CN203965800U - 驱动装置及扫描狭缝单元 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种驱动装置及扫描狭缝单元，通过支撑架上设置第一轴承，刀背上设置第二轴承，弹簧一端固定于所述第一轴承的一连接点上，弹簧另一端固定于所述第二轴承的一连接点上，当马达驱动所述刀背运动时，弹簧将发生一定的伸缩运动，此时弹簧与支撑架以及刀背之间将发生一定的转动，该转动分别由转动性能比较好的第一轴承及第二轴承完成，由此能够避免弹簧与支撑架以及刀背(转动)摩擦，进而能够避免碎屑、颗粒的产生，提高了驱动装置的可靠性，保证了扫描狭缝的清洁，曝光的平整性。

Description

驱动装置及扫描狭缝单元

技术领域

本实用新型涉及集成电路制造设备技术领域，特别涉及一种驱动装置及扫描狭缝单元。

背景技术

大规模集成电路生产是现代微电子技术的核心，而半导体设备是发展集成电路的基础。在当前半导体制造设备中，光刻设备占据最重要地位。光刻技术在经历了接近/接触式、扫描投影式、步进投影式几个重大技术发展阶段后，步进扫描投影式已发展成为目前的主流技术。

步进扫描投影光刻机中最重要的一个部件为曝光系统，曝光系统将产生曝光视场。在一个曝光视场的起始与终止位置，部分照明视场的位置位于曝光视场之外，超出曝光视场范围的照明视场会照射到相邻曝光视场上。扫描狭缝单元作为步进扫描光刻机曝光系统中重要的拦光装置，其作用是限定掩模面照明视场大小及其中心位置，避免成像光束对曝光视场以外的区域曝光。

扫描狭缝单元通常包括四个刀片，该四个刀片两两相对设置，组成两组刀片对。每个刀片上设置有驱动该刀片运动的驱动装置，在驱动装置的驱动下，其中一对刀片能够实现X轴方向运动，另一对刀片能够实现Y轴方向运动。通过控制两组刀片对的相对位置，可以实现曝光视场设置和同步扫描曝光。现有的驱动装置，容易产生颗粒，从而影响扫描狭缝的平整性，导致曝光不平整；以及产生的颗粒也容易导致驱动装置对于刀片控制的不够精确。

请参考图1，其为现有的驱动装置的结构示意图。如图1所示，所述驱动装置1包括：支撑架10，所述支撑架10上设置有第一固定扣11；刀背12，所述刀背12上设置有第二固定扣13；弹簧14，所述弹簧14一端套接于所述第一固定扣11上，所述弹簧14另一端套接于所述第二固定扣13上；马达15，所述马达15能够驱动所述刀背12运动。进一步的，通过刀背12的运动带动相应的刀片运动。在此，由于弹簧14一端套接于第一固定扣11上，另一端套接于第二固定扣13上，在刀背12运动的过程中，弹簧14将发生一定的伸缩运动，由此弹簧14与第一固定扣11以及第二固定扣13之间将发生一定的(转动)摩擦，从而将产生一些碎屑、颗粒，进而影响扫描狭缝的平整性，导致曝光不平整；以及导致驱动装置对于刀片控制的不够精确。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种驱动装置及扫描狭缝单元，以解决现有的驱动装置，容易产生颗粒，从而影响扫描狭缝的平整性，导致曝光不平整；以及产生的颗粒也容易导致驱动装置对于刀片控制的不够精确的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种驱动装置，所述驱动装置包括：

