CN104449717A - 一种铕掺杂的硼酸钇薄膜的厚度调控方法 - Google Patents
一种铕掺杂的硼酸钇薄膜的厚度调控方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN104449717A CN104449717A CN201410684988.8A CN201410684988A CN104449717A CN 104449717 A CN104449717 A CN 104449717A CN 201410684988 A CN201410684988 A CN 201410684988A CN 104449717 A CN104449717 A CN 104449717A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- film
- europium
- boric acid
- water
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 24
- FERAQKHYRHQYKD-UHFFFAOYSA-N yttrium(3+);borate Chemical compound [Y+3].[O-]B([O-])[O-] FERAQKHYRHQYKD-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 7
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title abstract description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 16
- 239000004327 boric acid Substances 0.000 claims abstract description 10
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- AEBZCFFCDTZXHP-UHFFFAOYSA-N europium(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Eu+3].[Eu+3] AEBZCFFCDTZXHP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 7
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 claims abstract description 6
- -1 boric acid ester Chemical class 0.000 claims abstract description 6
- 238000001354 calcination Methods 0.000 claims abstract description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 5
- 150000003746 yttrium Chemical class 0.000 claims abstract description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 claims abstract description 4
- 125000005619 boric acid group Chemical group 0.000 claims abstract description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims abstract description 3
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 5
- OGPBJKLSAFTDLK-UHFFFAOYSA-N europium atom Chemical compound [Eu] OGPBJKLSAFTDLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 4
- BXJPTTGFESFXJU-UHFFFAOYSA-N yttrium(3+);trinitrate Chemical compound [Y+3].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O BXJPTTGFESFXJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 29
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 3
- 238000000137 annealing Methods 0.000 abstract description 2
- 239000007888 film coating Substances 0.000 abstract 2
- 238000009501 film coating Methods 0.000 abstract 2
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 229910001940 europium oxide Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract 1
- KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N boric acid Chemical compound OB(O)O KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 4
- LGQXXHMEBUOXRP-UHFFFAOYSA-N tributyl borate Chemical compound CCCCOB(OCCCC)OCCCC LGQXXHMEBUOXRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BTBUEUYNUDRHOZ-UHFFFAOYSA-N Borate Chemical compound [O-]B([O-])[O-] BTBUEUYNUDRHOZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 2
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 2
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 238000013019 agitation Methods 0.000 description 1
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 1
