CN104203573A

CN104203573A - 工件的贴合方法及触摸面板

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Publication number: CN104203573A
Application number: CN201380006113.6A
Authority: CN
Inventors: 加藤晃; 森田金市; 铃木信二
Original assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd; Ushio Denki KK; Topco Technologies Corp
Current assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd; Ushio Denki KK; Topco Technologies Corp
Priority date: 2012-01-19
Filing date: 2013-01-15
Publication date: 2014-12-10
Anticipated expiration: 2033-01-15
Also published as: JP5362050B2; JP2013149072A; TWI537780B; WO2013108739A1; CN104203573B; TW201351231A

Abstract

本发明提供一种返工性良好、不显色、处理时间比较短、且比较廉价的工件的贴合方法及采用该方法制造的触摸面板。通过对具有亲水性表面的玻璃盖片(11)与硅酮基板(例如PDMS)(17a)的贴合面照射紫外线，并进行层叠、加压/加热来进行贴合。此外，在设在具有疏水性表面的PET薄膜(14)的硬涂层(14a)上的ITO电极(13)上涂布底涂料，通过对该表面与硅酮基板(例如PDMS)(17a)的贴合面照射紫外线，并进行层叠、加压/加热来进行贴合。同样，通过在玻璃基板(16)上的第2ITO电极(15)上及PET薄膜(14)的硬涂层(14a)上涂布底涂料，通过对该表面与硅酮基板(例如PDMS)(17b)的贴合面照射紫外线，并进行层叠、加压/加热来进行贴合。

Description

工件的贴合方法及触摸面板

技术领域

本发明涉及能够用于触摸面板及有机EL(有机电致发光：OrganicElectro-Luminescence)、有机半导体、太阳能电池面板的制造等中的工件的贴合方法及用该方法制造的触摸面板。另外，详细地讲，本发明涉及用于贴合例如如表面设有硬涂层的PET(聚对苯二甲酸乙二酯：Polyethyleneterephthalate)等树脂那样的表面具有疏水性的工件与由硅酮构成的部件，或者用于将例如玻璃等表面具有亲水性的工件、或例如如表面设有硬涂层的树脂那样的表面具有疏水性的工件、以及在玻璃或由上述树脂构成的部件的表面上施加了例如ITO(氧化铟锡：Indium Tin Oxide)透明电极这样的透明导电膜且表面具有疏水性的工件夹着由硅酮构成的部件而相互贴合的工件的贴合方法、以及通过贴合这些工件而制造的触摸面板。

背景技术

近年来，通过贴合工件而制造的有机EL、有机半导体、太阳能电池等引人注目。此外，作为通过贴合工件而制造的器件已知有触摸面板。触摸面板可通过用手指或笔等触摸可显示图像的显示器来控制开关的on-off、数据输入等，近年来在急速普及。例如，在便携式电话、便携式游戏机、平板终端等的配件、汽车导航装置、银行的ATM、票券自动贩卖机等中触摸面板在广泛使用。

图18中示出由图像显示装置和接触式传感器模块构成的触摸面板的示意图。作为例子，示出投影静电电容方式的触摸面板。

如图18所示，触摸面板100由LCD面板等图像显示装置30和配置在其上部的位置输入装置10构成。

位置输入装置10由用于检测在接触式传感器表面用手指或笔等接触的部分的接触式传感器模块10a、和对来自接触式传感器模块10a的位置输入信息进行处理且基于上述信息来控制图像显示装置30的触摸面板控制部10b构成。

接触式传感器模块10a是将施加有第1透明导电膜(例如ITO电极)图形的PET薄膜14和施加有第2透明导电膜(例如ITO电极)图形的玻璃基板16层叠而成的结构，从上方开始按第1ITO电极13、PET薄膜14、第2ITO电极15、玻璃基板16的顺序进行层叠。再者，在PET薄膜14的两面，为防止PET薄膜14的损伤而设置透光性的硬涂层14a。也就是说，第1透明导电膜图形被设在PET薄膜14上的硬涂层14a上。硬涂层14a例如由丙烯酸酯树脂等形成。

进而，在PET薄膜14的施加了第1ITO电极13的一侧设置玻璃盖片11。在与PET薄膜14的施加了第1ITO电极13图形的表面相对置的一侧的玻璃盖片11表面的周边部形成有黑色矩阵12。

另一方面，在玻璃基板16的下侧设置有与第1ITO电极13、第2ITO电极15电连接、进而还与后示的触摸面板控制部10b电连接的布线层21。

布线层21以从玻璃盖片11侧观察时被设在玻璃盖片11上的黑色矩阵12遮蔽的方式被配置在玻璃基板16的下侧。也就是说，布线层21被设在不干扰触摸面板中显示的图像的位置上。

触摸面板控制部10b由触摸面板(TP)控制IC部22和FPC(挠性印刷基板)23构成，在FPC23上设置触摸面板控制IC部22。FPC23为中央部分设置有开口的环状结构，从而在从玻璃盖片11侧观察时被设在玻璃盖片11上的黑色矩阵12遮蔽，触摸面板控制IC部22被设在该环状结构部分的上部。也就是说，触摸面板控制部10b在触摸面板中被设在不干扰所显示的图像的位置上。如上所述，触摸面板控制部10b与接触式传感器模块10a的布线层21电连接，此外还与图像显示装置30电连接。

通过在由LCD面板等图像显示面板32构成的图像显示装置30上层叠上述接触式传感器模块10a、触摸面板控制部10b，构成触摸面板。再者，在图像显示面板32表面设有偏光膜31。再者，如图18所示，从上方开始按接触式传感器模块10a、触摸面板控制部10b、图像显示装置30的顺序进行层叠而成的触摸面板通过紫外线固化性粘接剂24(UV Resin)被接合。也就是说，接触式传感器模块10a的玻璃基板16的设有布线层21的表面与触摸面板控制部10b和图像显示装置30表面的偏光膜通过UV Resin被接合。再者，接触式传感器模块10a的玻璃基板16的未设有布线层21的部分及触摸面板控制部10b的开口部分等为填充了UV Resin的状态。

触摸面板通过触摸面板传感器模块10a检测接触在玻璃盖片11上的手指等的位置信息，基于来自接受该位置信息的触摸面板控制部10b的控制信号，控制图像显示装置30的工作。

如图18(b)所示，第1ITO电极13是向Y方向延伸的电极图形单元为多个且并列配置在X方向的电极图形。也就是说，第1ITO电极13由多个电极图形单元构成。

另一方面，如图18(c)所示，第2ITO电极15是向X方向延伸的电极图形单元为多个且并列配置在Y方向的电极图形。也就是说，第2ITO电极15由多个电极图形单元构成。

对这些各电极图形单元通过省略了图示的电源施加高频电压。如果手指靠近触摸面板的玻璃盖片11，则在手指与第1ITO电极13中配置在接近手指的位置上的电极图形单元之间、手指与第2ITO电极15中配置在接近手指的位置上的电极图形单元之间形成静电电容(电容)，分别流动电流。通过检测该电流变化，可以检测玻璃盖片11上的手指的位置。

也就是说，由图18(b)(c)弄清楚，第1ITO电极13检测手指的X方向的位置，第2ITO电极15检测手指的Y方向的位置。如图18(d)所示，通过以X-Y二维方向的矩阵状配置第1ITO电极13和第2ITO电极15，触摸面板传感器模块10a检测接触到玻璃盖片11的手指的X-Y二维方向的位置。

将通过触摸面板传感器模块10a检测的与玻璃盖片11接触的手指的位置有关的信号发送给触摸面板控制部10b。

这里，如果在触摸面板传感器模块10a中的PET薄膜14与玻璃盖片11之间(PET薄膜14的施加了第1ITO电极13的表面与玻璃盖片11的下侧表面之间)、或PET薄膜14与玻璃基板16之间(PET薄膜14的与第1ITO电极13侧成相反侧的硬涂层14a表面与玻璃基板16的设有第2ITO电极15的表面之间)夹着空气层，则因各表面和空气层的界面处的折射率的差异而在该界面处发生光反射，发生被称为亮度下降或对比度下降的触摸面板中的显示画质的劣化。

因而，为了去除如此的空气层，用与空气相比折射率更接近玻璃盖片11或PET薄膜14、玻璃基板16的折射率的透明物质置换空气层，来抑制触摸面板显示器的亮度下降或对比度下降。

具体地讲，通过与空气相比具有上述这样的折射率的透明的粘接部件19来接合玻璃盖片11的下侧表面和PET薄膜14的第1ITO电极13侧表面。此外，PET薄膜14的与第1ITO电极13侧成相反侧的硬涂层14a表面和玻璃基板16的设有第2ITO电极15的表面也通过上述这样的粘接部件来接合。

作为粘接部件，例如，可采用专利文献1、专利文献2中例示的使用了透明性高的丙烯酸系粘结剂的光学用粘合胶带(Optically ClearAdhesiveTape：以下称为OCA带)，或采用专利文献3、专利文献4中例示的透明性高的固化型树脂(Optically Clear Resin：以下称为OCR)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平9-251159号公报

专利文献2：日本特开2011-74308号公报

专利文献3：日本特开2009-48214号公报

专利文献4：日本特开2010-257208号公报

专利文献5：日本专利第3714338号公报

专利文献6：日本特开2006-187730号公报

专利文献7：国际公开2008/087800号

专利文献8：日本特开2008-19348号公报

发明内容

发明要解决的问题

如上所述，通过使用OCA带、OCR进行玻璃盖片11的下侧表面和PET薄膜14的第1ITO电极13侧表面的接合、PET薄膜14的与第1ITO电极13侧成相反侧的硬涂层14a表面和玻璃基板16的设有第2ITO电极15的表面的接合，可抑制触摸面板显示器的亮度下降或对比度下降。

但是，在使用OCA带、OCR时，需要考虑以下的问题点及不适情况。

在采用OCA带时，因粘接力强而缺乏返工性。也就是说，在暂时剥离后难以再次使用，所以在使用OCA带时，要求高的贴合精度。

此外，因OCA带硬，因而在PET薄膜14的第1ITO电极13侧表面或玻璃基板16的设有第2ITO电极15的表面这样在表面存在台阶结构时，在贴装时容易在上述台阶部分混入气泡。

另外，如上所述OCA带因缺乏返工性、在表面的台阶部分容易混入气泡，因而难以进行贴装处理。因而，在接合面的面积为大面积的被接合对象时，难以使用OCA带。此外，OCA带相对为高价。

另一方面，采用OCR的接合按以下进行。也就是说，在两枚工件的至少一方的接合面上涂布OCR，使该两枚工件叠合，通过加热或照射紫外线(UV)使OCR固化来接合上述两枚工件。这里，OCR一般因粘度高而难以均匀地涂布在接合面上。因而，例如，还发生玻璃盖片11接合面和PET薄膜14接合面以非平行的状态接合这样的不适情况。

