CN104584202B - 载置口及载置口的开闭方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供具备扬尘少、并且开闭机构简单的挡板的载置口。载置口在输送装置或处理装置与作业者之间在洁净室内中继物品。载置口具备：物品的载置台；输送装置或处理装置用来与上述载置台之间使物品通过的装置侧开口；面向作业者通道的通道侧开口；设置在开闭装置侧开口的位置上、并且由弧形板或者沿弧线弯曲的板构成的挡板；使挡板绕规定的轴在打开装置侧开口的状态与关闭装置侧开口的状态之间摆动的摆动机构。

Description

载置口及载置口的开闭方法
技术领域
本发明涉及载置物品的载置口及其开闭方法。
背景技术
储料器为在洁净室内保管半导体晶片等物品的装置，在内部具备输送装置和货架，作业者通过载置口搬入搬出物品。其中，为了防止作业者与输送装置干涉，利用挡板开闭载置口的输送装置一侧的开口。但是，如果使挡板沿水平方向滑动的话，则挡板进入相邻的货架，产生死区。
为了解决这个问题，专利文献1(JP4185818B)提出了通过用滚轮引导薄片状挡板来开闭开口的方案。如果用滚轮引导薄板，则容易扬起灰尘，并且由于薄片状挡板容易弯曲，因此需要空间，而且耐久性不够。为了引导挡板的顶端，需要直线运动机构，需要成本并且扬尘大。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：JP4185818B
发明内容
发明的概要
发明要解决的课题
本发明的课题为提供一种具备扬尘少、并且开闭机构简单的挡板的载置口及其开闭方法。
用于解决课题的
本发明为在输送装置或处理装置与作业者之间、在洁净室内中继物品的载置口，其特征在于，具备：物品的载置台；输送装置或处理装置用来与上述载置台之间交接物品的装置侧开口；面向作业者通道的通道侧开口；设置在开闭装置侧开口的位置上、并且由弧形板或者沿弧线弯曲的板构成的挡板；以及使上述挡板在打开装置侧开口的状态与关闭装置侧开口的状态之间围绕规定的轴摆动的摆动机构。
本发明中，通过由弧形板或者沿弧线弯曲的板构成的挡板围绕规定的轴摆动来开闭开口。由于使挡板摆动，因此滑动部和直线运动机构都不需要，扬尘少，并且低成本。而且，挡板为板状，与薄片状的挡板相比强度高、并且不容易弯曲。另外，也可以将多块板组合作为挡板。
最好是上述挡板由一对挡板构成；上述规定的轴由一对轴构成，并且一根轴与一块挡板相对应，另外的轴与另外的挡板相对应；上述摆动机构由以下部分构成：设置在上述相对于一对挡板对称位置上的驱动轴，使上述驱动轴转动的电动机，上述一对轴，通过驱动轴的转动使上述一对轴朝相反方向并且仅以相同角度摆动的连杆机构，安装在上述一对挡板上、使上述一对挡板围绕上述一对轴摆动的一对连结部件；上述一对轴设置在关于上述驱动轴对称并且互相离开的位置上。上述连杆机构的结构为：在上述一对挡板关闭之际，作用于连结部件的力不传递给驱动轴。
通过设置一对挡板，能够使用来收容关闭状态的挡板的空间变窄。并且，利用设置在相对于一对挡板对称位置上的驱动轴、使驱动轴转动的电动机、设置在关于驱动轴对称并且互相离开的位置上的一对轴、通过驱动轴的转动使一对轴朝相反方向并且仅以相同角度摆动的连杆机构，能够使一对连结部件朝相反方向摆动相同的角度。并且，由于一对挡板关闭之际施加给连结部件的力不会传递给驱动轴，因此电动机不设置制动器也可以。
最好是上述一对挡板为左右一对挡板，上述驱动轴和上述轴为铅垂轴。如果这样，能够将打开状态的挡板收容到载置口左右空的空间内。
最好是上述连杆机构由在长度方向的中央部安装在上述驱动轴上的曲柄和一对连接杆构成；上述一对连接杆的一端转动自由地安装在上述曲柄的两端上，另一端在离开上述一对轴的位置上转动自由地安装在上述一对连结部件上；并且上述一对挡板关闭时，上述一对连接杆的上述一端位于各死点位置地构成。如果这样，能够用4节连杆确实地开闭一对挡板，即使意外地施加了力，挡板也不会打开。
尤其优选的是，上述摆动机构设置在载置口的下部，并且设置有将上述摆动机构与上述载置台之间隔开的间隔件。如果这样，能够用间隔件遮挡来自摆动机构的扬尘，使其不到达物品。
