CN104633492B - 一体化灯设备及用于制造所述一体化灯设备的方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种一体化灯设备及一种用于制造所述一体化灯设备的方法。一体化灯设备包含：灯丝组件，其具备产生热的灯丝；耐热加固部件，其一端固定地耦合到所述灯丝组件；导电线保护套管，其一端固定地耦合到所述耐热加固部件的另一端；固定部件，其固定地耦合到所述导电线保护套管的另一端；以及导电线，其一端电连接到所述灯丝组件，且顺序地穿过所述耐热加固部件、所述导电线保护套管及所述固定部件，且其另一端从所述固定部件伸出。本发明的一体化灯设备能够移除将灯安装到插口的工作人员的不便和改进灯的使用寿命。

Description

一体化灯设备及用于制造所述一体化灯设备的方法

技术领域

本发明涉及用于加热目标物体的一体化灯设备及用于制造所述一体化灯设备的方法。

背景技术

热处理为用于制造半导体、显示器或其类似物的各种工艺中的基本工艺。欧姆接触掺混、离子植入损伤退火、掺杂剂活化及形成例如TiN、TiSi2、CoSi2或其类似物等薄膜为需要热处理的工艺。

执行此热处理的设备的实例为电炉及快速热处理(rapid thermal process，RTP)设备。因为快速热处理设备具有以下困难：均一地维持衬底的整个区域的温度，不论何时替换衬底(晶片)也关于其它衬底维持相同温度-时间特性，或准确地测量及控制衬底的温度，所以快速热处理设备尚未处于公众注意的中心，但根据温度测量技术及温度控制技术中的最新进展已替换了电炉。

快速热处理设备通过使用卤钨灯的辐射光线将热转移到衬底。因此，快速热处理设备配备有加热块(heating block)，及安置于加热块的侧表面当中面向衬底的侧表面上的多个灯。

图1为说明其中灯与可分离的灯丝组件(separable filament assembly)的插口分离的形状的视图，且图2为说明其中将用于快速热处理设备中的可分离的灯丝组件插入到安装于加热器外壳上的插口中的形状的视图。

可分离的灯丝组件包含安装于加热器外壳1上的插口10，及可与插口10分离的灯20。插口10安装于加热器外壳1的上部末端的安装表面上，从而执行用于将加热器外壳1的内部与加热器外壳1的外部隔离的密封功能。而且，插口10执行用于固定插入于其中的灯20的功能。经由外部导电线(outside conductive wire)将电力供应到插口10，以将电力供应到插入到插口10中的灯20的电源插头。灯20包含：灯丝保护套管23，其维持内部空间处于卤素气体状态；钨灯丝22，其在灯丝保护套管23内部产生热；及导电线保护套管21，其保护连接电源插头与灯丝22的导电线。

然而，如上文所描述的经配置以使得插口10及灯20彼此分离的可分离的灯丝组件具有以下问题。

首先，在插口10及灯20彼此耦合时，存在耦合困难的问题。也就是说，在操作员将灯20插入到插口10中及固定到插口10时，会出现其中灯20变形的现象，及使得随着时间的过去灯20因灯20的装载逐渐与插口10分离的现象。此外，在灯20固定时，归因于加工公差(machining tolerance)在安装灯20时存在困难。

其次，在插口10及灯20彼此耦合或彼此解耦时，存在灯丝保护套管23容易打破的问题。也就是说，在操作员将灯20与插口10解耦时，因为操作员通过使用夹具且向下拉动灯丝保护套管23来握住具有“T”形状的灯丝保护套管23，所以存在由石英材料制成的灯丝保护套管23可被由操作员施加的夹具力破坏。此外，在将灯20安装到插口10中时，因为握住灯丝保护套管23，且通过施加向上的力将其插入到插口10中，所以灯丝保护套管23也可被所施加的力破坏。

第三，存在保护导电线的导电线保护套管21的外部部分因灯丝22中产生的热而碳化的问题。也就是说，存在在灯丝保护套管23与导电线保护套管21之间的边界上的外圆周表面可因热而碳化的问题。