此外，OCR耐热温度低，在使用紫外线(UV)固化性的OCR时，需要考虑照射UV时的OCR的温度上升的影响。也就是说，如果UV光源40与OCR接合面的距离过近，则OCR被加热至该OCR的耐热温度以上。因而，需要某种程度地加大UV光源40与OCR接合面的距离，但在此种情况下，UV在OCR接合面处的强度减弱，结果是在使用具有UV固化性的OCR时，固化工艺时间延长。

此外，OCR在固化时产生变形，因此两枚工件的接合状态未必成为希望的状态。例如，在接合玻璃盖片11和PET薄膜14时或接合玻璃基板16和图像显示面板32时，玻璃盖片11与PET薄膜14的间隔或玻璃基板16与图像显示面板32的间隔有时不均匀，使触摸面板的性能劣化。

另外，在使用OCR时，对时间的耐性不一定充分，如果贴合后经过某程度的时间，则OCR本身发生着色，例如变成黄色。因而，在触摸面板的情况下，可看见图像变色。此外，OCR的价格也比较高。

本发明是鉴于上述事情而完成的，本发明的目的在于，提供一种工件的贴合方法，其返工性良好，即使长时间使用也不显色，处理时间比较短，比较廉价，且对于接合面为大面积的部件也容易接合，此外，提供一种采用这样的贴合方法而抑制了亮度下降或对比度下降的触摸面板。

用于解决课题的手段

本发明提供一种贴合技术，其在贴合玻璃等具有亲水性表面的工件、树脂等具有疏水性表面的工件、在玻璃或树脂等的表面施加了透明导电膜且具有疏水性表面的工件等、具有亲水性表面的工件与具有疏水性表面的工件时、或者在相互贴合具有疏水性表面的工件彼此时，替代以往的OCA带或OCR，使用由硅酮构成的部件来贴合这些工件。另外，提供一种在上述具有疏水性表面的第2、第3工件上贴合上述由硅酮构成的部件的技术。

作为具体的例子，对触摸面板进行说明。在图18所示的触摸面板中，在贴合玻璃盖片11的下侧表面(第1工件的表面)与PET薄膜14的第1ITO电极13侧表面(第2工件的表面)时、或贴合PET薄膜14的第1ITO电极13侧的相反侧的硬涂层14a表面(第1工件的表面)与玻璃基板16的设有第2ITO电极15的表面(第2工件的表面)时，替代以往的OCA带或OCR，使用由硅酮构成的部件。

已知，如果在大气中对由硅酮构成的部件(以下称为硅酮基板)表面照射紫外线，则该表面被氧化，成为亲水性表面，通过在这样的表面上叠合玻璃基板16或树脂基板，对叠合的玻璃基板16或树脂基板和照射了紫外线的硅酮基板进行规定时间的加压或加热，从而接合两基板。

例如，如专利文献5中所述，在硅酮基板为聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane：PDMS)基板时，硅酮(PDMS)基板17的表面如图2(a)所示，成为存在有机硅氧烷基的表面(疏水性表面)。

通过对在大气中保持的该基板17的表面照射波长为220nm以下的紫外线(例如从氙激元灯射出的中心波长为172nm的紫外线)，在基板表面产生活性氧。因该活性氧与基板表面相接触而使该基板表面被氧化。也就是说，如图2(b)所示，有机硅氧烷基的甲基被脱离，成为在该甲基原先结合的硅原子上结合活性氧的状态。

因大气中存在水分而使上述的活性氧与氢结合，如图2(c)所示，基板表面成为在硅原子上结合有羟基(OH基)的状态。通过在这样的表面上叠合玻璃基板16的亲水性表面并使两表面密合，如图2(d)所示，在PDMS基板17的表面与玻璃表面的界面处形成氢键，两基板被接合。

硅酮是比较稳定的原材料，与OCR不同，在贴合后即使经过某程度的时间，也不发生硅酮本身的着色。所以，即使作为触摸面板显示器的各基板的接合材料使用，对触摸面板的图像也不产生变色影响。

此外，硅酮是比较柔软的原材料，所以即使在PET薄膜14的第1ITO电极13侧的硬涂层14a表面或玻璃基板16的第1布线层21侧的表面这样的表面存在台阶结构时，贴装时也能容易抑制气泡向上述台阶部分的混入。也就是说，即使对于接合面为大面积的部件也容易接合。

此外，如上所述，采用了硅酮基板的接合，由于没有OCR那样的向接合面涂布的工序，而且不是OCR那样的利用固化反应的接合，所以不会发生在使用OCR时的涂布的均匀性问题或固化时的变形问题。

硅酮与OCR相比耐热温度高，所以与OCR固化时的紫外线(UV)光源40和OCR接合面的距离相比，能够缩短硅酮基板表面处理时的UV光源40和硅酮基板表面的距离，硅酮基板表面的UV强度大于OCR接合面的UV强度。也就是说，在向硅酮基板的UV照射工序中，与向OCR接合面的UV照射工序相比，UV的利用效率高。

此外，根据发明者们的实验得知，与OCR的UV固化反应所需的时间相比，向硅酮基板的UV照射工序、硅酮基板和玻璃基板等被接合基板的加热工序或加压工序所需的时间短。

此外，一般来讲，硅酮基板与OCA带或OCR相比价格低廉。

在采用硅酮基板进行接合时，不是在叠合玻璃基板或树脂基板和照射了紫外线的硅酮基板后就立刻结束接合，而是如上所述通过按规定时间对两基板进行加压或加热来结束接合。因而，在刚叠合后分离两基板是容易的。因此，例如在玻璃基板或树脂基板与照射了紫外线的硅酮基板的对位不充分时，如果是刚叠合后，则可通过暂时剥离两者，再次对硅酮基板照射紫外线而进行接合工序。也就是说，与OCA带相比，富有返工性。

图1中示出采用了本发明的接合方法而组装的触摸面板100的构成例。

基本的构成与所述图18所示的相同，由位置输入装置10和图像显示装置30构成，所述位置输入装置10由接触式传感器模块10a和触摸面板控制部10b构成，在本发明中，在设在PET薄膜14的硬涂层14a的表面上的第1ITO电极13与玻璃盖片11之间设置硅酮基板(例如PDMS)17a，在硅酮基板17a的一方的表面与上述第1ITO电极13之间夹着底涂料。此外，在PET薄膜14的硬涂层14a与设在玻璃基板16表面上的第2ITO电极15之间设置硅酮基板17b，在硅酮基板17b与硬涂层14a之间及硅酮基板17b与ITO电极15之间夹着底涂料。

这里，根据发明者等的实验结果，得到以下的见识。也就是说，得知：即使通过对硅酮基板表面照射紫外线(UV)使该表面成为亲水性表面，将该硅酮基板的亲水性表面与表面施加了第1ITO电极13的PET薄膜14或表面设有第2ITO电极15的玻璃基板16叠合也不能接合。同样，得知：即使将通过UV照射得到的硅酮基板的亲水性表面与PET薄膜14的第1ITO电极13侧的相反侧的硬涂层14a表面叠合也不能接合。

也就是说，得知：亲水性表面即硅酮基板的接合面与(为疏水性表面的)PET薄膜14的施加了第1ITO电极13的表面、PET薄膜14的与施加了第1ITO电极13的一面成相反侧的硬涂层14a表面、玻璃基板16的施加了第2ITO电极15的表面难以接合。

发明者们进行了深入研究，结果发现：通过在PET薄膜14的施加了第1ITO电极13的表面、PET薄膜14的与施加了第1ITO电极13的一面成相反侧的硬涂层14a表面及玻璃基板16的施加了第2ITO电极15的表面上分别涂布底涂料18(底涂剂)，再进行该底涂料18的表面改性，可将这些表面(PET薄膜14的施加了第1ITO电极13的表面、PET薄膜14的与施加了第1ITO电极13的一面成相反侧的硬涂层14a表面、玻璃基板16的施加了第2ITO电极15的表面)形成为适合接合的表面，通过将该适合接合的表面与被UV照射的硅酮基板表面叠合，可接合硅酮基板和这些表面PET薄膜14。而且，得知：作为底涂料18，硅烷偶联剂、硅氧烷系涂敷剂是有效的。

通过在工件表面涂布底涂料18并进行该底涂料18的表面改性可进行该工件与被UV照射的硅酮基板表面的接合的机理不一定明确，但大概认为为以下的机理。以下，参照图3、图4对该认为的机理进行说明。

作为例子，对使用硅烷偶联剂作为底涂料18，将施加了底涂料18的表面作为PET薄膜14的施加了第1ITO电极13的表面的情况进行考察。再者，将图4的硅酮基板17规定为预先用图2所示的方法与玻璃盖片11接合的基板。

图3(a)示出在PET薄膜14的施加了第1ITO电极13的表面上涂布了硅烷偶联剂作为底涂料18的状态。

硅烷偶联剂在1个分子中具有反应性不同的两种官能基。在图3(a)中，用RO(O为氧)表示的官能基为与无机材料化学结合的官能基，X为与有机材料结合的官能基。PET薄膜14上的第1ITO电极13为无机物，因此与官能基RO化学结合。

接着，如图3(b)所示，在含有水分(H₂O)、二氧化碳(CO₂)的大气中，对PET薄膜14的硅烷偶联涂敷面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的紫外线(UV)。通过UV照射，使PET薄膜14的硅烷偶联涂敷面表面改性。

具体地讲，认为(a)通过硅烷偶联剂的官能基RO、X分解及脱离，使得硅氧化物与PET薄膜14上的第1ITO电极13表面或PET薄膜14的未施加第1ITO电极13图形的表面的一部分结合，(b)上述的官能基X的分解反应或UV照射导致的空气中的水分、二氧化碳的化学反应的结果是，硅氧化物、PET薄膜14上的第1ITO电极13表面或PET薄膜14的未施加第1ITO电极13图形的表面的一部分与羧基(-COOH)结合，(c)通过硅烷偶联剂的官能基RO、X分解及脱离，一部分露出的PET薄膜14上的第1ITO电极13表面或PET薄膜14的未施加第1ITO电极13图形的表面与通过UV照射而导致的空气中的水分、二氧化碳的化学反应的结果而生成的氧自由基发生反应而结合羟基(-OH：以下也称为OH基)。另外，认为通过上述的(a)硅氧化物与空气中的水分反应，如图3(b)的右侧图所示，成为末端为OH基结合的状态。

再者，虽在图3(b)中省略了表示，但认为通过由UV照射的结果而生成的氧自由基，附着在PET薄膜14的硅烷偶联涂敷面上的杂质也被清洗掉。

归纳起来讲，认为PET薄膜14上的施加了第1ITO电极13图形的表面混合存在(a)结合的硅氧化物的末端为OH基的部分、(b)与羧基结合的部分(末端为OH基)、(c)因氧自由基的氧化反应而结合有OH基的部分。

