CN203287600U - 可调缝宽的狭缝光阑调整装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种可调缝宽的狭缝光阑调整装置，包括：镜筒；与所述镜筒螺纹匹配的可调节镜筒；楔形滑块，轴向固定设置在所述可调节镜筒内；可调狭缝片单元，包括两个对称连接的可调狭缝片，所述可调狭缝片的一端具有导向槽，所述楔形滑块的楔形面与所述导向槽匹配；锁紧单元，与所述镜筒连接。本实用新型提供的可调缝宽的狭缝光阑调整装置，通过旋转可调节镜筒带动与其连接的楔形滑块做轴向运动，在楔形滑块的作用下，可调狭缝片将轴向运动转化为径向运动，从而调节缝宽，结构紧凑，稳定性高；本实用新型的可调缝宽的狭缝光阑调整装置以镜筒轴为旋转中心，在调整过程中可调狭缝片对称向两侧移动，调整到需要的宽度后不需要再对准，操作简单可靠。

Description

可调缝宽的狭缝光阑调整装置

技术领域

本实用新型涉及光学精密机械设计与加工技术领域，尤其涉及一种可调缝宽的狭缝光阑调整装置。

背景技术

在半导体生产技术领域中，电镀是IC电路后封装非常重要的工艺之一，其利用硅片的边缘做阳极，硅片中间的电镀窗口做阴极，然后在阴阳两极之间加一定的直流工作电压，通过控制电流大小及电镀槽中电镀液的浓度来控制金属凸块的高度。由于光刻胶不导电，因此在电镀工艺之前需将硅片边缘的光刻胶去掉，而去边宽度大小取决于前道WEE（wafer edge exclusion）工艺的去边宽度。随着半导体器件工艺情况的日臻复杂，其对边缘曝光系统也不断提出新的要求，如精确地控制边缘曝光的宽度、位置、剂量等，需要对边缘曝光镜头的性能进行更严格的控制。

在一般的边缘曝光镜头中，利用视场光阑的形状来控制边缘曝光光斑的形状和大小。狭缝开口的平行性、对称性、开闭的均匀性、狭缝宽度对边缘曝光系统的性能有重要的影响，目前的狭缝主要有以下几类：1、固定的宽度狭缝，该狭缝结构简单、成本低、狭缝宽度不可调节；2、采用丝杆调节狭缝宽度的单向可调式狭缝，公告号为2656966Y的中国专利公开了一种简易适用的可调狭缝装置，采用螺纹传动，带动狭缝片进行平移，这种狭缝装置无对称性，精度较低，结构松散，不适合精密镜头适用；3、采用调节螺杆推动狭缝片平移，公布号为101915613A的中国专利公开了一种可双向调节缝宽的狭缝调整装置，该种调节缝宽的方式结构复杂，精度不高，结构松散、对称性不好，不适合精密镜头适用。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供了一种可调缝宽的狭缝光阑调整装置，以解决狭缝装置结构松散、精度较低、对称性较差的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：提供一种可调缝宽的狭缝光阑调整装置，包括：镜筒；与所述镜筒螺纹匹配的可调节镜筒；楔形滑块，轴向固定设置在所述可调节镜筒内；可调狭缝片单元，包括两个对称连接的可调狭缝片，所述可调狭缝片的一端具有导向槽，所述楔形滑块的楔形面与所述导向槽匹配；锁紧单元，与所述镜筒连接。

进一步地，所述可调节镜筒的内孔设置有光学细牙螺纹。

进一步地，所述可调狭缝片单元还包括销以及弹簧，所述两个可调狭缝片通过所述销和所述弹簧对称连接。

进一步地，所述楔形滑块通过球头柱塞轴向固定在所述可调节镜筒内。

进一步地，可调缝宽的狭缝光阑调整装置还包括滚珠轴承，所述可调节镜筒与所述楔形滑块通过所述滚珠轴承连接。

进一步地，所述锁紧单元为锁紧螺母，所述锁紧螺母的内孔加工光学细牙螺纹，与所述镜筒连接。

进一步地，所述锁紧单元为电机控制元件，所述电机控制元件与所述镜筒连接。

本实用新型提供的可调缝宽的狭缝光阑调整装置，通过旋转可调节镜筒带动与其连接的楔形滑块做轴向运动，在楔形滑块的作用下，可调狭缝片将轴向运动转化为径向运动，从而调节缝宽，结构紧凑，稳定性高；本实用新型的可调缝宽的狭缝光阑调整装置以镜筒轴为旋转中心，在调整过程中可调狭缝片对称向两侧移动，调整到需要的宽度后不需要再对准，操作简单可靠。

