CN104297659B - Cmos图像传感器产品的带图案cp测试装置 - Google Patents

Cmos图像传感器产品的带图案cp测试装置 Download PDF

Info

Publication number
CN104297659B
CN104297659B CN201410589030.0A CN201410589030A CN104297659B CN 104297659 B CN104297659 B CN 104297659B CN 201410589030 A CN201410589030 A CN 201410589030A CN 104297659 B CN104297659 B CN 104297659B
Authority
CN
China
Prior art keywords
glass
test
image sensor
cmos image
guide rail
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201410589030.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN104297659A (zh
Inventor
冯建中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Beijing Superpix Micro Technology Co Ltd
Original Assignee
Beijing Superpix Micro Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing Superpix Micro Technology Co Ltd filed Critical Beijing Superpix Micro Technology Co Ltd
Priority to CN201410589030.0A priority Critical patent/CN104297659B/zh
Publication of CN104297659A publication Critical patent/CN104297659A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN104297659B publication Critical patent/CN104297659B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

本发明公开了一种CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，包括探针卡，探针卡上安装有图形玻璃，图形玻璃上设有测试图案和对准标记。探针卡的两侧分别设有移动卡槽，移动卡槽的两端分别设有步进电机，两个步进电机的轴相对设置，两个步进电机的轴之间连接有圆辊状导轨，图形玻璃放在圆辊状导轨上。可以更准确的发现芯片缺陷，提高测试的效率。

Description

CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置
技术领域
本发明涉及一种WAFER测试装置，尤其涉及一种CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置。
背景技术
CMOS图像传感器产品的WAFER测试(CP测试)是必备的测试项目，要求能能保证测试的准确性。
现有技术中的测试方法准确性较低、测试效率较低。
发明内容
本发明的目的是提供一种准确性高、测试效率高的CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置。
本发明的目的是通过以下技术方案实现的：
本发明的CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，包括探针卡，所述探针卡上安装有图形玻璃，所述图形玻璃上设有测试图案和对准标记。
由上述本发明提供的技术方案可以看出，本发明实施例提供的CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，由于探针卡上安装有图形玻璃，所述图形玻璃上设有测试图案和对准标记，可以更准确的发现芯片缺陷，提高测试的效率。
附图说明
图1为本发明实施例中图形玻璃的结构示意图；
图2为本发明实施例中图形玻璃在探针卡上的安装结构示意图；
图3为本发明实施例中移动卡槽的结构示意图。
图中：
1、测试图案，2、对准标记，3、图形玻璃，4、PUPIL LENS(测试镜头)，5、移动卡槽，6、探针卡，7、步进马达，8、导轨。
具体实施方式
下面将对本发明实施例作进一步地详细描述。
本发明的CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，其较佳的具体实施方式是：
包括探针卡，所述探针卡上安装有图形玻璃，所述图形玻璃上设有测试图案和对准标记。
所述探针卡的两侧分别设有移动卡槽，所述移动卡槽中设有驱动装置，所述图形玻璃安装在所述驱动装置上。
所述驱动装置包括步进电机，所述步进电机的轴上连接有导轨，所述图形玻璃设于所述导轨上。
所述移动卡槽的两端分别设有步进电机，两个步进电机的轴相对设置，所述导轨连接在两个步进电机的轴之间。
所述导轨为圆辊状。
本发明的CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，将测试的PATTERN(图案)印制在玻璃上，通过程序控制玻璃的移动，实现有PATTERN的测试和无PATTERN的测试；为保证测试的准确性，在玻璃上印制对准标记，实现玻璃上PATTERN对芯片的感光测试。CMOS图像传感器产品的WAFER测试(CP测试)，在PROBE CARD(探针卡)上安装带有特定的图案玻璃，可以更准确的发现芯片缺陷，提高测试的效率。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明披露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。

Claims (1)

1.一种CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，包括探针卡，其特征在于，所述探针卡上安装有图形玻璃，所述图形玻璃上设有测试图案和对准标记；
所述探针卡的两侧分别设有移动卡槽，所述移动卡槽中设有驱动装置，所述图形玻璃安装在所述驱动装置上所述驱动装置包括步进电机，所述步进电机的轴上连接有导轨，所述图形玻璃设于所述导轨上；
所述移动卡槽的两端分别设有步进电机，两个步进电机的轴相对设置，所述导轨连接在两个步进电机的轴之间；
所述导轨为圆辊状。
CN201410589030.0A 2014-10-28 2014-10-28 Cmos图像传感器产品的带图案cp测试装置 Active CN104297659B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410589030.0A CN104297659B (zh) 2014-10-28 2014-10-28 Cmos图像传感器产品的带图案cp测试装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410589030.0A CN104297659B (zh) 2014-10-28 2014-10-28 Cmos图像传感器产品的带图案cp测试装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN104297659A CN104297659A (zh) 2015-01-21
CN104297659B true CN104297659B (zh) 2017-08-08

