CN203069874U - 一种显微镜的载物台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种显微镜的载物台,包括载物台本体,还包括两个移动装置,所述两个移动装置呈上下方位正交设置于所述载物台本体下方,每个移动装置均包括两条平行设置的导轨和一个由步进电机驱动的丝杠,所述丝杠设置于所述两条导轨之间;所述载物台本体与其中一个移动装置的丝杆固定连接,此移动装置的导轨与另一个移动装置的丝杆固定连接。本实用新型增加了测试点选择的准确性,减少测量误差,且结构简单,经济实用,和手动移动硅片相比减少了碎片的可能性。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种显微镜的载物台,具体涉及一种可移动的显微镜的载物台。
背景技术
在硅太阳电池的制工艺的制绒工序中,通过碱液腐蚀形成金字塔绒面结构,金字塔绒面的大小和均匀性对太阳能电池性能影响较大,所以准确观察到相同硅片位置的金字塔绒面结构对制程控制非常重要;同时在丝网印刷工序,印刷烧结后栅线高度和宽度直接关系到电池片的表面遮光面积和效率,测试相同位置电池片栅线高度和宽度对监控正电极印刷效果非常重要。
在制绒后或电池片烧结后,通常会使用显微镜测试绒面或栅线的高度和宽度,而使用现用的显微镜,需要在载物台上手动移动电池片,容易产生碎片;手动移动电池片不能够准确使硅片移动到准确位置,导致测量误差;载物台光滑,电池片容易发生位移,严重时滑落,导致电池片损坏。
实用新型内容
实用新型目的:本实用新型的目的在于针对现有技术的不足,提供一种准确定位硅片位置,减少测量误差,保护电池片不被损坏的显微镜的载物台。
技术方案:本实用新型所述的一种显微镜的载物台,包括载物台本体,还包括两个移动装置,所述两个移动装置呈上下方位正交设置于所述载物台本体下方,每个移动装置均包括两条平行设置的导轨和一个由步进电机驱动的丝杠,所述丝杠设置于所述两条导轨之间;
所述载物台本体与其中一个移动装置的丝杆固定连接,此移动装置的导轨与另一个移动装置的丝杆固定连接。
所述丝杠3为滚珠丝杠。
为了方便待测物准确定位,同时增加了待测物与载物台之间的摩擦力,使测试时电池片位置固定,不容易滑落而导致电池片损坏,所述载物台本体的横向和纵向均标识刻度,所述横向和纵向的刻度的长度均为16cm,精度均为1mm。
有益效果:本实用新型通过丝杠带动载物台沿导轨定向移动,步进电机精确控制载物台移动距离,方便载物台上待测物的不同测试点的测试;本实用新型通过步进电机控制载物台的移动距离,增加了测试点选择的准确性,减少测量误差;本实用新型结构简单,经济实用,和手动移动硅片相比减少了碎片的可能性。
附图说明
图1为本实用新型所述的一种显微镜的载物台的结构示意图。
具体实施方式
下面对本实用新型技术方案进行详细说明,但是本实用新型的保护范围不局限于所述实施例。
实施例:本实用新型公开了一种显微镜的载物台,其结构示意图如图1所示,包括载物台本体1和两个移动装置。
载物台本体1为圆形结构,其表面上设置有起标识作用的横向和纵向的刻度4,横向和纵向的刻度4的长度均为16cm,精度均为1mm。
两个移动装置呈上下方位正交设置于载物台本体1的下方。每个移动装置均包括两条平行设置的导轨2和一个丝杠3,丝杠3为滚珠丝杠,设置于所述两条导轨2之间,由步进电机驱动。
所述载物台本体1与其中一个移动装置的丝杆3固定连接,此移动装置的导轨2与另一个移动装置的丝杆3固定连接。
本实用新型所述的显微镜的载物台工作时,步进电机控制丝杠3移动,丝杠3带动载物台本体1或位于上方的移动装置定向移动,实现待测物的正交方位的移动,步进电机精确控制载物台移动距离,使载物台上待测物的不同测试点得到测试。
如上所述,尽管参照特定的优选实施例已经表示和表述了本实用新型,但其不得解释为对本实用新型自身的限制。在不脱离所附权利要求定义的本实用新型的精神和范围前提下,可对其在形式上和细节上作出各种变化。
Claims (4)
1.一种显微镜的载物台,包括载物台本体(1),其特征在于,还包括两个移动装置,所述两个移动装置呈上下方位正交设置于所述载物台本体(1)下方,每个移动装置均包括两条平行设置的导轨(2)和一个由步进电机驱动的丝杠(3),所述丝杠(3)设置于所述两条导轨(2)之间;
所述载物台本体(1)与其中一个移动装置的丝杆(3)固定连接,此移动装置的导轨(2)与另一个移动装置的丝杆(3)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种显微镜的载物台,其特征在于,所述丝杠(3)为滚珠丝杠。
3.根据权利要求1所述的一种显微镜的载物台,其特征在于,所述载物台本体(1)的横向和纵向均标识刻度(4)。
4.根据权利要求3所述的一种显微镜的载物台,其特征在于,所述横向和纵向的刻度(4)的长度均为16cm,精度均为1mm。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN 201320018852 CN203069874U (zh) | 2013-01-15 | 2013-01-15 | 一种显微镜的载物台 |
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CN 201320018852 CN203069874U (zh) | 2013-01-15 | 2013-01-15 | 一种显微镜的载物台 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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CN203069874U true CN203069874U (zh) | 2013-07-17 |
Family
ID=48768645
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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CN 201320018852 Expired - Lifetime CN203069874U (zh) | 2013-01-15 | 2013-01-15 | 一种显微镜的载物台 |
Country Status (1)
Country | Link |
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104076499A (zh) * | 2014-06-24 | 2014-10-01 | 北京工业大学 | 一种实现显微镜三维定位的装置 |
CN104503073A (zh) * | 2014-12-19 | 2015-04-08 | 爱威科技股份有限公司 | 显微镜及其驱动装置 |
CN105334610A (zh) * | 2015-12-11 | 2016-02-17 | 海德星科技(厦门)有限公司 | 永磁同步直线电机驱动的自动控制显微镜载物平台 |
CN105353502A (zh) * | 2015-12-11 | 2016-02-24 | 海德星科技(厦门)有限公司 | 混合电机驱动的自动控制显微镜载物平台 |
CN111412860A (zh) * | 2020-03-25 | 2020-07-14 | 广东省微生物研究所(广东省微生物分析检测中心) | 激光共聚焦显微镜生物被膜观察载物台 |
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2013
- 2013-01-15 CN CN 201320018852 patent/CN203069874U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104076499A (zh) * | 2014-06-24 | 2014-10-01 | 北京工业大学 | 一种实现显微镜三维定位的装置 |
CN104503073A (zh) * | 2014-12-19 | 2015-04-08 | 爱威科技股份有限公司 | 显微镜及其驱动装置 |
CN105334610A (zh) * | 2015-12-11 | 2016-02-17 | 海德星科技(厦门)有限公司 | 永磁同步直线电机驱动的自动控制显微镜载物平台 |
CN105353502A (zh) * | 2015-12-11 | 2016-02-24 | 海德星科技(厦门)有限公司 | 混合电机驱动的自动控制显微镜载物平台 |
CN111412860A (zh) * | 2020-03-25 | 2020-07-14 | 广东省微生物研究所(广东省微生物分析检测中心) | 激光共聚焦显微镜生物被膜观察载物台 |
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Legal Events
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C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20130717 |
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CX01 | Expiry of patent term |