进一步地，本实用新型的可调缝宽的狭缝光阑调整装置的调整精度由光学仪器细牙螺纹的螺距、镜筒螺纹直径、楔形滑块的角度决定，可以保证较高较稳定的精度。

进一步地，在本实用新型提供的可调缝宽的狭缝光阑调整装置，将可调节镜筒外接电动控制元件，可进行电动调整。

附图说明

图1a为本实用新型实施例提供的一种可调缝宽的狭缝光阑调整装置的分解结构示意图；

图1b为本实用新型实施例提供的一种可调缝宽的狭缝光阑调整装置的剖面结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的楔形滑块设置在可调镜筒内的立体结构示意图；

图3a为本实用新型实施例提供的可调狭缝片单元的侧面立体结构示意图；

图3b为本实用新型实施例提供的可调狭缝片单元的正面立体结构示意图;

图4为本实用新型实施例提供的楔形滑块与可调狭缝片相互匹配设置的剖面结构示意图。

图5为本实用新型实施例提供的镜筒、可调狭缝片和楔形滑块之间导向槽结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的一种可调缝宽的狭缝光阑调整装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用于方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

本实用新型的核心思想在于，本实用新型提供的可调缝宽的狭缝光阑调整装置，通过旋转可调节镜筒带动与其连接的楔形滑块做轴向运动，在楔形滑块的作用下，可调狭缝片将轴向运动转化为径向运动，从而调节缝宽，结构紧凑，稳定性高；本实用新型的可调缝宽的狭缝光阑调整装置以镜筒轴为旋转中心，在调整过程中可调狭缝片对称向两侧移动，调整到需要的宽度后不需要再对准，操作简单可靠。

图1a为本实用新型实施例提供的一种可调缝宽的狭缝光阑调整装置的分解结构示意图；图1b为本实用新型实施例提供的一种可调缝宽的狭缝光阑调整装置的剖面结构示意图。参照图1a以及图1b，本实用新型提供一种可调缝宽的狭缝光阑调整装置，包括：镜筒11；与所述镜筒11螺纹匹配的可调节镜筒12；楔形滑块13，轴向固定设置在所述可调节镜筒12内；可调狭缝片单元14，包括两个对称连接的可调狭缝片141，所述可调狭缝片141的一端具有导向槽，所述楔形滑块13的楔形面与所述导向槽匹配；锁紧单元15，与所述镜筒11连接。

图2为本实用新型实施例提供的楔形滑块设置在可调镜筒内的立体结构示意图。参照图2，可调缝宽的狭缝光阑调整装置还包括滚珠轴承16，所述可调节镜筒12与所述楔形滑块13通过所述滚珠轴承16连接。在楔形滑块13的四周装有球头柱塞17对其进行轴向压紧定位，所述楔形滑块13通过球头柱塞17轴向固定在所述可调节镜筒12内。所述可调节镜筒12的内孔设置有光学细牙螺纹。

图3a为本实用新型实施例提供的可调狭缝片单元的侧面立体结构示意图；图3b为本实用新型实施例提供的可调狭缝片单元的正面立体结构示意图。图5为本实用新型实施例提供的镜筒、可调狭缝片和楔形滑块之间导向槽结构示意图。参照图3a、图3b、图5以及图1a，所述可调狭缝片单元14还包括销142以及弹簧143，所述两个可调狭缝片141通过所述销142和所述弹簧143对称连接。在利用本实用新型提供的可调缝宽的狭缝光阑调整装置进行调整缝宽时，可调狭缝片141紧贴楔形滑块13沿导向槽31方向作对称的径向滑行平移。