支撑架及设置于所述支撑架上的第一轴承；

刀背及设置于所述刀背上的第二轴承；

弹簧，所述弹簧一端固定于所述第一轴承的一连接点上，所述弹簧另一端固定于所述第二轴承的一连接点上；及

驱动所述刀背运动的马达。

可选的，在所述的驱动装置中，所述第一轴承及第二轴承外均套有保护盖。

可选的，在所述的驱动装置中，所述保护盖为透明保护盖。

可选的，在所述的驱动装置中，所述第一轴承及第二轴承上均设置有注入口。

可选的，在所述的驱动装置中，所述弹簧一端通过螺纹连接方式固定于所述第一轴承的一连接点上，所述弹簧另一端通过螺纹连接方式固定于所述第二轴承的一连接点上。

可选的，在所述的驱动装置中，所述支撑架包括连接条及固定于所述连接条上平行排列的两根导轨。

可选的，在所述的驱动装置中，所述马达驱动所述刀背沿所述两根导轨运动。

可选的，在所述的驱动装置中，所述第一轴承设置于所述连接条上。

本发明还提供一种扫描狭缝单元，所述扫描狭缝单元包括：

四个刀片，所述四个刀片两两相对设置，组成两组刀片对；

每个刀片上设置有如上所述的驱动装置，所述驱动装置能够驱动所述刀片运动。

在本实用新型提供的驱动装置及扫描狭缝单元中，通过支撑架上设置第一轴承，刀背上设置第二轴承，弹簧一端固定于所述第一轴承的一连接点上，弹簧另一端固定于所述第二轴承的一连接点上，当马达驱动所述刀背运动时，弹簧将发生一定的伸缩运动，此时弹簧与支撑架以及刀背之间将发生一定的转动，该转动分别由转动性能比较好的第一轴承及第二轴承完成，由此能够避免弹簧与支撑架以及刀背(转动)摩擦，进而能够避免碎屑、颗粒的产生，提高了驱动装置的可靠性，保证了扫描狭缝的清洁，曝光的平整性。

附图说明

图1是现有的驱动装置的结构示意图；

图2是本实用新型实施例的驱动装置的结构示意图；

图3是本实用新型实施例的扫描狭缝单元的示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的驱动装置及扫描狭缝单元作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

请参考图2，其为本实用新型实施例的驱动装置的结构示意图。如图2所示，在本申请实施例中，所述驱动装置2包括：

支撑架20及设置于所述支撑架20上的第一轴承21；

刀背22及设置于所述刀背22上的第二轴承23；

弹簧24，所述弹簧24一端固定于所述第一轴承21的一连接点上，所述弹簧24另一端固定于所述第二轴承23的一连接点上；及

驱动所述刀背运动的马达25。

在本申请实施例中，通过支撑架20上设置第一轴承21，刀背22上设置第二轴承23，弹簧24一端固定于所述第一轴承21的一连接点上，弹簧24另一端固定于所述第二轴承23的一连接点上，当马达25驱动所述刀背22运动时，弹簧24将发生一定的伸缩运动，此时弹簧24与支撑架20以及刀背22之间将发生一定的转动，该转动分别由转动性能比较好的第一轴承21及第二轴承23完成，由此能够避免弹簧24与支撑架20以及刀背22发生(转动)摩擦，进而能够避免碎屑、颗粒的产生，提高了驱动装置2的可靠性，保证了扫描狭缝的清洁，曝光的平整性。特别的，弹簧24一端固定于所述第一轴承21的一连接点上，弹簧24另一端固定于所述第二轴承23的一连接点上，由此，即使弹簧24与第一轴承21以及第二轴承23之间发生一定的转动，由于连接面积非常小，所产生的(转动)摩擦也将非常小，从而能够避免碎屑、颗粒的产生。

进一步的，所述第一轴承21及第二轴承23外均套有保护盖(图2中未示出)，由此，即使所述第一轴承21及第二轴承23在转动过程中产生一定的碎屑、颗粒，也能够通过所述保护盖将碎屑、颗粒围起来，防止所述碎屑、颗粒影响到扫描狭缝以及马达等的工作。

优选的，所述保护盖为透明保护盖，即所述保护盖内的状况可见。由此，当所述第一轴承21及第二轴承23在转动过程中产生一定的碎屑、颗粒时，能够被及时发现，从而对所述第一轴承21及第二轴承23做出相应处理，例如更换等。此外，当所述保护盖内积攒有较多碎屑、颗粒时，也能够被及时发现，从而进行相应的清洁工作等。