由于无论在哪种情况下末端都为OH基，因此认为通过由UV照射导致的PET薄膜14的硅烷偶联涂敷面的表面改性，PET薄膜14上的施加了第1ITO电极13图形的表面的大部分与OH基结合，PET薄膜14上的施加了第1ITO电极13图形的表面成为亲水性表面。

也就是说，认为通过在疏水性表面即PET薄膜14的施加了第1ITO电极13的表面涂布底涂料18，对涂布了该底涂料18的表面照射紫外线(UV)，使得PET薄膜14的施加了第1ITO电极13的表面成为适合接合的表面(亲水性表面)。

而且，如图4(c)所示，认为在通过涂布这样的硅烷偶联剂并进行UV照射处理而成为亲水性表面(即适合接合的表面)的PET薄膜14的施加了第1ITO电极13的表面叠合通过UV照射将与玻璃盖片11的接合面成相反侧的表面改性成亲水性表面的硅酮基板17的接合面从而形成氢键，通过对叠合的硅酮基板17和PET基板进行加热而发生接合面的脱水，最终硅酮基板17与在接合表面上施加了第1ITO电极13图形的PET薄膜14通过氧的共价键而接合。

再者，在图3、图4中，对在PET薄膜14的施加了第1ITO电极13的表面上涂布硅烷偶联剂作为底涂料18的情况进行了考察，但是认为即使在PET薄膜14的与施加了第1ITO电极13的一面成相反侧的硬涂层14a表面、玻璃基板16的施加了第2ITO电极15的表面上涂布底涂料18，也可通过同样的机理进行接合。

此外，在作为底涂料18替代硅烷偶联剂而采用可用于防污或防静电用途的硅氧烷系涂敷剂时，通过对工件的涂布了硅氧烷系涂敷剂的表面照射紫外线，该涂敷面的末端的状态为结合有OH基的亲水性表面，认为被改性为适合接合的表面。

基于上述情况，在本发明中，按以下方法解决上述课题。

(1)通过在具有疏水性表面的工件的一方的表面上涂布含有硅烷偶联剂或硅氧烷系涂敷剂的底涂料，对上述工件的涂布了底涂料的表面和上述由硅酮构成的部件照射紫外线，以所述工件的照射了紫外线的表面与由硅酮构成的部件的照射了紫外线的表面相接触的方式进行层叠，以所述层叠的工件和由硅酮构成的部件的接触面被加压的方式进行加压，或者对层叠的工件和由硅酮构成的部件进行加热，或者对层叠的工件和由硅酮构成的部件一边以其接触面被加压的方式进行加压一边进行加热，由此来贴合具有疏水性表面的工件和由硅酮构成的部件。

(2)在具有疏水性表面的第2工件的表面上涂布含有硅烷偶联剂或硅氧烷系涂敷剂的底涂料，分别对具有亲水性表面的第1工件的一方的表面和所述第2工件的涂布了底涂料的表面、上述由硅酮构成的部件的两面照射紫外线，以上述照射了紫外线的表面相接触的方式层叠上述第1工件、上述由硅酮构成的部件和第2工件，以上述接触面被加压的方式进行加压，或者对层叠的第1及第2工件和由硅酮构成的部件进行加热，或者对层叠的第1及第2工件和由硅酮构成的部件一边以其接触面被加压的方式进行加压一边进行加热，将具有亲水性表面的第1工件和具有疏水性表面的第2工件夹着由硅酮构成的部件地贴合。

(3)通过在具有疏水性表面的第1工件和具有疏水性表面的第2工件的表面上涂布含有硅烷偶联剂或硅氧烷系涂敷剂的底涂料18，分别对第1工件及第2工件的涂布了上述底涂料的表面、上述由硅酮构成的部件的两面照射紫外线，以上述照射了紫外线的表面相接触的方式层叠上述第1工件、上述由硅酮构成的部件和第2工件，以上述接触面被加压的方式进行加压，或者对层叠的工件进行加热，或者一边以层叠的工件的接触面被加压的方式进行加压一边进行加热，将具有疏水性表面的第1工件和具有疏水性表面的第2工件夹着由硅酮构成的部件地贴合。

(4)在具备具有施加了透明导电膜的基板的接触式传感器模块和图像显示装置的触摸面板中，在上述接触式传感器模块中设置施加了透明导电膜的基板和由硅酮构成的部件，上述基板上涂布有含有硅烷偶联剂或硅氧烷系涂敷剂的底涂料，通过对涂布了该底涂料的表面照射紫外线而使其改性，上述由硅酮构成的部件通过照射紫外线而表面被改性，使上述基板与上述由硅酮构成的部件的上述照射了紫外线的各表面对置地层叠。

发明效果

在本发明中，能够得到以下效果。

(1)通过在具有疏水性表面的工件面上涂布含有硅烷偶联剂或硅氧烷系涂敷剂的底涂料，对工件的涂布了底涂料的表面和由硅酮构成的部件照射紫外线，并贴合在上述工件上，能够将上述工件的表面形成为适合接合的表面(亲水性表面)，能够确实地接合上述工件和由硅酮构成的部件。

因此，可将具有疏水性表面的PET等树脂、施加了透明导电膜的工件等与由硅酮构成的部件贴合。

(2)通过对具有亲水性表面的工件的一面照射紫外线，在具有疏水性表面的工件的表面上涂布底涂料，对涂布了底涂料的表面照射紫外线，并且对由硅酮构成的部件的两面照射紫外线，以具有亲水性表面的工件、具有疏水性表面的工件和由硅酮构成的部件的紫外线照射面对置的方式进行层叠，或者在具有疏水性表面的工件的表面涂布底涂料，对涂布了底涂料的表面照射紫外线，并且对由硅酮构成的部件的两面照射紫外线，以具有疏水性表面的工件、由硅酮构成的部件和具有疏水性表面的工件的紫外线照射面对置的方式进行层叠，贴合它们，可得到以下效果。

(a)由于硅酮不发生长时间经过后的着色，所以不会如用OCA带或OCR贴合那样，发生长时间经过后的着色。

因此，通过适用于触摸面板的制造，不会对触摸面板的图像产生变色影响。

(b)即使在接合面存在导电性薄膜这样的台阶结构时，由于硅酮根据台阶进行变形及密合，所以贴装时容易抑制气泡向上述台阶部分的混入。

(c)能够避免如使用OCR贴合时的难以实现涂布均匀性、固化时变形的问题，此外，由于硅酮与OCR相比耐热温度高，所以能够使紫外线照射光源和硅酮的照射面接近，能够高效率地对硅酮的光照射面进行改性。

(d)一般由硅酮构成的部件与OCA带或OCR相比，价格低廉，因此能够降低制造成本。

(e)在采用由硅酮构成的部件进行接合时，即使叠合了工件和由硅酮构成的部件也不是立刻结束接合，而是通过进行规定时间的加压或加热来结束接合。所以，在刚叠合后分离两基板是容易的。因此，在工件和由硅酮构成的部件的对位不充分时，如果是刚叠合后，则可暂时剥离两者，再次对由硅酮构成的部件照射紫外线而进行接合工序。也就是说，与OCA带相比，富有返工性。

(f)可进行以往即使采用利用了紫外线照射的表面改性处理也难以接合的由硅酮构成的部件与接触式传感器模块的表面为疏水性的导电性薄膜基板表面的贴合。因此，在贴合接触式传感器模块的各构成要素时，可替代以往的OCA带或OCR，使用由硅酮构成的部件贴合各构成要素，构成接触式传感器模块。

附图说明

图1示出采用了本发明的接合方法组装的触摸面板的构成例。

图2是对表面为亲水性的玻璃基板与紫外线照射过的PDMS基板的接合进行说明的图示。

图3是对涂布了底涂料的PET薄膜的施加了ITO电极的表面与硅酮基板的接合进行说明的图示(1)。

图4是对涂布了底涂料的PET薄膜的施加了ITO电极的表面与硅酮基板的接合进行说明的图示(2)。

图5是对玻璃盖片与表面施加了第1透明导电膜(ITO电极)的PET薄膜的接合工序(A-1)进行说明的图示。

图6是对表面施加了第1透明导电膜(ITO)的PET薄膜与表面施加了第2透明导电膜(ITO)的玻璃的接合工序(B-1)进行说明的图示(1)。

图7是对表面施加了第1透明导电膜(ITO)的PET薄膜与表面施加了第2透明导电膜(ITO)的玻璃的接合工序(B-1)进行说明的图示(2)。

图8是对玻璃盖片与表面施加了第1透明导电膜(ITO)的PET薄膜的接合工序(A-2)进行说明的图示。

图9是对表面施加了第1透明导电膜(ITO)的PET薄膜与表面施加了第2透明导电膜(ITO)的玻璃的接合工序(B-2)进行说明的图示(1)。

图10是对表面施加了第1透明导电膜(ITO)的PET薄膜与表面施加了第2透明导电膜(ITO)的玻璃的接合工序(B-2)进行说明的图示(2)。

图11是对玻璃盖片与表面施加了第1透明导电膜(ITO)的PET薄膜的接合工序(A-3)进行说明的图示。

图12是对表面施加了第1透明导电膜(ITO)的PET薄膜与表面施加了第2透明导电膜(ITO)的玻璃的接合工序(B-3)进行说明的图示。

图13示出采用了本发明的接合方法组装的触摸面板的另一构成例。

图14是对玻璃盖片与表面施加了第1透明导电膜(ITO)的第1玻璃基板的接合工序(C-1)进行说明的图示。

图15是对表面施加了第1透明导电膜(ITO)的第1玻璃基板与表面施加了第2透明导电膜(ITO)的第2玻璃基板的接合工序(D-1)进行说明的图示。

图16是对玻璃盖片与表面施加了第1透明导电膜(ITO)的第1玻璃基板的接合工序(C-2)进行说明的图示。

图17是对表面施加了第1透明导电膜(ITO)的第1玻璃基板与表面施加了第2透明导电膜(ITO)的第2玻璃基板的接合工序(D-2)进行说明的图示。

图18是由图像显示装置和接触式传感器模块构成的触摸面板的示意图。

具体实施方式

以下，以制造触摸面板的情况为例对本发明的实施方式进行说明，但本发明除触摸面板以外，还适用于上述有机EL、有机半导体、太阳能电池等的制造。

(1)实施方式1

图1是表示上述的本发明的触摸面板的第1构成例的图示。

基本构成与上述图18所示的构成相同，触摸面板100由LCD面板等图像显示装置30和配置在其上部的位置输入装置10构成。

位置输入装置10由用于检测在接触式传感器表面由手指或笔等接触的部分的接触式传感器模块10a、和对来自接触式传感器模块10a的位置输入信息进行处理并基于上述信息来控制图像显示装置30的触摸面板控制部10b构成。

