CN104654253A - 光照射装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种光照射装置，其能够对光源以及偏振片单元进行适当的冷却。光照射装置(1)的结构为，在光照射器(2)的框体(3)中收纳有反射镜(5)和光源(4)，在框体(3)的光出射开口部(3A)设置光透射部件(6、7)和偏振片单元(10)，并使反射镜(5)和光源(4)的热源冷却路径(30)、与光透射部件(6、7)和偏振片单元(10)之间的空间冷却路径(40)独立，从而分别冷却光源(4)以及偏振片单元(10)。

Description

光照射装置

技术领域

本发明涉及具备光源以及偏振片单元的光照射装置。

背景技术

以往，已知有一种光照射装置：其在光照射器的框体内具备光源，并通过在框体的光出射开口部设置的偏振片单元而使来自光源的光偏振并照射(例如参照专利文献1)。该光照射装置在框体内具备光源以及偏振片单元的冷却路径。

【现有技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本专利第5056991号公报

发明内容

在光照射装置中，由于光源在低温下变得寿命短，因此需要以温度变得比较高的方式冷却光源，另一方面，从耐热性的观点出发，需要以温度变得比较低的方式冷却偏振片单元。

然而，在上述现有的结构中，由于采用对偏振片单元进行冷却后的冷却风来冷却光源的结构，因此在想要充分地冷却偏振片单元时，存在光源被过度冷却的问题。

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的是，提供能够适当地冷却光源以及偏振片单元的光照射装置。

为实现上述目的，本发明的光照射装置的特征在于，在光照射器的框体中收纳有反射镜和光源，在所述框体的光出射开口部设置光透射部件和偏振片单元，并使反射镜和光源的热源冷却路径、与光透射部件和偏振片单元之间的空间冷却路径独立。

在上述结构中，可以将所述光透射部件和所述偏振片单元之间的空间设定成正压。

在上述结构中，所述偏振片单元是将多个偏振片进行并列配置而形成的。

在上述结构中，由冷却机冷却后的冷却风可以在所述热源冷却路径以及所述空间冷却路径中流动。

另外，本发明的特征在于，在光照射器的框体中收纳有反射镜和光源，在所述框体的光出射开口部设置光透射部件以便堵塞所述光出射开口部，在所述光透射部件的外侧与所述光透射部件相对的位置上设置偏振片单元，所述偏振片单元与所述光透射部件隔开空间，并使反射镜和光源的热源冷却路径、与偏振片单元的偏振片冷却路径独立，所述热源冷却路径用于向所述框体的所述光出射开口部的内侧供给冷却风；所述偏振片冷却路径用于向所述光透射部件和所述偏振片单元之间的所述空间供给冷却风，所述光透射部件和所述偏振片单元之间的所述空间构成了所述偏振片冷却路径。

另外，本发明是一种光照射装置，其特征在于，所述光照射装置具备：平台搬运台架；设置有用于照射偏振光的光照射器的照射器设置台架；在所述照射器设置台架的两侧设置的两个工作平台；用于移送各工作平台以使其通过了所述光照射器的正下方的直动机构；以及机器人装置，所述机器人装置与所述平台搬运台架平行配置并将工件载置在各工作平台上，并且具有能够沿着直进方向移动的臂、以及固定在臂上并对工件进行保持的保持部，要确保在第一工作平台和所述光照射器的照射区域之间、具有使第二工作平台上的工件通过照射区域以上的间隙，并确保在第二工作平台和照射区域之间、具有使第一工作平台上的工件通过照射区域以上的间隙。

在上述结构中，所述直动机构可以将第一工作平台移动到所述光照射器的照射区域，在第一工作平台上的工件通过了所述照射区域之后将第一工作平台返回至原来的位置，同时所述直动机构可以将第二工作平台移动到所述光照射器的照射区域，在第二工作平台上的工件通过了所述照射区域之后将第二工作平台返回至原来的位置。

在上述结构中，可以设置旋转驱动机构，所述旋转驱动机构被设置成与各工作平台对应，并且为了对工作平台上的工件的角度进行微调而旋转驱动工作平台。

在上述结构中，所述机器人装置可以移动所述臂，从外部接收工件，将工件载置在角度调节装置的调节平台上，在角度调节装置将工件的姿态变成正姿态之后，所述机器人装置从角度调节装置中将工件载置在工作平台上。

