CN104614492A - 高灵敏度气体传感器件、制备方法及有毒气体监测系统 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种高灵敏度气体传感器件的制备方法，包括以下步骤：S1、对含有介电层的硅基底进行清洗，对表面进行处理；S2、在所述硅基底上自组装高分子微球模板，形成单层阵列模板；S3、在所述单层阵列模板上沉积掺杂金属氧化物薄膜；S4、去除所述硅基底上的单层阵列模板，进行退火处理，形成高灵敏度的多孔结构薄膜；S5、在上述多孔结构薄膜上建立金属电极阵列形成金属氧化物多孔薄膜传感器阵列；S6、将所述传感器阵列集成到电路板上，从而制备得到所述气体传感器件。本发明还提供了一种高灵敏度气体传感器件和基于该气体传感器件的有毒气体监测系统。本发明的气体传感器件灵敏度高、其制备方法简单易行，监测系统中器件较小，方便携带。
Description
技术领域
本发明涉及环境监测领域，尤其涉及一种高灵敏度气体传感器件的制备方法、气体传感器件及有毒气体监测系统。
背景技术
近些年，各大媒体频繁报道突发性毒气泄漏事件，人们对于检测有毒气体泄露也越来越关注。有毒气体如一氧化碳、硫化氢、二氧化碳、二氧化硫等对人体产生重大危害，然而，由于传统的有毒气体检测方法测试时间长，测试仪器需要专业人员进行操作，操作繁杂，且不易现场使用等特点而得不到有效推广。一般情况下，需要使用有毒气体检测装置的是非专业人员，为了能够在较大的地域内对有毒气体进行快速检测，这就要求有毒气体检测装置必须具有响应速度快、操作简单、微型化和便携式的特点。
有毒气体检测涉及到气体传感器技术，目前气体传感器有很多种类型，其中半导体型气体传感器由于其便于小型化集成电路设计、成本低廉、批量大等优点被广泛使用。然而，大多数半导体型传感器由于制造过程繁杂、成本高、气体浓度低时灵敏度低、稳定性不好、只能检测单一的有毒气体等一系列问题使其不能很好地应用于有毒气体检测装置上。
另外，当今社会发展越来越快，无线连接技术、网络技术及与电子技术的结合程度越来越高，智能化和人性化要求也越来越高。将气体传感器与无线连接技术、网络技术相结合，对有毒气体进行同步检测、实时监测极大方便人们及时检测到有毒气体。因此，如何制造出一种微型、可靠、便携、高灵敏度、能实时监测不同有毒气体的检测系统具有十分重要的意义。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于如何克服现有的有毒气体监测系统中的气体传感器灵敏度不高、稳定性不好、不能集成到较小的芯片上，监测系统检测的有毒气体单一、不能随身携带、不能实时监控的缺陷。
为了解决上述技术问题，本发明提供了一种高灵敏度气体传感器件的制备方法，包括以下步骤：
S1、对含有介电层的硅基底进行清洗，并进行表面处理；
S2、在所述硅基底上自组装高分子微球模板，形成单层阵列模板；
S3、在所述单层阵列模板上通过物理方式沉积掺杂金属氧化物薄膜；
S4、去除所述硅基底上的单层阵列模板，进行退火处理，使所述掺杂金属氧化物薄膜覆盖在硅基底上并形成多孔结构薄膜；
S5、在所述多孔结构薄膜上建立金属电极阵列形成金属氧化物多孔薄膜传感器阵列；
S6、将所述传感器阵列集成到电路板上，并在电路板上配置信号处理器，从而制备得到所述气体传感器件。
其中，步骤S1中，对硅基底进行表面处理的方法有两种，分别为：
1、将硅基底放入双氧水与浓硫酸体积比为1:1～3的溶液中，在水浴锅中70～90℃下处理30～60min。
2、利用等离子体轰击硅基底。
具体地，所述步骤S3中掺杂金属氧化物所掺杂的元素为铜、锌、铁、钴和镍元素的一种或多种，所述金属氧化物为SnOx、ZnOx和InOx中的一种或多种。
具体地，所述步骤S2中高分子微球模板为直径为200nm～2μm的聚苯乙烯或聚甲基丙烯酸甲酯微球模板。
