CN104245552A - 缠绕工艺薄膜 - Google Patents

Abstract

一种缠绕设备。所述设备包括：中介层薄膜，其具有隔离物表面和背表面；第一隔离物，其由中介层薄膜承载在隔离物表面上邻近中介层薄膜的第一边缘处；第二隔离物，其由中介层薄膜承载在隔离物表面上邻近中介层薄膜的第二边缘处，所述隔离物限定工艺薄膜保护空间；以及能旋转的芯，其被取向成接纳中介层薄膜的初始端部并且将中介层薄膜与在工艺薄膜保护空间中的工艺薄膜卷起来，其中，工艺薄膜的钝性表面邻近中介层薄膜的表面。

Description

缠绕工艺薄膜

背景技术

工艺薄膜(包括基板)在高技术装置制造中有许多应用。工艺薄膜通常具有活性表面和钝性表面。钝性表面可被容易地把持和操纵，但功能性装置、分层的涂层和部件可形成或放置在活性表面上，并且因此，活性表面可能在处理期间容易被任何物理接触污染或损坏。为此，已经开发出各种类型的盒和跟踪系统以用于以不会不慎污染其活性表面的方式把持工艺薄膜。在半导体行业，前开口统一片盒(FOUP)式标准化的晶片盒操纵被广泛地用于保持硅片；晶片可在必要时由专用工具从这样的片盒移除以用于处理或测量。类似的过程被用于把持薄膜晶体管(TFT)玻璃基板。在塑料图案化工业中，一次性的插页有时被用于把持作为触摸屏和膜开关要素的这样的工艺薄膜。

附图说明

附图未按比例绘制。它们以举例方式示出本公开。

图1A是缠绕设备的一个示例的透视图。

图1B是缠绕设备的另一个示例的透视图。

图1C是缠绕设备的另一个示例的透视图。

图2A是根据一个示例的绕芯卷起来的中介层薄膜和工艺薄膜的剖视图，其中工艺薄膜邻近中介层薄膜的背表面。

图2B是根据一个示例的绕芯卷起来的中介层薄膜和工艺薄膜的剖视图，其中工艺薄膜邻近中介层薄膜的隔离物表面。

图3是根据另一个示例的绕芯卷起来的中介层薄膜和工艺薄膜的剖视图。

图4是带有形成为平行六面体的隔离物的中介层薄膜的一个示例的透视图。

图5是带有截头圆锥形隔离物的中介层薄膜的一个示例的透视图。

图6是能透气的中介层薄膜的一个示例的透视图，其具有形成为连续条的能透气的隔离物。

图7是形成为网片的中介层薄膜的一个示例的透视图。

图8是具有纹理化表面的中介层薄膜的一个示例的透视图。

图9是由中介层薄膜的层分离的工艺薄膜的层的局部剖开的透视图。

图10是根据一个示例的在每层中介层薄膜之间的并排的两条工艺薄膜的透视图。

图11A是在隔离物表面上承载多个支撑件的中介层薄膜的一个示例的透视图。

图11B类似于图11A，并且具有在支撑件上的工艺薄膜。

图12A是在背表面上承载多个支撑件的中介层薄膜的一个示例的透视图。

图12B类似于图12A，并且具有在支撑件上的工艺薄膜。

图13A是钝性表面工艺薄膜缠绕设备的一个示例的正面示意图，示出了开始从满卷盘朝空卷盘移动的工艺薄膜。

图13B是图13A中所示缠绕设备的背面示意图。

图14是流程图，示出了根据一个示例的处理工艺薄膜的方法。

图15是流程图，示出了根据另一个示例的处理工艺薄膜的方法。

图16是流程图，示出了根据另一个示例的处理工艺薄膜的方法。

具体实施方式

在附图和本描述中使用了示例性的示例和细节，但其它配置可存在并可暗示它们自身。诸如电压、温度、尺寸和分量值的参数为近似数。诸如“上”、“下”、“顶部”和“底部”的取向术语仅为了方便而使用，以指示部件相对于彼此的空间关系，并且除非另外指明，相对于外部轴线的取向不是关键的。为清楚起见，一些已知的方法和结构未被详细描述。由权利要求限定的方法可包括除了所列那些之外的步骤，并且除非在权利要求本身中指出，这些步骤可以以与所给定的不同的另一种次序执行。因此，唯一的限制来自权利要求，而不是来自附图或本描述。