接触式传感器模块10a为将施加了图18(b)所示的第1透明导电膜(例如ITO电极)图形的PET薄膜14与施加了图18(c)所示的第2透明导电膜(例如ITO电极)图形的玻璃基板16层叠而成的结构，从上方开始按玻璃盖片11、硅酮基板17a、底涂料18、第1ITO电极13、PET薄膜14、底涂料18、硅酮基板17b、底涂料18、第2ITO电极15、玻璃基板16的顺序进行层叠。再者，在PET薄膜14的两面，为了防止PET薄膜14的损伤，设置透光性的硬涂层14a。硬涂层14a如上述，例如由丙烯酸酯树脂等构成。

在与PET薄膜14的施加了第1ITO电极13图形的表面对置的一侧的玻璃盖片11表面的周边部形成有黑色矩阵12。

在玻璃基板16的下侧，设置与第1ITO电极13、第2ITO电极15电连接、还与触摸面板控制部10b电连接的布线层21。布线层21在从玻璃盖片11侧观察时，以被设在玻璃盖片11上的黑色矩阵12遮蔽的方式配置在玻璃基板16的下侧。

触摸面板控制部10b如上所述由触摸面板(TP)控制IC部22和FPC(挠性印刷基板)23构成，在FPC23上设置触摸面板控制IC部22。FPC23为中央部分设置有开口的环状结构，从而在从玻璃盖片11侧观察时被设在玻璃盖片11上的黑色矩阵12遮蔽，触摸面板控制IC部22被设在该环状结构部分的上部。

触摸面板控制部10b与接触式传感器模块10a的布线层21电连接，此外，还与图像显示装置30电连接。

上述的接触式传感器模块10a、触摸面板控制部10b被层叠在图像显示装置30上，构成触摸面板。

在图1所示的触摸面板中，是接触式传感器模块10a中的第1透明导电膜(例如第1ITO电极13)的基板为PET薄膜14、第2透明导电膜(例如第2ITO电极15)的基板为玻璃基板16的例子。再者，在图1所示的触摸面板的构成例中，各基板、各层的厚度为了易于说明而夸张地进行了描述，实际的各基板、各层的厚度的相对关系与图1所示的关系不同。

以下，对用于制造上述接触式传感器模块的各工件的贴合工序进行说明。

〔工序A-1〕玻璃盖片与表面施加了第1透明导电膜(ITO电极)的PET薄膜的接合工序

图5中示出本工序。本工序示出夹着硅酮基板地贴合具有亲水性表面的第1工件和具有疏水性表面的第2工件的方法，相当于具有亲水性表面的第1工件的为玻璃盖片11，相当于具有疏水性表面的第2工件的为在硬涂层14a表面施加了第1透明导电膜(ITO电极13)的PET薄膜14。

(a)玻璃盖片11与硅酮基板17a的接合

在进行具有亲水性表面的第1工件即玻璃盖片11的下侧表面与具有疏水性表面的第2工件即PET薄膜14的第1ITO电极13侧表面的接合之前，首先进行玻璃盖片11与硅酮(例如PDMS)基板17a的接合。

如图5(a)所示，通过对硅酮(PDMS)基板17a的表面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光，使硅酮基板17a的表面氧化，将该表面形成为亲水性表面。

接着，对玻璃盖片11的接合面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光。

然后，叠合玻璃盖片11的接合面和硅酮基板17a的UV照射面。通过适宜地对叠合的玻璃盖片11和硅酮基板17a进行加压或加热，提高接合强度。

再者，由于玻璃盖片11本身为亲水性表面，所以不一定需要照射UV光。但是，通过对玻璃盖片11的接合面照射UV光，玻璃盖片11的接合面被活性化，或玻璃盖片11表面的杂质被分解除去，因此可更确实地进行玻璃盖片11和硅酮基板17a的接合。

此外，也可以同时对硅酮(PDMS)基板17a表面和玻璃盖片11的接合面进行UV照射。

(b)与玻璃盖片11接合的硅酮基板17a和PET薄膜14的接合

接着，如图5(b)所示，在硬涂层14a表面施加了例如上述图18(b)这样的图形的第1ITO电极13的PET薄膜14中，在施加了上述第1ITO电极13图形的表面上涂布底涂料18。接着，通过对涂布了该底涂料18的表面照射从激元灯等紫外线(UV)光源射出的UV光，将上述底涂料涂敷面形成为适合接合的表面。

另一方面，通过对与玻璃盖片11接合的硅酮基板17a的与玻璃盖片11的接合面成相反侧的表面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光，使硅酮基板17a的UV照射面氧化，将该表面形成为亲水性表面。

然后，叠合硅酮基板17a的经过UV照射处理的表面与PET薄膜14的经过UV照射处理的底涂料涂敷面，通过适宜地对叠合的玻璃盖片11和硅酮基板17a进行加压或加热，将与玻璃盖片11接合的硅酮基板17a与表面施加了第1ITO电极13的PET薄膜14接合。

也就是说，本工序(A-1)中采用的接合方法如下。

(1)在具有亲水性表面的第1工件即玻璃盖片11的下侧表面上接合硅酮基板17a。接合方法是，通过对硅酮基板17a照射紫外线，将紫外线照射面形成为亲水性表面，将该表面层叠在玻璃盖片11上，接合具有亲水性表面的第1工件即玻璃盖片11与硅酮基板17a。再者，如上所述，也可以对玻璃盖片11的接合面照射紫外线。

(2)在具有疏水性表面的第2工件即PET薄膜14的硬涂层14a的施加了第1透明导电膜(ITO电极13)的表面上涂布底涂料。

(3)对具有亲水性表面的第1工件即接合在玻璃盖片11上的硅酮基板17a表面、和涂布在具有疏水性表面的第2工件即PET薄膜14的表面施加了第1透明导电膜(ITO电极13)的表面上的底涂料18照射紫外线，将两表面形成为亲水性表面。

(4)将两紫外线照射面彼此叠合。

(5)对从上方开始按照具有疏水性表面的第2工件即PET薄膜14、硅酮基板17a、具有亲水性表面的第1工件即玻璃盖片11的顺序叠合的各工件的接触面，一边进行加压，一边进行加热。

再者，在本接合方法的(5)中，可以只进行加压，也可以只进行加热，但优选一边进行加压一边进行加热。

〔工序B-1〕表面施加了第1透明导电膜(ITO电极)的PET薄膜与表面施加了第2透明导电膜(ITO电极)的玻璃的接合工序

图6、图7中示出本工序。本工序示出夹着硅酮基板贴合具有疏水性表面的第1工件和具有疏水性表面的第2工件的方法，相当于具有疏水性表面的第1工件的为接合了玻璃盖片11的PET薄膜14，相当于具有疏水性表面的第2工件的为表面施加了第2透明导电膜(ITO电极15)的玻璃基板16。

(a)硅酮基板17b与PET薄膜14(与玻璃盖片11结合完成)的接合

如图6(a)所示，通过对硅酮基板17b表面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光，使硅酮基板17b表面氧化，将该表面形成为亲水性表面。

接着，在施加有第1ITO电极13图形的硬涂层14a表面上夹着硅酮基板17a接合有玻璃盖片11的PET薄膜14中，如图6(a)所示，在施加了第1ITO电极13图形的一面的相反侧的硬涂层14a表面上涂布底涂料18。接着，对该涂布了底涂料18的表面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光，将上述底涂料涂敷面形成为适合接合的表面。

然后，叠合硅酮基板17b的UV照射面和PET薄膜14的经过UV照射处理的底涂料涂敷面，通过适宜地对PET薄膜14和硅酮基板17b进行加压或加热，接合硅酮基板17b与表面施加了第1ITO电极13的PET薄膜14。

(b)PET薄膜14(与玻璃盖片11结合完成)与玻璃基板16的接合

如图7(b)所示，通过对与PET薄膜14接合的硅酮基板17b的与PET薄膜14的接合面成相反侧的表面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光，使硅酮基板17b的UV照射面氧化，将该表面形成为亲水性表面。

接着，在表面施加了例如图18(c)这样的图形的第2ITO电极15的玻璃基板16中，在施加了上述第2ITO电极图形的表面上涂布底涂料18。接着，通过对该涂布了底涂料18的表面照射从激元灯等紫外线(UV)光源射出的UV光，将上述底涂料涂敷面形成为适合接合的表面。

然后，叠合硅酮基板17b的UV照射面与玻璃基板16的经过UV照射处理的底涂料涂敷面，通过适宜地对玻璃基板16和硅酮基板17b进行加压或加热，将与PET薄膜14接合的硅酮基板17b与表面施加了第2ITO电极15的玻璃基板16接合。

再者，有时也可以替代表面施加了第2ITO电极15的玻璃基板16而使用表面施加了第2ITO电极15的树脂基板(例如PET薄膜14)，但工序2的顺序没有变化。

也就是说，本工序(B-1)中的接合方法如下。

(1)在具有疏水性表面的第1工件即接合有玻璃盖片11的PET薄膜14中，在PET薄膜14的没有接合上述玻璃盖片11的硬涂层14a表面(疏水性表面)上涂布底涂料18。

(2)通过对硅酮基板17b表面和具有疏水性表面的第1工件即PET薄膜14的涂布了底涂料18的表面照射紫外线，将两表面形成为亲水性表面。

(3)将两紫外线照射面彼此叠合。

(4)对从上方开始按硅酮基板17b、底涂料18、具有疏水性表面的第1工件即PET薄膜14(玻璃盖片11接合完成)的顺序叠合的工件，一边进行加压，一边进行加热。

(5)在具有疏水性表面的第2工件即玻璃基板16的表面施加了第2透明导电膜(ITO电极15)的表面上涂布底涂料18。

(6)对与具有疏水性表面的第1工件即PET薄膜14(玻璃盖片11接合完成)接合的硅酮基板17b表面、和涂布在具有疏水性表面的第2工件即玻璃基板16的表面施加了第2透明导电膜(ITO电极15)的表面上的底涂料18照射紫外线，将两表面形成为亲水性表面。

(7)将两紫外线照射面彼此叠合。

(8)对从上方开始按照具有疏水性表面的第1工件即PET薄膜14(玻璃盖片11接合完成)、硅酮基板17b、具有疏水性表面的第2工件即玻璃基板16的顺序叠合的各工件的接触面，一边进行加压，一边进行加热。

再者，在本接合方法的(4)及(8)中，可以只进行加压，也可以只进行加热，但优选一边进行加压一边进行加热。

经由采用了本发明的接合方法的〔工序A-1〕和〔工序B-1〕，构成图1所示的触摸面板中的接触式传感器模块。

通过在LCD面板等图像显示装置30上层叠该接触式传感器模块10a和触摸面板控制部10b，构成触摸面板。这里，触摸面板控制部10b的结构例或按接触式传感器模块10a、触摸面板控制部10b、图像显示装置30的顺序进行层叠的触摸面板的接合与以往技术相同，因此这里将详细的说明省略。