- 238000000975 co-precipitation Methods 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 239000002178 crystalline material Substances 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000001027 hydrothermal synthesis Methods 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 238000003760 magnetic stirring Methods 0.000 description 1
- 239000002159 nanocrystal Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Luminescent Compositions (AREA)
- Chemically Coating (AREA)
Abstract
本发明公开了一种铕掺杂的硼酸钇薄膜的厚度调控方法,包括:1)将水溶性钇盐、氧化铕、氨水、醇和水混合;2)向步骤1)得到的混合物中加入硼源,所述硼源为硼酸或硼酸酯;3)步骤2)得到的混合物反应24~48h;4)使用浸渍提拉法对硅底片进行镀膜,镀膜速度为0.88~1.52mm/s,镀膜后置于马弗炉中进行200~600℃煅烧;此过程反复1-6次;5)薄膜达到预期厚度后置于1000℃以下进行退火,得到YBO3:Eu3+薄膜,所述预期厚度为10~100nm。本发明的优点在于:溶胶-凝胶浸渍提拉镀膜法制备YBO3:Eu3+纳米材料,具有厚度可控和特殊形貌的优势。
Description
技术领域
本发明涉及无机材料制备领域,具体涉及一种铕掺杂的硼酸钇薄膜的厚度调控方法。
背景技术
如何实现对具有厚度可控和特殊形貌的晶体材料的可控合成及性能表征,对于固体理论研究和应用具有重要意义。已经制备的各种形貌的纳米/微米晶体有棒状、管状、线状以及盒状形貌等。近年来,Eu3+掺杂的稀土硼酸盐体系作为一种理想的真空紫外(VUV)发光材料,人们在改进其合成路径、制备特殊形貌以及调节其发光性能等方面做了大量的研究工作,为实现稀土硼酸盐发光材料在等离子显示器等方面的应用提供了可靠的理论及实验依据。制备高性能的REBO3:Eu3+方法有共沉淀法、溶胶-凝胶法、固相反应法、微波加热法、高温热解法、水热法等。现有方法存在厚度不可控制或难控制、无法得到特殊形貌纳米粒子等缺点。
目前形貌和厚度控制的YBO3:Eu3+少有报道.因此如何利用简便易行的方法制备出厚度可控的特殊形貌的YBO3:Eu3+具有挑战意义。
发明内容
本发明针对现在的YBO3:Eu3+纳米材料的诸多研究工作提出一种溶胶-凝胶浸渍提拉镀膜法制备YBO3:Eu3+纳米材料,本发明具有厚度可控、特殊形貌纳米粒子的优势。
本发明的制备铕掺杂的硼酸钇薄膜的方法包括:
1、将水溶性钇盐、氧化铕、氨水、醇和水混合;
优选的,所述水溶性钇盐为六水合硝酸钇。
更优选的,所述硝酸钇、氧化铕的质量比为1.5~3.5:1:1.5。
对于溶剂而言,对于每1~1.5g的氧化铕,应当提供10~30mL的氨水,10~20mL的醇以及10~20mL的水,本领域技术人员可以根据需要灵活变更溶剂的量。此处的醇应当为水溶性的醇,尤其是具有很好的水溶性的醇,比如甲醇或者乙醇。
2、向步骤1)得到的混合物中加入硼源,所述硼源为硼酸或硼酸酯;
优选的,所述硼源为硼酸和硼酸和硼酸三丁酯的混合物,其加入的量至少应当保证硼酸根的量略大于阳离子的量,比如可以选择其和阳离子的摩尔比为1.05~20:1。
3、步骤2)得到的混合物反应24~48h;
4、使用浸渍提拉法对硅底片进行镀膜,镀膜速度为0.88~1.52mm/s,镀膜后置于马弗炉中进行200~600℃煅烧;此过程反复至薄膜达到预期厚度,后置于1000℃以下进行退火,得到YBO3:Eu3+薄膜,所述预期厚度为10~100nm。
按照本发明的方法,每进行一次步骤4的镀膜过程,可以近似看作积累一厚度约为10nm的薄膜,按照此方法可以制备几十个nm左右的薄膜,特别的,本发明尤其适合制备100nm的纳米薄膜。
与现有技术比较,本发明的优点在于:溶胶-凝胶浸渍提拉镀膜法制备YBO3:Eu3+纳米材料,具有厚度可控和特殊形貌的优势。
附图说明
图1、YBO3:Eu3+薄膜能量色散X射线图谱。
图2、YBO3:Eu3+薄膜的AFM谱图。
图3、YBO3:Eu3+薄膜的AFM立体形貌图。
具体实施方式
本发明的一种铕掺杂的硼酸钇薄膜的制备方法,包括如下的步骤:
1、以硝酸钇、氧化铕、氨水、乙醇和去离子水为原料制备出溶胶体系;
2、硼酸三丁酯和硼酸作为硼离子来源;
3、置于磁力搅拌器搅拌;
4、清洁硅底片,并放置于浸渍提拉镀膜机进行镀膜;
5、镀膜后置于马弗炉中进行煅烧;
6、煅烧之后再进行镀膜、煅烧;
7、达到预期厚度后置于马弗炉进行退火,得到YBO3:Eu3+薄膜。
实施例1:
以2.135g硝酸钇、1.243g氧化铕、20mL氨水、10mL乙醇和10mL去离子水为原料制备出溶胶体系,0.172g硼酸三丁酯和0.109g硼酸作为硼离子来源加入溶液中置于磁力搅拌器,持续搅拌5h后静置24h;清洁硅底片,并放置于浸渍提拉镀膜机进行镀膜,提拉恒速为1.22mm/s;镀膜后置于马弗炉中进行400℃煅烧10分钟后后进行900℃退火2h,得到YBO3:Eu3+薄膜,镀膜可进行多次以达到预期厚度。
参见图1,薄膜EDX图谱,出现较强的Y、O、Eu峰。参见图2~3,所示为薄膜表面形貌,由密集的球星纳米晶体组成,平均粒径在100nm左右,表面较为平整,粗糙度均方根约为10nm。
发明人还进行了如下的实验,其相应的实验条件如下:
从上表数据可以看出,本发明制备获得的纳米材料具有厚度可控的特点。
Claims (4)
1.一种铕掺杂的硼酸钇薄膜的厚度调控的方法,包括:
1)将水溶性钇盐、氧化铕、氨水、醇和水混合;
2)向步骤1)得到的混合物中加入硼源,所述硼源为硼酸或硼酸酯;
3)步骤2)得到的混合物反应24~48h;
4)使用浸渍提拉法对硅底片进行镀膜,镀膜速度为0.88~1.52mm/s,镀膜后于200~600℃煅烧;此过程反复至薄膜达到10~100nm,后置于1000℃以下进行退火,得到YBO3:Eu3+薄膜。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述水溶性钇盐为六水合硝酸钇。
3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述硝酸钇、氧化铕的质量比为1.5~3.5:1~1.5。
4.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述的醇为乙醇或甲醇。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201410684988.8A CN104449717B (zh) | 2014-11-24 | 2014-11-24 | 一种铕掺杂的硼酸钇薄膜的厚度调控方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201410684988.8A CN104449717B (zh) | 2014-11-24 | 2014-11-24 | 一种铕掺杂的硼酸钇薄膜的厚度调控方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN104449717A true CN104449717A (zh) | 2015-03-25 |
