CN104654258A - 光照射装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种光照射装置,其能够抑制异物附着在设置于光出射开口部的部件的出射侧表面。光照射装置(1)的结构为,在光照射器(2)的框体(3)中收纳有反射镜(5)和光源(4),在框体(3)的光出射开口部(3A)设置光透射性的部件,在所述部件的光出射侧设置气幕设备(60),由此能够抑制异物附着在设置于光出射开口部(3A)的部件上。
Description
技术领域
本发明涉及在框体中设置反射镜和光源的光照射装置。
背景技术
以往,已知有一种光照射装置:其在光照射器的框体中收纳有反射镜和光源,并照射来自光源的直射光以及来自反射镜的反射光(例如参照专利文献1)。在该光照射装置中,在光出射开口部设置有偏振片单元,在框体内的反射镜和偏振片单元之间设置有供给气体的气体供给构件,并使反射镜和偏振片单元之间成为正压,由此防止异物侵入到框体内。
【现有技术文献】
【专利文献】
【专利文献1】日本专利第5056991号公报
发明内容
然而,在上述现有的结构中,由于向框体内的光出射开口部的内侧供给气体,因此,虽然能够防止异物侵入到框体内,但是异物可能会附着在设置于光出射开口部的部件(偏振片单元)的下表面(光出射侧的面)。
本发明是鉴于上述情况而完成的,其目的是,提供一种能够抑制异物在设置于光出射开口部的部件的光出射侧表面附着的光照射装置。
为实现上述目的,本发明的光照射装置的特征在于,在光照射器的框体中收纳有反射镜和光源,在所述框体的光出射开口部设置光透射性的部件,在所述部件的光出射侧设置气幕设备。
在上述结构中,所述气幕设备可以在所述光出射开口部的宽度方向上形成气幕。
在上述结构中,所述气幕设备可以与所述光源的长度方向正交并形成气幕。
在上述结构中,所述气幕设备可以与所述部件大致平行地吹出空气,并且在所述光出射开口部的整个范围内形成气幕。
在上述结构中,可以在所述框体的光出射开口部设置偏振片单元,在所述偏振片单元的光出射侧设置所述气幕设备。
在上述结构中,可以在所述偏振片单元的光出射侧设置光透射部件,在所述光透射部件的光出射侧设置所述气幕设备。
在上述结构中,可以在所述框体的光出射开口部按顺序设置光透射部件和偏振片单元,在所述偏振片单元的光出射侧设置所述气幕设备。
在上述结构中,所述气幕设备可以具备对置的吹嘴和排气嘴,所述吹嘴用于吹出空气;所述排气嘴用于排出从所述吹嘴吹出的空气。
发明的效果
根据本发明,由于在收纳有反射镜和光源的框体的光出射开口部设置了气幕设备,因此能够抑制异物附着在设置于光出射开口部的部件的光出射侧表面。
附图说明
图1是表示本发明的第一实施方式的光取向装置的主视图。
图2是表示对图1的光照射器进行放大的图。
图3是表示偏振片单元的结构的图,图3(A)是俯视图;图3(B)是侧剖视图。
图4是表示本发明的第二实施方式的光取向装置的主视图。
图5是表示本发明的第三实施方式的光取向装置的主视图。
图6是表示本发明的变形例的光取向装置的主视图。
图7是表示本发明的其他变形例的光取向装置的主视图。
附图标记的说明
1、100、200、300:光取向装置(光照射装置)
2:光照射器
3:框体
3A:光出射开口部
4:灯(光源)
5:反射镜
10:偏振片单元
60、160:气幕设备
70:透明体(光透射部件)
AC:气幕
具体实施方式
以下,参照附图来说明本发明的实施方式。
图1是表示本实施方式的光取向装置的主视图。图2是表示对图1的光照射器进行放大的图。图3是表示偏振片单元的结构的图,图3(A)是俯视图,图3(B)是侧剖视图。