在工艺薄膜（process films）上的活性表面（active surface）的卷对卷制造一直是困难的。在复杂的过程中，常常存在其中薄膜可被卷起来的仅仅有限的阶段。这是因为卷起薄膜导致在卷的一匝中的活性侧接触后续匝中的钝性侧。在涉及用诸如光致抗蚀剂或屏障涂层的敏感性或粘合性材料涂布活性表面的过程中，在薄膜可被卷起之前，过程必须顺序地连续通过固化和烘焙步骤。此外，甚至在其中可以卷起的制造阶段中，由卷绕和重绕引起的污染和机械损坏也会损坏活性表面或它上面的部件。甚至在其中使用插页的过程中，也存在污染的风险。此外，插页会引入静电荷，它不仅会损坏活性表面上的部件，而且会吸引灰尘和其它形式的小颗粒污染物。一直需要一种在各种制造阶段卷起工艺薄膜而不造成损坏的方式。

如图1A所示，缠绕（spooling）设备的一个示例包括大体上为100的中介层（interposer）薄膜，其具有隔离物表面102和背表面104。第一隔离物106由中介层薄膜100承载在其隔离物表面102上邻近中介层薄膜的第一边缘108处。第二隔离物110由中介层薄膜100承载在隔离物表面102上邻近中介层薄膜100的第二边缘112处。工艺薄膜保护空间114限定在第一和第二隔离物之间。可旋转的芯116取向成将中介层薄膜与在工艺薄膜保护空间114中的工艺薄膜(未示出)一起如由箭头118所指示那样卷起来，其中，工艺薄膜的钝性表面（passive surface）邻近中介层薄膜的表面。在该示例中，中介层薄膜100在隔离物表面102面向芯的情况下包裹在芯116周围，如由箭头120所指示的，该箭头显示，当从芯116的近端124观察时，芯在逆时针方向上绕其轴线122旋转。当薄膜被卷起时，限定在隔离物106和110之间的保护空间114从隔离物表面102延伸至中介层薄膜的相邻层(或匝)的背表面。

如图1B所示，在一些示例中，中介层薄膜100在背表面104面向芯的情况下包裹在芯116周围，如由箭头126所指示的。

在图1A的示例中，芯显示为实心轴的形式，但芯可采取其它形式。图1C给出了缠绕设备的一个示例，其类似于图1A中所示那样，不同的是，使用与中介层薄膜100的第一边缘108相邻的第一带凸缘的轮128和与中介层薄膜100的第二边缘112相邻的第二带凸缘的轮130来作为芯，而不是实心轴。

现在参看图2A，在其任一侧边缘上具有隔离物的一段中介层薄膜200显示为绕芯202卷起来。中介层薄膜200的第一部分204最靠近芯202并且承载沿一个边缘的隔离物的第一部分206和沿相对边缘的隔离物的第一部分208。术语“部分”是指围绕芯一直延伸的薄膜或隔离物的一个层(或匝)。第一部分(层或匝)邻近芯，并且当薄膜和隔离物被卷绕起来时，后续的层或匝一个卷绕在前一个的顶部上。隔离物的第一部分206和208邻近并且在一些示例中搁置在芯202上。

中介层薄膜200的第二部分212承载搁置在中介层薄膜的第一部分204上的隔离物的第二部分214和216。中介层薄膜200的第三部分218承载搁置在中介层薄膜的第二部分212上的隔离物的第三部分220和222。

一段工艺薄膜224也绕芯卷起来。工艺薄膜224的第一部分226位于形成于隔离物之间的保护空间的部分228中。与中介层薄膜一样，工艺薄膜的第一部分226可视为围绕芯的第一层(第一匝)。工艺薄膜224的活性表面的第一部分230承载各种物件，例如，特征、涂层、功能件、图案、或部件232A、232B、232C和232D。这些物件安装在工艺薄膜的活性表面上、形成于其中、或以其它方式放置在其上。工艺薄膜224的钝性表面的第一部分234邻近中介层薄膜200的背表面的第一部分236。工艺薄膜224的钝性表面的第一部分234由中介层薄膜200的背表面的第一部分236支撑。如本文将更详细讨论的，工艺薄膜被充分地张紧以在它和中介层薄膜的背表面之间保持接触。

保护空间的第一部分228在中介层薄膜的背表面的第一部分236和中介层薄膜的隔离物表面的第二部分238之间延伸。隔离物定尺寸成（sized to）使得保护空间完全包含工艺薄膜，而在中介层薄膜的隔离物表面和工艺薄膜的活性表面之间没有任何接触。

工艺薄膜224的第二部分240位于隔离物之间的保护空间的第二部分242中。工艺薄膜的钝性表面的第二部分244邻近中介层薄膜的背表面的第二部分246。

由此形成的卷盘可包括比图2A中所示三匝中介层薄膜和两匝工艺薄膜更少或更多(在一些示例中多得多)的匝。

图2B大体上类似于图2A，不同的是，工艺薄膜显示为夹有围绕芯的中介层薄膜，其中工艺薄膜的钝性表面邻近中介层薄膜的隔离物表面。更具体地讲，在其任一侧边缘上具有隔离物的一段中介层薄膜248显示为绕芯250卷起来。中介层薄膜的第一部分252最靠近芯并且承载沿一个边缘的隔离物的第一部分254和沿相对边缘的隔离物的第一部分256。中介层薄膜的第二部分258承载搁置在中介层薄膜的第一部分252上的隔离物的第二部分260和262。中介层薄膜的第三部分264承载搁置在中介层薄膜的第二部分258上的隔离物的第三部分266和268。

一段工艺薄膜270也绕芯卷起来。工艺薄膜270的第一部分272位于形成于隔离物之间的保护空间的部分274中。工艺薄膜的活性表面的第一部分276承载各种物件，例如，特征、涂层、功能件、图案、或部件278A、278B、278C和278D。这些物件安装在工艺薄膜的活性表面上、形成于其中、或以其它方式放置在其上。工艺薄膜的钝性表面的第一部分280位于中介层薄膜的隔离物表面的第一部分282附近。工艺薄膜的钝性表面的第一部分280由中介层薄膜的背表面的第一部分282支撑。

工艺薄膜的第二部分284位于隔离物之间的保护空间的第二部分286中。工艺薄膜的钝性表面的第二部分288邻近中介层薄膜的隔离物表面的第二部分290。类似地，工艺薄膜的第三部分292位于隔离物之间的保护空间的第三部分294中，其中，工艺薄膜的钝性表面的第三部分296邻近中介层薄膜的隔离物表面的第三部分298。

图3大体上类似于图2A，不同的是，在该示例中，中介层薄膜300绕芯302卷绕起来，其中中介层薄膜的背表面的第一部分304邻近芯302并且在一些示例中由芯302支撑。中介层薄膜300的第一部分(或匝或层)306承载第一隔离物的第一部分308和第二隔离物的第一部分310。中介层薄膜的第二部分312位于隔离物的第一部分308和310上，并且继而承载隔离物的第二部分314和316。中介层薄膜的第三部分318位于隔离物的第二部分314和316上，并且继而承载隔离物的第三部分320和322。

一段工艺薄膜324也绕芯302卷起来。工艺薄膜324的第一部分326位于形成于隔离物之间的保护空间的第一部分328中。各种特征、涂层、功能件、图案、或部件330A、330B、330C和330D安装在或形成于工艺薄膜的活性表面的第一部分332上。工艺薄膜的钝性表面的第一部分334邻近中介层薄膜的隔离物表面的第一部分336。保护空间的第一部分328由隔离物表面的第一部分336和中介层薄膜的背表面的第二部分338界定。工艺薄膜被充分地张紧将将其钝性表面抵靠中介层薄膜的隔离物表面保持，使得工艺薄膜的活性表面不接触中介层薄膜的背表面。

工艺薄膜324的第二部分340位于隔离物之间的保护空间的部分342中。工艺薄膜的钝性表面的第二部分344位于中介层薄膜的隔离物表面的第二部分346上。类似地，工艺薄膜324的第三部分348位于保护空间的第三部分350中。工艺薄膜的钝性表面的第三部分352位于中介层薄膜的隔离物表面的第三部分354上。与保护空间的其它部分一样，保护空间的第三部分350位于中介层薄膜的背表面和隔离物表面之间；在本实例中，保护空间的第三部分350位于中介层薄膜的隔离物表面的第三部分354和中介层薄膜的第四部分(未示出)的背表面的一部分之间。