在本实施例中，所述锁紧单元15为锁紧螺母，所述锁紧螺母的内孔加工光学细牙螺纹，与所述镜筒11连接。本领域普通技术人员应该悉知，所述锁紧单元15为电机控制元件，所述电机控制元件与所述镜筒11连接，当可调节镜筒12外接装置依靠电动调整时，可以利用电机锁紧。

图4为本实用新型实施例提供的楔形滑块与可调狭缝片相互匹配设置的剖面结构示意图。参照图4，可调缝宽的狭缝光阑调整装置的调整精度由光学仪器细牙螺纹的螺距、镜筒11的螺纹直径以及楔形滑块13的角度α决定，具体地，镜筒11的螺纹螺距为P，每圈刻度为n，楔形滑块13的斜面与径向所夹的角度为α，则每个刻度对应的狭缝宽度ΔL为：

$\mathrm{\ΔL}=\frac{2P\cot \mathrm{\α}}{n}$

利用本实用新型提供的可调缝宽的狭缝光阑调整装置进行狭缝调整时，旋转可调节镜筒12，可调节镜筒12沿轴向旋转并沿轴向向内运动，使楔形滑块13跟随可调节镜筒12作沿轴向向内运动，由于楔形滑块13和可调节镜筒12之间通过滚珠轴承16连接，并且与可调狭缝片141之间通过导向槽31具有导向作用，楔形滑块13只作轴向运动，而不会随着可调节镜筒12旋转。当楔形滑块13轴向运动时，与其通过面接触的可调狭缝片141在接触斜面上进行滑动，由于两个可调狭缝片141之间通过弹簧143连接，在弹簧弹力的作用下，可调狭缝片141紧贴楔形滑块13沿导向槽31方向作对称的径向向外滑行平移，可调狭缝片141随之变宽，当狭缝调整到需要的宽度时，反向拧紧锁紧螺母进行锁紧定位。可调节镜筒12外刻有刻度，可精确知道所需调整狭缝的宽度和需要调整的位置。当与上述旋转可调节镜筒12的旋转方向相反时，随着楔形滑块13沿轴向向外运动时，可调狭缝片141紧贴楔形滑块13沿导向槽31方向作对称的径向向内滑行平移，可调狭缝片141随之变窄。

显然，本领域的技术人员可以对实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (7)

1.一种可调缝宽的狭缝光阑调整装置，其特征在于，包括：

镜筒；

与所述镜筒螺纹匹配的可调节镜筒；

楔形滑块，轴向固定设置在所述可调节镜筒内；

可调狭缝片单元，包括两个对称连接的可调狭缝片，所述可调狭缝片的一端具有导向槽，所述楔形滑块的楔形面与所述导向槽匹配；

锁紧单元，与所述镜筒连接。

2.根据权利要求1所述的可调缝宽的狭缝光阑调整装置，其特征在于，所述可调节镜筒的内孔设置有光学细牙螺纹。

3.根据权利要求1所述的可调缝宽的狭缝光阑调整装置，其特征在于，所述可调狭缝片单元还包括销以及弹簧，所述两个可调狭缝片通过所述销和所述弹簧对称连接。

4.根据权利要求1所述的可调缝宽的狭缝光阑调整装置，其特征在于，所述楔形滑块通过球头柱塞轴向固定在所述可调节镜筒内。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的可调缝宽的狭缝光阑调整装置，其特征在于，还包括滚珠轴承，所述可调节镜筒与所述楔形滑块通过所述滚珠轴承连接。

6.根据权利要求1所述的可调缝宽的狭缝光阑调整装置，其特征在于，所述锁紧单元为锁紧螺母，所述锁紧螺母的内孔加工光学细牙螺纹，与所述镜筒连接。

7.根据权利要求1所述的可调缝宽的狭缝光阑调整装置，其特征在于，所述锁紧单元为电机控制元件，所述电机控制元件与所述镜筒连接。

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