CN104285171B - 包括半导体光调制器的光学组件 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种处理输入光信号并输出处理光信号的光学组件。光学组件设置有外壳及外壳内的光处理装置。外壳设置有以并排布置的方式设在第一壁中的光输入端口和光输出端口。外壳的第三壁仅设置有RF端子。外壳的第二及第四壁设置有DC端子。DC子与装置上的DC焊盘之间的电气连接部是利用如下的布线基板实现的:布线基板的顶部避开了从光输入端口到装置的输入端口为止的光路。

Description

包括半导体光调制器的光学组件
技术领域
本申请涉及一种包括半导体光调制器的光学组件。
背景技术
近来的光通信系统用如下部件来实现:包括被直流信号驱动的半导体激光二极管(下文用LD来表示)在内的光信号源以及利用从LD发射的连续波对光进行调制以产生调制信号光的外调制器。外调制器可以是马赫-泽德式调制器、电吸收(EA)调制器等等。公开为US2012/134620A的美国专利披露了这样的马赫-泽德式外调制器。
适用于光通信系统的光收发器通常包括光源、光调制器和光接收机。光接收机接收从与光收发器耦合的光纤提供的光信号;同时,光调制器对从光源输出的连续波的光进行调制来将调制光提供到也与光收发器耦合的另一光纤中。
光调制器不仅接收来自光源的连续波光,而且还接收电信号以对连续波光进行调制。而且,安装外调制器的目的在于用极高频率的信号调制光,例如,超过10GHz有时能达到25GHz。如此高频率的信号容易在互连部处劣化。因此,有必要设计光调制器以使光学设置与电气设置相符。
发明内容
本申请的一个方面涉及一种光学组件,该光学组件包括光处理装置和用于将光处理装置安装在内的外壳。所述光处理装置包括输入端口、输出端口、监测端口、射频信号焊盘和直流信号焊盘。所述外壳包括光输入端口和光输出端口。所述壳体的光输入端口接收所述输入光信号。所述光输出端口输出处理光信号。本发明的光学组件的特征在于,所述光输出端口的轴线与所述光处理装置的输出端口对准,使得所述光处理装置设置为相对于所述外壳的纵轴偏移地安装在所述外壳内。
所述外壳呈具有第一壁到第四壁的矩形形状,所述光处理装置呈包括分别与所述外壳的第一壁到第四壁中的对应壁面对的第一边缘到第四边缘在内的矩形形状。所述外壳的特征在于所述光输入端口和所述光输出端口以并排布置的方式设置在所述第一壁中,与所述第一壁相反的第三壁设置有用于RF信号的端子,并且将所述第一壁和所述第三壁连接起来的第二壁和第四壁设置有用于DC信号的端子。此外,所述壳体的所述第二壁与所述第二边缘之间的空间比所述第四壁与所述第四边缘之间的空间更宽。
所述光输入端口布置在所述第一壁中,而所述光处理装置的输入端口布置在第二边缘中,从所述外壳的光输入端口到所述光处理装置的输入端口为止的光路在所述光处理装置的所述第二边缘和所述第二壁之间的一侧处大致弯折了直角。在所述光处理装置的第二边缘侧所确保的更宽的空间可以用于安装输入耦合系统,所述输入耦合系统将所述光路从所述光输入端口弯折到所述输入端口。此外,所述光学组件还设置有布线基板,所述布线基板将所述第二壁中的端子电气连接到所述第二边缘中的DC焊盘。本申请的光学组件的特征在于,所述布线基板的顶部水平避开了从所述光输入端口到所述输入端口为止的所述光路。
附图说明
从下面参考附图对优选实施例的详细描述中能更佳地理解上述和其他目的、方面以及优点,其中:
图1是可与本发明的实施例做比较的光学组件的平面图;
图2A是本发明的实施例的光学组件的平面图,图2B示出沿图2A中所示的线IIB-IIB截取的截面;
图3示出光学组件的沿图2A中示出的线III-III截取的横截面;
图4是安装在图2A显示的光学组件中的调制装置放大后的平面图;
图5示出根据第二实施例的光学组件的横截面;
图6是第三实施例的光学组件的平面图;
图7示出沿图6中所示的线VII-VII截取的横截面;
图8放大地显示设置在调制装置两侧的监测基板的部分。
具体实施方式
首先将描述可与本发明的实施例做比较的光调制器。图1是第一比较组件的平面图,该组件在外壳200的第一壁202中包括输出调制光的窗口210,而在与第一壁202相反的第三壁206中设置有输入连续波(CW)的光的窗口212。两个窗口210及212分别显示出光输出端口及光输入端口的功能。后者窗口212与光耦合单元光耦合,该光耦合单元包括利用插芯218来接纳光纤214的保持器220和用来安装透镜的另一保持器222。前者窗口210与另一光耦合单元光耦合,该另一光耦合单元包括用于保持插芯218来固定另一光纤216的保持器220和将透镜安置在内的另一保持器222。
光调制器在热电制冷器228上安装有装置230。从外部光纤214输出的光通过透镜232进入设置在装置230的面对外部光纤214的边缘中的输入端口234。装置230调制进入输入端口234的光以产生调制光,调制光从输出端口236和238输出,每个输出端口都设置在装置230的面对光纤216的另一边缘上。在图1中省略了装置230的细节,尤其是例如波导结构等内部结构。
从一个输出端口236(即第一输出端口)输出的调制光,在通过准直透镜240后进入了半波延迟器242,其中,半波延迟器242使通过的光的偏振态旋转90°。偏振态得到旋转的光被反射镜244反射后进入偏振光合束器(PBC)246。另一方面,从另一输出端口238(即第二输出端口)输出的调制光直接进入PBC246而没有通过半波延迟器242。PBC246组合前者调制光和后者调制光,并且组合光经过保持器222与光纤216耦合。
外壳20还在装置230的两侧(即在装置230和第二壁204之间以及在装置230和第四壁208之间)安装有监测基板250。监测基板250安装有如光电二极管等半导体器件来监测调制光。终端基板252安装有与装置230中的电极电气连接的终端以接收高频信号。
装置230的两侧还设置有另外的基板258,基板258上安装有用于驱动装置230的驱动电路256以及驱动电路256与装置230之间的互连部。具体地说,装置230中的用于高频信号的端子226经由互连部260与驱动电路256耦合,而用于DC信号的端子224经由接合引线262与装置230耦合。
上述的光调制器在外壳200的彼此相反的壁202和203上分别设置有输入光纤214和输出光纤216。这种布置方式,即,输入光纤和输出光纤之间的光耦合具有最高优先权的布置方式迫使电气布置方式成为第二考虑因素。用于高频信号的端子分别在第二壁204和第四壁208这两个壁上,需要对相应信号的延迟时间进行精确调节。
(第一实施例)
图2A和图2B分别是根据本申请实施例的调制组件的平面图和截面图,其中,图2B是沿图2A中所示的线IIB-IIB截取的截面。图2A所示的调制组件10经由设置在第三壁16上的用于高频信号的端子74与调制装置40电气连接。更确切地说,用于高频信号的射频(RF)端子74形成在与装配有光耦合部32的一侧相反的一侧。布置在第一壁12和反射镜60之间的布线基板136设置在调制装置40的面对第二壁14的一侧。布线基板136将设置在第二壁14中的DC端子与沿调制装置40的边缘44形成的焊盘86、100和101电气连接在一起。在第三壁16和调制装置40之间设置有将驱动器76与沿调制装置40的边缘46形成的焊盘电气连接在一起的另一布线基板80。提供给光输入端口20的输入光信号前往反射镜60,以大致直角被朝向会聚透镜62反射,并且进入调制装置40的输入端口50。反射镜60和会聚透镜62安装在耦合基板63上。
下面将参考图2B和图3描述布线基板136周围的布置方式。图3示出调制组件10的沿图2A中所示的线III-III截取的横截面。热电制冷器(TEC)34经由第一承载体126和第二承载体128安装调制组件40。布线基板136也经由第一承载体126安装在TEC34上。第一实施例的布线基板136的厚度为大约0.5mm。
第二壁14和第四壁18设置有形成有与DC端子72电气连接的互连部134的馈通基板132。接合引线124将沿着边缘48形成在调制装置40上的焊盘106与第四壁18中的馈通基板132上的互连部134电气连接在一起。另一接合引线124将第二壁14中的馈通基板132上的互连部134与布线基板136上的互连部138相连接;并且又一接合引线124将调制装置40上沿第二边缘44的焊盘106与布线基板136上的互连部138相连接。在本实施例中,第二壁14中的端子72用于直流信号。例如,将用于调节调制光的相位的信号承载在端子72上,并且该信号是大致DC信号;因此,布线基板136上的互连部138不会降低信号质量,甚至在互连部138不具备阻抗匹配条件时也如此。上述布置方式的特征在于布线基板136所在的水平低于输入光36的轴线,即,布线基板136不干涉从外壳的光输入端口20到调制装置40的输入端口50为止的光信号的光轴。
根据上述第一实施例,调制组件10在第一壁12中以并排的配置方式布置有让输入光信号通过的光输入端口20和让输出光信号通过的光输出端口22。光输入端口20和光输出端口22的这种布置方式缩短了RF信号的互连部。尽管光输入端口20和光输出端口22的这种布置方式使输入光的光轴与第二壁14中的DC端子72和调制装置40的沿边缘44的DC焊盘之间的互连部存在交叉,但布线基板136的水平比输入光信号的光轴低可以防止互连部干涉输入光信号。
RF端子74以及互连部78和82将RF端子74与调制装置40相连,并且设置在与第一壁12的用于输入光信号和输出光信号的光输入端口20和光输出端口22的设置侧相反的一侧。RF端子74的这种布置方式使得RF端子74与调制装置40之间的长度变短。而且,因所有RF端子74都设置在第三壁16中,有效地消除了电信号之间的偏斜(skew)。布线基板136布置在调制装置40侧而与输入光信号的光路36交叉,但在竖直方向上保护间隔可以将设置在第二壁14中的DC端子72与调制装置40的边缘44电气连接在一起。
自调制装置40的输出端口52和54输出的两个光束进入包括两个准直透镜64和71、半波延迟器66、反射镜68和偏振光合束器(PBC)70的输出耦合系统。准直透镜71和64使自调制装置40的输出端口42和52输出的光束准直。其中一个光束经半波延迟器64而偏振态得到旋转,并被反射镜68朝向PBC70反射。PBC70对来自反射镜68的光信号具有较大的反射率和较小的透光率;而对偏振态没有发生旋转的来自准直透镜71的光信号,PBC70显示出较大的透光率和较小的反射率。从而,PBC70有效地组合了两个偏振态相差90°的光信号并且将这样组合的光信号输出到调制组件10的输出端口22。
下面将描述用于调制光的调制装置40。图4是调制装置40的平面图。调制装置40呈具有四个边缘42到48的矩形形状,且具有在第二边缘44中的输入端口50、在第一边缘42中的两个输出端口52和54、在第二边缘44和第四边缘48中的两个监测端口56和58以及在调制装置40的主表面上的许多个波导88到94。调制装置40还设置有焊盘102到106来提供调制装置40中的电极98到100上的RF信号和DC信号。电极98到100形成在相应的波导上来调制或移动波导中传播的光的相位。
具体地说,与第二壁44的输入端口50耦合的波导88被三重布置的Y分支光分频器96分至波导90a到90h。波导90a到90h均设置有用于调制光的电极98以及用于移动光的相位的电极100。电极98经由互连部102(其末端位于边缘46处且具有焊盘功能)从驱动器76接收调制信号(RF信号)。在两个电极98之间布置有接地电极99。接地电极99的一端经由互连部103连接到驱动器76的接地端子。电极98和99的另一端以互连部104结束。终端沿边缘44和48设置在调制装置40外侧。经由互连部102提供电极98中彼此互补的RF信号,通过改变相位来调制在波导90a到90h中传播的光。用于移动光相位的电极100经由互连部106接收DC偏压,互连部106的端部在边缘44和48处也具有接合焊盘的功能。经由互连部107与外部地面连接的电极101为调制装置40赋予接地电位。将DC偏压提供给电极100,可以移动在波导90a到90h中传播的光的相位。
光耦合器108将波导90a到90h组合为四个波导92a到92d。每一个组合波导92a到92d设置有电极86来调节形成于其后的波导92a到92d传播的光的相位。光耦合器112的一端将波导92a和92b结合在一起,从光耦合器112的另一端分出两个波导94a和94b,其中前者波导94a与边缘44中的监测端口56耦合;而后者波导94b与输出端口52耦合。另一光束组合器114的一端将另外两个波导92c和92d结合在一起,并且从光束组合器114分出两个波导94c和94d,其中前者波导94c与另一输出端口54耦合,而后者波导94d与在边缘48中的另一监测端口58耦合。
在图4中所示的调制装置40中,调制光束从在第一边缘42的输出端口52和54以及分别设置在第二边缘44和第四边缘48中的监测端口56和58输出。为了稳定地操作调制装置40,优选地检测从输出端口52和54输出的光功率,并且将检测结果反馈给调制装置40的控制装置。如图2A所示,在第一壁12和第一边缘42之间布置有如反射镜、分束器、半波延迟器等各种光学部件使得基本上没有空间留下来放置监测装置。同样,形成有RF互连部78的布线基板80布置在第三壁16和第三边缘46之间从而基本上没有空间留下来放置监测装置。因此,面对第二边缘44和第四边缘48的空间是放置监测装置的剩余方式。
描述了均装有监测光电二极管116的两个监测基板118和120。为了使调制组件10紧凑,调制装置40的一侧的空间在保证至少有空间设置监测基板118和120的同时应该尽可能小。监测基板118和120除了安装有监测光电二极管116外,还安装有组成监测电路的集成电路(IC)、电阻器、电容器等等,这需要相当大的面积。此外,各监测基板118和120上的监测电路具有同样的功能。因此,两个监测基板118和120具有彼此大致相同的面积并且呈如图2A所示的沿调制装置40的边缘44和48延伸的矩形形状。
(第一变型例)
图8放大地显示安装两个监测基板118和120A的部分。图8还省略了调制装置40的细节。如图8所示,监测基板120A呈与前述的监测基板120相同的矩形形状,但本实例中的监测基板120A沿调制组件10的横向延伸。此外,本实例的调制装置40设置有分别斜对角地位于调制装置40的相应边缘44和48中的监测端口56和58。在光学组件中,当两个光端口布置在一个边缘中时,需要两个光端口之间具有相当远的距离,这是因为各端口将与另外的光学器件组装在一起。端口间的距离例如为5mm。然而,调制装置40的平面尺寸由其光学功能决定;即,调制装置40的两个输出端口之间具有一段距离但是远远短于调制组件10的两个光输出端口20和22之间的距离。
此外,为了尽可能简单地构造将调制装置40与调制组件10的光输出端口20和22连接起来的光学系统,调制装置40的一个输出端口54优选地与调制组件10的一个光输出端口22对准,即,两个输出端口22和54优选地布置在共同的轴线上。图2和图8所示的实例提供了与光输出端口的光轴38对准的输出端口54。因此,该实施例的调制组件10的第二边缘44和第二壁14之间的空间比第四边缘48和第四壁18之间的空间更宽。从一个端口20进入的光经过第二边缘44和第二壁14之间的前者空间以在经过反射镜60反射和会聚透镜62后输入调制装置40。
因此,图8中的所示调制组件10布置有以竖版方式置于第二边缘44和第二壁14之间的监测基板118以及以横版方式置于边缘48和第四壁18之间的另一监测基板120A,在此方向“竖版方式”是指矩形的较长边与调制组件10的纵轴相交,而方向“横版方式”是指矩形的较长边沿着纵轴。以竖版方式放置的监测基板118留出安装耦合基板63的空间以在耦合基板63上与监测基板118相邻的一侧安装反射镜60和会聚透镜62。图8所示的布置方式将监测光电二极管116放置在斜对角。然而,监测基板120A可以将监测光电二极管116安装在与监测基板118上的另一监测光电二极管116对应的位置。也就是说,监测光电二极管116在监测基板120A上的位置可以移动到正好面对监测基板118上的另一监测光电二极管116的位置。在这种布置方式下,调制装置40可以在如图2A所示的相应位置设置监测端口56和58。
因为监测基板118以竖版方式放置,从输入端口20到反射镜60的光路与监测基板118相交,也就是说,光路可能干涉安装在监测基板118上的元件。本实施例的调制组件10降低了监测基板118的顶端以便使其器件不干涉光路。
(第二实施例)