如图1以及图2所示,光取向装置1是向板状或带状的光取向对象物(工件)W的光取向膜照射偏振光并进行光取向的光照射装置。
光取向装置1具备:向正下方照射偏振光的光照射器2。当进行光取向对象物W的光取向时,光取向对象物W被搬运机构(未图示)沿着直进方向X移送并通过了光照射器2的正下方,在通过时,光取向对象物W被暴露在偏振光下,光取向膜被取向。在本实施方式中,在俯视时光取向对象物W形成为矩形形状,以光取向对象物W的宽度方向与直进方向X一致的方式来移送光取向对象物W。
光照射器2在框体3内具备光源即灯4以及反射镜5,并且在光出射开口部3A具备偏振片单元10,所述框体3在下表面具有光出射开口部3A。
框体3被照射器设置台架(未图示)支承在从光取向对象物W分开规定距离的上方位置处。灯4是放电灯,并使用了以至少与光取向对象物W的长度方向的长度相等以上的方式延伸的直管型(棒状)的紫外线灯。反射镜5是截面呈椭圆形、且沿着灯4的长度方向延伸的圆柱形凹面反射镜,反射镜5对灯4的光进行聚光并使光从光出射开口部3A照射到偏振片单元10。
光出射开口部3A是在灯4的正下方形成的、俯视呈矩形形状的开口部,以长度方向与灯4的长度方向一致的方式来设置光出射开口部3A。
在光出射开口部3A设置有板状的透明体6,所述透明体6例如由石英板等的不具有滤波特性(波长选择特性)的光透射部件形成,通过该透明体6来堵塞光出射开口部3A。
另外,在光出射开口部3A的内侧,设置有用于选择透射光的波长的波长选择滤波器7,通过该波长选择滤波器7,使光照射器2照射出所期望的波长的光。
这些透明体6以及波长选择滤波器7构成了本实施方式的光透射部件。此外,在本实施方式中,虽然设置了波长选择滤波器7,但在灯4自身能够射出所期望的波长的光的情况下,也可以省略波长选择滤波器7。
将偏振片单元10配置在透明体6和光取向对象物W之间,使照射到光取向对象物W的光偏振。通过向光取向对象物W的光取向膜照射该偏振光,由此,使该光取向膜发生取向。
如图3所示,偏振片单元10具备:多个单位偏振片单元12;和将这些单位偏振片单元12并列排成一列的框架14。框架14是用于连接配置各单位偏振片单元12的板状的框体。单位偏振片单元12具备:形成为大致矩形板状的线栅偏振片(偏振片)16。
在本实施方式中,各单位偏振片单元12以线栅方向A与直进方向X平行的方式支承线栅偏振片16,并使与该线栅方向A正交的方向、和线栅偏振片16的排列方向B一致。
线栅偏振片16是直线偏振片的一种,并在基板的表面形成了光栅。如上所述,由于灯4是棒状,所以各种角度的光射入到线栅偏振片16,即使是倾斜射入的光,线栅偏振片16也能产生直线偏振并透射光。
线栅偏振片16由单位偏振片单元12支承,以使线栅偏振片16以法线方向为转动轴在面内转动并能够微调偏振轴C1的方向。即、将多个线栅偏振片16配置成相互隔开间隙,以便能够微调偏振轴C1的方向。对全部的单位偏振片单元12进行微调,以使线栅偏振片16的偏振轴C1沿着规定的照射基准方向对齐,由此,在偏振片单元10的长轴方向的全长范围内,能够得到以高精度来对齐偏振轴C1的偏振光,从而能够实现高等级的光取向。单位偏振片单元12的上端以及下端由螺钉(固定构件)19固定在框架14上,由此,将偏振轴C1被调节后的线栅偏振片16固定配置在框架14上。
这些透明体6、波长选择滤波器7以及偏振片单元10构成了本实施方式的光透射性的部件。
另外,如图1以及图2所示,光取向装置1具备:对灯4、反射镜5、波长选择滤波器7以及偏振片单元10进行冷却的冷却单元20。该冷却单元20具备:分别独立的热源冷却路径30和偏振片冷却路径40,所述热源冷却路径30用于冷却灯4以及反射镜5;所述偏振片冷却路径40用于冷却偏振片单元10。
在热源冷却路径30以及偏振片冷却路径40上,分别设置有输送冷却风的送风机21、21、对冷却风进行冷却的冷却机22、22和对冷却风所含有的灰尘等异物进行去除的过滤器23、23。送风机21配置在冷却机22的上游侧。由此,能够防止被冷却机22冷却后的冷却风由送风机21的热源进行再加热。在本实施方式中,虽然送风机21使用了鼓风机、冷却机22使用了水冷式的散热器、过滤器23使用了HEPA(High Efficiency Particulate Air(高效空气微粒))过滤器,但送风机21、冷却机22以及过滤器23并不限于这些结构。
在热源冷却路径30中,将送风机21、冷却机22以及过滤器23收纳在设置于框体3外部的冷却单元箱20A内。在本实施方式中,将冷却单元箱20A与框体3分开并配置在框体3的上方,但冷却单元箱20A的配置位置并不仅限于此。在冷却单元箱20A内设置有腔室24,送风机21的吹出口21A和腔室24的入口24A由导管25进行连接。腔室24从入口24A向下游侧扩大,在腔室24内的上游侧配置有冷却机22,在腔室24内的下游侧配置有过滤器23。腔室24的出口24B和框体3由导管26进行连接,送风机21的吸入口21B和框体3由导管27进行连接。
在框体3内,将对灯4以及反射镜5的侧方进行包围的隔壁31设置成,与框体3隔开间隙δ1。隔壁31在下部具有开口31A,并且在上部具有通风孔31B,所述开口31A使灯4以及反射镜5向下方露出。
将导管26连接在位置与隔壁31外侧的间隙δ1对应的框体3上,将导管27连接在位置与隔壁31内侧的空间R对应的框体3上。
这些送风机21、导管25、腔室24(冷却机22、过滤器23)、导管26、隔壁31外侧的间隙δ1、隔壁31内侧的空间R以及导管27构成了热源冷却路径30。
在热源冷却路径30中,从送风机21吹出的冷却风(空气)经由导管25向腔室24内流动,在被冷却机22冷却的同时,利用过滤器23去除异物。通过该过滤器23,以露点成为-50℃~-90℃以下程度的方式将冷却风进行除湿的同时去除异物,从而成为低露点高清洁度空气(清洁干燥空气)。将成为清洁干燥空气的冷却风经由导管26供给到框体3内。
在框体3内,冷却风通过了隔壁31和框体3之间的间隙δ1,在隔壁31和透明体6之间的间隙δ2中流动,并流入到反射镜5内、和反射镜5的外侧即隔壁31内的空间R,对灯4以及反射镜5进行冷却。对灯4以及反射镜5进行冷却而温度变高的冷却风,从在反射镜5的上部形成的通孔5A,再从反射镜5的外侧向隔壁31内的空间R流动,经由导管27而被吸入到送风机21并被再次冷却。像这样,冷却风在热源冷却路径30中循环。
即使在偏振片冷却路径40中,在冷却单元箱20A中也配置有送风机21、以及在腔室24内设置的冷却机22和过滤器23,送风机21的吹出口21A和腔室24的入口24A由导管25进行连接。
另外,腔室24的出口24B和框体3由导管28进行连接,送风机21的吸入口21B和框体3由导管29进行连接。