在本申请实施例中，所述第一轴承21及第二轴承23上均设置有注入口，具体的，所述第一轴承21上设置有第一注入口26，所述第二轴承23上设置有第二注入口27。通过在所述第一轴承21及第二轴承23上设置注入口，可向所述第一轴承21及第二轴承23注入润滑油，从而使得所述第一轴承21及第二轴承23的转动更加顺滑，避免所述第一轴承21及第二轴承23在转动过程中产生碎屑、颗粒。

在本申请实施例中，所述弹簧24一端通过螺纹连接方式固定于所述第一轴承21的一连接点上，所述弹簧24另一端通过螺纹连接方式固定于所述第二轴承23的一连接点上。具体的，可以在所述第一轴承21的一连接点设置螺纹口，同样的，在所述第二轴承23的一连接点也设置螺纹口，所述弹簧24的两端设置成螺纹柱形式，由此通过螺纹旋紧，所述弹簧24便可与第一轴承21及第二轴承23固定连接。所述弹簧24通过螺纹连接方式与第一轴承21及第二轴承23固定连接，可以提高弹簧24、第一轴承21及第二轴承23的使用寿命，具体的，当其中一个部件损坏需要更换时，其余两个部件能够不受影响。

在本申请实施例中，所述支撑架20包括连接条200及固定于所述连接条200上平行排列的两根导轨201。所述马达25能够驱动所述刀背22沿所述两根导轨201运动。所述第一轴承21设置于所述连接条200上。

相应的，本实施例还提供一种扫描狭缝单元，所述扫描狭缝单元包括：四个刀片，所述四个刀片两两相对设置，组成两组刀片对；每个刀片上设置有如上所述的驱动装置，所述驱动装置能够驱动所述刀片运动，所述驱动装置的刀背与所述刀片连接。

具体的，可参考图3，其为本实用新型实施例的扫描狭缝单元的示意图。在图3中，为了清楚地、突出地示出扫描狭缝单元的结构(主要是四个刀片之间的位置关系)，将驱动装置的结构细节弱化，以一长方形代替。如图3所示，刀片30与刀片31相对设置，组成一组刀片对，在驱动装置2的驱动下沿X轴方向运动；刀片32与刀片33相对设置，组成一组刀片对，在驱动装置2的驱动下沿Y轴方向运动，通过刀片30、31、32及33的运动，便可实现曝光视场设置和同步扫描曝光。

上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims (9)

1.一种驱动装置，其特征在于，包括：

支撑架及设置于所述支撑架上的第一轴承；

刀背及设置于所述刀背上的第二轴承；

弹簧，所述弹簧一端固定于所述第一轴承的一连接点上，所述弹簧另一端固定于所述第二轴承的一连接点上；及

驱动所述刀背运动的马达。

2.如权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，所述第一轴承及第二轴承外均套有保护盖。

3.如权利要求2所述的驱动装置，其特征在于，所述保护盖为透明保护盖。

4.如权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，所述第一轴承及第二轴承上均设置有注入口。

5.如权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，所述弹簧一端通过螺纹连接方式固定于所述第一轴承的一连接点上，所述弹簧另一端通过螺纹连接方式固定于所述第二轴承的一连接点上。

6.如权利要求1～5中任一项所述的驱动装置，其特征在于，所述支撑架包括连接条及固定于所述连接条上平行排列的两根导轨。

7.如权利要求6所述的驱动装置，其特征在于，所述马达驱动所述刀背沿所述两根导轨运动。

8.如权利要求6所述的驱动装置，其特征在于，所述第一轴承设置于所述连接条上。

9.一种扫描狭缝单元，其特征在于，包括：

四个刀片，所述四个刀片两两相对设置，组成两组刀片对；

每个刀片上设置有如权利要求1～8中任一项所述的驱动装置，所述驱动装置能够驱动所述刀片运动。