本实施方式1是用以下的方法构筑触摸面板中的接触式传感器模块。也就是说，在贴合接触式传感器模块的各构成要素时，替代以往的OCA带或OCR而使用硅酮(基板)，对硅酮(基板)和各构成要素的接合面照射紫外线。

而且，在接触式传感器模块的设有导电性薄膜(例如ITO电极)的基板中，在设有上述导电性薄膜的表面上涂布底涂料(例如硅烷偶联剂)，对该底涂料的涂敷面照射紫外线。

另外，在设有上述导电性薄膜的基板的没有设置上述导电性薄膜的侧表面为疏水性表面时，也在该表面上涂布底涂料18(例如硅烷偶联剂)，对该底涂料的涂敷面照射紫外线。

通过用本发明的贴合方法构筑接触式传感器模块，可得到以下优点。

也就是说，与OCA带或OCR不同，硅酮不发生长时间经过后的着色，对最终制品即触摸面板的图像没有变色影响。

此外，即使在接合面存在导电性薄膜这样的台阶结构时，硅酮根据台阶进行变形及密合，因此贴装时容易抑制气泡向上述台阶部分的混入。此外，即使对于接合面为大面积的部件也容易接合。

此外，由于不是OCR这样的利用固化反应的接合，所以可避免OCR特有的难以实现接合面涂布工序中的涂布均匀性、固化时变形的问题。此外，由于耐热温度比OCR高，所以能够使紫外线照射光源与硅酮基板的照射面接近，可高效率地对硅酮基板的光照射面进行改性。与此相对照，在使用紫外线固化性OCR时，由于OCR本身的耐热性低，所以不能使紫外线固化性OCR涂布面与紫外线照射光源40太接近，该紫外线固化性OCR涂布面处的紫外线强度下降，紫外线的利用效率降低。随之，用于贴合的OCR固化反应所需的时间变长。

此外，一般地硅酮基板与OCA带或OCR相比价格低廉。

另外，在采用硅酮基板进行接合时，不是在叠合玻璃基板或树脂基板和照射了紫外线的硅酮基板后就立刻结束接合，而是通过按规定时间对两基板进行加压或加热结束接合。所以，在刚叠合后分离两基板是容易的。因此，例如在玻璃基板或树脂基板与照射了紫外线的硅酮基板的对位不充分时，如果是刚叠合后，可通过暂时剥离两者，再次对硅酮基板照射紫外线而进行接合工序。也就是说，与OCA带相比，富有返工性。

特别是在本发明的贴合方法中，即使对于以往采用根据紫外线照射的表面改性处理也难接合的硅酮基板与接触式传感器模块的导电性薄膜基板的导电性薄膜表面的贴合、硅酮基板与表面为疏水性时的导电性薄膜基板的贴合，通过对导电性薄膜表面、基板的疏水性表面导入硅烷偶联剂，也可对该硅烷偶联剂通过紫外线照射进行表面改性(形成为适合接合的表面状态)，因此可进行上述的贴合。

也就是说，在贴合接触式传感器模块的各构成要素时，通过替代以往的OCA带或OCR而使用硅酮(基板)，对硅酮(基板)与各构成要素的接合面照射紫外线，可贴合接触式传感器模块的各构成要素，构成该接触式传感器模块。

〔实施方式1的变形例(1)〕

在实施方式1中，示出经由采用了本发明的接合方法的〔工序A-1〕和〔工序B-1〕，构成图1所示的触摸面板中的接触式传感器模块的例子。

也就是说，在〔工序A-1〕中，按照首先接合玻璃盖片11和硅酮基板17a、接着接合与该玻璃盖片11接合的硅酮基板17a与PET薄膜14的顺序，将玻璃盖片11与表面施加了第1透明导电膜(ITO电极13)的PET薄膜14接合。

此外，在〔工序B-1〕中，按照首先将通过〔工序A-1〕构成的夹着硅酮基板17a与玻璃盖片11接合的PET薄膜14与硅酮基板17b接合，接着将接合在与该玻璃盖片11接合完成的PET薄膜14上的硅酮基板17b与玻璃基板16接合的顺序，将与PET薄膜14接合的硅酮基板17b与表面施加了第2ITO电极15的玻璃基板16接合，构成接触式传感器模块10b。

但是，贴合工件的顺序并不局限于上述〔工序A-1〕〔工序B-1〕所示的顺序。

例如，在上述〔工序A-1〕中，也可以按照首先接合硅酮基板17a与PET薄膜14、接着将与该PET薄膜14接合的硅酮基板17a与玻璃盖片11接合的顺序，接合玻璃盖片11与表面施加了第1透明导电膜(ITO电极)的PET薄膜14(以下将这样的工序称为〔工序A-2〕。)。

同样，在上述〔工序B-1〕中，也可以通过按照首先接合硅酮基板17b与玻璃基板16、接着将与该玻璃基板16接合的硅酮基板17b和与玻璃盖片11接合完成的PET薄膜14接合的顺序，来接合与玻璃盖片11接合完成的PET薄膜14和与玻璃基板16接合完成的硅酮基板17b，构成接触式传感器模块。(以下，将这样的替代工序B-1的工序称为〔工序B-2〕。)

以下，采用图8、图9、图10，对经由采用了本发明的接合方法的〔工序A-2〕和〔工序B-2〕构成图1所示的触摸面板中的接触式传感器模块的例子进行说明。

〔工序A-2〕玻璃盖片与表面施加了第1透明导电膜(ITO电极)的PET薄膜的接合工序

图8中示出本工序。本工序示出夹着硅酮基板贴合具有亲水性表面的第1工件和具有疏水性表面的第2工件的方法，相当于具有亲水性表面的第1工件的为玻璃盖片11，相当于具有疏水性表面的第2工件的为在硬涂层14a表面施加了第1透明导电膜(ITO电极13)的PET薄膜14。

(a)硅酮基板17a与PET薄膜14的接合

例如，在硬涂层14a表面施加了图18(b)这样的图形的第1ITO电极13的PET薄膜14中，如图8(a)所示，在施加了上述第1ITO电极13图形的硬涂层14a表面上涂布底涂料18。接着，通过对该涂布了底涂料18的表面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光，将上述底涂料涂敷面形成为适合接合的表面。

此外通过对硅酮基板17a的表面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光，使硅酮基板17a表面氧化，将该表面形成为亲水性表面。

然后，叠合硅酮基板17a的UV照射面与PET薄膜14的经过UV照射处理的底涂料涂敷面，通过适宜地对PET薄膜14和硅酮基板17a进行加压或加热，将硅酮基板17a与表面施加了第1ITO电极13的PET薄膜14接合。

(b)与PET薄膜14接合的硅酮基板17a与玻璃盖片11的接合

接着，如图8(b)所示，对与PET薄膜14接合的硅酮基板17a的与PET薄膜14的接合面成相反侧的表面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光，使硅酮基板17a的UV照射面氧化，将该表面形成为亲水性表面。

此外，对玻璃盖片11的接合面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光。

然后，叠合与PET薄膜14接合的硅酮基板17a的UV照射面与玻璃盖片11的接合面，通过适宜地对叠合的玻璃盖片11和硅酮基板17a进行加压或加热，提高接合强度。

再者，由于玻璃盖片11本身为亲水性表面，所以不一定需要照射UV光。但是，通过对玻璃盖片11的接合面照射UV光，玻璃盖片11的接合面被活性化，或玻璃盖片11表面的杂质被分解除去，因此可更确实地进行玻璃盖片11与硅酮基板17a的接合。

此外，也可以同时对与PET薄膜14接合的硅酮(PDMS)基板17a表面和玻璃盖片11的接合面进行UV照射。

也就是说，本工序(A-2)中的接合方法如下。

(1)在具有疏水性表面的第2工件即PET薄膜14的表面施加了第1透明导电膜(ITO电极13)的表面上涂布底涂料18。

(2)通过对硅酮基板17a表面和涂布在具有疏水性表面的第2工件即PET薄膜14的表面施加了第1透明导电膜(ITO电极13)的表面上的底涂料18照射紫外线，将两表面形成为亲水性表面。

(3)将两紫外线照射面彼此叠合。

(4)对具有疏水性表面的第2工件即PET薄膜14与硅酮基板17a叠合的工件的接触面一边进行加压，一边进行加热。

(5)接着，对接合在具有疏水性表面的第2工件即PET薄膜14上的硅酮基板17a表面和具有亲水性表面的第1工件即玻璃盖片11的接合面照射紫外线。

(6)将两紫外线照射面彼此叠合。

(7)对从上方开始按照具有疏水性表面的第2工件即PET薄膜14、硅酮基板17a、具有亲水性表面的第1工件即玻璃盖片11的顺序叠合的各工件的接触面，一边进行加压，一边进行加热。

再者，在本接合方法的(4)及(7)中，可以只进行加压，也可以只进行加热，但优选一边进行加压一边进行加热。

〔工序B-2〕表面施加了第1透明导电膜(ITO电极)的PET薄膜与表面施加了第2透明导电膜(ITO电极)的玻璃的接合工序

图9、图10中示出本工序。本工序示出夹着硅酮基板贴合具有疏水性表面的第1工件和具有疏水性表面的第2工件的方法，相当于具有疏水性表面的第1工件的为接合有玻璃盖片11的PET薄膜14，相当于具有疏水性表面的第2工件的为表面施加了第2透明导电膜(ITO电极15)的玻璃基板16。

(a)硅酮基板17b与玻璃基板16的接合

如图9(a)所示，通过对硅酮基板17b表面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光，使硅酮基板17b表面氧化，将该表面形成为亲水性表面。

此外，在表面施加了例如图18(c)这样的图形的第2ITO电极15的玻璃基板16中，在施加了上述第2ITO电极15图形的表面上涂布底涂料18。接着，对该涂布了底涂料18的表面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光，将上述底涂料涂敷面形成为适合接合的表面。

然后，叠合硅酮基板17b的UV照射面与玻璃基板16的经过UV照射处理的底涂料涂敷面，通过适宜地对玻璃基板16和硅酮基板17b进行加压或加热，将硅酮基板17b和表面施加了第2ITO电极15的玻璃基板16接合。

如图10(b)所示，通过对与玻璃基板16接合的硅酮基板17b的与玻璃基板16的接合面成相反侧的表面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光，使硅酮基板17b的UV照射面氧化，将该表面形成为亲水性表面。

接着，在施加了第1ITO电极13图形的表面夹着底涂料18、硅酮基板17a地接合有玻璃盖片11的PET薄膜14中，如图10(b)所示，在施加了第1ITO电极13图形的一面的相反侧的硬涂层14a表面上涂布底涂料18。接着，对该涂布了底涂料18的表面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光，将上述底涂料涂敷面形成为适合接合的表面。