导管28具备延伸部28A和缩径部28B,所述延伸部28A延伸在框体3的光出射开口部3A、更详细而言延伸在偏振片单元10的长度方向的长度范围内;所述缩径部28B从延伸部28A进行缩径。缩径部28B与腔室24的出口24B连接,延伸部28A与框体3连接。同样,导管29具备延伸部29A和缩径部29B,所述延伸部29A延伸在框体3的光出射开口部3A、更详细而言延伸在偏振片单元10的长度方向的长度范围内;所述缩径部29B从延伸部29A进行缩径。缩径部29B与送风机21的吸入口21B连接,延伸部29A与框体3连接。延伸部28A以及延伸部29A经由板状的支承部件28C、29C而被支承在框体3上。
将偏振片单元10设置在框体3的外侧并在与光出射开口部3A相对的位置、且与透明体6隔开空间S,框架14固定在偏振片单元固定台8上。在框体3和偏振片单元固定台8之间连接有导管28、29。将导管28连接在直进方向X的一端侧,导管29连接在直进方向X的另一端侧。
这些送风机21、导管25、腔室24(冷却机22、过滤器23)、导管28、透明体6和偏振片单元10之间的空间S、以及导管29构成了偏振片冷却路径40。即、该偏振片冷却路径40构成了对透明体6和偏振片单元10之间的空间S进行冷却的空间冷却路径。
在偏振片冷却路径40中,从送风机21吹出的冷却风,经由导管25向腔室24内流动,在被冷却机22冷却的同时利用过滤器23去除异物,并经由导管28流入到透明体6和偏振片单元10之间的空间S,对偏振片单元10进行冷却。此时,流入到空间S的冷却风,以与灯4的长度方向正交的方式流动。对偏振片单元10进行冷却而温度变高的冷却风,经由导管29而被吸入到送风机21,并被再次冷却。像这样,冷却风在偏振片冷却路径40中循环。
另外,由于偏振片冷却路径40与热源冷却路径30完全独立,因此,通过分别控制在热源冷却路径30以及偏振片冷却路径40中流动的冷却风的温度,由此能够分别冷却灯4以及偏振片单元10。
此时,通过分别控制送风机21、21,并设定成热源冷却路径30的冷却风的风速较慢、偏振片冷却路径40的冷却风的风速较快,就能够以较高的温度来冷却光源4,并以较低的温度来冷却偏振片单元10。由此,能够对灯4以及偏振片单元10进行适当的冷却。
而且,由于向透明体6和偏振片单元10之间的空间S供给冷却风的导管28、以及从空间S排出冷却风的导管29均延伸在偏振片单元10的长度方向的长度范围内,因此能够对整体的偏振片单元10进行大致均等的冷却。
然而,在光取向对象物W的处理中(照射中),有时会从取向膜产生杂质气体(outgas)。另外,在配置有光取向装置1的环境中,还存在例如纸粉等的异物。当该杂质气体等的异物混入、或附着在线栅偏振片16时,则线栅偏振片16的偏振特性发生变化,并带来不良影响。
因此,在本实施方式中,光取向装置1具备:用于使透明体6和偏振片单元10之间的空间S成为正压的正压机构50。更具体而言,在对送风机21的吸入口21B和框体3进行连接的导管29上,设置有例如由阻尼器等构成的流量调节构件51。使用该流量调节构件51,而使得在位于空间S的下游的导管29中流动的冷却风的流量缩小,由此,能够将透明体6和偏振片单元10之间的空间S设定成正压。
当空间S成为正压时,由于从偏振片单元10的间隙向外部吹出冷却风,所以能够防止异物从偏振片单元10的间隙侵入到偏振片冷却路径40内。由此,能够可靠地防止异物附着于偏振片单元10、或侵入到偏振片单元10。
作为偏振片单元10的间隙,可以列举出例如偏振片单元10的框架14和偏振片单元固定台8之间的间隙、或者多个线栅偏振片16之间的间隙等。因此,由于不用设置对这些间隙进行密封堵塞的构件,就能够可靠地防止异物侵入到偏振片冷却路径40,所以能够削减光取向装置100的零件个数,并简化制造工序。
另外,在导管29上,形成从外部导入空气的导入口52。由于经由该导入口52,以仅仅从偏振片单元10的间隙吹出的量而从外部导入空气,所以能够防止偏振片冷却路径40内成为过度的负压,并能够使送风机21有效运转。在本实施方式中,虽然将导入口52设置在流量调节构件51的下游,但只要导入口52位于冷却机22以及过滤器23的上游,就能够设置在任意的位置上。
这些流量调节构件51以及导入口52构成了本实施方式的正压机构50。
另外,如图1以及图2所示,光取向装置1具备:形成气幕AC的气幕设备60。气幕设备60具备:供给高压空气的空气供给端口61;吹出被供给的空气的吹嘴62;对吹出的空气进行排气的排气嘴63;引入空气的送风机(鼓风机)64。以露点成为-50℃~-90℃以下程度的方式,将供给于空气供给端口61的空气进行除湿的同时去除异物,从而成为低露点高清洁度空气(清洁干燥空气)。此外,只要是同等程度的低露点高清洁度,并能透过紫外线,也可以使用除了清洁干燥空气以外的气体、例如使用氮气等的惰性气体。供给于吹嘴62的空气,可以由设置光取向装置1的工厂的设备进行供给,也可以由另外设置的空气生成构件(例如气瓶)进行供给。
吹嘴62沿着灯4的长度方向延伸,并具备一个吹出口62A。将该吹出口62A设置在框体3的光出射开口部3A的长度方向的长度范围内、更详细而言设置在偏振片单元10的长度方向的长度范围内。另外,将吹出口62A配置成,与偏振片单元10大致平行地吹出空气。
排气嘴63沿着灯4的长度方向延伸,并具备与吹嘴62相对的一个吸入口63A。即、将吸入口63A设置在光出射开口部3A的长度方向的长度范围内、更详细而言设置在偏振片单元10的长度方向的长度范围内。排气嘴63的出口经由导管65与送风机64连接。
在本实施方式中,虽然一个一个地设置了吹出口62A以及排气嘴63,但也可以在框体3的光出射开口部3A的长度方向的长度范围内、更详细而言在偏振片单元10的长度方向的长度范围内,设置多个吹出口62A以及排气嘴63。这些吹嘴62以及排气嘴63可以固定在框体3上,也可以固定在支承框体3的照射器设置台架(未图示)上。并且,在本实施方式中,虽然送风机64使用了鼓风机,但送风机21并不限于这些结构。
供给于吹嘴62的空气,以与灯4的长度方向正交的方式,从在光出射开口部3A的范围内设置的吹出口62A流动到光出射开口部3A的下方、更详细而言即偏振片单元10的下方。由此,在光出射开口部3A的下方形成气幕AC。已被吹出的空气,由排气嘴63的吸入口63A吸入,经由导管65而被引入送风机64,并作为工厂排气而从送风机64排出。
像这样,通过在框体3的光出射开口部3A上设置用于形成气幕AC的气幕设备60,由此,由于在光出射开口部3A上形成气幕AC,所以在异物附着于设置在光出射开口部3A的部件之前、能够吹走异物。由此,能够防止异物附着于设置在光出射开口部3A的部件的下表面(光出射侧的面)。另外,由于将吹嘴62的吹出口62A设置在光出射开口部3A的长度范围内,因此在光出射开口部3A的整个范围内均形成气幕AC,所以能够可靠地防止异物附着于设置在光出射开口部3A的部件上,并能够防止光量的下降。
并且,由于气幕设备60在光出射开口部3A以及灯4的宽度方向上形成气幕AC,所以与在光出射开口部3A以及灯4的长度方向上形成气幕AC的情况相比,能够减少空气的流量。因此,能够使供给空气的工厂设备的负载减轻,而且,不需要另外设置加压构件,并且能够减小送风机64的容量,且能够使送风机64变得小型化。