返回图1A的示例，第一隔离物106显示为分段的条。第二隔离物110也显示为分段的条。中介层薄膜和隔离物由足够柔顺以绕芯116卷起的材料制成。在该示例中，当卷绕开始时，隔离物106和110邻近芯并且在一些示例中与芯接触。在此图和其它图中的元件未按比例绘制，并且芯实际上可相对于隔离物比图中所描绘的更大或更小。

图4示出了中介层薄膜400的一个示例，多个单独的隔离元件402沿中介层的第一边缘404以一定间隔定位，并且多个单独的隔离元件406沿中介层的第二边缘408以一定间隔定位。在该示例中，隔离元件成形为平行六面体，但该形状不是关键的，并且可以使用具有其它形状的隔离元件。例如，图5示出了具有截头圆锥形隔离物502的中介层500。

图4的示例也包括嵌入中介层400中的横向加强件410。该加强件从第一边缘404延伸至第二边缘408，但在其它示例中，加强件可能不延伸这么远。多个类似的加强件可沿中介层以一定间隔设置。加强件410显示为与边缘成直角，并且因此，它不影响中介层卷起到芯上。在其它示例中，加强件可以其它角度横跨中介层，只要加强件不影响卷起中介层即可。中介层也可由具有各向异性的柔顺性的材料形成，该材料保持横向刚度，同时能够形成纵向卷。

图6是具有各自形成为材料的连续条的第一隔离物602和第二隔离物604的中介层薄膜600的示例。隔离物材料必须足够柔顺，以允许卷起到芯上。在该示例中，中介层薄膜和隔离物已通过多个开口变得可透气，例如，中介层薄膜中的开口606、第一隔离物中的开口608、以及在第二隔离物中的开口610。使中介层薄膜和隔离物中的一个或多个可透气有利于可能由中介层薄膜600附近的工艺薄膜发出的气体的逸出以及反应性气体材料的进入和流动，以允许工艺薄膜的缠绕过程中的变化。开口可通过任何便利的方法形成。在其它示例中，中介层薄膜和隔离物材料可能缺少专用开口，但可能是足够多孔的，以便可透气。

图7给出了由网片材料形成的中介层薄膜700的示例。与图6的示例一样，网孔有利于气体的移动。在该示例中，中介层700承载形成为分段的条的第一隔离物702和第二隔离物704，并且在其它示例中，网片中介层薄膜可承载任何其它合适的隔离物。

图8是具有纹理化的隔离物表面802的中介层薄膜800的示例。纹理化可具有任何合适的图案，以避免或减轻纹理化表面和可能接触该表面的工艺薄膜之间的粘滞，或者有利于气体或反应性气体材料进入到工艺薄膜。在其它示例中，中介层薄膜800的背表面804可被纹理化。在该示例中，中介层薄膜800承载形成为分段的条的第一隔离物806和第二隔离物808，但隔离物可采取其它形式，例如如上所述那样。

图9示出了由各匝中介层薄膜彼此分离的各匝工艺薄膜。中介层薄膜的第一部分(层或匝)900承载第一隔离物902和第二隔离物904。中介层薄膜的第二部分906承载在两者间限定保护空间912的第一隔离物908和第二隔离物910。中介层薄膜的第三部分914承载在两者间限定保护空间920的第一隔离物916和第二隔离物918。工艺薄膜的第一部分924的钝性表面922设置成邻近中介层薄膜的第一部分900的背表面926。工艺薄膜的第一部分924的活性表面928承载部件、层或特征930A和930B。活性表面928驻留在保护空间912中并且不与工艺薄膜的任何其它部分或中介层薄膜的任何部分进行接触。工艺薄膜的第二部分934的钝性表面932设置成邻近中介层薄膜的第二部分906的背表面936。工艺薄膜的第二部分934的活性表面938驻留在保护空间920中并且不与工艺薄膜的任何其它部分或中介层薄膜的任何部分进行接触。活性表面938可承载部件、层或特征(未示出)。工艺薄膜的第三部分942的钝性表面940设置成邻近中介层薄膜的第三部分914的背表面944。