然后，叠合硅酮基板17b的UV照射面与PET薄膜14的经过UV照射处理的底涂料涂敷面，通过适宜地对PET薄膜14和硅酮基板17b进行加压或加热，将与玻璃基板16接合的硅酮基板17b与表面施加了第1ITO电极13的PET薄膜14接合。

也就是说，本工序(B-2)中的接合方法如下。

(1)在具有疏水性表面的第2工件即玻璃基板16的表面施加了第2透明导电膜(ITO电极15)的表面上涂布底涂料18。

(2)通过对硅酮基板17b表面、和涂布在具有疏水性表面的第2工件即玻璃基板16的表面施加了第2透明导电膜(ITO电极15)的表面上的底涂料18照射紫外线，将两表面形成为亲水性表面。

(3)将两紫外线照射面彼此叠合。

(4)对硅酮基板17b与具有疏水性表面的第2工件即玻璃基板16叠合而成的工件的接触面一边进行加压，一边进行加热。

(5)在具有疏水性表面的第1工件即接合有玻璃盖片11的PET薄膜14中，在PET薄膜14的没有接合上述玻璃盖片11的硬涂层14a表面上涂布底涂料18。

(6)对接合在具有疏水性表面的第2工件即玻璃基板16上的硅酮基板17b表面、和涂布在具有疏水性表面的第1工件即PET基板的没有接合玻璃盖片11的硬涂层14a表面上的底涂料18照射紫外线，将两表面形成为亲水性表面。

(7)将两紫外线照射面彼此叠合。

(8)对从上方开始按照具有疏水性表面的第1工件即PET薄膜14(与玻璃盖片11接合完成)、底涂料18、硅酮基板17b、底涂料18、具有疏水性表面的第2工件即玻璃基板16的顺序叠合的各工件的接触面，一边进行加压，一边进行加热。

〔实施方式1的变形例(2)〕

实施方式1的〔工序A-1〕〔工序B-1〕以及实施方式1的变形例(1)的〔工序A-2〕〔工序B-2〕通过重复两个工件的贴合而构成。但是，在各工序中也可以以一次贴合3个工件的方式构成。

例如，在上述〔工序A-1〕〔工序A-2〕中，也可以一次性接合玻璃盖片11、硅酮基板17a和PET薄膜14(以下，将这样的工序称为〔工序A-3〕。)。

同样，在上述〔工序B-1〕〔工序B-2〕中，也可以一次性接合与玻璃盖片11接合完成的PET薄膜14、硅酮基板17b和玻璃基板16(以下，将这样的工序称为〔工序B-3〕。)。

以下，采用图11、图12，对经由采用了本发明的接合方法的〔工序A-3〕和〔工序B-3〕构成图1所示的触摸面板中的接触式传感器模块的例子进行说明。

〔工序A-3〕玻璃盖片与表面施加了第1透明导电膜(ITO电极)的PET薄膜的接合工序

图11中示出本工序。本工序示出夹着硅酮基板贴合具有亲水性表面的第1工件和具有疏水性表面的第2工件的方法，相当于具有亲水性表面的第1工件的为玻璃盖片11，相当于具有疏水性表面的第2工件的为在硬涂层14a表面施加了第1透明导电膜(ITO电极13)的PET薄膜14。

在硬涂层14a表面施加了例如图18(b)这样的图形的第1ITO电极13的PET薄膜14中，如图11所示，在施加了上述第1ITO电极13图形的硬涂层14a表面上涂布底涂料18。对该涂布了底涂料18的表面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光，将上述底涂料涂敷面形成为适合接合的表面。

此外，通过如图11所示对硅酮基板17a的两面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光，使硅酮基板17a的表面氧化，将该表面形成为亲水性表面。

另外，如图11所示对玻璃盖片11的接合面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光。

然后，叠合玻璃盖片11的经过UV照射处理的接合面与硅酮基板17a的经过UV照射处理的一方的表面、以及硅酮基板17a的经过UV照射处理的另一方的表面与PET薄膜14的经过UV照射处理的底涂料涂敷面。然后，通过对按玻璃盖片11、硅酮基板17a、PET薄膜14的顺序层叠而成的工件适宜地进行加压或加热，一次性接合玻璃盖片11、硅酮基板17a和表面施加了第1ITO电极13的PET薄膜14。

此外，可以同时对玻璃盖片11的接合面、硅酮基板17a两面和PET薄膜14的底涂料涂敷面进行UV照射，也可以单个进行。

也就是说，本工序(A-3)中的接合方法如下。

(2)对具有亲水性表面的第1工件即玻璃盖片11的接合面、硅酮基板17a的两面、涂布在具有疏水性表面的第2工件即PET薄膜14的表面施加了第1透明导电膜(ITO电极13)的表面上的底涂料18照射紫外线，将各紫外线照射面形成为亲水性表面。

(3)然后，叠合玻璃盖片11的经过UV照射处理的接合面与硅酮基板17a的经过UV照射处理的一方的表面、以及硅酮基板17a的经过UV照射处理的另一方的表面与PET薄膜14的经过UV照射处理的底涂料涂敷面。

(4)然后，通过对按玻璃盖片11、硅酮基板17a、PET薄膜14的顺序层叠的各工件的接触面一边进行加压，一边进行加热，一次性接合各工件。

再者，在本接合方法的(4)中，可以只进行加压，也可以只进行加热，但优选一边进行加压一边进行加热。

〔工序B-3〕表面施加了第1透明导电膜(ITO电极)的PET薄膜与表面施加了第2透明导电膜(ITO电极)的玻璃的接合工序

图12中示出本工序。本工序示出夹着硅酮基板贴合具有疏水性表面的第1工件和具有疏水性表面的第2工件的方法，相当于具有疏水性表面的第1工件的为接合有玻璃盖片11的PET薄膜14，相当于具有疏水性表面的第2工件的为表面施加了第2透明导电膜(ITO电极15)的玻璃基板16。

如图12所示，在夹着硅酮基板17a接合有玻璃盖片11的PET薄膜14中，在接合有玻璃盖片11的一面的相反侧的硬涂层14a的表面上涂布底涂料18。然后，通过对该涂布了底涂料18的表面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光，将上述底涂料涂敷面形成为适合接合的表面。

此外，通过如图12所示对硅酮基板17b的两面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光，使硅酮基板17b的表面氧化，将该表面形成为亲水性表面。

另外，在表面施加了例如图18(c)这样的图形的第2ITO电极15的玻璃基板16中，如图12所示在施加了上述第2ITO电极15图形的表面上涂布底涂料18。然后，通过对该涂布了底涂料18的表面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光，将上述底涂料涂敷面形成为适合接合的表面。

然后，叠合PET薄膜14的经过UV照射处理的底涂料涂敷面与硅酮基板17b的经过UV照射处理的一方的表面、以及硅酮基板17b的经过UV照射处理的另一方的表面与玻璃基板16的经过UV照射处理的底涂料涂敷面。

然后，通过对按照与玻璃盖片11接合完成的PET薄膜14、硅酮基板17b、玻璃基板16的顺序层叠而成的工件适宜地进行加压或加热，将与玻璃盖片11接合完成的PET薄膜14与硅酮基板17b与表面施加了第2ITO电极15的玻璃基板16一次性接合。

再者，此外，可以同时对PET薄膜14的底涂料涂敷面、硅酮基板17b两面和玻璃基板16的底涂料涂敷面进行UV照射，也可以单个进行。

也就是说，本工序(B-3)中的接合方法如下。

(1)在具有疏水性表面的第1工件即接合有玻璃盖片11的PET薄膜14中，在PET薄膜14的没有接合上述玻璃盖片11的硬涂层14a表面上涂布底涂料18。

(2)在具有疏水性表面的第2工件即玻璃基板16的表面施加了第2透明导电膜(ITO电极15)的表面上涂布底涂料18。

(3)通过对涂布在具有疏水性表面的第1工件即接合有玻璃盖片11的PET薄膜14的与接合有玻璃盖片11的一面成相反侧的硬涂层14a表面上的底涂料18、硅酮基板17b的两面、涂布在具有疏水性表面的第2工件即玻璃基板16的表面施加了第2透明导电膜(ITO电极15)的表面上的底涂料18照射紫外线，将各紫外线照射面形成为亲水性表面。

(4)然后，叠合PET薄膜14的经过UV照射处理的底涂料涂敷面与硅酮基板17b的经过UV照射处理的一方的表面、以及硅酮基板17b的经过UV照射处理的另一方的表面与玻璃基板16的经过UV照射处理的底涂料涂敷面。

(5)然后，通过对按与玻璃盖片11接合完成的PET薄膜14、硅酮基板17b、玻璃基板16的顺序层叠的各工件的接触面一边进行加压，一边进行加热，一次性接合各工件。

〔实施方式2〕

在实施方式1中，示出组装在图1所示的触摸面板的构成例中，第1透明导电膜(例如ITO电极13)的基板为PET薄膜14、第2透明导电膜(例如ITO电极15)的基板为玻璃基板16这样的接触式传感器模块时采用的本发明的接合方法。

在实施方式2中，示出组装图13所示的触摸面板的构成例中的接触式传感器模块时采用的本发明的接合方法。

作为透明导电膜的基板，玻璃基板与薄膜基板相比，目视性、耐久性优异。也就是说，玻璃基板与薄膜基板相比，透光性高，可减小光的弥散及基板变形的影响，此外紫外线等导致的变色少，因此在目视性方面相对于薄膜基板具有优势。此外，玻璃基板在大的温度范围内的耐久性及耐水性方面也优良，与薄膜基板相比耐候性高。在要求高的目视性及耐候性的机械设备用触摸面板或户外使用的触摸面板中，作为透明导电膜的基板使用玻璃基板的要求高涨，近年来一直在研究在作为第1、第2透明导电膜的任一基板中使用玻璃基板。此外，还在实现玻璃基板的薄板化，同时还能与薄膜基板同样地与形状的自由度、面板的薄型化对应。

图13示出在将第1透明导电膜(例如ITO电极13)的基板、第2透明导电膜(例如ITO电极15)的基板双方规定为玻璃基板16a、16b时，采用了本发明的接合方法组装的触摸面板的构成例。这里，图13(a)为第1透明导电膜13和第2透明导电膜15夹着硅酮基板17b对置的情况。

在图13(a)中，接触式传感器模块10a从上方开始按玻璃盖片11、硅酮基板17a、第1玻璃基板16a、第1ITO电极13、底涂料18、硅酮基板17b、底涂料18、第2ITO电极15、第2玻璃基板16b的顺序进行层叠。其它的构成与图1相同。

图13(b)为在第1透明导电膜13和第2透明导电膜15中，只有第2透明导电膜15与硅酮基板17b接触的情况。

在图13(b)中，接触式传感器模块10a从上方开始按玻璃盖片11、硅酮基板17a、底涂料18、第1ITO电极13、第1玻璃基板16a、硅酮基板17b、底涂料18、第2ITO电极15、第2玻璃基板16b的顺序进行层叠。其它的构成与图13(a)相同。