图5显示了沿图2A中所示的线III-III截取的横截面,但是组件10A是根据本申请的第二实施例。图5中所示的光学组件10A与图2A中所示的第一实施例10的布置方式的区别特征在于:布线基板136在互连部138的端部设置有导电晶粒140,并且接合引线124从馈通基板132上的互连部134及调制装置40的焊盘106结合到导电晶粒140的顶部上。光学组件10A的其他布置方式与前述实施例相同。
第二实施例的光学组件10A利用导电晶粒140实现了馈通基板132和布线基板136之间以及调制装置40和布线基板136之间的电气连接,导电晶粒的顶部与馈通基板132的顶部和调制装置40的顶部齐平。结果,可以缩短接合引线124。
图5中所示的实施例提供了导电晶粒140;然而,晶粒140可以用由绝缘材料制作的部件来替代,但在晶粒140的顶部上形成互连部且在晶粒140的侧壁上形成互连部以将顶部的互连部与布线基板136上的互连部138电气连接起来。在变型例中,可以与布线基板136一体地形成绝缘的晶粒,并且使布线基板136顶部的互连部138延伸到晶粒140的顶部。
(第三实施例)
图6是根据本申请的第三实施例的另一个调制组件10B的平面图。图6的调制组件10B与前述实施例的区别特征在于:在面对调制装置40的边缘48的一侧设置有另一布线基板136。也就是说,前述的实施例经由接合引线124将第四壁中的DC端子72与调制装置40上的焊盘106相连;而本实施例经由另一布线基板136将DC端子72与焊盘106相连。
图7显示了沿图6中示出的线VII-VII截取的横截面。如图7所示,调制组件10B在调制装置40的两侧设置有两个布线基板136。面对边缘48的壁18中的直流端子72经由馈通基板132上的互连部134、接合引线124、布线基板136上的互连部138和接合引线124连接到调制装置40上的焊盘106。类似地,面对边缘44的壁14中的直流端子72经由馈通基板132上的互连部134、接合引线124、布线基板136上的互连部138和接合引线124电气连接到调制装置40上的焊盘106。此外,因为布线基板136的顶部所在水平低于光轴36,布线基板136上的互连部138以及边缘44与壁14之间的接合引线124绝不会干涉输入光束的光轴34。设置在调制装置40另一侧的布线基板136与光轴36无关;然而,布线基板136上的互连部138可以缩短接合引线的长度,这可以保证调制组件的可靠性。具有不必要长度的接合引线经常与邻近的接合引线引起短路。
因而,调制组件10B因与沿着边缘48的焊盘相连的长接合引线被布线基板136所代替,可以保证调制组件10B的可靠性,特别是针对施加于光学组件的机械振动和/或震动提供了可靠性。
虽然出于示例的目的,本文描述了本发明的具体实施例,但对于本领域的技术人员而言显而易见的是可以进行许多变型和修改。因此,所附权利要求书意图涵盖落入本发明的真实精神和范围内的所有这些变形和修改。

Claims (14)

1.一种用来接收输入光信号并输出处理光信号的光学组件,包括:
光处理装置,其构造成接收所述输入光信号并输出所述处理光信号,所述光处理装置具有输入端口、输出端口、监测端口、射频信号焊盘和直流信号焊盘;以及
外壳,其呈包括第一壁到第四壁在内的矩形平面形状且具有光输入端口和光输出端口,在所述光输入端口接收所述输入光信号,从所述光输出端口输出所述处理光信号,所述光输出端口与所述光处理装置的输出端口对准,
其中,所述外壳的第一壁设置有所述光输入端口和所述光输出端口,与所述第一壁相反的所述第三壁设置有用于射频信号的端子,将所述第一壁与所述第三壁连接起来的所述第二壁和所述第四壁设置有用于直流信号的端子,
所述光处理装置呈包括分别与所述外壳的第一壁到第四壁面对的第一边缘到第四边缘在内的矩形平面形状,并且
所述光学组件的设置于所述第二壁与所述第二边缘之间的空间比设置于所述第四壁与所述第四边缘之间的另一空间更宽使得所述光处理装置相对于所述外壳的纵轴偏移地安装在所述外壳内。
2.根据权利要求1所述的光学组件,
其中,所述光处理装置的输入端口布置在所述第二边缘中,并且
所述光学组件还包括安装在设置于所述外壳的第二壁和所述光处理装置的第二边缘之间的所述空间中的输入耦合系统,所述输入耦合系统将从所述外壳的光输入端口提供的输入光信号引导到所述光处理装置的输入端口。
3.根据权利要求2所述的光学组件,