可邻近单个中介层薄膜设置多于一个工艺薄膜条。如图10所示，中介层薄膜的第一部分1000承载在其隔离物表面1004的第一边缘附近的隔离物1002、在第二边缘附近的隔离物1006、以及在中部的隔离物1008。设置在中介层薄膜的第一部分1000的背表面1012下方的中介层薄膜的第二部分1010承载在其隔离物表面1016的第一边缘附近的隔离物1014、在第二边缘附近的隔离物1018、以及在中部的隔离物1020。

第一工艺薄膜1024的第一部分1022设置在隔离物1014和1020之间的保护空间中。第一工艺薄膜1024的第二部分1026设置在由中介层薄膜的第三部分(未示出)承载的隔离物(未示出)之间的保护空间中。第一工艺薄膜1024的第一部分1022的钝性表面1028邻近中介层薄膜的第一部分1000的背表面1012。第一工艺薄膜1024的第二部分1026的钝性表面1030邻近中介层薄膜的第二部分1010的背表面1032。

第二工艺薄膜1036的第一部分1034设置在隔离物1018和1020之间的保护空间中。第二工艺薄膜1036的第二部分1038设置在由中介层薄膜的第三部分(未示出)承载的隔离物(未示出)之间的保护空间中。第二工艺薄膜1036的第一部分1034的钝性表面1040邻近中介层薄膜的第一部分1000的背表面1012。第二工艺薄膜1036的第二部分1038的钝性表面1042邻近中介层薄膜的第二部分1010的背表面1032。

第一工艺薄膜1024的第一部分1022的活性表面1044可承载部件、层或特征(未示出)并且不被中介层薄膜或工艺薄膜的任何其它部分接触。类似地，第一工艺薄膜1024的第二部分1026的活性表面1046、第二工艺薄膜1036的第一部分1034的活性表面1048、以及第二工艺薄膜1036的第二部分1038的活性表面1050不被中介层薄膜或工艺薄膜的任何其它部分接触。例如，部件1052设置在活性表面1046上，部件1054设置在活性表面1048上，并且部件1056设置在活性表面1050上。

如图11A所示，多个支撑件1100、1102、1104和1106可由中介层薄膜1108承载。支撑件承载在中介层薄膜1108的隔离物表面1110上，就像沿中介层1108的一个边缘的隔离物1112和沿中介层1108的另一个边缘的隔离物1114那样。图11B类似于图11A，不同的是，工艺薄膜1116显示在隔离物1112和1114之间的保护空间中。工艺薄膜1116的活性表面1118与支撑件接触并且具有部件1120。支撑件1100仅沿第一边缘1122接触工艺薄膜1116的活性表面1118，在这里，支撑件不会对工艺薄膜的任何活性区域中的部件或其它活性元件（active elements）进行任何损坏。类似地，支撑件1102仅沿远离工艺薄膜的任何活性区域的第二边缘1124接触活性表面1118。

在图11A和图11B中，支撑件承载在中介层的隔离物表面上。如图12A和图12B所示，支撑件1200和1202可承载在中介层薄膜1206的背表面1204上。隔离物1208沿中介层1206的隔离物表面1210的一个边缘被承载，并且隔离物1212沿着中介层1206的另一个边缘。工艺薄膜1216的部分1214由支撑件1200和1202支撑在中介层薄膜的另一个部分(未示出)的隔离物(未示出)之间的保护空间中。如在图11A和图11B的示例中那样，工艺薄膜1216的活性表面1218由支撑件1200和1202沿着远离诸如部件1220的任何部件或工艺薄膜1216的活性表面1218的任何活性区域而支撑。