Family

ID=52317462

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410589030.0A Active CN104297659B (zh) 2014-10-28 2014-10-28 Cmos图像传感器产品的带图案cp测试装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN104297659B (zh)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08222611A (ja) * 1995-02-16 1996-08-30 Fujitsu Ltd ウェーハの位置合わせ方法
WO2008056627A1 (fr) * 2006-11-09 2008-05-15 Tokyo Electron Limited Carte de sonde permettant d'inspecter un capteur d'image à l'état solide
CN202837350U (zh) * 2012-09-03 2013-03-27 北京京东方光电科技有限公司 一种探针框架装置
CN203519659U (zh) * 2013-09-03 2014-04-02 苏州创瑞机电科技有限公司 Cmos摄像芯片浮动载板自动定位测试插座
CN203519776U (zh) * 2013-09-03 2014-04-02 苏州创瑞机电科技有限公司 Cmos晶圆自动测试直针自动测试插座
CN103943651A (zh) * 2013-08-29 2014-07-23 上海天马微电子有限公司 一种oled显示装置及相应的柔性电路板
CN104009020A (zh) * 2013-02-27 2014-08-27 无锡华润上华科技有限公司 晶圆及其可接受测试方法
CN204142905U (zh) * 2014-10-28 2015-02-04 北京思比科微电子技术股份有限公司 Cmos图像传感器产品的带图案cp测试装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08222611A (ja) * 1995-02-16 1996-08-30 Fujitsu Ltd ウェーハの位置合わせ方法
WO2008056627A1 (fr) * 2006-11-09 2008-05-15 Tokyo Electron Limited Carte de sonde permettant d'inspecter un capteur d'image à l'état solide
CN202837350U (zh) * 2012-09-03 2013-03-27 北京京东方光电科技有限公司 一种探针框架装置
CN104009020A (zh) * 2013-02-27 2014-08-27 无锡华润上华科技有限公司 晶圆及其可接受测试方法
CN103943651A (zh) * 2013-08-29 2014-07-23 上海天马微电子有限公司 一种oled显示装置及相应的柔性电路板
CN203519659U (zh) * 2013-09-03 2014-04-02 苏州创瑞机电科技有限公司 Cmos摄像芯片浮动载板自动定位测试插座
CN203519776U (zh) * 2013-09-03 2014-04-02 苏州创瑞机电科技有限公司 Cmos晶圆自动测试直针自动测试插座
CN204142905U (zh) * 2014-10-28 2015-02-04 北京思比科微电子技术股份有限公司 Cmos图像传感器产品的带图案cp测试装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN104297659A (zh) 2015-01-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103048608A (zh) 一种pcb板性能检测治具
CN109175713A (zh) 一种四工位检测打标设备
CN104459394A (zh) 一种oled面板对位装置
CN104297659B (zh) Cmos图像传感器产品的带图案cp测试装置
CN104297831B (zh) 光学指纹传感器芯片模组光栅及其制作方法
CN204142905U (zh) Cmos图像传感器产品的带图案cp测试装置
CN104808129B (zh) 一种全新的led晶粒检测技术
CN203414347U (zh) 一种刚度检测装置
CN204718550U (zh) 一种铰链杆件自动检测装置
CN202869468U (zh) 一种铝管生产用长度计量装置
CN103278763B (zh) 芯片的ft测试板系统和测试方法
CN202661042U (zh) 一种阻焊曝光对位精度辅助检查装置
CN105300227A (zh) 一种微型连接器用定位检测工具
CN104089559A (zh) 一种电池测厚装置
CN203811788U (zh) 磁性芯片磁参数批量化测试系统
CN202384310U (zh) 硅片高速转运装置
CN203195687U (zh) 磁共振设备和磁共振系统
CN203241223U (zh) 拉杆测试装置
CN206074467U (zh) 三维成像的木材无损检测系统
CN203433128U (zh) 一种用于检测零件是否安装合格的检测机构
CN205175297U (zh) 一种微型连接器用定位检测装置
CN104897228A (zh) 一种磁感断轴字轮直读计数器
CN204613356U (zh) 一种晶体管测试装置
CN204220508U (zh) 区分放置印刷线路板良品和不良品的设备
CN104019722A (zh) 内径检具

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant