CN202384310U - 硅片高速转运装置 - Google Patents

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朱绍明
戴军
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RoboTechnik Intelligent Technology Co Ltd
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SUZHOU ROBO-TECHNIK AUTOMATION EQUIPMENT Co Ltd
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Abstract

本实用新型公开了一种硅片高速转运装置,包括机械手、取硅片处和放硅片处,还包括由相机和光源构成的飞行视觉影像系统,设于取硅片处和放硅片处之间,并位于机械手下方,以采集机械手高速运转的飞行图像,供硅片检测及机械人控制,从而满足硅片快速运转的检测和定位需求。

Description

硅片高速转运装置
技术领域
本实用新型涉及光伏生产检测设备,具体涉及一种硅片高速转运装置。
背景技术
为了提高良率和降低生产成本,光伏每一道工序进行之前,原则上需要对硅片进行检测,不合格的产品被选出而避免进入一下道工序。检测一般可以在工序间的转运时进行,而光学影像系统则被广泛采用来进行自动检测。如果使用机械人进行硅片转运,光学影像系统还会被用来进行定位。按照常规的光学影像系统,需要停留在其上方进行视觉图像采集,然后分析进而执行。因此,整个过程耗时较长,不适用于高速转运。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种硅片高速转运装置,基于飞行视觉原理能够对高速运转的硅片进行检测及定位。
为了解决上述技术问题,本实用新型采用如下的技术方案:
一种硅片高速转运装置包括机械手、取硅片处和放硅片处,其特征在于:还包括由相机和光源构成的飞行视觉影像系统,设于取硅片处和放硅片处之间,并位于机械手下方,以采集机械手高速运转的飞行图像。
采用本实用新型的硅片高速转运装置,具有如下优点:
1、结构简单、操作简单;
2、能够基于飞行视觉方法,采集机械手吸附硅片高速运转的飞行图像,供硅片检测及机械人控制;
3、能够满足硅片高速运转,准确有效。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式本实用新型进行详细说明:
图1是本实用新型的硅片高速转运装置的结构原理图。
具体实施方式
如图1所示,本实用新型的硅片高速转运装置包括机械手4、取硅片处3和放硅片处5,并且还包括由相机1和光源2构成的飞行视觉影像系统,该影像系统设于取硅片处3和放硅片处5之间,并位于机械手4下方,以采集机械手4高速运转的飞行图像。
使用时,当机械手4从取硅片处3吸附硅片后,运行经过相机1视场时,通过飞行视觉影像系统实现对机械手4及硅片的飞行图像采集,然后控制机械手4根据硅片检测结果和位置信息,将硅片放置到废片盒或者正确的工艺位置(即图1中的放硅片处5),从而实现有检测的高速转运。
但是,本技术领域中的普通技术人员应当认识到,以上的实施例仅是用来说明本实用新型,而并非用作为对本实用新型的限定,只要在本实用新型的实质精神范围内,对以上所述实施例的变化、变型都将落在本实用新型的权利要求书范围内。

Claims (1)

1.一种硅片高速转运装置,包括机械手、取硅片处和放硅片处,其特征在于:还包括由相机和光源构成的飞行视觉影像系统,设于取硅片处和放硅片处之间,并位于机械手下方。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107424950A (zh) * 2017-08-21 2017-12-01 罗博特科智能科技股份有限公司 一种用于硅片影像定位装置的中转机构
CN107919306A (zh) * 2017-11-24 2018-04-17 江苏力德尔电子信息技术有限公司 基于视觉的无线充电芯片高精度自动贴合装置及其方法

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Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C56 Change in the name or address of the patentee
CP03 Change of name, title or address

Address after: Suzhou City, Jiangsu province 215122 Suzhou Industrial Park Weiting Fengting Avenue No. 598

Patentee after: Robert C intelligent Polytron Technologies Inc

Address before: Suzhou City, Jiangsu province 215000 Suzhou Industrial Park Weiting Chunhui Road No. 5 kuachun industrial plant No. 6

Patentee before: Suzhou Roboteko Automation equipment Co., Ltd.

CX01 Expiry of patent term
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Granted publication date: 20120815