尤其是在本实施方式中,在光出射开口部3A设置有偏振片单元10。当异物附着在该偏振片单元10时,在异物附着的部分中,紫外线的透射率下降,照射到光取向对象物W的偏振光的照度也下降。在本实施方式中,由于在偏振片单元10的出口(光出射侧)设置有气幕设备60,因此在偏振片单元10的下方形成气幕AC,所以能够防止异物附着在偏振片单元10的下表面,并能够抑制偏振特性以及光量的下降。
另外,由于在偏振片单元10的下方形成空气流,所以通过该空气流,也能更有效地冷却偏振片单元10。
如上所述,根据本实施方式,采用了如下结构:在光照射器2的框体3中收纳有反射镜5和灯4,并在框体3的光出射开口部3A设置气幕设备60。通过该结构,能够抑制异物附着于设置在光出射开口部3A的部件(本实施方式为偏振片单元10)的下表面。
另外,根据本实施方式,还采用了如下结构:气幕设备60在光出射开口部3A的宽度方向上形成气幕AC。通过该结构,由于能够缩短气幕AC的风流动的长度,所以与在光出射开口部3A的长度方向上形成气幕AC的情况相比,能够减少空气的流量。
另外,根据本实施方式,还采用了如下结构:气幕设备60以与灯4的长度方向正交的方式形成气幕AC。通过该结构,由于能够缩短气幕AC的风流动的长度,所以与在灯4的长度方向上形成气幕AC的情况相比,能够减少空气的流量。
另外,根据本实施方式,还采用了如下结构:在框体3的光出射开口部3A设置偏振片单元10,并在偏振片单元10的光出射侧设置气幕设备60。通过该结构,由于在光取向对象物W和与该光取向对象物W相对的偏振片单元10之间形成气幕AC,所以能够抑制异物附着在偏振片单元10的下表面。
〈第二实施方式〉
在第一实施方式中,将偏振片单元10设置成与光取向对象物W相对,但在第二实施方式中,在偏振片单元10的光出射侧设置透明体(光透射部件)70。此外,在第二实施方式中,对于与第一实施方式相同的部分标注相同的附图标记,并省略其说明。
图4是表示第二实施方式的光取向装置100的主视图,并且是表示对偏振片单元10的周边进行放大的图。
光取向装置100具备光照射器2、偏振片单元10、冷却单元20,并且如图4所示,还具备透明体(光透射部件)70和形成气幕AC的气幕设备160。
透明体70例如是石英板等的不具有滤波特性(波长选择特性)的板状的光透射部件。将该透明体70设置在偏振片单元10的光出射侧,偏振片单元10被透明体70覆盖。具体而言,在偏振片单元固定台8上,并在偏振片单元10的下方形成有俯视呈矩形形状的框架8A,将透明体70支承在该框架8A内。由此,在偏振片单元固定台8上,形成由偏振片单元10和透明体70隔开的空间T。
气幕设备160具备:供给高压空气的空气供给端口61;吹出被供给的空气的吹嘴162。空气供给端口61固定在偏振片单元固定台8上,在偏振片单元固定台8上设置吹嘴162。
吹嘴162具备一对的嘴主体162A,将这一对的嘴主体162A配置在透明体70的两侧,并沿着灯4的长度方向延伸。一对的嘴主体162A分别与空气供给端口61连接。
另外,吹嘴162具备:从各个嘴主体162A向透明体70的上方延伸的吹出端口(吹出口)162B;以及从各个嘴主体162A向透明体70的下方延伸的吹出端口(吹出口)162C。将吹出端口162B、162C设置成相互对置,并设置在框体3的光出射开口部3A的长度方向的长度范围内、更详细而言设置在透明体70的长度方向的长度范围内。另外,吹出端口162B、162C以与透明体70大致平行地吹出空气的方式,与灯4的长度方向正交并延伸。
并且,以如下方式构成吹嘴162,以使得从吹出端口162B吹出的空气在与灯4的长度方向正交的方向上且在透明体70(偏振片单元10)的中间(本实施方式为大致中央)进行合流。此时,通过将相同压力的空气供给到各空气供给端口61,并且使吹嘴162内的路径在两侧相同,由此能够在大致中央进行合流。
