流体控制器主体2上的泄漏口16的泄漏，其具有：安装在流体控制器主体2上的传感器保持体21；以与泄漏口16隔开规定间隔地相对的方式保持在传感器保持体21上的超声波传感器22；设在超声波传感器22的感应面与泄漏口16之间的直线状的超声波通路23；和处理由超声波传感器22得到的超声波的处理电路24。
也如图4所示，传感器保持体21由水平部31和垂直部32构成，其中，水平部31设有嵌入至阀盖14的贯穿孔31a，垂直部32从侧面与阀盖14以及壳体15接触。在传感器保持体21的垂直部32的下部32a设有超声波传感器22，在传感器保持体21的垂直部32的上部32b设有处理电路24。传感器保持体21能够拆装自如地安装在现有的流体控制器主体2上。传感器保持体21根据需要能够划分为多个部件并由螺丝等结合，由此进行组装。
超声波传感器22能够测定频率为大约40kHz的超声波。超声波传感器22的感应面隔着超声波通路23而与泄漏口16相对。
处理电路24处理超声波传感器22的输出，在持续检测到超声波的情况下，判定为发生了泄漏，发出警报。
根据本实施方式的流体控制器1，当因隔膜的破损等而导致流体控制器主体2内的密封性被破坏时，流体会从泄漏口16泄漏。根据该泄漏，会产生超声波(大约40kHz)，通过超声波传感器22来检测有没有产生超声波，即有无泄漏。泄漏检测装置3以利用处于超声波产生部位处的泄漏口16的方式安装，因此，能够高精度地检测有无泄漏。因此，即使不使超声波传感器22大型化，也能够检测泄漏，从而能够使泄漏检测装置3小型化。被小型化的泄漏检测装置3能够经由传感器保持体21容易地安装在流体控制器主体2上。根据如此得到的流体控制器1，能够始终监视流体控制器1内的泄漏。
此外，在上述中，作为流体控制器主体2，而例举了隔膜阀，但是，流体控制器主体2并不限于此，可以为各种的能够进行流体控制的装置，只要具有用于检测泄漏的泄漏口16，形状等也不被限定。传感器保持体21制作成与流体控制器主体2匹配的形状。泄漏口16也可以通过后加工而设在流体控制器主体2的适当位置上。
另外，通常，使用于在配管过程中所设的接头中的、螺母的侧面上设有泄漏口，泄漏检测装置3也能够适用于具有这种螺母的接头。
该情况下的接头由具有彼此连通的流体通路的第1接头部件以及第2接头部件、将两接头部件的对接部密封的密封机构、具有将接头部件彼此结合的螺母的管接头主体、和检测接头主体内的流体泄漏的泄漏检测装置3构成，在螺母上设有将管接头主体内的密封部分和外部连通的泄漏口16，泄漏检测装置3具有：安装在螺母上的传感器保持体21；以与泄漏口16相对的方式设在传感器保持体21上的超声波传感器22；设在超声波传感器22的感应面与泄漏口16之间的超声波通路23；和处理由超声波传感器22得到的超声波的处理电路24。
工业实用性
根据本发明，能够实现小型化并始终安装在流体控制器等泄漏检测对象部件上，由此，能够始终监视流体的泄漏，因此，有助于消除伴随流体泄漏所造成的问题。

Claims (2)

1.一种泄漏检测装置，检测流体的泄漏，其特征在于，具有：传感器保持体；超声波传感器，其以与泄漏口隔开规定间隔地相对的方式保持在所述传感器保持体上，该泄漏口设在泄漏检测对象部件上并将所述泄漏检测对象部件内的密封部分和外部连通；直线状的超声波通路，其设在所述超声波传感器的感应面与所述泄漏口之间；处理电路，其处理由所述超声波传感器得到的超声波。
2.一种流体控制器，其特征在于，由控制流体流动的流体控制器主体、和检测所述流体控制器主体内的流体泄漏的泄漏检测装置构成，在所述流体控制器主体上设有将所述流体控制器主体内的密封部分和外部连通的泄漏口，该泄漏口并非流体通路，而是为了泄漏检测而设的，所述泄漏检测装置是权利要求1所述的泄漏检测装置。
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11226257B2 (en) 2017-02-20 2022-01-18 Fujikin Inc. Anomaly detection device for fluid controller, anomaly detection system, anamoly detection method, and fluid controller
CN110352340B (zh) 2017-03-17 2021-10-01 株式会社富士金 流体控制设备的动作分析系统、方法以及计算机程序
JPWO2018168872A1 (ja) 2017-03-17 2020-01-30 株式会社フジキン 流体制御機器
WO2020031628A1 (ja) 2018-08-10 2020-02-13 株式会社フジキン 流体制御機器、流体制御機器の異常検知方法、異常検知装置、及び異常検知システム
JP7179377B2 (ja) 2018-08-30 2022-11-29 株式会社フジキン 流体制御機器
US11879813B2 (en) * 2020-09-24 2024-01-23 Transportation Ip Holdings, Llc Leak detection device

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2557927Y (zh) * 2002-07-18 2003-06-25 房继祥 一种介质隔离插入式超声波传感器
CN101641575A (zh) * 2007-03-06 2010-02-03 阿克塔锐斯两合公司 带有标准的胶囊型超声波测量单元的计量器
CN102435231A (zh) * 2010-09-08 2012-05-02 罗伯特·博世有限公司 用于检测流体介质的特性的流量计

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS618850U (ja) 1984-06-21 1986-01-20 石川島播磨重工業株式会社 弁の漏洩検出装置
US4823600A (en) * 1987-11-05 1989-04-25 Ue Systems, Inc. Ultrasonic transducer and current loop transmitter
JPH02291937A (ja) * 1989-05-01 1990-12-03 Kubota Corp バルブの漏れ検出方法
JPH03130637A (ja) * 1989-10-16 1991-06-04 Tomoe Gijutsu Kenkyusho:Kk バタフライ弁の漏洩検知方法及び装置
JP3142304B2 (ja) * 1991-04-26 2001-03-07 清原 まさ子 シール部破損検知機構付制御器
JP3443807B2 (ja) * 2000-02-15 2003-09-08 株式会社テイエルブイ 超音波漏洩検出装置
JP2004108809A (ja) * 2002-09-13 2004-04-08 Nissan Motor Co Ltd 漏れ検出機能付き超音波流量計
JP3868894B2 (ja) * 2002-11-19 2007-01-17 キリンビバレッジ株式会社 ボトルキャップの密封性検査方法およびその装置
US20070068225A1 (en) * 2005-09-29 2007-03-29 Brown Gregory C Leak detector for process valve

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2557927Y (zh) * 2002-07-18 2003-06-25 房继祥 一种介质隔离插入式超声波传感器
CN101641575A (zh) * 2007-03-06 2010-02-03 阿克塔锐斯两合公司 带有标准的胶囊型超声波测量单元的计量器
CN102435231A (zh) * 2010-09-08 2012-05-02 罗伯特·博世有限公司 用于检测流体介质的特性的流量计

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Publication number Publication date
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