【现有技术文献】

【专利文献】

(专利文献1)第1,031,226号韩国专利

发明内容

本发明提供一种一体化灯组件及一种用于制造所述一体化灯组件的方法，其能够解决其中灯变形的现象及在将灯安装于插口上时安装操作中的困难。本发明也提供一种一体化灯组件及一种用于制造所述一体化灯组件的方法，其能够基本上解决灯丝保护套管在灯安装于插口上或与插口分离时受到破坏的问题。本发明还提供一种一体化灯组件及一种用于制造所述一体化灯组件的方法，其能够改进其中导电线保护套管因热而碳化的现象。

根据示范性实施例，一体化灯设备包含：灯丝组件，其具备产生热的灯丝；耐热加固部件，其一端固定地耦合到所述灯丝组件；导电线保护套管，其一端固定地耦合到所述耐热加固部件的另一端；固定部件，其固定地耦合到所述导电线保护套管的另一端；以及导电线，其一端电连接到所述灯丝组件，且顺序地穿过所述耐热加固部件、所述导电线保护套管及所述固定部件，且其另一端从所述固定部件伸出。

灯丝组件可包含：灯丝，其中流入第一输入端子中的电流穿过加热丝，且流动穿过第二输入端子以产生热；灯丝保护套管，其包含在其中的所述灯丝；第一导电板，其电结合到所述第一输入端子，且第一导电线连接到所述第一导电板；第二导电板，其电结合到所述第二输入端子，且第二导电线连接到所述第二导电板；以及导电支撑体，其允许所述第一导电板及第二导电板安置于其表面上，且其一端固定地耦合到所述灯丝保护套管，且另一端固定地耦合到所述耐热加固部件。

所述灯丝保护套管可具有等于所述耐热加固部件、所述导电线保护套管及所述固定部件的耦合方向的纵向方向。

可形成所述灯丝保护套管以使得其直径等于或小于所述耐热加固部件的直径。

所述耐热加固部件可由陶瓷材料形成。

所述导电线保护套管可由金属材料形成。

所述导电线保护套管的内部可用陶瓷填充。

所述固定部件可包含：所述导电线所穿过的主体柱；以及突起凸缘，其沿着圆周方向从所述主体柱的侧壁伸出。

密封件插入凹槽可形成于指向安置所述灯丝组件的方向的所述突起凸缘的表面上。

所述固定部件可包含：上部固定部件，其具有沿着其圆周从一个端面伸出的上部凸缘；下部固定部件，其具有沿着其圆周从一个端面伸出以接触所述上部凸缘的下部凸缘；以及耦合部件，其耦合所述上部凸缘与所述下部凸缘。

所述上部固定部件可包含：上部柱体；上部凸缘，其沿着其圆周从所述上部柱体的一个端面伸出；耦合突起主体，其从所述上部柱体的表面伸出从而接触所述下部固定部件，且在突起表面上具有导电引线插头插入凹槽；以及外部电源连接线，其连接到所述引线插头插入凹槽而伸出外部。

所述下部固定部件可包含：下部柱体；下部凸缘，其沿着其圆周从所述下部柱体的一个端面伸出，与所述上部凸缘相对；以及耦合凹槽，其具有从所述下部柱体的表面凹进从而接触所述上部固定部件的阶梯形表面，且由面向所述引线插头插入凹槽从阶梯形表面伸出的引线插头形成。

所述一体化灯可进一步包含：主体耦合密封件插入凹槽，其形成于指向安置所述灯丝组件的方向的所述下部凸缘的表面上，且其上安置密封件；以及凸缘耦合密封件插入凹槽，其形成于所述下部凸缘的表面上从而接触所述上部凸缘，且其上安置密封件。

根据另一示范性实施例，一种用于制造一体化灯的方法，所述方法包含：制备具备产生热的灯丝的灯丝组件；将导电线连接到所述灯丝组件；允许所述导电线穿过耐热加固部件的内部，且将所述耐热加固部件的一端固定地耦合到所述灯丝组件以便不会与所述灯丝组件解耦；允许穿过所述耐热加固部件的所述导电线伸出，穿过导电线保护套管及将所述导电线保护套管的一端固定地耦合到所述耐热加固部件的另一端以便不会与所述耐热加固部件解耦；以及允许穿过所述导电线保护套管的所述导电线伸出，穿过可耦合到加热器外壳的固定部件，及将所述固定部件固定地耦合到所述导电线保护套管。

