CN104163403A - 一种超高纯硫酸制造方法 - Google Patents

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殷福华
朱龙
邵勇
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Jiangyin Jianghua Microelectronic Material Co Ltd
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Abstract

一种超高纯硫酸制造方法，制作步骤是将工业硫酸经过氧化处理，并进行沉淀分离，澄清硫酸；将经过澄清的硫酸反倒入连续精馏处理系统，做电加热连续精馏处理；将精馏过的硫酸反倒入超净过滤纯净系统做超净过滤、超净分装。本发明提供的一种超高纯硫酸的制备方法，其等级达到PPT等级，生产出含量95-97％、金属杂质控制在1PPb以内，完全满足极大规模集成电路的生产制造。

Description

一种超高纯硫酸制造方法
技术领域
本发明设计一种硫酸的制造方法，具体涉及一种超高纯硫酸的制造方法。
背景技术
湿电子化学品主要应用于集成电路和分立器件、晶体硅太阳能和平板显示等领域的生产制造过程之中，目前现有的湿电子化学品尤其是硫酸的精度不高，纯度无法达到PPT等级，不能适合极大规模集成电路的生产工艺流程。
发明内容
针对以上不足，本发明提供一种极大规模集成电路用的超高纯硫酸的制备方法。本发明的技术方案如下：
一种超高纯硫酸制造方法，所述超高纯硫酸的制作步骤如下：
(1)将工业硫酸经过氧化处理，并进行沉淀分离，澄清硫酸；
(2)将步骤(1)澄清的硫酸反倒入连续精馏处理系统，做电加热连续精馏处理；
(3)将步骤(2)精馏过的硫酸反倒入超净过滤纯净系统做超净过滤、超净分装。
一种超高纯硫酸制造方法，步骤(2)所述加热精馏系统的温度为330℃±10℃。
一种超高纯硫酸制造方法的技术方案中，连续精馏设备为石英为材质。采用连续蒸馏技术，旨在取出硫酸中的金属杂质。
一种超高纯硫酸制造方法的技术方案中，采用超净过滤系统和超净罐装系统，旨在排除二次污染。
与现有技术相比，本发明提供的一种超高纯硫酸的制备方法，其等级达到PPT等级，生产出含量95-97％、金属杂质控制在1PPb以内，完全满足极大规模集成电路的生产制造。
具体实施方式
下面通过实施例描述本发明，但不限于所举实施例。
本发明提供一种极大规模集成电路用的超高纯硫酸的制备方法。本发明的技术方案如下：
一种超高纯硫酸制造方法，其超高纯硫酸的制作步骤如下：
(1)将工业硫酸经过氧化处理，并进行沉淀分离，澄清硫酸；
(2)将步骤(1)澄清的硫酸反倒入连续精馏处理系统，做电加热连续精馏处理；
(3)将步骤(2)精馏过的硫酸反倒入超净过滤纯净系统做超净过滤、超净分装。
一种超高纯硫酸制造方法，其步骤(2)中所述加热精馏系统的温度为330℃±10℃。
一种超高纯硫酸制造方法的技术方案中，连续精馏设备为石英为材质。采用连续蒸馏技术，旨在取出硫酸中的金属杂质。
一种超高纯硫酸制造方法的技术方案中，采用超净过滤系统和超净罐装系统，旨在排除二次污染。
本发明提供的一种超高纯硫酸的制备方法，其等级达到PPT等级，生产出含量95-97％、金属杂质控制在1PPb以内，完全满足极大规模集成电路的生产制造。

Claims (3)

1.一种超高纯硫酸制造方法，其特征在于，超高纯硫酸的制作步骤如下：
(1)将工业硫酸经过氧化处理，并进行沉淀分离，澄清硫酸；
(2)将步骤(1)澄清的硫酸反倒入连续精馏处理系统，做电加热连续精馏处理；
(3)将步骤(2)精馏过的硫酸反倒入超净过滤纯净系统做超净过滤、超净分装。
2.根据权利要求1所述的一种超高纯硫酸制造方法，其特征在于：步骤(2)所述加热精馏系统的温度为330℃±10℃。
3.根据权利要求1所述的一种超高纯硫酸制造方法，其特征在于：步骤(3)所述连续精馏设备为石英为材质。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN105174233A (zh) * 2015-09-25 2015-12-23 江阴润玛电子材料股份有限公司 一种超净高纯硫酸的生产方法

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C06 Publication
PB01 Publication
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20141126

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