在上述结构中，所述机器人装置可以是具有模座、机器人和往复驱动机构的机器人装置，所述模座与平台搬运台架平行设置；所述机器人由所述模座支承；所述往复驱动机构使所述机器人沿着直进方向移动。

发明的效果

根据本发明，由于使反射镜和光源的热源冷却路径、与光透射部件和偏振片单元之间的空间冷却路径独立，因此能够分别冷却光源以及偏振片单元，并且能够适当地冷却光源以及偏振片单元。

附图说明

图1是示意性地表示本发明第一实施方式的光取向装置的主视图。

图2是表示光取向装置的主视图。

图3是表示对图2的光照射器进行放大的图。

图4是表示偏振片单元的结构的图，图4(A)是俯视图；图4(B)是侧剖视图。

图5是表示本发明的变形例的光取向装置的主视图。

图6是示意性地表示本发明第二实施方式的具备光取向装置的光取向照射系统的结构的俯视图，并表示第一工作平台以及第二工作平台的待机状态。

图7是示意性地表示光取向照射系统的结构的俯视图，并表示在第一工作平台设置光取向对象物的状态。

图8是示意性地表示光取向照射系统的结构的俯视图，并表示在第一工作平台的移动过程中、机器人接收下一个光取向对象物的状态。

图9是示意性地表示光取向照射系统的结构的俯视图，并表示在第一工作平台的移动过程中、将下一个光取向对象物设置在第二工作平台的状态。

图10是示意性地表示光取向照射系统的结构的俯视图，并表示在第一工作平台以及第二工作平台的移动过程中、使机器人移动的状态。

图11是示意性地表示光取向照射系统的结构的俯视图，并表示在第二工作平台的移动过程中、再将下一个光取向对象物设置在第一工作平台的状态。

附图标记的说明

1、100：光取向装置(光照射装置)

2：光照射器

3：框体

3A：光出射开口部

4：灯(光源)

5：反射镜

6：透明体(光透射部件)

7：波长选择滤波器(光透射部件)

10：偏振片单元

30：热源冷却路径

40：偏振片冷却路径(空间冷却路径)

S：空间

具体实施方式

以下，参照附图来说明本发明的实施方式。

〈第一实施方式〉

图1是示意性地表示第一实施方式的光取向装置的主视图，图2是表示光取向装置的图。图3是表示对图2的光照射器进行放大的图。图4是表示偏振片单元的结构的图，图4(A)是俯视图，图4(B)是侧剖视图。

如图1所示，光取向装置1是向板状或带状的光取向对象物(工件)W的光取向膜照射偏振光并进行光取向的光照射装置。

光取向装置1具备：平台搬运台架81；照射器设置台架82；载置光取向对象物W(图2)的工作平台(平台)83；以及向正下方照射偏振光的光照射器2。

照射器设置台架82是在从平台搬运台架81分开规定距离的上方位置、横架在平台搬运台架81的宽度方向(与后述的直动机构的直进方向X垂直的方向)上的门体，其两个柱被固定在平台搬运台架81上。照射器设置台架82内置有光照射器2，光照射器2向正下方照射偏振光。此外，为了分离因随着工作平台83的移动引起的振动和因光照射器2的冷却引起的振动，可以采用如下结构：不将照射器设置台架82固定在平台搬运台架81上，而是将该照射器设置台架82与该平台搬运台架81分别设置。平台搬运台架81和照射器设置台架82均可以具有防振结构。

在平台搬运台架81，内设有直动机构84(图6)，所述直动机构84用于移送工作平台83以便沿着直进方向X在平台搬运台架81的表面上使工作平台83通过了光照射器2的正下方。当进行光取向对象物W的光取向时，载置在工作平台83上的光取向对象物W被直动机构84沿着直进方向X移送并通过了光照射器2的正下方，在通过时，该光取向对象物W被暴露在偏振光下，光取向膜被取向。在本实施方式中，在俯视时光取向对象物W形成为矩形形状，以光取向对象物W的宽度方向与直进方向X一致的方式来移送光取向对象物W。