进一步地，所述转移到阵列芯片的有源区上的多孔结构薄膜为单层多孔薄膜或者为通过重复步骤S3后执行步骤S4制备得到多层多孔薄膜，所述步骤S4中的多孔结构薄膜厚度为20～500nm。
具体地，所述步骤S4中退火处理的温度为300℃～800℃，处理时间为1h-5h。
相应地，本发明还提供了一种气体传感器件，所述气体传感器件是由上述方法制备而得的。
相应地，本发明还提供了一种有毒气体监测系统，包括上述可穿戴设备、数据处理装置和显示装置，所述可穿戴设备包括气体传感器件，所述数据处理装置分别与可穿戴设备和显示装置连接，
所述可穿戴设备，用于探测环境中气体信号，并将所探测的气体信号传输至所述数据处理装置；
所述数据处理装置，用于对所述气体信号进行数据分析，并将数据分析结果传输给显示装置；
所述显示装置，用于显示所述数据分析结果。
进一步地，所述可穿戴设备和显示装置均设置有蓝牙适配器，所述可穿戴设备与数据处理装置之间、以及数据处理装置与显示装置之间通过无线传输模式进行传输。
具体地，所述显示装置安装有针对该系统开发的应用软件。
具体地，所述气体传感器件包括一个或多个传感单元，所述传感单元为不同元素掺杂的金属氧化物、相同元素掺杂的不同金属氧化物或者相同元素掺杂的相同金属氧化物多孔结构薄膜材料，所述不同的多孔结构薄膜材料对不同气体的灵敏度不同。
具体地，所述气体传感器件中的信号处理器处理所探测的气体信号并将所述气体信号转化为数字信号，将所述数字信号通过蓝牙无线形式发送到数据处理装置。
本发明的气体传感器件、制备方法及基于该气体传感器件的有毒监测系统，具有如下有益效果：
1、本发明中通过掺杂不同元素或者利用不同金属氧化物获得对某种气体或者多种气体灵敏度高的材料，从而能够非常灵敏地检测多种气体。
2、本发明的气体传感器件在气体浓度很低时，能非常灵敏地检测到有毒气体，且稳定性强。
3、本发明的气体传感器的制备方法简单易行，重复性好；监测系统能检测到多种气体，器件较小，方便携带。
4、本发明监测系统利用蓝牙传输形式，有效解决了在一些现场没有wifi，无法实现即时、方便的监测有毒气体的问题；将本发明气体传感器件设置在可穿戴设备上，增加了可穿戴设备的功能，同时与针对该系统开发的应用软件相配合使用，使得用户能够随时随地且方便地检测到有毒气体。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它附图。
图1是本发明的有毒气体监测系统示意图；
图2是本发明实施例四中的聚苯乙烯微球在硅基底上自组装成单层模板的SEM图；
图3是本发明实施例四中的利用氧等离子体处理聚苯乙烯微球后的SEM图；
图4是本发明实施例四中磁控溅射镀膜后的结构的SEM图；
图5是本发明实施例四中的用甲苯清洗且退火处理后的多孔结构薄膜的SEM图；
图6是本发明实施例四中的多孔薄膜敏感材料对不同浓度硫化氢气体的灵敏度曲线。
图中：1-电路板，2-传感单元，3-可穿戴设备，4-显示装置。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例一：
本发明实施例提供了一种高灵敏度气体传感器件的制备方法，包括以下步骤：
S1、对含有介电层的硅基底进行清洗，将硅基底放入双氧水与浓硫酸体积比为1:1的溶液中，在水浴锅中70℃下处理30min，使其表面带有亲水基团；
S2、在所述硅基底上自组装直径为200nm的聚苯乙烯(PS，Polystyrene)微球模板，形成单层阵列模板；
S3、在所述单层阵列模板上通过磁控溅射方式沉积钴掺杂氧化锌薄膜；
S4、利用甲苯去除所述硅基底上的单层阵列模板，在300℃下退火处理1h，使所述钴掺杂氧化锌薄膜覆盖在硅基底上并形成高灵敏度的单层多孔结构薄膜，所述多孔结构薄膜的厚度为20nm；
S5、在所述多孔结构薄膜上建立金属电极阵列形成金属氧化物多孔薄膜传感器阵列；
S6、将所述传感器阵列集成到电路板1上，并在电路板1上配置信号处理器，从而制备得到所述气体传感器件。