在上述两个示例中，支撑件包括间隔开的平行六面体，但在其它示例中，支撑件可根据需要采取分段条、连续条或其它合适形状的形式。

大体上为1300的钝性表面工艺薄膜缠绕设备在图13A和图13B中示出。第一盒1302包含在芯1308上卷绕成层的工艺薄膜1306的卷盘1304。在卷盘1304上，每层工艺薄膜1306占据由第一中介层薄膜1310的一个或多个层以上述方式形成的受保护空间。工艺薄膜1306从卷盘1304退绕，通过开口1312离开第一盒1302，并且穿过工艺站1314。可在工艺站1314中的工艺薄膜1306上进行任何合适的工艺。工艺薄膜1306从工艺站1314通过开口1318进入第二盒1316。工艺薄膜1306与第二中介层薄膜1320交错，并且这两种薄膜在芯1322上卷绕起来以形成卷盘1324，其中工艺薄膜1306占据由第二中介层薄膜1320的层以上文所述方式形成的保护空间。最终，所有工艺薄膜1306都已从第一盒1302转移到第二盒1316。然后，第二盒1316可从设备1300移除并且用来安全地存放或运输工艺薄膜1306。

工艺薄膜1306可从第一盒1302通过工艺站1314引导至第二盒1316，例如，由在第一盒1302和工艺站1314之间的第一张力辊1326以及在工艺站1314和第二盒1316之间的第二张力辊1328。第一和第二张力辊仅在钝性侧1330上接触工艺薄膜1306。也可使用其它引导件，例如，在张力辊1326和工艺站1314之间的拉伸辊1332和压合轮1334、以及在工艺站1314和张力辊1328之间的拉伸辊1336和压合轮1338。

当工艺薄膜从卷盘1304退绕时，第一中介层薄膜1310也退绕并且通过开口1312离开第一盒。第一中介层薄膜可卷绕起来以在芯1342上形成卷盘1340。当其从第一盒1302中的卷盘1304退绕并且被卷绕在卷盘1340上时，第一中介层薄膜可经过一个或多个引导件，例如，张力辊1344。当工艺薄膜1306和第一中介层薄膜1310已从卷盘1304退绕并且第一中介层薄膜1310已卷绕到卷盘1340上时，中介层薄膜的卷盘1340可从设备1300移除并且随后重新使用、保持原位或者卷绕回到盒中，而没有要存放的工艺薄膜。

第二中介层薄膜1320可通过从芯1348上的卷盘1346退绕而获得。第二中介层薄膜1320可经过诸如张力辊1350的一个或多个引导件并且通过开口1318进入第二盒1316。

在一些示例中，除了当薄膜正被从卷盘1304退绕时之外，开口1312可利用覆盖件1352密封。类似地，除了当薄膜正被卷绕在卷盘1324上时之外，开口1318可利用覆盖件1354密封。

当工艺薄膜被卷绕在卷盘1324上时，它可以由驱动芯1322的伺服马达1356张紧。在一些示例中，工艺薄膜也由张力辊1328、张力辊1326或任何其它部件中的一个或多个张紧。在一些示例中，伺服马达(未示出)可机械联接到芯1308并可用来在工艺薄膜退绕时张紧工艺薄膜。在一些示例中，施加到联接至芯1308的滚筒1360的摩擦制动器1358可用来在工艺薄膜退绕时张紧工艺薄膜。代替伺服马达1356，某些其它种类的马达或手动曲柄可用来提供扭矩以将工艺薄膜和中介层薄膜卷绕到芯1322上。

随着工艺薄膜1306和第一中介层薄膜1310从卷盘1304退绕，伺服马达1362或其它合适的动力装置可用来将第一中介层薄膜1310卷绕在芯1342上。施加到由芯1348承载或联接至芯1348的滚筒1366的另一个伺服马达(未示出)或摩擦制动器1364可用来在第二中介层薄膜1320从卷盘1346退绕时张紧第二中介层薄膜。

图14给出了处理工艺薄膜的方法的一个示例。该方法包括：提供具有隔离物表面和背表面的中介层薄膜，该隔离物表面具有邻近中介层薄膜的第一边缘的第一隔离物和邻近中介层薄膜的第二边缘的第二隔离物，并且至少一个保护空间限定在第一和第二隔离物之间(1400)；以及将工艺薄膜和中介层薄膜卷绕在芯上，其中工艺薄膜设置在第一和第二隔离物之间的保护空间中并且工艺薄膜的钝性表面邻近中介层薄膜的表面(1402)。