如图2以及图3所示，光照射器2在框体3内具备光源即灯4以及反射镜5，并且在光出射开口部3A具备偏振片单元10，所述框体3在下表面具有光出射开口部3A。

框体3被照射器设置台架82支承在从光取向对象物W分开规定距离的上方位置处。灯4是放电灯，并使用了以至少与光取向对象物W的长度方向的长度相等以上的方式延伸的直管型(棒状)的紫外线灯。反射镜5是截面呈椭圆形、且沿着灯4的长度方向延伸的圆柱形凹面反射镜，反射镜5对灯4的光进行聚光并使光从光出射开口部3A照射到偏振片单元10。

光出射开口部3A是在灯4的正下方形成的、俯视呈矩形形状的开口部，以长度方向与灯4的长度方向一致的方式来设置光出射开口部3A。

在光出射开口部3A设置有板状的透明体6，所述透明体6例如由石英板等的不具有滤波特性(波长选择特性)的光透射部件形成，通过该透明体6来堵塞光出射开口部3A。

另外，在光出射开口部3A的内侧，设置有用于选择透射光的波长的波长选择滤波器7，通过该波长选择滤波器7，使光照射器2照射出所期望的波长的光。

这些透明体6以及波长选择滤波器7构成了本实施方式的光透射部件。此外，在本实施方式中，虽然设置了波长选择滤波器7，但在灯4自身能够射出所期望的波长的光的情况下，也可以省略波长选择滤波器7。

将偏振片单元10配置在透明体6和光取向对象物W之间，使照射到光取向对象物W的光偏振。通过向光取向对象物W的光取向膜照射该偏振光，由此，使该光取向膜发生取向。

如图4所示，偏振片单元10具备：多个单位偏振片单元12；和将这些单位偏振片单元12并列排成一列的框架14。框架14是用于连接配置各单位偏振片单元12的板状的框体。单位偏振片单元12具备：形成为大致矩形板状的线栅偏振片(偏振片)16。

在本实施方式中，各单位偏振片单元12以线栅方向A与直进方向X平行的方式支承线栅偏振片16，并使与该线栅方向A正交的方向、和线栅偏振片16的排列方向B一致。

线栅偏振片16是直线偏振片的一种，并在基板的表面形成了光栅。如上所述，由于灯4是棒状，所以各种角度的光射入到线栅偏振片16，但即使是倾斜射入的光，线栅偏振片16也能产生直线偏振并透射光。

线栅偏振片16由单位偏振片单元12支承，以使线栅偏振片16以法线方向为转动轴在面内转动并能够微调偏振轴C1的方向。即、将多个线栅偏振片16配置成相互隔开间隙，以便能够微调偏振轴C1的方向。对全部的单位偏振片单元12进行微调，以使线栅偏振片16的偏振轴C1沿着规定的照射基准方向对齐，由此，在偏振片单元10的长轴方向的全长范围内，能够得到以高精度来对齐偏振轴C1的偏振光，从而能够实现高等级的光取向。单位偏振片单元12的上端以及下端由螺钉(固定构件)19固定在框架14上，由此，将偏振轴C1被调节后的线栅偏振片16固定配置在框架14上。

另外，如图2以及图3所示，光取向装置1具备：对灯4、反射镜5、波长选择滤波器7以及偏振片单元10进行冷却的冷却单元20。该冷却单元20具备：分别独立的热源冷却路径30和偏振片冷却路径40，所述热源冷却路径30用于冷却灯4以及反射镜5；所述偏振片冷却路径40用于冷却偏振片单元10。

在热源冷却路径30以及偏振片冷却路径40上，分别设置有输送冷却风的送风机21、21、对冷却风进行冷却的冷却机22、22和对冷却风所含有的灰尘等的异物进行去除的过滤器23、23。送风机21配置在冷却机22的上游侧。由此，能够防止被冷却机22冷却后的冷却风由送风机21的热源进行再加热。在本实施方式中，虽然送风机21使用了鼓风机、冷却机22使用了水冷式的散热器、过滤器23使用了HEPA(High Efficiency Particulate Air(高效空气微粒))过滤器，但送风机21、冷却机22以及过滤器23并不限于这些结构。