相应地，本发明实施例还提供了一种气体传感器件，所述气体传感器件是由上述方法制备而得的。
相应地，本发明实施例还提供了一种有毒气体监测系统，包括可穿戴设备3、数据处理装置和显示装置4，所述可穿戴设备3包括上述气体传感器件，所述数据处理装置分别与可穿戴设备3和显示装置4连接，
所述可穿戴设备3，用于探测环境中气体信号，并将所探测的气体信号传输至所述数据处理装置；
所述数据处理装置，用于对所述气体信号进行数据分析，并将数据分析结果传输给显示装置4；
所述显示装置4，用于显示所述数据分析结果。
其中，所述可穿戴设备3和显示装置4均设置有蓝牙适配器，所述可穿戴设备3与数据处理装置之间、以及数据处理装置与显示装置4之间通过蓝牙进行传输。所述显示装置4安装有针对该系统开发的应用软件。
所述气体传感器件包括一个传感单元2，所述传感单元2的敏感材料为钴掺杂氧化锌薄膜材料，所述传感单元2对硫化氢、一氧化碳气体的灵敏度非常高。
所述气体传感器件中的信号处理器处理所探测的气体信号并将所述气体信号转化为数字信号，将所述数字信号通过蓝牙形式发送到数据处理装置。
本发明实施例中的气体传感器件、制备方法及基于该气体传感器件的有毒监测系统，具有如下有益效果：
1、本发明实施例中的钴掺杂氧化锌的高灵敏度薄膜材料能够非常灵敏地检测硫化氢和一氧化碳气体。
2、本发明实施例的气体传感器件在气体浓度很低时，能非常灵敏地检测到硫化氢和一氧化碳气体，且稳定性强。
3、本发明实施例的气体传感器的制备方法简单易行，重复性好；监测系统能检测到硫化氢和一氧化碳气体，器件较小，方便携带。
4、本发明实施例的监测系统利用蓝牙传输形式，有效解决了在一些现场没有wifi，无法实现即时、方便的监测有毒气体的问题；将本发明气体传感器件设置在可穿戴设备上，增加了可穿戴设备的功能，同时与针对该系统开发的应用软件相配合使用，使得用户能够随时随地且方便地检测到有毒气体。
实施例二：
本发明实施例提供了一种高灵敏度气体传感器件的制备方法，包括以下步骤：
S1、对含有介电层的硅基底进行清洗，将硅基底放入双氧水与浓硫酸体积比为1:2的溶液中，在水浴锅中80℃下处理60min，使其表面带有亲水基团；
S2、在所述硅基底上自组装直径为2μm的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA，polymethyl methacrylate)微球模板，形成单层阵列模板；
S3、在所述单层阵列模板上通过电子束蒸发的方式沉积锌掺杂氧化铟薄膜；
S4、利用甲苯去除所述硅基底上的单层阵列模板，在500℃下退火处理3h，使所述锌掺杂氧化铟薄膜覆盖在硅基底上并形成高灵敏度的单层多孔结构薄膜，所述单层多孔结构薄膜厚度为300nm；
S5、在所述多孔结构薄膜上建立金属电极阵列形成金属氧化物多孔薄膜传感器阵列；
S6、将所述传感器阵列集成到电路板1上，并在电路板1上配置信号处理器，从而制备得到所述气体传感器件。
相应地，本发明还提供了一种气体传感器件，所述气体传感器件是由上述方法制备而得的。
本发明还提供了一种有毒气体监测系统，包括可穿戴设备3、数据处理装置和显示装置4，所述可穿戴设备3包括上述气体传感器件，所述数据处理装置分别与可穿戴设备3和显示装置4连接，
所述可穿戴设备3，用于探测环境中气体信号，并将所探测的气体信号传输至所述数据处理装置；
所述数据处理装置，用于对所述气体信号进行数据分析，并将数据分析结果传输给显示装置4；
所述显示装置4，用于显示所述数据分析结果。
其中，所述可穿戴设备3和显示装置4均设置有蓝牙适配器，所述可穿戴设备3与数据处理装置之间、以及数据处理装置与显示装置4之间通过蓝牙进行传输。所述显示装置4安装有针对该系统开发的应用软件。
所述气体传感器件包括四个传感单元2，所述传感单元2的敏感材料为锌掺杂氧化铟薄膜材料，所述传感单元2对氢气和二氧化碳气体的灵敏度非常高。