再者，在图13所示的触摸面板的构成例中，各基板、各层的厚度为了易于说明而夸张地进行了描述，各基板、各层实际的厚度的相对关系与图13所示的关系具有差异。

首先，通过图14、图15对制造图13(a)所示的构成例的触摸面板时所用的本发明的接合方法进行说明。

〔工序C-1〕玻璃盖片与表面施加了第1透明导电膜(ITO电极)的第1玻璃基板的接合工序

图14中示出本工序。本工序是玻璃盖片11与表面施加了第1透明导电膜(ITO电极13)的第1玻璃基板16a的接合工序。本工序为采用了本发明的接合方法的〔工序3〕之前的预工序。

(a)玻璃盖片11与硅酮基板17a的接合

如图14(a)所示，通过对硅酮(PDMS)基板17a表面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光，使硅酮基板17a表面氧化，将该表面形成为亲水性表面。

然后，叠合玻璃盖片11的接合面与硅酮基板17a的UV照射面。通过适宜地对叠合的玻璃盖片11和硅酮基板17a进行加压或加热，提高接合强度。

(b)与玻璃盖片11接合的硅酮基板17a与第1玻璃基板16的接合

接着，如图14(b)所示，通过对与玻璃盖片11接合的硅酮基板17a的与玻璃盖片11的接合面成相反侧的表面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光，使硅酮基板17a的UV照射面氧化，将该表面形成为亲水性表面。

另一方面，在表面施加了例如图18(b)这样的图形的第1ITO电极13的第1玻璃基板16a中，对施加了第1ITO电极13的一面的相反侧的表面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光。

然后，叠合第1玻璃基板16a的UV照射面和与玻璃盖片11接合的硅酮基板17a的UV照射面。通过适宜地对叠合的玻璃盖片11和硅酮基板17a进行加压或加热，提高接合强度。

再者，如上所述，由于第1玻璃基板16a中的与施加了第1ITO电极13的一面成相反侧的表面(第1玻璃基板16a的接合面)本身为亲水性表面，所以不一定需要照射UV光。但是，通过对第1玻璃基板16a的接合面照射UV光，可使第1玻璃基板16a的接合面活性化，或将第1玻璃基板16a的接合面的杂质分解除去，因此可更确实地进行第1玻璃基板16a与硅酮基板17a的接合。

此外，也可以同时对硅酮(PDMS)基板17a表面和第1玻璃基板16a的接合面进行UV照射。

〔工序D-1〕表面施加了第1透明导电膜(ITO电极)的第1玻璃基板与表面施加了第2透明导电膜(ITO电极)的第2玻璃基板的接合工序

图15中示出本工序。本工序示出夹着硅酮基板贴合具有疏水性表面的第1工件和具有疏水性表面的第2工件的方法，相当于具有疏水性表面的第1工件的为在一方的表面接合有玻璃盖片11、在另一方的表面施加有第1ITO电极13的第1玻璃基板16a，相当于具有疏水性表面的第2工件的为表面施加了第2透明导电膜(ITO电极15)的第2玻璃基板16b。

(a)第1玻璃基板16(与玻璃盖片11接合完成)与硅酮基板17b的接合

如图15(a)所示，通过对硅酮基板17b的表面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光，使硅酮基板17b的表面氧化，将该表面形成为亲水性表面。

接着，如图15(a)所示，在前面的工序中在一方的表面接合了玻璃盖片11、在另一方的表面施加了第1ITO电极13的第1玻璃基板16a中，在施加了上述第1ITO电极13图形的表面上涂布底涂料18。接着，通过对该涂布了底涂料18的表面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光，将上述底涂料涂敷面形成为适合接合的表面。

然后，叠合硅酮基板17b的UV照射面与第1玻璃基板16a的经过UV照射处理的底涂料涂敷面，通过适宜地对第1玻璃基板16a和硅酮基板17b进行加压或加热，将硅酮基板17b与在一方的表面接合了玻璃盖片11、在另一方的表面施加了第1ITO电极13的第1玻璃基板16a接合。

(b)第1玻璃基板16a(与玻璃盖片11接合完成)与第2玻璃基板16b的接合

接着，如图15(b)所示，通过对与第1玻璃基板16a接合的硅酮基板17b的与第1玻璃基板16a的接合面成相反侧的表面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光，使硅酮基板17b的UV照射面氧化，将该表面形成为亲水性表面。

另一方面，在表面施加了例如图18(c)这样的图形的第2ITO电极15的第2玻璃基板16b中，在施加了上述第2ITO电极图形的表面上涂布底涂料18。接着，通过对该涂布了底涂料18的表面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光，将上述底涂料涂敷面形成为适合接合的表面。

然后，叠合与第1玻璃基板16a接合的硅酮基板17b的UV照射面与第2玻璃基板16b的经过UV照射处理的底涂料涂敷面，通过适宜地对第2玻璃基板16b和与第1玻璃基板16a接合的硅酮基板17b进行加压或加热，将与第1玻璃基板16a接合的硅酮基板17b与表面施加了第2ITO电极15的第2玻璃基板16b接合。

也就是说，本工序(D-1)中的接合方法如下。

(1)在作为具有疏水性表面的第1工件的、在一方的表面夹着硅酮基板17a接合有玻璃盖片11、在另一方的表面接合有第1ITO电极13的第1玻璃基板16a中，在施加了上述第1ITO电极13的表面上涂布底涂料18。

(2)通过对硅酮基板17b的表面、具有疏水性表面的第1工件即第1玻璃基板16a的涂布了底涂料18的表面照射紫外线，将两表面形成为亲水性表面。

(3)将两紫外线照射面彼此叠合。

(4)对从上方开始按硅酮基板17b、具有疏水性表面的第1工件即第1玻璃基板16a(与玻璃盖片11接合完成)的顺序叠合的各工件的接触面，一边进行加压，一边进行加热。

(5)在具有疏水性表面的第2工件即第2玻璃基板16b中，在表面施加了第2透明导电膜(ITO电极15)的表面上涂布底涂料18。

(6)对接合在具有疏水性表面的第1工件即第1玻璃基板16a(与玻璃盖片11接合完成)上的硅酮基板17b的表面、和涂布在具有疏水性表面的第2工件即第2玻璃基板16b的表面施加了第2透明导电膜(ITO电极15)的表面上的底涂料18照射紫外线，将两表面形成为亲水性表面。

(7)将两紫外线照射面彼此叠合。

(8)对从上方开始按照具有疏水性表面的第1工件即第1玻璃基板16a(与玻璃盖片11接合完成)、硅酮基板17b、具有疏水性表面的第2工件即第2玻璃基板16b的顺序叠合的各工件的接触面，一边进行加压，一边进行加热。

接着，通过图16、图17，对适合制造图13(b)所示的构成例的触摸面板时使用的本发明的接合方法进行说明。

〔工序C-2〕玻璃盖片与表面施加了第1透明导电膜(ITO电极)的第1玻璃基板的接合工序

图16中示出本工序。本工序示出夹着硅酮基板贴合具有亲水性表面的第1工件和具有疏水性表面的第2工件的方法，相当于具有亲水性表面的第1工件的为玻璃盖片11，相当于具有疏水性表面的第2工件的为表面施加了第1透明导电膜(ITO电极13)的第1玻璃基板16a。

(a)玻璃盖片11与硅酮基板17a的接合

在进行第1工件即玻璃盖片11的下侧表面与第2工件即第1玻璃基板16a的第1ITO电极13侧表面的接合之前，首先进行玻璃盖片11与硅酮(例如PDMS)基板17a的接合。

如图16(a)所示，通过对硅酮(PDMS)基板17a表面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光，使硅酮基板17a表面氧化，将该表面形成为亲水性表面。

此外，也可以同时对硅酮(PDMS)基板表面和玻璃盖片11的接合面进行UV照射。

(b)与玻璃盖片11接合的硅酮基板17a与第1玻璃基板16a的接合

接着，如图16(b)所示，在施加了例如图18(b)这样的图形的第1ITO电极13的第1玻璃基板16a中，在施加了上述第1ITO电极13图形的表面上涂布底涂料18。接着，对该涂布了底涂料18的表面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光，将上述底涂料涂敷面形成为适合接合的表面。

然后，叠合硅酮基板17a的经过UV照射处理的表面与第1玻璃基板16a的经过UV照射处理的底涂料涂敷面，通过适宜地对叠合的玻璃盖片11和硅酮基板17a进行加压或加热，将与玻璃盖片11接合的硅酮基板17a与表面施加了第1ITO电极13的第1玻璃基板16a接合。

也就是说，本工序(C-2)中采用的接合方法如下。

(1)在具有亲水性表面的第1工件即玻璃盖片11的下侧表面接合硅酮基板17a。接合方法是，通过对硅酮基板17a照射紫外线将紫外线照射面形成为亲水性表面，将该表面层叠在玻璃盖片11上，接合第1工件即玻璃盖片11与硅酮基板17a。再者，如上所述，也可以对玻璃盖片11的接合面也照射紫外线。

(2)在具有疏水性表面的第2工件即第1玻璃基板16a的施加了第1透明导电膜(ITO电极13)的表面上涂布底涂料。

(3)对与具有亲水性表面的第1工件即玻璃盖片11接合的硅酮基板17a表面、和涂布在具有疏水性表面的第2工件即第1玻璃基板16a的施加了第1透明导电膜(ITO电极13)的表面上的底涂料18照射紫外线，将两表面形成为亲水性表面。

(4)将两紫外线照射面彼此叠合。

(5)对从上方开始按照具有亲水性表面的第1工件即玻璃盖片11、硅酮基板17a、第2工件即第1玻璃基板16a的顺序叠合的各工件的接触面，一边进行加压，一边进行加热。

〔工序D-2〕表面施加了第1透明导电膜(ITO电极)的第1玻璃基板与表面施加了第2透明导电膜(ITO电极)的第2玻璃基板的接合工序

图17中示出本工序。在本工序中，也示出夹着硅酮基板贴合具有亲水性表面的第1工件和具有疏水性表面的第2工件的方法，相当于具有亲水性表面的第1工件的为在施加有第1ITO电极13的一方的表面接合有玻璃盖片11的第1玻璃基板16a，相当于具有疏水性表面的第2工件的为表面施加了第2透明导电膜(ITO电极15)的第2玻璃基板16b。

(a)第1玻璃基板16a(与玻璃盖片11接合完成)与硅酮基板17b的接合

在具有亲水性表面的第1工件即第1玻璃基板16a的与玻璃盖片11接合完成的第1ITO电极13侧的相反侧表面与具有疏水性表面的第2工件即第2玻璃基板16b的第2ITO电极15侧表面的接合之前，首先进行第1玻璃基板16a(与玻璃盖片11接合完成)与硅酮(例如PDMS)基板17b的接合。

