CN104297659A - Cmos图像传感器产品的带图案cp测试装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，包括探针卡，探针卡上安装有图形玻璃，图形玻璃上设有测试图案和对准标记。探针卡的两侧分别设有移动卡槽，移动卡槽的两端分别设有步进电机，两个步进电机的轴相对设置，两个步进电机的轴之间连接有圆辊状导轨，图形玻璃放在圆辊状导轨上。可以更准确的发现芯片缺陷，提高测试的效率。

Description

CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置
技术领域
本发明涉及一种WAFER测试装置，尤其涉及一种CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置。
背景技术
CMOS图像传感器产品的WAFER测试(CP测试)是必备的测试项目，要求能能保证测试的准确性。
现有技术中的测试方法准确性较低、测试效率较低。
发明内容
本发明的目的是提供一种准确性高、测试效率高的CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置。
本发明的目的是通过以下技术方案实现的：
本发明的CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，包括探针卡，所述探针卡上安装有图形玻璃，所述图形玻璃上设有测试图案和对准标记。
由上述本发明提供的技术方案可以看出，本发明实施例提供的CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，由于探针卡上安装有图形玻璃，所述图形玻璃上设有测试图案和对准标记，可以更准确的发现芯片缺陷，提高测试的效率。
附图说明
图1为本发明实施例中图形玻璃的结构示意图；
图2为本发明实施例中图形玻璃在探针卡上的安装结构示意图；
图3为本发明实施例中移动卡槽的结构示意图。
图中：
1、测试图案，2、对准标记，3、图形玻璃，4、PUPIL LENS(测试镜头)，5、移动卡槽，6、探针卡，7、步进马达，8、导轨。
具体实施方式
下面将对本发明实施例作进一步地详细描述。
本发明的CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，其较佳的具体实施方式是：
包括探针卡，所述探针卡上安装有图形玻璃，所述图形玻璃上设有测试图案和对准标记。
所述探针卡的两侧分别设有移动卡槽，所述移动卡槽中设有驱动装置，所述图形玻璃安装在所述驱动装置上。
所述驱动装置包括步进电机，所述步进电机的轴上连接有导轨，所述图形玻璃设于所述导轨上。
所述移动卡槽的两端分别设有步进电机，两个步进电机的轴相对设置，所述导轨连接在两个步进电机的轴之间。
所述导轨为圆辊状。
本发明的CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，将测试的PATTERN(图案)印制在玻璃上，通过程序控制玻璃的移动，实现有PATTERN的测试和无PATTERN的测试；为保证测试的准确性，在玻璃上印制对准标记，实现玻璃上PATTERN对芯片的感光测试。CMOS图像传感器产品的WAFER测试(CP测试)，在PROBE CARD(探针卡)上安装带有特定的图案玻璃，可以更准确的发现芯片缺陷，提高测试的效率。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明披露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。

Claims (5)

1.一种CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，包括探针卡，其特征在于，所述探针卡上安装有图形玻璃，所述图形玻璃上设有测试图案和对准标记。
2.根据权利要求1所述的CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，其特征在于，所述探针卡的两侧分别设有移动卡槽，所述移动卡槽中设有驱动装置，所述图形玻璃安装在所述驱动装置上。
3.根据权利要求2所述的CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，其特征在于，所述驱动装置包括步进电机，所述步进电机的轴上连接有导轨，所述图形玻璃设于所述导轨上。
4.根据权利要求3所述的CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，其特征在于，所述移动卡槽的两端分别设有步进电机，两个步进电机的轴相对设置，所述导轨连接在两个步进电机的轴之间。
5.根据权利要求4所述的CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，其特征在于，所述导轨为圆辊状。
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