在热源冷却路径30中，将送风机21、冷却机22以及过滤器23收纳在设置于框体3外部的冷却单元箱20A内。在本实施方式中，将冷却单元箱20A与框体3分开并配置在框体3的上方，但冷却单元箱20A的配置位置并不仅限于此。在冷却单元箱20A内设置有腔室24，送风机21的吹出口21A和腔室24的入口24A由导管25进行连接。腔室24从入口24A向下游侧扩大，在腔室24内的上游侧配置有冷却机22，在腔室24内的下游侧配置有过滤器23。腔室24的出口24B和框体3由导管26进行连接，送风机21的吸入口21B和框体3由导管27进行连接。

在框体3内，将对灯4以及反射镜5的侧方进行包围的隔壁31设置成，与框体3隔开间隙δ1。隔壁31在下部具有开口31A，并且在上部具有通风孔31B，所述开口31A使灯4以及反射镜5向下方露出。

将导管26连接在位置与隔壁31外侧的间隙δ1对应的框体3上，将导管27连接在位置与隔壁31内侧的空间R对应的框体3上。

这些送风机21、导管25、腔室24(冷却机22、过滤器23)、导管26、隔壁31外侧的间隙δ1、隔壁31内侧的空间R以及导管27构成了热源冷却路径30。

在热源冷却路径30中，从送风机21吹出的冷却风(空气)经由导管25向腔室24内流动，在被冷却机22冷却的同时，利用过滤器23去除异物。通过该过滤器23，以露点成为－50℃～－90℃以下程度的方式将冷却风进行除湿的同时去除异物，从而成为低露点高清洁度空气(清洁干燥空气)。将成为清洁干燥空气的冷却风经由导管26供给到框体3内。

在框体3内，冷却风通过了隔壁31和框体3之间的间隙δ1，在隔壁31和透明体6之间的间隙δ2中流动，并流入到反射镜5内、和反射镜5的外侧即隔壁31内的空间R，对灯4以及反射镜5进行冷却。对灯4以及反射镜5进行冷却而温度升高的冷却风，从在反射镜5的上部形成的通孔5A，再从反射镜5的外侧向隔壁31内的空间R流动，经由导管27而被吸入到送风机21并被再次冷却。像这样，冷却风在热源冷却路径30中循环。

即使在偏振片冷却路径40中，在冷却单元箱20A中也配置有送风机21、以及在腔室24内设置的冷却机22和过滤器23，送风机21的吹出口21A和腔室24的入口24A由导管25进行连接。

另外，腔室24的出口24B和框体3由导管28进行连接，送风机21的吸入口21B和框体3由导管29进行连接。

导管28具备延伸部28A和缩径部28B，所述延伸部28A延伸在框体3的光出射开口部3A、更详细而言延伸在偏振片单元10的长度方向的长度范围内；所述缩径部28B从延伸部28A进行缩径。缩径部28B与腔室24的出口24B连接，延伸部28A与框体3连接。同样，导管29具备延伸部29A和缩径部29B，所述延伸部29A延伸在框体3的光出射开口部3A、更详细而言延伸在偏振片单元10的长度方向的长度范围内；所述缩径部29B从延伸部29A进行缩径。缩径部29B与送风机21的吸入口21B连接，延伸部29A与框体3连接。延伸部28A以及延伸部29A经由板状的支承部件28C、29C而被支承在框体3上。

将偏振片单元10设置在框体3的外侧并在与光出射开口部3A相对的位置、且与透明体6隔开空间S，框架14固定在偏振片单元固定台8上。在框体3和偏振片单元固定台8之间连接有导管28、29。将导管28连接在直进方向X的一端侧，导管29连接在直进方向X的另一端侧。

这些送风机21、导管25、腔室24(冷却机22、过滤器23)、导管28、透明体6和偏振片单元10之间的空间S、以及导管29构成了偏振片冷却路径40。即、该偏振片冷却路径40构成了对透明体6和偏振片单元10之间的空间S进行冷却的空间冷却路径。