最好是上述间隔件为平板状，并且在上述左右一对挡板上设置有收容上述平板侧面的沟槽。如果这样，手指等不容易夹到间隔件的侧面与挡板之间的间隙中。
最优选的是，在载置口的上部与设置在载置口下部的上述一对连结部件分开而另外设置有安装在上述左右一对挡板的上部、与上述一对轴同轴摆动的一对上部连结部件；上述左右一对挡板通过设置在载置口下部的上述一对连结部件和上述一对上部连结部件与载置口的其他部分不接触地支承着。如果这样，由于挡板不与周围部件接触地开闭，因此能够将扬尘减到非常少的量。
并且，本发明为在输送装置或处理装置与作业者之间、在洁净室内中继物品的载置口的开闭方法，上述载置口具备：物品的载置台，输送装置或处理装置用来与上述载置台之间使物品通过的装置侧开口，面向作业者通道的通道侧开口，设置在开闭装置侧开口的位置上、并且由弧形板或者沿弧线弯曲的板构成的挡板，以及使上述挡板在打开装置侧开口的状态与关闭装置侧开口的状态之间围绕规定的轴摆动的摆动机构；通过使上述挡板围绕上述规定的轴摆动来开闭上述装置侧开口。
附图说明
图1为实施例的载置口的局部切口的俯视图，取下了上板进行表示；
图2为表示挡板开闭用连杆机构的俯视图，挡板关闭；
图3为表示挡板开闭用连杆机构的俯视图，挡板打开；
图4为实施例的载置口的主要部分侧视图，取下一侧的挡板进行表示；
图5为表示挡板变形例的俯视图。
具体实施方式
下面叙述实施本发明的优选实施例。本发明的范围应该根据权利要求范围的记载、参照说明书的记载和本领域的众所周知的技术，依照本领域技术人员的理解确定。
实施例
图1～图4表示实施例的载置口2。载置口2具备装置侧开口3(以下简称“开口3”)，载置口2用于在洁净室内输送半导体晶片、分划板、平板显示器基板等之际，设置在例如保管收容有这些物品的容器的储料器4内。另外，以下将容器简称为物品。6为货架，载置口2设置在其一部分上，8为输送空间，堆垛起重机等输送装置10沿轨道9行走，在储料器4的内部输送物品。载置口2为从储料器4取出放入物品时的口，通过手动或无人输送车等从通道12一侧的开口向载置口2内搬入物品，用输送装置10向货架6的门面(間口)输送，反之，从输送装置10向载置口2搬入物品，通过手动或无人输送车等向通道12一侧搬出。14、15为储料器4的支柱。
为了避免人等与输送装置10干涉，在输送装置10的输送空间8与载置口2的边界设置左右一对板状的挡板16、17。挡板16、17各由一块金属板等构成，俯视为弧形，不能折叠，不具备门滑轮等。在挡板16、17互相接触的部分最好设置弹性部18、19，防止接触引起的扬尘等。挡板16、17以轴30为中心围绕铅垂轴在规定的范围内摆动，用盖20覆盖载置口2左右的侧面，如果挡板16、17打开，则移动到盖20的内侧，此时挡板16、17与盖20不接触。并且，挡板16、17在载置口2的入口打开的状态与像图1那样将入口关闭的状态之间摆动。
挡板16、17的开闭机构表示在图2、图3中。另外，图1～图3中取下了上板进行表示。22为驱动轴，位于关于挡板16、17对称的位置上，使曲柄38转动。24、25为连接杆，使安装在挡板16、17上的臂26、28围绕配置在关于驱动轴22对称的位置上的一对轴30、30摆动例如90°。驱动轴22被电动机32在例如180°的范围内转动，电动机32不具备制动器。并且，挡板16、17被臂62和与轴30、30同轴的轴64(图4)从载置口2的上侧摆动自由地支承，悬浮在载置口2的其他部件之上。轴34、35连结曲柄38和连接杆24、25，轴36、37连结连接杆24、25和臂26、28。并且，图2的点划线表示轴36、37的摆动范围(约90°)。而且，轴22、30、34～37由轴承等构成。
无论是像图2所示那样关闭挡板16、17的状态还是像图3所示那样打开挡板16、17的状态，轴34、35都位于死点，虽然能够用电动机32开闭挡板16、17，但难以使曲柄38从挡板16、17一侧摆动。因此，挡板16、17不会意外开闭，电动机32没有必要设置制动器。另外，由于挡板16、17不意外打开非常重要，因此在像图2所示那样挡板16、17关闭的状态下轴34、35处于死点就可以，图3的状态下没有必要必须处于死点。