此外,在本实施方式中,虽然在一对的嘴主体162A上分别设置了空气供给端口61,但只要使一对的嘴主体162A连通,并设置一个空气供给端口61即可。另外,虽然在各个嘴主体162A上一个一个地设置了吹出端口162B、162C,但也可以在框体3的光出射开口部3A的长度方向的长度范围内、更详细而言在偏振片单元10的长度方向的长度范围内,设置多个吹出端口162B、162C。
供给于吹嘴162的空气,以与灯4的长度方向正交的方式,从在光出射开口部3A的范围内设置的吹出端口162B、流动到偏振片单元10和透明体70之间的空间T中。由此,在偏振片单元10的下方形成气幕AC。像这样,由于在偏振片单元10的下方形成空气流,所以通过该空气流,也能更有效地冷却偏振片单元10。
另外,由于空间T成为正压,所以从透明体70和偏振片单元固定台8之间的间隙(以下称为透明体70的间隙)向外部吹出空气,因此能够防止异物从透明体70和偏振片单元固定台8之间的间隙侵入到空间T内。由此,能够可靠地防止异物附着于偏振片单元10、或侵入到偏振片单元10。像这样,不用设置对透明体70的间隙以及偏振片单元10的间隙进行密封堵塞的构件,就能够可靠地防止异物侵入到空间T以及偏振片冷却路径40。其结果为,能够削减光取向装置1的零件个数,并简化制造工序。
供给于吹嘴162的空气,以与灯4的长度方向正交的方式,从在光出射开口部3A的范围内设置的吹出端口162C、流动到透明体70的下方。由此,由于在透明体70的下方形成气幕AC,所以在异物附着于透明体70之前能够吹走异物,并能够防止异物附着在透明体70的下表面(光出射侧的面)。
另外,由于从吹出端口162B吹出的空气在透明体70的中间进行合流,因此能够减少空气的流量,所以能够使供给空气的工厂设备的负载减轻,而且不需要另外设置加压构件。
像这样,根据本实施方式,由于在偏振片单元10的出口设置光透射部件即透明体70,因此能够抑制异物侵入或附着在偏振片单元10。另外,由于在透明体70的出口设置气幕设备60,因此在光取向对象物W和与该光取向对象物W相对的透明体70之间形成气幕AC,所以能够抑制异物附着在透明体70的下表面。
另外,根据本实施方式,采用了如下结构:在框体3的光出射开口部3A,从出口侧按顺序设置透明体70和偏振片单元10;在偏振片单元10的出口设置气幕设备60。在该结构中,由于在偏振片单元10的出口设置透明体70,因此能够抑制异物侵入或附着在偏振片单元10。另外,由于在透明体70和偏振片单元10之间的空间T形成气幕AC,所以通过气幕AC的空气流,能够更有效地冷却偏振片单元10。而且,由于在空间T形成气幕AC,由此使空间T成为正压,所以能够从透明体70的间隙向外部吹出冷却风,因此能够防止异物侵入到空间T内。
此外,在本实施方式中,虽然在空间T形成了气幕AC,但也可以省略空间T的气幕AC。
〈第三实施方式〉
在第二实施方式中,设置了偏振片单元10,但在第三实施方式中,省略了偏振片单元10。此外,在第三实施方式中,对于与第一实施方式相同的部分标注相同的附图标记,并省略其说明。
图5是表示第三实施方式的光取向装置200的主视图。
光取向装置200具备光照射器2、冷却单元220以及气幕设备60。冷却单元220除了不具备偏振片冷却路径40以外,其结构与第一实施方式的冷却单元20相同。
