CN203502700U - 一种液晶制造设备定位工作台校准模块 - Google Patents

一种液晶制造设备定位工作台校准模块 Download PDF

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Abstract

本实用新型是一种液晶制造设备定位工作台校准模块，包括底座，所述底座呈U字形，将所述底座两边的凸起表面进行精研磨构成U字形滑轨，所述U字形滑轨内侧安装有大型滑台，在所述大型滑台上方通过支架固定一台旋转定位装置，所述支架与所述旋转定位装置之间安装有一圈交叉滚子轴承，所述旋转定位装置顶端通过螺钉固定有直线导轨，在所述直线导轨上设置有长条形滑块。采用本实用新型技术方案，可将本校准模块与各种工作台和基站组合使用，进行XY方向的直线运动和角度θ的校正。

Description

一种液晶制造设备定位工作台校准模块
技术领域
本实用新型涉及半导体、液晶制造设备和检验设备领域，具体涉及一种液晶制造设备定位工作台校准模块。 
背景技术
在半导体、液晶制造设备和检验设备领域，由定位工作台导向的机械手或其它执行装置在平面上定位完成后，需要校准工作台进行XY轴向位置和角度θ的校准，如果用普通的直线方向校准工作台或旋转校准工作台进行校准，则需要把它们分别安装对应的位置，非常占据空间，这对于精密微型化的加工方式非常不利，如果有一种校准模块，把它们的功能集成在一起，则上述问题将迎刃而解。 
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术存在的问题，提供一种液晶制造设备定位工作台校准模块。 
为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型通过以下技术方案实现： 
一种液晶制造设备定位工作台校准模块，包括底座，所述底座呈U字形，将所述底座两边的凸起表面进行精研磨构成U字形滑轨，所述U字形滑轨内侧安装有大型滑台，在所述大型滑台上方通过支架固定一台旋转定位装置，所述支架与所述旋转定位装置之间安装有一圈交叉滚子轴承，所述旋转定位装置顶端通过螺钉固定有直线导轨，在所述直线导轨上设置有长条形滑块。
进一步的，在所述底座的另一端安装有电机支架，所述电机支架内安装的电机通过滚珠丝杠驱动所述大型滑台。 
进一步的，所述旋转定位装置通过所述交叉滚子轴承与支架可在所述大型滑台作任意角度旋转。 
进一步的，所述长条形滑块，既可在所述直线导轨上自由滑动，也可通过所述旋转定位装置作任意角度旋转。 
进一步的，在所述大型滑台的两边分别安装有两个传感器。 
本实用新型的有益效果是: 
采用本实用新型技术方案，可将本校准模块与各种工作台和基站组合使用，进行XY方向的直线运动和角度θ的校正，尤其是运用在角度θ的校正，能够将任意位置设定为旋转中心，故动作自由度高、动作多样化。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。 
图中标号说明：1、底座，2、U字形滑轨，3、大型滑台，4、支架，5、旋转定位装置，6、交叉滚子轴承，7、螺钉，8、直线导轨，9、长条形滑块，10、电机支架，11、电机，12、滚珠丝杠，13,、传感器。 
具体实施方式
下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本实用新型。 
参照图1所示，一种液晶制造设备定位工作台校准模块，包括底座1，所述底座1呈U字形，将所述底座1两边的凸起表面进行精研磨构成U字形滑轨2，所述U字形滑轨2内侧安装有大型滑台3，在所述大型滑台3上方通过支架4固定一台旋转定位装置5，所述支架4与所述旋转定位装置5之间安装有一圈交叉滚子轴承6，所述旋转定位装置5顶端通过螺钉7固定有直线导轨8，在所述直线导轨8上设置有长条形滑块9。 
进一步的，在所述底座1的另一端安装有电机支架10，所述电机支架10内安装的电机11通过滚珠丝杠12驱动所述大型滑台3。 
进一步的，所述旋转定位装置5通过所述交叉滚子轴承6与支架4可在所述大型滑台3作任意角度旋转。 
进一步的，所述长条形滑块9，既可在所述直线导轨8上自由滑动，也可通过所述旋转定位装置5作任意角度旋转。 
进一步的，在所述大型滑台3的两边分别安装有两个传感器13。 
本实用新型的原理： 
本校准模块在使用时，可与各种工作台和基站组合使用，配合基站或工作台上的轴向移动定位装置，进行XY方向的直线运动和角度θ的校正，尤其是结合本模块自带的大型滑台3和长条形滑块9，能够将任意位置设定为旋转中心进行角度θ的校正；在大型滑台3两边的传感器13，可以精确的捕捉这种XY方向的直线位置变化和角度θ的变化，并将它们转换为电信号传送给主控系统。
以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。 

Claims (5)

1.一种液晶制造设备定位工作台校准模块，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）呈U字形，将所述底座（1）两边的凸起表面进行精研磨构成U字形滑轨（2），所述U字形滑轨（2）内侧安装有大型滑台（3），在所述大型滑台（3）上方通过支架（4）固定一台旋转定位装置（5），所述支架（4）与所述旋转定位装置（5）之间安装有一圈交叉滚子轴承（6），所述旋转定位装置（5）顶端通过螺钉（7）固定有直线导轨（8），在所述直线导轨（8）上设置有长条形滑块（9）。
2.根据权利要求1所述的液晶制造设备定位工作台校准模块，其特征在于，在所述底座（1）的另一端安装有电机支架（10），所述电机支架（10）内安装的电机（11）通过滚珠丝杠（12）驱动所述大型滑台（3）。
3.根据权利要求1所述的液晶制造设备定位工作台校准模块，其特征在于，所述旋转定位装置（5）通过所述交叉滚子轴承（6）与支架（4）可在所述大型滑台（3）作任意角度旋转。
4.根据权利要求1或3所述的液晶制造设备定位工作台校准模块，其特征在于，所述长条形滑块（9），既可在所述直线导轨（8）上自由滑动，也可通过所述旋转定位装置（5）作任意角度旋转。
5.根据权利要求1所述的液晶制造设备定位工作台校准模块，其特征在于，在所述大型滑台（3）的两边分别安装有两个传感器（13）。
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