图1的40为操作面板，用于作业者或无人输送车操作储料器4或者与储料器4通信。42为磁性传感器，检测例如金属板挡板17，确认挡板16、17关闭。另外，在挡板16、17用塑料板构成的情况下，在磁性传感器42检测的位置设置金属板或者金属电镀，或者也可以不用磁性传感器42而用反射型的光投射/接收传感器检测挡板16、17。并且，储料器4的未图示的地面控制器控制挡板16、17的开闭，挡板16、17一直关闭，当没有用磁性传感器42确认挡板16、17关闭时，禁止输送装置10进入面向载置口2的区域。当输送装置10到达载置口2时，从例如操作面板40等提醒作业者注意，并且开闭挡板16、17搬入搬出物品。
图4表示从侧面看的载置口2，取下了一侧的挡板16进行表示。50为成为载置口2根部的下板，52为上板，用支柱53固定在下板50上，在上板52上设置有载置台54，载置FOUP等物品56。在载置台54的底面与上板52之间设置有移载空间57，输送装置10等的水平多关节臂、滑动叉等能够进入。上板52与挡板16、17之间的间隙最好不夹手指。因此，如图4的左下所示，在挡板16、17上设置沟槽58，将上板52顶端的侧面收容到沟槽58内。60为载置口2的顶板，在俯视与臂26、28重合的位置上设置臂62，利用与轴30、30同轴的轴64支承挡板16、17。另外，臂62和轴64左右设置一对。并且，挡板16、17利用臂26、28、62等支承，其他部分从载置口2悬浮。
说明实施例的动作。挡板16、17一直关闭，作业者或无人输送车操作操作面板40或与操作面板40通信，将物品56搬入搬出到载置台54上。输送装置10将物品56搬入搬出到载置台54上，当没有用磁性传感器42确认挡板16、17关闭时，使输送装置10不进入与载置口2相接的区域。并且，利用操作面板40确认作业者或无人输送车搬入搬出物品，一直到搬入搬出结束都禁止打开挡板16、17。当输送装置10停止在与载置口相接的位置时，开闭挡板16、17来搬入搬出物品56。其中，当输送装置10接近载置口2之际，从操作面板40等呼吁作业者注意，并且禁止无人输送车的访问。
挡板16、17的开闭机构总结如下。
1)通过左右一对板状挡板16、17围绕轴30、30摆动，载置口2的开口3开闭。
2)挡板16、17当打开时隐藏在盖20的内侧。
3)从一对挡板16、17看，在左右对称的位置上具有驱动轴22，在不具备制动器的电动机32的作用下转动。
4)通过使用了曲柄38和连接杆24、25等的连杆机构将驱动轴22的转动变换成臂26、28围绕轴30、30左右对称的摆动。
在载置口2内的清洁度这一点上，载置口2如下地构成。
1)挡板16、17悬浮在周围结构之上，没有滑动部分，也没有用来使挡板16、17移动的直线运动机构。并且，没有使挡板16、17弯曲或者折叠等的机构。因此，伴随挡板16、17开闭的扬尘很少。
2)驱动轴22等配置在上板52的下部，与容纳物品56的空间分离。
如下地确保安全性。
1)如果没有用磁性传感器42确认挡板16、17关闭，不许输送装置10进入与载置口2相接的区域。
2)由于将上板52的侧面收容在挡板16、17上设置的沟槽58内，因此挡板16、17与上板52之间的间隙不容易夹入手指等。
3)利用操作面板40确认作业者或无人输送车搬入搬出物品，直到搬入搬出结束都禁止打开挡板16、17。
4)当输送装置10访问载置口2之际，从操作面板40等呼吁作业者注意，并且禁止无人输送车的访问。
载置口2还具备以下特征。
1)由于将挡板16、17收容在左右侧面，因此能够将挡板16、17收容到载置口2侧面的空间内。
2)由于不弯曲挡板16、17，因此耐久性高。例如薄片状的挡板强度低。
虽然实施例中叙述了朝左右打开的一对挡板16、17，但并不局限于此，例如也可以是一块轴30状的挡板，使轴30的中心为水平的部件围绕水平的中心轴摆动。但是，如果这样，则收容挡板的空间就变大。并且，也可以不是将左右一对而是将上下一对挡板互相链接使其摆动。但是，在这种情况下，载置口2的上下需要大的死区空间。另外，也可以不将载置口2作为储料器4的装载口，而是作为处理装置的装载口。而且，载置口2只要作业者能够访问就可以，无人输送车不能访问也没问题。
