CN202384310U - 硅片高速转运装置 - Google Patents
硅片高速转运装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN202384310U CN202384310U CN2011205662448U CN201120566244U CN202384310U CN 202384310 U CN202384310 U CN 202384310U CN 2011205662448 U CN2011205662448 U CN 2011205662448U CN 201120566244 U CN201120566244 U CN 201120566244U CN 202384310 U CN202384310 U CN 202384310U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- silicon wafer
- silicon chip
- manipulator
- utility
- model
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Abstract
本实用新型公开了一种硅片高速转运装置,包括机械手、取硅片处和放硅片处,还包括由相机和光源构成的飞行视觉影像系统,设于取硅片处和放硅片处之间,并位于机械手下方,以采集机械手高速运转的飞行图像,供硅片检测及机械人控制,从而满足硅片快速运转的检测和定位需求。
Description
技术领域
本实用新型涉及光伏生产检测设备,具体涉及一种硅片高速转运装置。
背景技术
为了提高良率和降低生产成本,光伏每一道工序进行之前,原则上需要对硅片进行检测,不合格的产品被选出而避免进入一下道工序。检测一般可以在工序间的转运时进行,而光学影像系统则被广泛采用来进行自动检测。如果使用机械人进行硅片转运,光学影像系统还会被用来进行定位。按照常规的光学影像系统,需要停留在其上方进行视觉图像采集,然后分析进而执行。因此,整个过程耗时较长,不适用于高速转运。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种硅片高速转运装置,基于飞行视觉原理能够对高速运转的硅片进行检测及定位。
为了解决上述技术问题,本实用新型采用如下的技术方案:
一种硅片高速转运装置包括机械手、取硅片处和放硅片处,其特征在于:还包括由相机和光源构成的飞行视觉影像系统,设于取硅片处和放硅片处之间,并位于机械手下方,以采集机械手高速运转的飞行图像。
采用本实用新型的硅片高速转运装置,具有如下优点:
1、结构简单、操作简单;
2、能够基于飞行视觉方法,采集机械手吸附硅片高速运转的飞行图像,供硅片检测及机械人控制;
3、能够满足硅片高速运转,准确有效。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式本实用新型进行详细说明:
图1是本实用新型的硅片高速转运装置的结构原理图。
具体实施方式
如图1所示,本实用新型的硅片高速转运装置包括机械手4、取硅片处3和放硅片处5,并且还包括由相机1和光源2构成的飞行视觉影像系统,该影像系统设于取硅片处3和放硅片处5之间,并位于机械手4下方,以采集机械手4高速运转的飞行图像。
使用时,当机械手4从取硅片处3吸附硅片后,运行经过相机1视场时,通过飞行视觉影像系统实现对机械手4及硅片的飞行图像采集,然后控制机械手4根据硅片检测结果和位置信息,将硅片放置到废片盒或者正确的工艺位置(即图1中的放硅片处5),从而实现有检测的高速转运。
但是,本技术领域中的普通技术人员应当认识到,以上的实施例仅是用来说明本实用新型,而并非用作为对本实用新型的限定,只要在本实用新型的实质精神范围内,对以上所述实施例的变化、变型都将落在本实用新型的权利要求书范围内。
Claims (1)
1.一种硅片高速转运装置,包括机械手、取硅片处和放硅片处,其特征在于:还包括由相机和光源构成的飞行视觉影像系统,设于取硅片处和放硅片处之间,并位于机械手下方。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2011205662448U CN202384310U (zh) | 2011-12-30 | 2011-12-30 | 硅片高速转运装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2011205662448U CN202384310U (zh) | 2011-12-30 | 2011-12-30 | 硅片高速转运装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN202384310U true CN202384310U (zh) | 2012-08-15 |
Family
ID=46632793
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2011205662448U Expired - Lifetime CN202384310U (zh) | 2011-12-30 | 2011-12-30 | 硅片高速转运装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN202384310U (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107424950A (zh) * | 2017-08-21 | 2017-12-01 | 罗博特科智能科技股份有限公司 | 一种用于硅片影像定位装置的中转机构 |
CN107919306A (zh) * | 2017-11-24 | 2018-04-17 | 江苏力德尔电子信息技术有限公司 | 基于视觉的无线充电芯片高精度自动贴合装置及其方法 |
-
2011
- 2011-12-30 CN CN2011205662448U patent/CN202384310U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107424950A (zh) * | 2017-08-21 | 2017-12-01 | 罗博特科智能科技股份有限公司 | 一种用于硅片影像定位装置的中转机构 |
CN107919306A (zh) * | 2017-11-24 | 2018-04-17 | 江苏力德尔电子信息技术有限公司 | 基于视觉的无线充电芯片高精度自动贴合装置及其方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN100508158C (zh) | 晶圆片定位装置的定位方法 | |
CN103219269A (zh) | 基于机器视觉的晶圆预定位装置及方法 | |
CN103192386B (zh) | 基于图像视觉的洁净机器人自动化标定方法 | |
CN102565075A (zh) | 一种led支架自动检测装置 | |
CN204315655U (zh) | 电池极耳自动检测机 | |
CN104505485A (zh) | 电池极耳自动检测机 | |
CN105396801A (zh) | 一种金属应变计自动检测、裁切、分选、包装系统 | |
CN204359271U (zh) | 半导体晶片的检测装置 | |
WO2017201971A1 (zh) | 一种太阳能电池片断栅修补方法及装置 | |
CN202384310U (zh) | 硅片高速转运装置 | |
CN100449724C (zh) | 一种晶片检测装置和晶片检测方法 | |
CN103542805A (zh) | 基于高速图像传感器和并行处理的视觉检测系统 | |
CN109557110A (zh) | 基于机器视觉的轴承套圈全表面瑕疵检测装置和方法 | |
CN209859197U (zh) | 印刷图像检测设备和图像印刷流水线设备 | |
CN205427436U (zh) | 显示器件的对位检测设备及曝光工艺系统 | |
CN207441662U (zh) | 一种太阳能电池激光划刻线的缺陷检测系统 | |
CN107481952A (zh) | 一种太阳能电池激光划刻线的缺陷检测系统及方法 | |
CN205289006U (zh) | 一种倒角检测装置 | |
CN203950789U (zh) | 一种晶圆扫描映射成像系统 | |
CN104112686B (zh) | 检测及分类led圆片的检测总成及方法 | |
CN103996632B (zh) | 一种双位切换的光伏晶硅电池片机器视觉定位及质检平台 | |
CN109297529A (zh) | 一种智能检测装置 | |
CN205069607U (zh) | 一种精确抓取晶圆的装置 | |
CN205193432U (zh) | 标靶影像对位装置及具有该装置的曝光机 | |
CN106841211A (zh) | 一种运用机器视觉对电池片表面缺陷检测的平台及方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C56 | Change in the name or address of the patentee | ||
CP03 | Change of name, title or address |
Address after: Suzhou City, Jiangsu province 215122 Suzhou Industrial Park Weiting Fengting Avenue No. 598 Patentee after: Robert C intelligent Polytron Technologies Inc Address before: Suzhou City, Jiangsu province 215000 Suzhou Industrial Park Weiting Chunhui Road No. 5 kuachun industrial plant No. 6 Patentee before: Suzhou Roboteko Automation equipment Co., Ltd. |
|
CX01 | Expiry of patent term | ||
CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20120815 |