在将所述固定部件固定地耦合到所述导电线保护套管的另一端之前，所述导电线保护套管的内部可用陶瓷填充。

附图说明

通过结合附图进行的以下描述可以更详细地理解示范性实施例，其中：

图1为说明其中灯与可分离的灯丝组件的插口分离的形状的视图；

图2为说明其中将用于快速热处理设备中的可分离的灯丝组件插入到安装于加热器外壳上的插口中的形状的视图；

图3为说明根据示范性实施例的加热块所应用于的快速热处理设备的横截面图；

图4A、4B为说明根据示范性实施例的其中将多个灯安装于加热器外壳的安装表面上的形状的视图；

图5为说明根据示范性实施例的一体化灯的透视图；

图6为说明根据示范性实施例的一体化灯的横截面图；

图7为说明根据示范性实施例从在加热器外壳上方的上侧插入一体化灯的横截面图；

图8为说明根据示范性实施例的安装到加热器外壳中的一体化灯的横截面图；

图9为说明根据示范性实施例的上部固定部件及下部固定部件彼此耦合的一体化灯的透视图；

图10为说明根据示范性实施例的上部固定部件及下部固定部件彼此解耦的一体化灯的透视图；

图11为说明根据示范性实施例的具有上部固定部件及下部固定部件的一体化灯的横截面图；

图12A-12G为说明根据示范性实施例的用于制造一体化灯的工艺的视图；以及

图13A、13B为说明根据示范性实施例的用于顺序耦合上部固定部件与下部固定部件的工艺的横截面图。

具体实施方式

下文中将参考附图来更详细描述本发明的实施例。然而，本发明可以用不同形式实施，并且不应被解释为限于本文所阐述的实施例。实际上，提供这些实施例是为了使得本发明将是透彻并且完整的，并且这些实施例将把本发明的范围完整地传达给所属领域的技术人员。在图中，类似参考标号表示类似元件。

图3为说明根据示范性实施例的加热块所应用于的快速热处理设备的横截面图。

处理腔室200具有内部空间，所述内部空间为其中对衬底进行热处理的热处理空间，且所述衬底定位于热处理空间中。将处理腔室200制造成空且密封的矩形容器形状，但不限于所述形状，且可将其制造成各种容器形状。也就是说，圆形及多边形容器形状是可能的。而且，处理腔室200的一侧及另一侧中的每一个经形成有用于装载及卸载衬底S的入口，且入口中的任一个连接到转移模块(未图示)。

处理腔室200具备衬底支架400，所述衬底支架用于支撑其中的衬底S。此处，衬底支架400可具备在其中的垂直方向上移动的多个起模顶杆410，且可经配置于边缘环中，在工艺中衬底安装于所述边缘环上。边缘环(未图示)为能够将衬底安装于热处理空间中的反向面对加热块100的位置上的安装构件。衬底支架400可连接到用于提供抬升力的构件，例如圆柱体(未图示)。虽然上文示范性实施例描述了在垂直方向上抬升衬底S的起模顶杆410，但本发明并不限于此，且各种构件(例如，使用静电力(静电卡盘)或真空吸附力的构件)可用于将衬底S支撑在衬底支架400上。

石英窗300可定位于加热块100与处理腔室200之间。石英窗300由将热经由其传输到安置在其下的衬底S的材料形成。石英窗300维持加热块100与处理腔室200之间的密封，通过使用密封构件310封闭加热块100与处理腔室200之间的空间，以允许加热块100维持真空，且保护处理腔室200不受外部环境(例如，压力、气体或污染物)干扰。而且，石英窗300保护灯600，且防止由灯600中产生的热引起的副产物落在安置于处理腔室200内部的热处理空间中的衬底S上。

加热块100具有加热器外壳500，所述加热器外壳具备产生热能的一体化灯。加热器外壳500的下部表面(其为灯安装表面510)面向待热处理的物体(例如，衬底S)，且具备多个一体化灯600。如图4A、4B中所说明布置于灯安装表面510上的一体化灯600安置于面向衬底S的位置上，且使光照射在旋转或固定的衬底S上。灯安装表面510可形成为如图4A中所说明的圆形形状，或可形成为如图4B中所说明的多边形形状，且具有各种形状。

根据示范性实施例的一体化灯600具有不同于其中插口分离的现有灯的结构，且一体化灯600不具有单独的插口且具有以一体化类型形成的灯结构。下文中，将详细地描述一体化灯的结构。