如图17(a)所示，通过对硅酮基板17b表面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光，使硅酮基板17b的表面氧化，将该表面形成为亲水性表面。

接着，如图17(a)所示，对在前面的工序中第1玻璃基板16a的与玻璃盖片11接合完成的第1ITO电极13侧的相反侧表面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光。

然后，叠合硅酮基板17b的UV照射面与第1玻璃基板16a的UV照射面，通过适宜地对第1玻璃基板16a和硅酮基板17b的接触面进行加压或加热，将硅酮基板17b与在一方的表面接合有玻璃盖片11的第1玻璃基板16a接合。

接着，如图17(b)所示，通过对与第1玻璃基板16a接合的硅酮基板17b的与第1玻璃基板16a的接合面成相反侧的表面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光，使硅酮基板17b的UV照射面氧化，将该表面形成为亲水性表面。

另一方面，在表面施加了例如图18(c)这样的图形的第2ITO电极15的第2玻璃基板16b中，在施加了上述第2ITO电极15图形的表面上涂布底涂料18。接着，对该涂布了底涂料18的表面照射从激元灯等紫外线(UV)光源40射出的UV光，将上述底涂料涂敷面形成为适合接合的表面。

也就是说，本工序(D-2)中的接合方法如下。

(1)通过对作为具有亲水性表面的第1工件的在施加有第1ITO电极13的一方的表面夹着硅酮基板17a接合有玻璃盖片11的第1玻璃基板16a的另一方的表面、和硅酮基板17b表面照射紫外线，以密合两工件的紫外线照射面的方式层叠具有亲水性表面的第1工件即第1玻璃基板16a与硅酮基板17b，将具有亲水性表面的第1工件即第1玻璃基板16a与硅酮基板17b接合。

(2)在具有疏水性表面的第2工件即第2玻璃基板16b中，在表面施加了第2透明导电膜(ITO电极15)的表面上涂布底涂料18。

(3)对接合在具有亲水性表面的第1工件即第1玻璃基板16a(与玻璃盖片11接合完成)上的硅酮基板17b表面、和涂布在具有疏水性表面的第2工件即第2玻璃基板16b的表面施加了第2透明导电膜(ITO电极15)的表面上的底涂料18照射紫外线，将两表面形成为亲水性表面。

(4)将两紫外线照射面彼此叠合。

(5)对从上方开始按照具有亲水性表面的第1工件即第1玻璃基板16a(与玻璃盖片11接合完成)、硅酮基板17b、具有疏水性表面的第2工件即第2玻璃基板16b的顺序叠合的各工件的接触面，一边进行加压，一边进行加热。

经由采用了本发明的接合方法的〔工序C-1〕和〔工序D-1〕，构成图13(a)所示的触摸面板中的接触式传感器模块。

此外，经由采用了本发明的接合方法的〔工序C-2〕和〔工序D-2〕，构成图13(b)所示的触摸面板中的接触式传感器模块。

该接触式传感器模块10a和触摸面板控制部10b被层叠在LCD面板等图像显示装置30上，构成触摸面板。这里，触摸面板控制部10b的结构例或按接触式传感器模块10a、触摸面板控制部10b、图像显示装置30的顺序进行层叠的触摸面板的接合与以往技术相同，因此这里将详细的说明省略。

在本实施方式2中，在贴合接触式传感器模块的各构成要素时，也替代以往的OCA带或OCR而使用硅酮(基板)，对硅酮(基板)与各构成要素的接合面照射紫外线。

而且，在接触式传感器模块的设有导电性薄膜(例如ITO电极)的基板中，在设有上述导电性薄膜的表面上涂布底涂料(例如硅烷偶联剂)，对该底涂料涂敷面照射紫外线。由此，可得到与实施方式1的情况相同的效果。

特别是在本实施方式2中构筑的接触式传感器模块中，作为透明导电膜的基板只使用玻璃基板，因此组装有该接触式传感器模块的触摸面板可具有高的目视性及耐候性。

此外，通过使用玻璃基板作为透明导电膜的基板，该透明导电膜的基板的与涂布了透明导电膜的一面成相反侧的表面为亲水性表面。因而，不需要向该面导入底涂料。也就是说，本实施方式2中构筑的接触式传感器模块的制造工序与本实施方式1中构筑的触摸面板的制造工序相比，导入底涂料的表面少，相应地被简略化。

实验例

如上所述，在本发明的贴合方法中，夹着通过对与第1工件以及与在接合面上施加有导电性薄膜的第2工件的接合面照射紫外线而被表面改性成为亲水性表面的硅酮基板层叠第1工件和第2工件，通过对层叠的第1工件及第2工件进行加热/加压处理，贴合第1工件和第2工件。特别是，在本发明的贴合方法中，对于以往即使采用利用了紫外线照射的表面改性处理也不能接合的硅酮基板与导电性薄膜基板的导电性薄膜表面的贴合、或硅酮基板与表面为疏水性时的导电性薄膜基板的贴合，通过向导电性薄膜表面和基板的疏水性表面导入硅烷偶联剂，通过紫外线照射对该硅烷偶联剂进行表面改性(形成为适合接合的表面状态)，从而可进行上述贴合。

以下，示出使用底涂料接合硅酮基板与涂布了导电性薄膜的导电性薄膜基板时的实验例。

作为硅酮基板使用PDMS，作为导电性薄膜基板使用在一方的表面设有ITO层的PET薄膜。此外，作为底涂料使用硅烷偶联剂。硅烷偶联剂为信越硅酮公司制的KBE-9007，结构式为(C₂H₅O)₃SiC₃H₆N＝C＝O。

首先，利用旋涂法在PET薄膜14的ITO层上涂布上述硅烷偶联剂的丙酮稀释溶液。

接着，对PDMS基板(硅酮基板)的接合面和PET薄膜的涂布了硅烷偶联剂的表面照射紫外线。

作为紫外线光源，使用射出中心波长为172nm的真空紫外线(VUV)的激元灯，关于照射条件，照射面上的辐射照度为5mW/cm²，照射时间为180秒。

在VUV照射后，以PDMS基板及PET薄膜的VUV照射面彼此相接的方式，叠合该PDMS基板及PET薄膜，一边对两者施加0.25MPa的压力，一边以两者的温度达到100℃的方式进行加热。加热时间为30秒。按以上的顺序，接合PDMS基板及PET薄膜。

也就是说，根据本实验，判明：可进行以往即使采用利用了紫外线照射的表面改性处理也不能接合的硅酮基板与导电性薄膜基板的导电性薄膜表面的贴合。同样，认为还可进行硅酮基板与表面为疏水性时的导电性薄膜基板的贴合。

再者，作为底涂料，即使采用其它硅烷偶联剂(例如信越硅公司制的KBE-403：化学式(1)中示出结构式)也得到了同样的结果。

[化学式1]

此外，即使使用硅氧烷系涂敷剂(例如COLCOAT株式会公司制醇性二氧化硅溶胶“COLCOAT N-103X”(在乙醇：大约4％、2-丙醇：40％、1-丁醇：50％的混合溶剂中分散有大约2％的二氧化硅的物质)作为底涂料18，也得到了同样的结果。

本发明的贴合方法还适用于构成图1、图13所示构成的接触式传感器模块以外的构成的接触式传感器模块的情况。

例如，在图13(a)中，还适用于将施加有透明导电膜的第1、第2玻璃基板16a，16b规定为由PET薄膜14等构成的第1、第2树脂基板的情况。在此种情况下，图14所示的〔工序C-1〕被置换为图5所示的〔工序A-1〕。再者，其后的〔工序D-1〕可直接采用。

符号说明

10-位置输入装置

10a-接触式传感器模块

10b-触摸面板控制部

11-玻璃盖片

12-黑色矩阵

13-第1ITO电极(第1透明导电膜)

14-PET薄膜

14a-硬涂层

15-第2ITO电极(第2透明导电膜)

16、16a、16b-玻璃基板

17、17a、17b-硅酮(PDMS)基板

18-底涂料

21-布线层

22-触摸面板(TP)控制IC部

23-FPC(挠性印刷基板)

30-图像显示装置

31-偏光膜

32-图像显示面板

40-紫外线(UV)光源

100-触摸面板

Claims

1.一种工件的贴合方法，其特征在于：该方法是对具有疏水性表面的工件与由硅酮构成的部件进行贴合的方法，

在具有疏水性表面的工件的一方的表面上涂布含有硅烷偶联剂或硅氧烷系涂敷剂的底涂料；

对所述工件的涂布了底涂料的表面和所述由硅酮构成的部件照射紫外线；

以所述工件的照射了紫外线的表面与由硅酮构成的部件的照射了紫外线的表面相接触的方式进行层叠；

以所述层叠的工件与由硅酮构成的部件的接触面被加压的方式进行加压，或者对层叠的工件和由硅酮构成的部件进行加热，或者对层叠的工件和由硅酮构成的部件一边以其接触面被加压的方式进行加压一边进行加热。

2.一种工件的贴合方法，其特征在于：该方法是夹着由硅酮构成的部件地贴合具有亲水性表面的第1工件与具有疏水性表面的第2工件的方法，

在具有疏水性表面的第2工件的表面上涂布含有硅烷偶联剂或硅氧烷系涂敷剂的底涂料；

分别对第1工件的一方的表面、所述第2工件的涂布了底涂料的表面、所述由硅酮构成的部件的两面照射紫外线；

以所述照射了紫外线的表面相接触的方式层叠所述第1工件、所述由硅酮构成的部件和第2工件；

以所述接触面被加压的方式进行加压，或者对层叠的第1及第2工件和由硅酮构成的部件进行加热，或者对层叠的第1及第2工件和由硅酮构成的部件一边以其接触面被加压的方式进行加压一边进行加热。

3.一种工件的贴合方法，其特征在于：该方法是夹着由硅酮构成的部件地贴合具有疏水性表面的第1工件与具有疏水性表面的第2工件的方法，

在具有疏水性表面的第1工件和第2工件的表面上涂布含有硅烷偶联剂或硅氧烷系涂敷剂的底涂料；

分别对第1工件及第2工件的涂布了所述底涂料的表面、所述由硅酮构成的部件的两面照射紫外线；

以所述接触面被加压的方式进行加压，或者对层叠的工件进行加热，或者对层叠的工件一边以其接触面被加压的方式进行加压一边进行加热。

4.一种触摸面板，其特征在于：该触摸面板具备具有施加了透明导电膜的基板的接触式传感器模块、和图像显示装置，

所述接触式传感器模块包含施加有透明导电膜的基板和由硅酮构成的部件，所述施加有透明导电膜的基板上涂布有含有硅烷偶联剂或硅氧烷系涂敷剂的底涂料，涂布了该底涂料的表面通过照射紫外线而被改性，所述由硅酮构成的部件通过照射紫外线而表面被改性，所述基板与所述由硅酮构成的部件的所述照射了紫外线的各表面对置地层叠。