其中,所述输入耦合系统包括反射镜,所述反射镜将从所述外壳的光输入端口提供的输入光信号以近似直角朝所述光处理装置的输入端口反射。
4.根据权利要求1所述的光学组件,
还包括布线基板,所述布线基板用于将设置在所述外壳的第二壁中的所述端子电气连接到布置在所述光处理装置的第二边缘中的直流焊盘,
其中,所述布线基板的顶部水平避开了从所述外壳的光输入端口到所述光处理装置的输入端口为止的所述输入光信号的光路。
5.根据权利要求4所述的光学组件,
其中,所述布线基板上设置有互连部,所述光处理装置上的直流焊盘经由将所述直流焊盘连接到所述布线基板的互连部上的接合引线、所述互连部以及将所述互连部连接到所述第二壁中的所述端子上的接合引线而与所述第二壁中的所述端子电气连接。
6.根据权利要求4所述的光学组件,
其中,所述布线基板设置有互连部和设置在所述互连部的两端处的导电的晶粒,所述光处理装置上的直流焊盘经由将所述直流焊盘与所述互连部的一端所设置的晶粒连接起来的接合引线、所述互连部、设置在所述互连部的另一端处的另一晶粒以及将所述另一端处的晶粒与设置在所述第二壁中的所述端子连接起来的接合引线而与所述第二壁中的所述端子电气连接。
7.根据权利要求1所述的光学组件,
其中,所述光处理装置的监测端口布置在所述光处理装置的第二边缘中,
所述光学组件还包括监测基板,所述监测基板用于安装光监测装置及用于对所述光监测装置的输出做处理的电子电路,并且
所述监测基板、所述光监测装置和所述电子电路避开了从所述外壳的光输入端口到所述光处理装置的输入端口为止的所述输入光信号的光路。
8.一种调制组件,包括:
调制装置,其包括输入端口、两个输出端口、两个监测端口、射频焊盘和直流焊盘,所述调制装置呈具有第一边缘到第四边缘的矩形平面形状;
输入耦合系统,其包括反射镜;
输出耦合系统,其包括半波延迟器,所述半波延迟器使从所述调制装置提供的光信号的偏振态旋转近似直角;以及
外壳,其包括光输入端口、光输出端口、直流端子和射频端子,所述外壳呈具有分别与所述调制装置的第一边缘到第四边缘面对的第一壁到第四壁的矩形平面形状,
其中,所述调制装置相对于所述外壳的纵轴偏移地安装在所述外壳内,并且
所述外壳的光输出端口的轴线与所述调制装置的输出端口的轴线共轴。
9.根据权利要求8所述的调制组件,
其中,所述光输入端口和所述光输出端口仅设置在所述第一壁中,所述射频端子仅设置在与所述第一壁相反的所述第三壁中,所述直流端子仅设置在将所述第一壁与所述第三壁连接起来的所述第二壁和所述第四壁中,并且
所述调制组件的所述第二边缘与所述第二壁之间的空间比所述第四壁与所述第四边缘之间的空间更宽。
10.根据权利要求9所述的调制组件,
其中,所述输入耦合系统设置在耦合基板上,所述耦合基板安装在所述第二壁和所述第二边缘之间的空间中。
11.根据权利要求10所述的调制组件,
其中,所述调制装置的输入端口设置在所述第二边缘中,所述输入耦合系统将从所述外壳的所述第一壁中的光输入端口提供的输入光信号朝所述调制装置的所述第二边缘中的所述输入端口反射。
12.根据权利要求9所述的调制组件,
还包括布线基板,所述布线基板将所述外壳的所述第二壁中的直流端子电气连接到所述调制装置的第二边缘中的直流焊盘,并且
其中,所述布线基板的顶部水平比从所述外壳的光输入端口提供到所述调制装置的输入端口中的输入光信号的光路的水平低。
13.根据权利要求8所述的调制组件,
其中,所述输出耦合系统安装在所述第一壁和所述调制装置的第一边缘之间的空间中,并且
所述输出耦合系统还包括两个准直透镜、反射镜和偏振合束器,所述两个准直透镜分别使自所述调制装置的相应输出端口输出的光束准直,所述半波延迟器使所述光束之中的一束光的偏振态旋转,所述偏振合束器将所述光束之中的一束光与所述光束之中的偏振态被所述半波延迟器旋转的另一束光相组合,所述输出耦合系统将组合光束提供给所述外壳的输出端口。
14.根据权利要求8所述的调制组件,
还包括驱动器,所述驱动器用于驱动所述调制装置,
其中,所述驱动器安装在所述第三壁和所述调制装置的第三边缘之间的空间中。
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