在偏振片冷却路径40中，从送风机21吹出的冷却风，经由导管25向腔室24内流动，在被冷却机22冷却的同时利用过滤器23去除异物，并经由导管28流入到透明体6和偏振片单元10之间的空间S，对偏振片单元10进行冷却。此时，流入到空间S的冷却风，以与灯4的长度方向正交的方式流动。对偏振片单元10进行冷却而温度变高的冷却风，经由导管29而被吸入到送风机21，并被再次冷却。像这样，冷却风在偏振片冷却路径40中循环。

另外，由于偏振片冷却路径40与热源冷却路径30完全独立，因此，通过分别控制在热源冷却路径30以及偏振片冷却路径40中流动的冷却风的温度，由此能够分别冷却灯4以及偏振片单元10。

此时，通过分别控制送风机21、21，并设定成热源冷却路径30的冷却风的风速较慢、偏振片冷却路径40的冷却风的风速较快，就能够以较高的温度来冷却光源4，并以较低的温度来冷却偏振片单元10。由此，能够对灯4以及偏振片单元10进行适当的冷却。

而且，由于向透明体6和偏振片单元10之间的空间S供给冷却风的导管28、以及从空间S排出冷却风的导管29均延伸在偏振片单元10的长度方向的长度范围内，因此能够对整体的偏振片单元10进行大致均等的冷却。

然而，在光取向对象物W的处理中(照射中)，有时会从取向膜产生杂质气体(outgas)。另外，在配置有光取向装置1的环境中，还存在例如纸粉等的异物。当该杂质气体等的异物混入、或附着在线栅偏振片16时，则线栅偏振片16的偏振特性发生变化，并带来不良影响。

因此，在本实施方式中，光取向装置1具备：用于使透明体6和偏振片单元10之间的空间S成为正压的正压机构50。更具体而言，在对送风机21的吸入口21B和框体3进行连接的导管29上，设置有例如由阻尼器等构成的流量调节构件51。使用该流量调节构件51，而使得在位于空间S的下游的导管29中流动的冷却风的流量缩小，由此，能够将透明体6和偏振片单元10之间的空间S设定成正压。

当空间S成为正压时，由于从偏振片单元10的间隙向外部吹出冷却风，所以能够防止异物从偏振片单元10的间隙侵入到偏振片冷却路径40内。由此，能够可靠地防止异物附着于偏振片单元10、或侵入到偏振片单元10。

作为偏振片单元10的间隙，可以列举出例如偏振片单元10的框架14和偏振片单元固定台8之间的间隙、或者多个线栅偏振片16之间的间隙等。因此，由于不用设置对这些间隙进行密封堵塞的构件，就能够可靠地防止异物侵入到偏振片冷却路径40，所以能够削减光取向装置100的零件个数，并简化制造工序。

另外，在导管29上，形成从外部导入空气的导入口52。由于经由该导入口52，以仅仅从偏振片单元10的间隙吹出的量而从外部导入空气，所以能够防止偏振片冷却路径40内成为过度的负压，并能够使送风机21有效运转。在本实施方式中，虽然将导入口52设置在流量调节构件51的下游，但只要导入口52位于冷却机22以及过滤器23的上游，就能够设置在任意的位置上。

这些流量调节构件51以及导入口52构成了本实施方式的正压机构50。

如上所述，根据本实施方式，光取向装置1采用了如下结构：在光照射器2的框体3中收纳有反射镜5和灯4，在框体3的光出射开口部3A设置透明体6、波长选择滤波器7等的光透射部件和偏振片单元10，并使反射镜5和灯4的热源冷却路径30、与光透射部件和偏振片单元10之间的偏振片冷却路径40独立。根据该结构，由于通过分别控制在热源冷却路径30以及偏振片冷却路径40中流动的冷却风的温度，由此能够分别冷却灯4以及偏振片单元10，所以能够对灯4以及偏振片单元10进行适当的冷却。

另外，根据本实施方式，由于采用了将透明体6和偏振片单元10之间的空间S设定成正压的结构，因此能够从偏振片单元10的间隙向外部吹出冷却风，所以能够防止异物侵入到光取向装置100内。

另外，根据本实施方式，还采用了将多个线栅偏振片16进行并列配置从而形成偏振片单元10的结构。在该结构中，由于通过将透明体6和偏振片单元10之间的空间S设定成正压，由此能够从多个线栅偏振片16之间的间隙向外部吹出冷却风，所以能够防止异物侵入到光取向装置100内。

此外，在本实施方式中，在偏振片冷却路径40中，在对送风机21的吸入口21B和框体3进行连接的导管29上设置了正压机构50，但如图5所示的光照射装置100那样，也可以仅用导管29对送风机21的吸入口21B和框体3进行连接。

〈第二实施方式〉

以下，参照图6至图11，对本发明的第二实施方式进行说明。

在上述第一实施方式中，光取向装置1具有一个工作平台83，但在第二实施方式中，光取向装置200由具有两个工作平台83的双平台型构成。此外，在图6至图11中，对于与图1所示的光取向装置1相同的部分标注相同的附图标记，并省略说明。

图6是示意性地表示第二实施方式的具备光取向装置200的光取向照射系统的结构的俯视图，并且是表示工作平台83的待机状态的图。

光取向照射系统具备光取向装置200、机器人装置90和角度调节装置85。

光取向装置200具备平台搬运台架81、照射器设置台架82、两个工作平台83和光照射器2。

在平台搬运台架81中，内设有直动机构84和旋转驱动机构(未图示)，所述直动机构84用于移送工作平台83，以使其沿着直进方向X在平台搬运台架81的表面上移动并通过了光照射器2的正下方；所述旋转驱动机构被设置成与各工作平台83对应，并用于旋转驱动工作平台83。该旋转驱动机构使工作平台83旋转并对光取向对象物W的角度进行微调，以使光取向对象物W成为如下的正姿态：即光取向对象物W的一对边与灯4的长轴L一致(平行)、且光取向对象物W的另一对边与灯4的长轴L正交。另外，在对光取向对象物W照射所需的偏振光的偏振轴角度相对于灯4的长轴L为规定角度的情况下，旋转驱动机构使工作平台83旋转了规定角度。

机器人装置90具备模座91、机器人92和往复驱动机构93，所述模座91与光取向装置200的平台搬运台架81平行设置；所述机器人92由该模座91支承；所述往复驱动机构93使机器人92沿着直进方向X进行往复移动。机器人92具备：能够沿着直进方向X进行往复移动(旋转以及伸缩)的臂92A；以及固定在臂92A上并对光取向对象物W进行保持的保持部92B。臂92A以在水平面上能够旋转的方式由模座91支承。本实施方式的臂92A是多关节臂，其具有自由转动的多个关节并能够自由伸缩，但臂92A的结构并不仅限于此。机器人92移动臂92A，从外部接收光取向对象物W，将光取向对象物W载置在角度调节装置85的调节平台上，并且从角度调节装置85将光取向对象物W载置在工作平台83上。

角度调节装置85虽然省略了图示，但其具备：载置有光取向对象物W并对光取向对象物W的角度进行调节的调节平台。角度调节装置85对光取向对象物W的角度进行调节，以使光取向对象物W成为如下的正姿态：即光取向对象物W的一对边与灯4的长轴L一致(平行)、且光取向对象物W的另一对边与灯4的长轴L正交。

接下来，对光取向照射系统的动作进行说明。

在这里，为了便于说明，将一个工作平台83称为第一工作平台83，将另一个工作平台83称为第二工作平台83。

在初始状态下，如图6所示，第一及第二工作平台83分别位于直进方向X的一端P1侧、另一端P2侧，并且机器人92位于一端P1侧，灯4被点亮。

首先，机器人92从光取向装置200的外部接收光取向对象物W，通过角度调节装置85使光取向对象物W成为正姿态之后，如图7所示，将光取向对象物W载置在第一工作平台83上。第一工作平台83的旋转驱动机构可驱动第一工作平台83，对光取向对象物W的角度进行微调，并且根据需要，以相对于灯4的长轴L为规定的角度使光取向对象物W旋转。而且，如图8所示，直动机构84使第一工作平台83移动，由此使偏振光照射到光取向对象物W上。

在第一工作平台83上对光取向对象物W进行照射的期间，机器人92可移动臂92A并从光取向装置200的外部接收下一个光取向对象物W，通过角度调节装置85使光取向对象物W成为正姿态，并再次接收光取向对象物W。而且，如图9所示，机器人92通过往复驱动机构93向另一端P2侧移动，并移动臂92A将光取向对象物W载置在第二工作平台83上。第二工作平台83的旋转驱动机构对光取向对象物W的角度进行微调，并且根据需要，以相对于灯4的长轴L为规定的角度使光取向对象物W旋转。而且，如图10所示，直动机构84通过追随第一工作平台83的回程的移动而使第二工作平台83移动，由此使偏振光照射到第二工作平台83上的光取向对象物W。

在第一及第二工作平台83上对光取向对象物W进行照射的期间，机器人92通过往复驱动机构93向一端P1侧移动。

在第二工作平台83上对光取向对象物W进行照射的期间，如图11所示，机器人92从第一工作平台83接收光取向对象物W，并配置在外部的保管场所。而且，机器人92从外部接收光取向对象物W，通过角度调节装置85使光取向对象物W成为正姿态之后，机器人92将光取向对象物W载置在第一工作平台83上。

即、要确保在第一工作平台83和光照射器2的照射区域之间、具有使第二工作平台83上的光取向对象物W通过照射区域以上的间隙，并确保在第二工作平台83和照射区域之间、具有使第一工作平台83上的光取向对象物W通过照射区域以上的间隙。

像这样，通过设置两个工作平台83，以追随一个工作平台83的移动的方式，使另一个工作平台83移动，由此能够缩短光取向对象物W的处理(光取向照射)工序作业时间。

但是，上述实施方式只是本发明的一个方式，当然在不脱离本发明的主旨的范围内能够进行适当变更。

例如，在上述实施方式中，对光源采用辐射紫外线的灯4进行了说明，但光源并不仅限于此。

另外，在上述实施方式中，作为光透射部件设置了透明体6以及波长选择滤波器7，但光透射部件并不仅限于这些部件。

另外，在上述实施方式中，虽然由多个线栅偏振片16构成了偏振片单元10，但线栅偏振片16也可以是一个。

而且，在上述实施方式中，作为偏振片使用了线栅偏振片16，但偏振片也可以是例如使用了蒸镀膜的偏振片。

另外，在上述实施方式中，从上游按顺序配置了送风机21、冷却机22、过滤器23，但它们的配置顺序能够进行任意变更。

而且，在上述实施方式中，为了分别控制在热源冷却路径30以及偏振片冷却路径40中流动的冷却风的温度，而分别控制了送风机21、21，但也可以将冷却机22、22中的冷却温度设定成不同的温度。

另外，在上述实施方式中，虽然使热源冷却路径30以及偏振片冷却路径40完全独立，但也可以将热源冷却路径30以及偏振片冷却路径40的一部分进行通用化，例如将送风机21、冷却机22、过滤器23中的至少一个进行通用化。

而且，在上述实施方式中，虽然使热源冷却路径30以及偏振片冷却路径40的冷却风循环，但冷却风不一定必须循环。

Claims (5)

1.一种光照射装置，其特征在于，在光照射器的框体中收纳有反射镜和光源，在所述框体的光出射开口部设置光透射部件和偏振片单元，并使反射镜和光源的热源冷却路径、与光透射部件和偏振片单元之间的空间冷却路径独立。

2.如权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，将所述光透射部件和所述偏振片单元之间的空间设定成正压。

3.如权利要求1或2所述的光照射装置，其特征在于，所述偏振片单元是将多个偏振片进行并列配置而形成的。

4.如权利要求1至3中任一项所述的光照射装置，其特征在于，由冷却机冷却后的冷却风、在所述热源冷却路径以及所述空间冷却路径中流动。

5.一种光取向装置，其特征在于，在光照射器的框体中收纳有反射镜和光源，在所述框体的光出射开口部设置光透射部件以便堵塞所述光出射开口部，在所述光透射部件的外侧与所述光透射部件相对的位置上设置偏振片单元，所述偏振片单元与所述光透射部件隔开空间，并使反射镜和光源的热源冷却路径、与偏振片单元的偏振片冷却路径独立，所述热源冷却路径用于向所述框体的所述光出射开口部的内侧供给冷却风；所述偏振片冷却路径用于向所述光透射部件和所述偏振片单元之间的所述空间供给冷却风，

所述光透射部件和所述偏振片单元之间的所述空间构成了所述偏振片冷却路径。