所述气体传感器件中的信号处理器处理所探测的气体信号并将所述气体信号转化为数字信号，将所述数字信号通过蓝牙形式发送到数据处理装置。
本发明实施例中的气体传感器件、制备方法及基于该气体传感器件的有毒监测系统，具有如下有益效果：
1、本发明实施例中的锌掺杂氧化铟的高灵敏度薄膜材料能够非常灵敏地检测氢气和二氧化碳气体。
2、本发明实施例的气体传感器件在气体浓度很低时，能非常灵敏地检测到氢气和二氧化碳气体，且稳定性强。
3、本发明实施例的气体传感器的制备方法简单易行，重复性好；监测系统能检测到氢气和二氧化碳气体，器件较小，方便携带。
4、本发明实施例的监测系统利用蓝牙传输形式，有效解决了在一些现场没有wifi，无法实现即时、方便的监测有毒气体的问题；将本发明气体传感器件设置在可穿戴设备上，增加了可穿戴设备的功能，同时与针对该系统开发的应用软件相配合使用，使得用户能够随时随地且方便地检测到有毒气体。
实施例三：
本发明实施例提供了一种高灵敏度气体传感器件的制备方法，包括以下步骤：
S1、对含有介电层的硅基底进行清洗，将硅基底放入双氧水与浓硫酸体积比为1:3的溶液中，在水浴锅中90℃下处理40min，使其表面带有亲水基团；
S2、在所述硅基底上自组装直径为1μm的PMMA微球模板，形成单层阵列模板；
S3、在所述单层阵列模板上通过磁控溅射的方式沉积锌掺杂氧化铟薄膜，再次通过磁控溅射的方式在所述锌掺杂氧化铟薄膜表面上沉积铁掺杂氧化锡薄膜；
S4、利用甲苯去除所述硅基底上的单层阵列模板，在800℃下退火处理5h，使所述锌掺杂氧化铟薄膜和铁掺杂氧化锡薄膜覆盖在硅基底上并形成高灵敏度的双层多孔结构薄膜，所述双层多孔薄膜厚度为500nm；
S5、在所述多孔结构薄膜上建立金属电极阵列形成金属氧化物多孔薄膜传感器阵列；
S6、将所述传感器阵列集成到电路板1上，并在电路板1上配置信号处理器，从而制备得到所述气体传感器件。
相应地，本发明还提供了一种气体传感器件，所述气体传感器件是由上述方法制备而得的。
本发明还提供了一种有毒气体监测系统，包括可穿戴设备3、数据处理装置和显示装置4，所述可穿戴设备3包括上述气体传感器件，所述数据处理装置分别与可穿戴设备3和显示装置4连接，
所述可穿戴设备3，用于探测环境中气体信号，并将所探测的气体信号传输至所述数据处理装置；
所述数据处理装置，用于对所述气体信号进行数据分析，并将数据分析结果传输给显示装置4；
所述显示装置4，用于显示所述数据分析结果。
其中，所述可穿戴设备3和显示装置4均设置有蓝牙适配器，所述可穿戴设备3与数据处理装置之间、以及数据处理装置与显示装置4之间通过蓝牙进行传输。所述显示装置4安装有针对该系统开发的应用软件。
所述气体传感器件包括八个传感单元2，所述传感单元2的敏感材料为锌掺杂氧化铟和铁掺杂氧化锡双层薄膜材料，所述气体传感器件对一氧化碳和氨气的灵敏度非常高。
所述气体传感器件中的信号处理器处理所探测的气体信号并将所述气体信号转化为数字信号，将所述数字信号通过蓝牙形式发送到数据处理装置。
本发明实施例中的气体传感器件、制备方法及基于该气体传感器件的有毒监测系统，具有如下有益效果：
1、本发明实施例中的锌掺杂氧化铟和铁掺杂氧化锡双层薄膜材料能够非常灵敏地检测一氧化碳和氨气。
2、本发明实施例中的气体传感器件在气体浓度很低时，能非常灵敏地检测到一氧化碳和氨气，且稳定性强。
3、本发明实施例的气体传感器的制备方法简单易行，重复性好；监测系统能检测到一氧化碳和氨气，器件较小，方便携带。
4、本发明实施例的监测系统利用蓝牙传输形式，有效解决了在一些现场没有wifi，无法实现即时、方便的监测有毒气体的问题；将本发明气体传感器件设置在可穿戴设备上，增加了可穿戴设备的功能，同时与针对该系统开发的应用软件相配合使用，使得用户能够随时随地且方便地检测到有毒气体。
实施例四：
请参见图1至图6，本发明实施例提供了一种高灵敏度气体传感器件的制备方法，包括以下步骤：