图5为说明根据示范性实施例的一体化灯的透视图，图6为说明根据示范性实施例的一体化灯的横截面图，图7为说明根据示范性实施例的其中从在加热器外壳上方的上侧插入一体化灯的形状的横截面图，且图8为说明根据示范性实施例的安装于加热器外壳上的一体化灯的横截面图。

一体化灯600包含灯丝组件640、耐热加固部件630、导电线保护套管620、固定部件610及导电线650。

灯丝组件640为具有产生热的灯丝644的加热体，且包含产生热的灯丝644、保护灯丝644的灯丝保护套管645、将电力供应到灯丝644的导电板641及支撑导电板641的导电板支撑体642。而且，灯丝组件可进一步包含灯丝支撑体643。

灯丝644具备第一输入端子644a、第二输入端子644b及加热丝644c，且因此流入第一输入端子644a中的电流穿过加热丝644c(其为主体)，且流动穿过第二输入端子644b以产生热。灯丝644的材料应具有高熔点，且具有适当电阻值，因为材料应连续地发光，甚至是在高温下。因此，可使用钨、镍或其类似物。倘若灯丝644是由钨形成，因为钨具有约3390℃的熔点(其比灯丝644开始发光的温度(约2000℃)高得多)，所以钨可经受此高温。

灯丝支撑体643为支撑灯丝644的加热丝644c的支撑杆，且可由例如石英等非导体形成。

灯丝保护套管645使灯丝644容纳于其内部空间中以保护灯丝644。灯丝保护套管645可由例如透明石英或其类似物等材料形成。灯丝保护套管645具有圆柱形套管形状，所述圆柱形套管形状具有等于耐热加固部件630、导电线保护套管620及固定部件610的耦合方向的纵向方向。灯丝保护套管645具有封闭的一侧及固定地耦合到耐热加固部件630的另一侧，从而完全封闭且因此定义内部空间，且内部空间可充满卤素气体以改进产热效率。灯丝保护套管645具有等于或小于耐热加固部件630的直径的直径。原因在于在将一体化灯安装于加热器外壳500中或与加热器外壳500解耦时允许一体化灯穿过形成于外壳500中的解耦孔。此处，可以理解耐热加固部件630的直径等于解耦孔的直径。

第一导电板641a导电性地结合到灯丝644的第一输入端子644a，从而连接到第一导电线650a。第二导电板641b也导电性地结合到灯丝644的第二输入端子644b，从而连接到第二导电线650b。因此，从外部电源流动穿过第一导电线650a的电流流动穿过第一导电板641a到第一输入端子644a中，且穿过灯丝644的加热丝644c，从而流动穿过第二导电板641b及第二导电线650b到外部电源中。作为实例，第一导电板641a及第二导电板641b可呈具有良好导电性的钼(Mo)金属板的形式。

导电板支撑体642将第一导电板641a及第二导电板641b定位于其表面上，且其一端固定地耦合到灯丝保护套管645，且其另一端固定地耦合到耐热加固部件630。灯丝保护套管645的一端熔化以固定地耦合到导电板支撑体642的一端以便不会与灯丝保护套管645分离。而且，将导电板支撑体642的另一端插入到耐热加固部件630中，且经陶瓷结合以便不会与耐热加固部件630分离。作为实例，导电板支撑体642由例如石英等非导体形成。

同时，耐热加固部件630的一端固定地耦合到导电板支撑体642，且耐热加固部件630的另一端固定地耦合到导电线保护套管620，且因此耐热加固部件630安置于灯丝组件640的导电板641与导电线保护套管620之间。耐热加固部件630是由例如陶瓷(Al₂O₃)等具有高耐热性的材料形成。因此，可防止其中部件归因于由邻近灯丝644产生的热而碳化的现象。因为现有技术采用经配置以使得导电线保护套管620直接连接到灯丝组件640而不使用耐热加固部件630的结构，所以其具有灯丝组件640与导电线保护套管620之间的连接部分因灯丝644的热而碳化的问题。然而，本发明的示范性实施例经配置以使得耐热加固部件630设置于灯丝组件640与导电线保护套管620之间，且因此碳化现象甚至可不会因灯丝644的热而产生于灯丝组件640的结合部分上。

导电线保护套管620固定地耦合到耐热加固部件630的另一端。导电线保护套管620为保护分别连接到灯丝组件640的第一及第二导电板641a及641b(641)的第一及第二导电线650a及650b(650)的外壳。导电线保护套管620的一端固定地耦合到耐热加固部件630，且另一端固定地耦合到固定部件610，所述固定部件可耦合到加热器外壳500及与加热器外壳500解耦。导电线保护套管620的表面由金属材料形成，且导电线保护套管620的内部用陶瓷填充。因此，安置于导电线保护套管620内部的第一导电线650a及第二导电线650b可通过使用陶瓷而固定于导电线保护套管620内部。

导电线650的一端电连接到灯丝组件640，且经安置以顺序地穿过耐热加固部件630、导电线保护套管620及固定部件610，且另一端从固定部件610伸出。导电线650经实现为例如具有护套的金属丝等薄导电线。导电线650包含第一导电线650a及第二导电线650b。第一导电线650a为连接到第一导电板641a的金属丝，且第二导电线650b为连接到第二导电板641b的金属丝。

固定部件610固定地耦合到导电线保护套管620的另一端，且具有可附接到例如加热器外壳500等安装设备及可与所述安装设备分离的凸缘表面。也就是说，导电线保护套管620、耐热加固部件630、灯丝组件640及固定部件610按所提及的次序固定地耦合，以形成其中这些组件不会彼此分离的一体化灯。现有灯装置具有其中提供充当固定部件610的插口的结构，且因此将灯插入到插口中或与插口解耦，但本发明的一体化灯经配置以使得导电线保护套管620、耐热加固部件630、灯丝组件640及固定部件610在一体化结构中固定地耦合以便不会彼此分离，从而能够解决现有灯的安装错误及灯丝保护套管645在与插口解耦或安装到插口时的破裂问题。

固定部件610包含导电线650所穿过的主体柱及沿着圆周方向从主体柱的侧壁伸出的突起凸缘613。突起凸缘613在将固定部件610附接到加热器外壳500及将固定部件610与加热器外壳500分离中起到作用。为了在外壳500上安装包含导电线保护套管620、耐热加固部件630、灯丝组件640及固定部件610的一体化灯(如图7中所说明)，将灯丝组件640及耐热加固部件630顺序插入到解耦孔中，且在插入完成之后(如图8中所说明)，固定部件610的突起凸缘613及加热器外壳500经由螺钉612或其类似物彼此耦合，从而完成一体化灯的安装。

因此，因为固定部件610为可经由螺钉612或其类似物耦合到加热器外壳500及可与加热器外壳500解耦的部件，所以包含灯丝组件640、耐热加固部件630、导电线保护套管620及固定部件610的一体化灯可仅通过将固定部件610耦合到加热器外壳500而耦合到加热器外壳500。相反，在固定部件610与加热器外壳500解耦时包含灯丝组件640、耐热加固部件630、导电线保护套管620及固定部件610的一体化灯可与加热器外壳500解耦。

同时，密封件插入凹槽611形成于指向安置灯丝组件640的方向的突起凸缘613的表面上。为了在将固定部件610耦合到加热器外壳500时增强外壳500中的密封力，插入例如O形环或其类似物等密封件的密封件插入凹槽611可形成于突起凸缘613的下部表面上。而且，固定部件610可由例如陶瓷、金属合成树脂或其类似物等材料形成。

同时，固定部件610可经实现为如上文所描述的一个主体，但固定部件610可实现于可与上部固定部件6100及下部固定部件6200分离的结构中，如在本发明的其它实施例中。在灯丝组件640的使用寿命要结束或发生故障时，将固定部件620拆分成上部固定部件6100及下部固定部件6200以便通过仅替换包含灯丝组件640的部分来降低成本。

图9为说明根据本发明的示范性实施例的其中上部固定部件与下部固定部件彼此耦合的一体化灯的透视图，图10为说明根据本发明的示范性实施例的其中上部固定部件与下部固定部件彼此解耦的一体化灯，且图11为说明根据本发明的示范性实施例的具有上部固定部件及下部固定部件的一体化灯的横截面图。

具有一分为二结构(two-split structure)的固定部件610包含具有沿着圆周从一个端面伸出的上部凸缘6102的上部固定部件6100、具有沿着圆周从一个端面伸出以接触上部凸缘6102的下部凸缘6202的下部固定部件6200，及将上部凸缘6102与下部凸缘6201耦合的耦合部件6300。上部固定部件6100及下部固定部件6200经由例如螺钉或其类似物等耦合部件6300彼此耦合，且因此可容易执行解耦及耦合。

上部固定部件6100包含上部柱体6101、沿着圆周从上部柱体6101的一个端面伸出的上部凸缘6102、从上部柱体6101的表面伸出从而接触下部固定部件6200且在其突起表面上具有导电引线插头插入凹槽6104的耦合突起主体6103，及连接到引线插头插入凹槽6104以伸出到外部的外部电源连接线6105。从耦合突起主体6103的底部表面朝内形成引线插头插入凹槽6104，且引线插头插入凹槽6104的表面是由导电膜形成。因此，外部电源连接线6105电连接到引线插头插入凹槽6104的导电膜，且因此可将外部电力转移到引线插头插入凹槽6104的导电膜。

下部固定部件6200包含下部柱体6201、沿着其圆周从下部柱体6201的一个端面伸出以面向上部凸缘6102的下部凸缘6202，及具有从下部柱体6201的表面凹进从而接触上部固定部件6100的阶梯形表面且由面向引线插头插入凹槽6104从阶梯形表面伸出的引线插头6203形成的耦合凹槽6204。引线插头6203经实现为第一及第二引线插头，且第一引线插头及第二引线插头分别连接到第一导电线650a及第二导电线650b。

在上部凸缘6102与下部凸缘6202彼此耦合时，将形成于下部凸缘6202上的引线插头6203插入到上部凸缘6102的引线插头插入凹槽6014中，因此接触引线插头插入凹槽6014以使得引线插头6203具有导电性。因此，外部电力穿过引线插头插入凹槽6104、引线插头6203及导电线650，且接着被供应到灯丝644。

同时，尽管未图示，但其中插入将下部固定部件6200耦合到加热器外壳500的螺钉的耦合凹槽(未图示)形成于下部固定部件6200上，因此能够将下部固定部件6200耦合到加热器外壳500或将下部固定部件6200与加热器外壳500解耦。

此外，可进一步设置形成于指向安置灯丝组件的方向的下部凸缘6202的表面上且其上可安置密封件的主体耦合密封件插入凹槽6400，及形成于下部凸缘6202的表面上从而接触上部凸缘6102且其上可安置密封件的凸缘耦合密封件插入凹槽6401。形成主体耦合密封件插入凹槽6400以便在下部固定部件6299耦合到加热器外壳500时经由例如O形环或其类似物等密封件增强密封性，且形成凸缘耦合密封件插入凹槽6401以便在上部凸缘6102与下部凸缘6202彼此耦合时经由例如O形环或其类似物等密封件增强密封性。

图12A-12G为说明根据示范性实施例的用于制造一体化灯的工艺的视图。

在以下描述中，术语“一端”指示在纵向方向上相关部件的端部分，且术语“另一端”指示在纵向方向上定位在所述一端的相对侧上的端部分。

首先，执行制造灯丝组件的工艺。如图12A中所说明，灯丝组件的制造工艺包含：制备由钨材料形成的灯丝644，其中电流流动到第一输入端子644a中，穿过加热丝644c，且流动到第二输入端子644b中，从而产生热；及制备经安装有第一导电板641a及第二导电板641b的导电板支撑体642，所述导电板中的每一个是由钼材料形成。仅供参考，第一输入端子644a及第二输入端子644b是由灯丝支撑体643支撑，所述灯丝支撑体由石英材料形成。

如图12B中所说明，第一输入端子644a及第二输入端子644b分别结合到第一导电板641a及第二导电板641b以便电连接。接下来，如图12C中所说明，将灯丝644定位在由石英材料形成的灯丝保护套管645中，且接着熔化灯丝保护套管645的一端以固定地耦合到导电板支撑体642，从而密封灯丝保护套管645。在这之后，灯丝保护套管645的内部空间经由形成于灯丝保护套管645上的注入套管而产生真空，经由注入套管将卤素气体供应到灯丝保护套管645的内部空间中以将灯丝保护套管645的内部空间改变为卤素环境，且接着密封注入套管。

而且，如图12D中所说明，分别将各自具有导电性的第一导电线650a及第二导电线650b结合到第一导电板641a及第二导电板641b。仅供参考，第一及第二导电线650a及650b具有预定长度，因此其端部最终穿过固定部件610而伸出。

随后，如图12E中所说明，将耐热加固部件630的一端固定地耦合到灯丝组件640的导电板支撑体642以使得耐热加固部件630与灯丝组件640的导电板支撑体642不会彼此分离，且固定地彼此耦合。此时，第一导电线650a及第二导电线650b穿过耐热加固部件630。而且，在此固定耦合中，灯丝组件640的导电板支撑体642的一端可由耐热加固部件630固化，从而固定地耦合。耐热加固部件630可由具有高耐热性的陶瓷材料(Al₂O₃)形成。

在形成耐热加固部件630之后，如图12F中所说明，耐热加固部件630的另一端及导电线保护套管620的一端固定地耦合以便不会彼此解耦。耐热加固部件630及导电线保护套管620可通过陶瓷结合而彼此固定地耦合。导电线保护套管620为由金属材料形成的中空柱，且导电线保护套管620的内部用陶瓷填充。此时，从耐热加固部件630伸出的第一导电线650a及第二导电线650b穿过导电线保护套管620中所填充的陶瓷，且接着从导电线保护套管620伸出。

在形成导电线保护套管620之后，如图12G所说明，固定部件610及导电线保护套管620的另一端固定地耦合以便不会彼此解耦。此时，第一导电线650a及第二导电线650b穿过固定部件610的内部，伸出且连接到外部电源单元。灯丝组件640、耐热加固部件630及导电线保护套管620可沿着将按一体化类型制造的一体化灯的纵向方向按所提及的次序固定地耦合。因为固定部件610可经由螺钉或其类似物耦合到加热器外壳500及可与加热器外壳500解耦，所以包含灯丝组件640、耐热加固部件630及导电线保护套管620以及固定部件610的一体化灯仅通过将固定部件610耦合到加热器外壳500而耦合到加热器外壳500。相反，在将固定部件610与加热器外壳500解耦时，包含灯丝组件640、耐热加固部件630及导电线保护套管620以及固定部件610的一体化灯与加热器外壳500解耦。

仅供参考，例如O形环或其类似物等密封件611a可安置于固定部件610的边缘的下部表面上以在固定部件610耦合到加热器外壳500时改进密封性。

虽然解耦型灯的制造具有与前述工艺相同的工艺，但其进一步包含分别将上部固定部件6100与下部固定部件6200顺序耦合的工艺，如图13A、13B中所说明。仅供参考，可进一步设置形成于指向安置灯丝组件的方向的下部凸缘6202的表面上且其上可安置密封件的主体耦合密封件插入凹槽6400，及形成于下部凸缘6202的表面上从而接触上部凸缘6102且其上可安置密封件的凸缘耦合密封件插入凹槽6401。形成主体耦合密封件插入凹槽6400以便在下部固定部件6200耦合到加热器外壳500时经由例如O形环或其类似物等密封件增强密封性，且形成凸缘耦合密封件插入凹槽6401以便在上部凸缘6102与下部凸缘6202彼此耦合时经由例如O形环或其类似物等密封件增强密封性。

根据实施例，实现一体化灯以移除将灯安装到插口的工作人员的不便。而且，根据实施例，并不一定要安装或分离，且因此灯丝保护套管不会被破坏，从而保护设备。因此，可将灯安装到设备以增强产率，且改进灯的使用寿命。而且，根据实施例，采用邻近于灯丝的导电线保护套管作为耐热加固部件，从而改善使得导电线保护套管碳化的现象。

尽管已参考特定实施例描述了一体化灯设备，但是其不限于此。因此，所属领域的技术人员将容易理解，在不脱离通过所附权利要求书限定的本发明的精神和范围的情况下，可以对其进行各种修改和变化。

Claims (14)

1.一种一体化灯设备，其特征在于包括：

灯丝组件，其具备产生热的灯丝；

耐热加固部件，其一端固定地耦合到所述灯丝组件；

导电线保护套管，其一端固定地耦合到所述耐热加固部件的另一端；

固定部件，其固定地耦合到所述导电线保护套管的另一端；以及

导电线，其一端电连接到所述灯丝组件，且顺序地穿过所述耐热加固部件、所述导电线保护套管及所述固定部件，且其另一端从所述固定部件伸出，其中所述灯丝组件包括：

灯丝，其中流入第一输入端子中的电流穿过加热丝，且流动穿过第二输入端子以产生热；

灯丝保护套管，其具有在其中的所述灯丝；

第一导电板，其电结合到所述第一输入端子，且第一导电线连接到所述第一导电板；

第二导电板，其电结合到所述第二输入端子，且第二导电线连接到所述第二导电板；以及

导电支撑体，其允许所述第一导电板及第二导电板安置于其表面上，且其一端固定地耦合到所述灯丝保护套管，且另一端固定地耦合到所述耐热加固部件。

2.根据权利要求1所述的一体化灯设备，其特征在于所述灯丝保护套管具有等于所述耐热加固部件、所述导电线保护套管及所述固定部件的耦合方向的纵向方向。

3.根据权利要求2所述的一体化灯设备，其特征在于形成所述灯丝保护套管以使得其直径等于或小于所述耐热加固部件的直径。

4.根据权利要求1所述的一体化灯设备，其特征在于所述耐热加固部件是由陶瓷材料形成。

5.根据权利要求1所述的一体化灯设备，其特征在于所述导电线保护套管是由金属材料形成。

6.根据权利要求1所述的一体化灯设备，其特征在于所述导电线保护套管的内部用陶瓷填充。

7.根据权利要求1所述的一体化灯设备，其特征在于所述固定部件包括：

所述导电线所穿过的主体柱；以及

突起凸缘，其沿着圆周方向从所述主体柱的侧壁伸出。

8.根据权利要求7所述的一体化灯设备，其特征在于密封件插入凹槽形成于指向安置所述灯丝组件的方向的所述突起凸缘的表面上。

9.根据权利要求1所述的一体化灯设备，其特征在于所述固定部件包括：

上部固定部件，其具有沿着其圆周从一个端面伸出的上部凸缘；

下部固定部件，其具有沿着其圆周从一个端面伸出以接触所述上部凸缘的下部凸缘；以及

耦合部件，其耦合所述上部凸缘与所述下部凸缘。

10.根据权利要求9所述的一体化灯设备，其特征在于所述上部固定部件包括：

上部柱体；

上部凸缘，其沿着其圆周从所述上部柱体的一个端面伸出；

耦合突起主体，其从所述上部柱体的表面伸出从而接触所述下部固定部件，且在突起表面上具有导电引线插头插入凹槽；以及

外部电源连接线，其连接到所述引线插头插入凹槽而伸出外部。

11.根据权利要求10所述的一体化灯设备，其特征在于所述下部固定部件包括：

下部柱体；

下部凸缘，其沿着其圆周从所述下部柱体的一个端面伸出，与所述上部凸缘相对；以及

耦合凹槽，其具有从所述下部柱体的表面凹进从而接触所述上部固定部件的阶梯形表面，且由面向所述引线插头插入凹槽从阶梯形表面伸出的引线插头形成。

12.根据权利要求11所述的一体化灯设备，其进一步包括：

主体耦合密封件插入凹槽，其形成于指向安置所述灯丝组件的方向的所述下部凸缘的表面上，且其上安置密封件；以及

凸缘耦合密封件插入凹槽，其形成于所述下部凸缘的表面上从而接触所述上部凸缘，且其上安置密封件。

13.一种用于制造一体化灯设备的方法，用于制造根据权利要求1-12中任一项所述的一体化灯设备，所述一体化灯设备安装于热处理设备的加热器外壳，其特征在于所述方法包括：

制备具备产生热的所述灯丝的所述灯丝组件；

将所述导电线连接到所述灯丝组件；

允许所述导电线穿过所述耐热加固部件的内部，且将所述耐热加固部件的一端固定地耦合到所述灯丝组件以便不会与所述灯丝组件分离；

允许穿过所述耐热加固部件的所述导电线伸出，穿过所述导电线保护套管及将所述导电线保护套管的一端固定地耦合到所述耐热加固部件的另一端以便不会与所述耐热加固部件分离；以及

允许穿过所述导电线保护套管的所述导电线伸出，穿过可耦合到所述加热器外壳的所述固定部件，及将所述固定部件固定地耦合到所述导电线保护套管。

14.根据权利要求13所述的方法，其特征在于在将所述固定部件固定地耦合到所述导电线保护套管的另一端之前，所述导电线保护套管的内部用陶瓷填充。