CN104449717B CN104449717B (zh) | 2016-05-18 |
Family
ID=52896483
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201410684988.8A Expired - Fee Related CN104449717B (zh) | 2014-11-24 | 2014-11-24 | 一种铕掺杂的硼酸钇薄膜的厚度调控方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN104449717B (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110016342A (zh) * | 2019-03-21 | 2019-07-16 | 中国科学院青海盐湖研究所 | 薄膜发光材料及其制备方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102690655A (zh) * | 2012-06-08 | 2012-09-26 | 浙江理工大学 | 一种掺铕硼酸钇红光发光薄膜及其制备方法 |
CN103805192A (zh) * | 2012-11-15 | 2014-05-21 | 海洋王照明科技股份有限公司 | 钐掺杂稀土硼酸盐发光薄膜、制备方法及其应用 |
-
2014
- 2014-11-24 CN CN201410684988.8A patent/CN104449717B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102690655A (zh) * | 2012-06-08 | 2012-09-26 | 浙江理工大学 | 一种掺铕硼酸钇红光发光薄膜及其制备方法 |
CN103805192A (zh) * | 2012-11-15 | 2014-05-21 | 海洋王照明科技股份有限公司 | 钐掺杂稀土硼酸盐发光薄膜、制备方法及其应用 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
HONGLIANG ZHU ET AL.: "Sol-gel preparation and photoluminescence property of YBO3:Eu3+/Tb3+ nanocrystalline thin films", 《APPLIED SURFACE SCIENCE》, vol. 254, 8 April 2008 (2008-04-08) * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110016342A (zh) * | 2019-03-21 | 2019-07-16 | 中国科学院青海盐湖研究所 | 薄膜发光材料及其制备方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104449717B (zh) | 2016-05-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107322002B (zh) | 一种稀土氧化物掺杂钨基复合粉体及其制备方法 | |
CN106006644A (zh) | 一种制备纳米碳化硼粉末的方法 | |
Xu et al. | Size-and surface-determined transformations: from ultrathin InOOH nanowires to uniform c-In2O3 Nanocubes and rh-In2O3 nanowires | |
CN107934965A (zh) | 一种Ti3C2‑Co(OH)(CO3)0.5纳米复合材料的制备方法 | |
CN102776547A (zh) | 稀土永磁材料的制备方法 | |
CN103739009A (zh) | 利用溶胶凝胶法制备钛酸铜钙薄膜 | |
CN104449717A (zh) | 一种铕掺杂的硼酸钇薄膜的厚度调控方法 | |
CN101125676A (zh) | 氧化锌薄膜制备方法 | |
JP2013144615A (ja) | 亜酸化銅粒子及びその製造方法 | |
CN101870491A (zh) | 在较窄pH范围内制备钇铝石榴石纳米粉体的共沉淀法 | |
CN102826606A (zh) | 一种负热膨胀稀土钨酸盐Sc2W3O12材料的制备方法 | |
CN102491416A (zh) | 一种Eu2Zr2O7纳米粉体的制备方法 | |
CN102320659B (zh) | 一种采用微波辐射法合成钒酸镧纳米材料的方法 | |
CN101445265A (zh) | 气相沉积制备掺杂单晶氧化锌纳米螺丝刀的方法及其装置 | |
CN104326500B (zh) | 一种蓬松态纳米氧化钇粉体的制备方法 | |
Yang et al. | Structural and ferroelectric properties of textured KNN thick films prepared by sol-gel methods | |
CN101798508A (zh) | 一种改善Eu3+离子掺杂Lu2O3薄膜发光衰减的方法 | |
CN102690655A (zh) | 一种掺铕硼酸钇红光发光薄膜及其制备方法 | |
CN102180513A (zh) | 一种六棱锥结构氧化锌的低温燃烧合成制备方法 | |
Pol et al. | Synthesis of new red-emitting single-phase europium oxycarbonate | |
Wang et al. | Preparation and luminescence properties of novel 3D Lu2O2S: Eu3+ microstructures | |
Yu et al. | Research on the growth of ZnO nanowall by soft-solution route | |
CN107620101B (zh) | 一种(La1-xLnx)2(MoO4)3薄膜的直接制备方法 | |
CN104449716B (zh) | 一种铕掺杂的硼酸钇薄膜的制备方法 | |
CN102173772B (zh) | 一种钇铝石榴石球形粉末或掺杂钇铝石榴石球形粉末的合成方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20160518 Termination date: 20211124 |