图15给出了处理工艺薄膜的方法的另一个示例。与前面的示例一样，提供了具有隔离物表面和背表面的第一中介层薄膜，该隔离物表面具有邻近中介层薄膜的第一边缘的第一隔离物和邻近中介层薄膜的第二边缘的第二隔离物，其中在第一和第二隔离物之间限定至少一个保护空间(1500)。第一中介层薄膜被张紧(1502)。在一些示例中，工艺薄膜在比第一中介层薄膜小的张力下被张紧(1504)。薄膜被卷绕在芯上，其中工艺薄膜设置在第一和第二隔离物之间的保护空间中，并且工艺薄膜的钝性表面邻近中介层薄膜的表面(1506)。中介层薄膜中的张力而不是工艺薄膜中的张力形成卷盘。

在一些示例中，随着薄膜被卷起，在工艺薄膜上执行工艺(1508)。此前已结合图13A和图13B讨论了该程序，其中工艺薄膜被进给通过工艺站，然后被卷起来。

在其它示例中，在薄膜被卷起之后执行工艺(1510)。作为一个示例，绕起的薄膜可被放入工艺站中，并且立刻在整个卷盘上执行工艺。在这种情况下可使用如前所述为多孔或穿孔的中介层薄膜。

图16给出了处理工艺薄膜的方法的另一个示例。与第一中介层薄膜缠绕在一起的未处理的工艺薄膜设有邻近中介层薄膜的表面的工艺薄膜的钝性表面(1600)。薄膜被退绕(1602)。工艺薄膜被进给通过工艺站(1604)并且第一中介层薄膜被缠绕起来(1606)。

在一些示例中，该方法继续提供第二中介层薄膜(1608)。工艺薄膜与第二中介层薄膜缠绕在一起，工艺薄膜的钝性表面邻近第二中介层薄膜的表面(1610)。工艺薄膜可以在比第一和第二中介层薄膜中的至少一个更小的张力下张紧(1612)。

在其它示例中，代替将第一中介层薄膜缠绕起来，工艺薄膜被进给回到第一中介层薄膜并且再次与第一中介层薄膜一起缠绕起来(1614)，并且不需要第二中介层薄膜。

工艺薄膜的卷盘设置在由中介层薄膜和其隔离物提供的保护空间中，并且由此使工艺薄膜的活性表面受到针对与中介层薄膜或工艺薄膜的其它层的任何接触的保护，该工艺薄膜可被封闭在盒中。包含这样的卷盘的盒可被容易地运输，而不损坏工艺薄膜。

中介层薄膜可由诸如塑料、纸、金属、玻璃、复合物等的任何薄的柔顺材料制成。

在缠绕期间，中介层薄膜可被张紧以形成卷盘，并且需要将非常小的张力施加到工艺薄膜，以进一步保护它。芯可由伺服马达(例如，如图13B所示)(以精确控制速度和扭矩)、手动曲柄(未示出)(其也可提供对速度和扭矩的良好控制)或某些其它合适的装置旋转。

所描述的设备和方法使得可以以这样的方式把持工艺薄膜：即，使得薄膜的活性表面在退绕或卷起来或在缠绕的同时退绕期间不被接触。工艺薄膜的卷起来的卷盘可容易地被保护，以免在运输期间或工艺薄膜不被处理的任何时间受到灰尘和其它破坏性碎屑的污染。这种灵活性允许以不同的速率运行不同的过程。诸如长期低温烘焙的一些处理可以在薄膜的缠绕起来的同时进行。如果薄膜的卷盘被封闭在盒中，那么盒可以容易地在清洁环境外部的设施和过程之间运输。制造过程可分解成更小的粒度，以便实现中试时的优化和容易的过程开发或者量产时的定制。相同的系统可处理各种宽度、厚度和模量的薄膜。薄膜可以在卷盘形成和薄膜张紧之间以独立的张力缠绕，并且薄膜可以在施加较低张力的情况下存放，导致在存放期间机械变形的减少。盒可携带跟踪、内容和过程数据，其中任一种数据都可以在不参照实际薄膜的情况下读取，从而有利于高效的过程管理和质量控制。

Claims (16)