由于难以将挡板16、17弯曲成真正的弧形，因此图5表示更简单的例子。72、73为取代挡板16、17的挡板，在弯曲部75、76弯曲，使其沿着假想的弧线70、71。
附图标记的说明
2-载置口；3-开口；4-储料器；6-货架；8-输送空间；9-轨道；10-输送装置；12-通道；14、15-支柱；16、17-挡板；18、19-弹性部；20-盖；22-驱动轴；24、25-连接杆；26、28-臂；30-轴；32-电动机；34～37-轴；38-曲柄；40-操作面板；42-磁性传感器；50-下板；52-上板；53-支柱；54-载置台；56-物品；57-移载空间；58-沟槽；60-顶板；62-臂；64-轴。

Claims (8)

1.一种载置口，在输送装置或处理装置与作业者之间、在洁净室内中继物品，其特征在于，具备：
物品的载置台；
输送装置或处理装置用来与上述载置台之间交接物品的装置侧开口；
面向作业者通道的通道侧开口；
设置在开闭装置侧开口的位置上、并且由弧形板或者沿弧线弯曲的板构成的一对挡板；以及
使上述一对挡板在打开装置侧开口的状态与关闭装置侧开口的状态之间摆动的摆动机构；
上述摆动机构由以下部分构成：设置在相对于上述一对挡板对称位置上的驱动轴；一对挡板轴；通过驱动轴的转动使上述一对挡板轴朝相反方向并且仅以相同角度摆动的连杆机构；安装在上述一对挡板和上述一对挡板轴上、使上述一对挡板围绕上述一对挡板轴摆动的一对连结部件；
上述一对挡板轴设置在相对于上述驱动轴对称并且互相离开的位置上。
2.如权利要求1所述的载置口，其特征在于，还具备使上述驱动轴转动的电动机；
上述连杆机构的结构为：在上述一对挡板关闭之际，作用于连结部件的力不传递给驱动轴。
3.如权利要求2所述的载置口，其特征在于，上述一对挡板为左右一对挡板，上述驱动轴和上述一对挡板轴为铅垂轴。
4.如权利要求3所述的载置口，其特征在于，上述连杆机构由在长度方向的中央部安装在上述驱动轴上的曲柄和一对连接杆构成；
上述一对连接杆的一端转动自由地安装在上述曲柄的两端上，另一端在离开上述一对挡板轴的位置上转动自由地安装在上述一对连结部件上；
并且上述一对挡板关闭时，上述一对连接杆的上述一端位于各死点位置地构成。
5.如权利要求4所述的载置口，其特征在于，上述摆动机构设置在载置口的下部，并且设置有将上述摆动机构与上述载置台之间隔开的间隔件。
6.如权利要求5所述的载置口，其特征在于，上述间隔件为平板，并且在上述左右一对挡板上设置有收容上述间隔件侧面的沟槽。
7.如权利要求6所述的载置口，其特征在于，在载置口的上部，与设置在载置口下部的上述一对连结部件分开而另外设置有安装在上述左右一对挡板的上部、与上述一对挡板轴同轴摆动的一对上部连结部件；
上述左右一对挡板通过设置在载置口下部的上述一对连结部件和上述一对上部连结部件与载置口的其他部分不接触地支承着。
8.一种载置口的开闭方法，在输送装置或处理装置与作业者之间在洁净室内中继物品，上述载置口具备：
物品的载置台；
输送装置或处理装置用来与上述载置台之间使物品通过的装置侧开口；
面向作业者通道的通道侧开口；
设置在开闭装置侧开口的位置上、并且由弧形板或者沿弧线弯曲的板构成的一对挡板；以及
使上述一对挡板在打开装置侧开口的状态与关闭装置侧开口的状态之间摆动的摆动机构；
上述摆动机构由以下部分构成：设置在相对于上述一对挡板对称位置上的驱动轴；一对挡板轴；通过驱动轴的转动使上述一对挡板轴朝相反方向并且仅以相同角度摆动的连杆机构；安装在上述一对挡板和上述一对挡板轴上、使上述一对挡板围绕上述一对挡板轴摆动的一对连结部件；
上述一对挡板轴设置在相对于上述驱动轴对称并且互相离开的位置上；
通过使上述一对挡板围绕上述一对轴摆动来开闭上述装置侧开口。
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