S1、对含有介电层的硅基底进行清洗，利用等离子体轰击硅片，使其表面带有亲水基团；
S2、在所述硅基底上自组装直径为1μm的PS微球模板，形成单层阵列模板；
S3、在所述单层阵列模板上通过磁控溅射的方式沉积铜掺杂氧化锡薄膜，再次通过磁控溅射的方式在所述铜掺杂氧化锡薄膜表面上沉积氧化铟薄膜；
S4、利用甲苯去除所述硅基底上的单层阵列模板，在700℃下退火处理4h，使所述铜掺杂氧化锡薄膜和氧化铟薄膜覆盖在硅基底上并形成高灵敏度的双层多孔结构薄膜，所述双层多孔薄膜厚度为200nm；
S5、在所述多孔结构薄膜上建立金属电极阵列形成金属氧化物多孔薄膜传感器阵列；
S6、将所述传感器阵列集成到电路板1上，并在电路板1上配置信号处理器，从而制备得到所述气体传感器件。
如下表所示，下表为铜掺杂的双层多孔氧化物薄膜的EDS元素能谱分析表，分析结果表明，在双层多孔氧化物薄膜中铜元素的重量比为5.96％，原子比为1.92％，证明了成功掺杂了铜元素。
| 元素 | 重量比(％) | 原子比(％) |
| O | 73.82 | 94.59 |
| Sn | 20.21 | 3.49 |
| Cu | 5.96 | 1.92 |
图6为多孔薄膜敏感材料对不同浓度硫化氢气体的灵敏度曲线，在180℃的操作温度下，对于100ppm的硫化氢气体，其灵敏度高达25.5，而响应时间和恢复时间也分别只有10s和40s。
同时本发明实施例中的多孔薄膜敏感材料对不同浓度的硫化氢气体的具有长期稳定性。
相应地，本发明还提供了一种气体传感器件，所述气体传感器件是由上述方法制备而得的。
本发明还提供了一种有毒气体监测系统，包括可穿戴设备3、数据处理装置和显示装置4，所述可穿戴设备3包括上述气体传感器件，所述数据处理装置分别与可穿戴设备3和显示装置4连接，
所述可穿戴设备3，用于探测环境中气体信号，并将所探测的气体信号传输至所述数据处理装置；
所述数据处理装置，用于对所述气体信号进行数据分析，并将数据分析结果传输给显示装置4；
所述显示装置4，用于显示所述数据分析结果。
其中，所述可穿戴设备3和显示装置4均设置有蓝牙适配器，所述可穿戴设备3与数据处理装置之间、以及数据处理装置与显示装置4之间通过蓝牙进行传输。所述显示装置4安装有针对该系统开发的应用软件。
所述气体传感器件包括十六个传感单元2，所述传感单元2的敏感材料为铜掺杂氧化锡和氧化铟双层薄膜材料，所述气体传感器件对硫化氢和一氧化碳的灵敏度非常高。
所述气体传感器件中的信号处理器处理所探测的气体信号并将所述气体信号转化为数字信号，将所述数字信号通过蓝牙形式发送到数据处理装置。
本发明实施例中的气体传感器件、制备方法及基于该气体传感器件的有毒监测系统，具有如下有益效果：
1、本发明实施例中的铜掺杂氧化锡和氧化铟双层薄膜材料能够非常灵敏地检测硫化氢和一氧化碳气体。
2、本发明实施例的气体传感器件在气体浓度很低时，能非常灵敏地检测到硫化氢和一氧化碳气体，且稳定性强。
3、本发明实施例的气体传感器的制备方法简单易行，重复性好；监测系统能检测到硫化氢和一氧化碳气体，器件较小，方便携带。
4、本发明实施例的监测系统利用蓝牙传输形式，有效解决了在一些现场没有wifi，无法实现即时、方便的监测有毒气体的问题；将本发明气体传感器件设置在可穿戴设备上，增加了可穿戴设备的功能，同时与针对该系统开发的应用软件相配合使用，使得用户能够随时随地且方便地检测到有毒气体。
以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.高灵敏度气体传感器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、对含有介电层的硅基底进行清洗，并进行表面处理；
S2、在所述硅基底上自组装高分子微球模板，形成单层阵列模板；
S3、在所述单层阵列模板上通过物理方式沉积掺杂金属氧化物薄膜；
S4、去除所述硅基底上的单层阵列模板，进行退火处理，使所述掺杂金属氧化物薄膜覆盖在硅基底上并形成多孔结构薄膜；
S5、在所述多孔结构薄膜上建立金属电极阵列形成金属氧化物多孔薄膜传感器阵列；
S6、将所述传感器阵列集成到电路板上，并在电路板上配置信号处理器，从而制备得到所述气体传感器件。
2.根据权利要求1所述的高灵敏度气体传感器件的制备方法，其特征在于，所述步骤S3中掺杂金属氧化物所掺杂的元素为铜、锌、铁、钴和镍元素的一种或多种，所述金属氧化物为SnOx、ZnOx和InOx中的一种或多种。
3.根据权利要求2所述的高灵敏度气体传感器件的制备方法，其特征在于，所述步骤S2中高分子微球模板为直径为200nm～2μm的聚苯乙烯或聚甲基丙烯酸甲酯微球模板。
4.根据权利要求2或3所述的高灵敏度气体传感器件的制备方法，其特征在于，所述多孔结构薄膜为单层多孔薄膜或者为通过重复步骤S3后执行步骤S4制备得到多层多孔薄膜，所述步骤S4中的多孔结构薄膜厚度为20～500nm。
5.根据权利要求4所述的高灵敏度气体传感器件的制备方法，其特征在于，所述步骤S4中退火处理的温度为300℃～800℃，处理时间为1h-5h。
6.高灵敏度气体传感器件，其特征在于，所述气体传感器件是由权利要求1-5所述的方法制备而得的。
7.有毒气体监测系统，其特征在于，包括可穿戴设备、数据处理装置和显示装置，所述可穿戴设备包括权利要求6所述的气体传感器件，所述数据处理装置分别与可穿戴设备和显示装置连接，
所述可穿戴设备，用于探测环境中气体信号，并将所探测的气体信号传输至所述数据处理装置；
所述数据处理装置，用于对所述气体信号进行数据分析，并将数据分析结果传输给显示装置；
所述显示装置，用于显示所述数据分析结果。
8.根据权利要求7所述的有毒气体监测系统，其特征在于，所述可穿戴设备和显示装置均设置有蓝牙适配器，所述可穿戴设备与数据处理装置之间、以及数据处理装置与显示装置之间通过无线传输模式进行传输。
9.根据权利要求8所述的有毒气体监测系统，其特征在于，所述显示装置安装有针对该系统开发的应用软件。
10.根据权利要求7-9任意一项所述的有毒气体监测系统，其特征在于，所述气体传感器件包括一个或多个传感单元，所述传感单元为不同元素掺杂的金属氧化物、相同元素掺杂的不同金属氧化物或者相同元素掺杂的相同金属氧化物的多孔结构薄膜材料，所述不同的多孔结构薄膜材料对不同气体的灵敏度不同。
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2015
- 2015-01-22 CN CN201510032678.2A patent/CN104614492B/zh active Active
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Application publication date: 20150513 Assignee: Jiangsu Zhiwen Intelligent Sensing Technology Co., Ltd. Assignor: SUZHOU HUIWEN NANO TECHNOLOGY CO., LTD. Contract record no.: 2018320010057 Denomination of invention: High-sensitivity gas sensor device, high-sensitivity gas sensor device preparation method and toxic gas monitoring system Granted publication date: 20160706 License type: Common License Record date: 20181116 |