1. 一种缠绕设备，包括：

中介层薄膜，其具有隔离物表面和背表面；

第一隔离物，其由所述中介层薄膜承载在所述隔离物表面上邻近所述中介层薄膜的第一边缘；

第二隔离物，其由所述中介层薄膜承载在所述隔离物表面上邻近所述中介层薄膜的第二边缘，所述隔离物限定工艺薄膜保护空间；以及

能旋转的芯，其取向成接纳所述中介层薄膜的初始端部并且取向成将所述中介层薄膜与在所述工艺薄膜保护空间中的工艺薄膜一起卷起来，而所述工艺薄膜的钝性表面邻近所述中介层薄膜的表面。

2. 根据权利要求1所述的设备，其中，所述隔离物选自分段的条、柔顺条、以及多个隔离元件之中。

3. 根据权利要求1所述的设备，其中，所述中介层薄膜包括表面纹理化材料、网片、各向异性的柔顺材料、以及一个或多个横向加强元件中的至少一种。

4. 根据权利要求1所述的设备，其中，所述中介层薄膜、所述第一隔离物和所述第二隔离物中的一个或多个包括能透气的材料。

5. 根据权利要求1所述的设备，还包括多个支撑件，所述多个支撑件由所述中介层薄膜承载并且设置成在远离所述工艺薄膜的活性表面的任何活性部分的点处支撑所述工艺薄膜的所述活性表面。

6. 根据权利要求1所述的设备，还包括由所述中介层薄膜承载在所述第一和第二隔离物之间的一个或多个附加的隔离物，所述附加的隔离物将所述保护空间分成保护区域，每个所述保护区域定尺寸成容纳工艺薄膜。

7. 根据权利要求1所述的设备，还包括：

中介层薄膜芯，在所述中介层薄膜芯上所述中介层薄膜被卷起，并且所述中介层薄膜能从所述中介层薄膜芯退绕；以及

张紧器，其联接到所述中介层薄膜芯。

8. 根据权利要求1所述的设备，还包括中介层薄膜张力辊，所述中介层薄膜张力辊设置成将所述中介层薄膜进给到所述能旋转的芯。

9. 根据权利要求1所述的设备，还包括联接到所述能旋转的芯的马达。

10. 根据权利要求1所述的设备，还包括：

盒，其封闭所述能旋转的芯，所述盒定尺寸成容纳在所述能旋转的芯上卷起的中介层薄膜和工艺薄膜的卷盘，所述盒的壁限定定尺寸成容纳所述中介层薄膜和工艺薄膜的开口；以及

在所述开口上的能移除的覆盖件。

11. 一种处理工艺薄膜的方法，所述方法包括：

提供具有隔离物表面和背表面的中介层薄膜，所述隔离物表面具有邻近所述中介层薄膜的第一边缘的第一隔离物和邻近所述中介层薄膜的第二边缘的第二隔离物，并且在所述第一和第二隔离物之间限定至少一个保护空间；以及

将工艺薄膜和所述中介层薄膜卷绕在芯上，其中，所述工艺薄膜设置在所述第一和第二隔离物之间的所述保护空间中，并且所述工艺薄膜的钝性表面邻近所述中介层薄膜的表面。

12. 根据权利要求11所述的方法，其中，将所述工艺薄膜和中介层薄膜卷绕在所述芯上包括：

张紧所述中介层薄膜；以及

在比所述中介层薄膜更小的张力下张紧所述工艺薄膜。

13. 根据权利要求11所述的方法，还包括在所述薄膜已被卷绕在所述芯上之后在所述工艺薄膜上执行工艺。

14. 一种处理工艺薄膜的方法，所述方法包括：

提供与第一中介层薄膜缠绕在一起的未处理的工艺薄膜，所述工艺薄膜的钝性表面邻近所述第一中介层薄膜的表面；

将所述薄膜退绕；

将所述工艺薄膜进给通过工艺站；以及

缠绕所述中介层薄膜。

15. 根据权利要求14所述的方法，还包括：

提供第二中介层薄膜；以及

将所述工艺薄膜与所述第二中介层薄膜缠绕在一起，所述工艺薄膜的钝性表面邻近所述第二中介层薄膜的表面。

16. 根据权利要求15所述的方法，还包括在比所述第一和第二中介层薄膜中的至少一个更小的张力下张紧所述工艺薄膜。