即、光取向装置200采用了如下结构:在框体3的光出射开口部3A设置光透射部件即透明体6,在透明体6的出口设置气幕设备60。根据该结构,由于在光取向对象物W和与该光取向对象物W相对的透明体6之间形成气幕AC,所以能够抑制异物附着在透明体6的下表面。
但是,上述实施方式是本发明的一个方式,当然在不脱离本发明的主旨的范围内能够进行适当变更。
例如在上述的第一实施方式以及第二实施方式中,在偏振片冷却路径40中,在对送风机21的吸入口21B和框体3进行连接的导管29上设置了正压机构50,但如图6所示的光照射装置300那样,也可以仅通过导管29对送风机21的吸入口21B和框体3进行连接。
另外,在上述实施方式中,通过从吹嘴62吹出空气,并且从排气嘴63排出空气,从而形成了气幕AC,但形成气幕AC的结构并不仅限于此。例如,也可以不从吹嘴62吹出空气,通过从排气嘴63排出空气从而形成气幕AC。而且,如图7所示,也可以省略吹嘴62,通过从排气嘴63排出空气从而形成气幕AC。
另外,在上述实施方式中,对光源采用辐射紫外线的灯4进行了说明,但光源并不仅限于此。
而且,在上述实施方式中,作为光透射部件设置了透明体6、波长选择滤波器7以及透明体70,但光透射部件并不仅限于这些部件。
另外,在上述实施方式中,虽然由多个线栅偏振片16构成了偏振片单元10,但线栅偏振片16也可以是一个。
而且,在上述实施方式中,作为偏振片使用了线栅偏振片16,但偏振片也可以是例如使用了蒸镀膜的偏振片。
另外,在上述实施方式中,从上游按顺序配置了送风机21、冷却机22、过滤器23,但它们的配置顺序能够进行任意变更。
而且,在上述实施方式中,为了分别控制在热源冷却路径30以及偏振片冷却路径40中流动的冷却风的温度,而分别控制了送风机21、21,但也可以将冷却机22、22中的冷却温度设定成不同的温度。
另外,在上述实施方式中,虽然使热源冷却路径30以及偏振片冷却路径40完全独立,但也可以将热源冷却路径30以及偏振片冷却路径40的一部分进行通用化,例如将送风机21、冷却机22、过滤器23中的至少一个进行通用化。
而且,在上述实施方式中,虽然使热源冷却路径30以及偏振片冷却路径40的冷却风循环,但冷却风不一定必须循环。
Claims (8)
1.一种光照射装置,其特征在于,在光照射器的框体中收纳有反射镜和光源,在所述框体的光出射开口部设置光透射性的部件,在所述部件的光出射侧设置气幕设备。
2.如权利要求1所述的光照射装置,其特征在于,所述气幕设备在所述光出射开口部的宽度方向上形成气幕。
3.如权利要求1所述的光照射装置,其特征在于,所述气幕设备与所述光源的长度方向正交并形成气幕。
4.如权利要求1至3中任一项所述的光照射装置,其特征在于,所述气幕设备与所述部件大致平行地吹出空气,并且在所述光出射开口部的整个范围内形成气幕。
5.如权利要求1至4中任一项所述的光照射装置,其特征在于,在所述框体的光出射开口部设置偏振片单元,在所述偏振片单元的光出射侧设置所述气幕设备。
6.如权利要求5所述的光照射装置,其特征在于,在所述偏振片单元的光出射侧设置光透射部件,在所述光透射部件的光出射侧设置所述气幕设备。
7.如权利要求1至4中任一项所述的光照射装置,其特征在于,在所述框体的光出射开口部按顺序设置光透射部件和偏振片单元,在所述偏振片单元的光出射侧设置所述气幕设备。
8.如权利要求1至7中任一项所述的光照射装置,其特征在于,所述气幕设备具备:对置的吹嘴和排气嘴,所述吹嘴用于吹出空气;所述排气嘴用于排出从所述吹嘴吹出的空气。
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