CN104155480B - 纳米探针半成品加工装置及纳米探针制作方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种纳米探针半成品加工装置及纳米探针制作方法中，利用本发明所提供的纳米探针半成品加工装置，使得纳米探针半成品一端固定在导热金属板上，另一端浸泡入化学腐蚀液中，之后调控化学腐蚀液的温度及导热金属板的温度，使导热金属板的温度高于化学腐蚀液一预定温度，利用温度梯度的原理，影响纳米探针半成品不同部位的腐蚀速度，从而制作出符合实际应用的纳米探针，本发明所提供的纳米探针制作方法操作简单，大大降低了生产成本，且可实现批量生产。
Description
技术领域
本发明涉及纳米器件制作技术领域，特别涉及一种纳米探针半成品加工装置及纳米探针制作方法。
背景技术
纳米探针半成品是指已加工成型的纳米探针粗品，只是这种纳米探针半成品的针尖不够细，不适合实际应用，必须进行精加工才可投入使用。通常对于纳米探针半成品进行精加工常用的方法是FIB(聚焦离子束)方法，将纳米探针半成品的针尖加工成符合应用的细度。但是由于FIB的机台费用过高、加工耗时较多、不可批量生产等现象，均使得纳米探针制作的成品大大提高。
为了解决使用现有技术中制作纳米探针的方法的成本较高，不可以批量生产的问题，本领域技术人员一直在寻找满足这一需求的解决方法。
发明内容
本发明的目的在于提供一种纳米探针半成品加工装置及纳米探针制作方法，以解决现有技术中使用FIB对纳米探针半成品进行精加工的成本较高，不可以批量生产的问题。
为解决上述技术问题，本发明提供一种纳米探针半成品加工装置及纳米探针制作方法，所述纳米探针半成品加工装置包括：恒温槽、及设置于所述恒温槽上方的导热金属板；其中，所述导热金属板上设置有固定纳米探针半成品的固定元件；所述恒温槽中装有化学腐蚀液。
可选的，在所述的纳米探针半成品加工装置中，所述化学腐蚀液为KOH溶液。
可选的，在所述的纳米探针半成品加工装置中，所述固定元件的数量为至少一个。
本发明还提供一种纳米探针制作方法，所述纳米探针制作方法包括如下步骤：
提供如上所述的纳米探针半成品加工装置及纳米探针半成品；
将纳米探针半成品的一端固定在导热金属板上，另一端浸泡入化学腐蚀液中；
调整纳米探针半成品浸泡入化学腐蚀液中的浸泡深度；
调控化学腐蚀液的温度及导热金属板的温度，使导热金属板的温度高于化学腐蚀液一预定温度；
调控所述预定温度，直至纳米探针半成品的针尖细度满足实际应用的要求。
可选的，在所述的纳米探针制作方法中，所述预定温度为10℃～80℃。
可选的，在所述的纳米探针制作方法中，所述纳米探针半成品包括针杆及与针杆相连的针尖；其中，所述针杆固定在所述导热金属板上，所述针尖浸泡入所述化学腐蚀液中。
可选的，在所述的纳米探针制作方法中，所述针尖浸泡入所述化学腐蚀液的液面下10mm。
可选的，在所述的纳米探针制作方法中，当所述纳米探针半成品的数量大于等于两个时，调整纳米探针半成品，使其针尖与导热金属板之间的距离保持一致。
可选的，在所述的纳米探针制作方法中，所述化学腐蚀液的温度为5℃～50℃。
可选的，在所述的纳米探针制作方法中，所述化学腐蚀液为KOH溶液。
可选的，在所述的纳米探针制作方法中，所述KOH溶液的百分比浓度为50％。
在本发明所提供的纳米探针半成品加工装置及纳米探针制作方法中，利用本发明所提供的纳米探针半成品加工装置，使得纳米探针半成品一端固定在导热金属板上，另一端浸泡入化学腐蚀液中，之后调控化学腐蚀液的温度及导热金属板的温度，使导热金属板的温度高于化学腐蚀液一预定温度，利用温度梯度的原理，影响纳米探针半成品不同部位的腐蚀速度，从而制作出符合实际应用的纳米探针，本发明所提供的纳米探针制作方法操作简单，大大降低了生产成本，且可实现批量生产。
附图说明
图1是本发明的纳米探针半成品加工装置的结构示意图；
图2是本发明一实施例中纳米探针制作方法的流程图。
图1中，导热金属板-10；化学腐蚀液-11；恒温槽-20；纳米探针半成品-30；针杆-31；针尖-32。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本发明提出的纳米探针半成品加工装置及纳米探针制作方法作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
请参考图1，其为本发明的纳米探针半成品加工装置的结构示意图，如图1所示，所述的纳米探针半成品加工装置包括：恒温槽20、及设置于所述恒温槽20上方的导热金属板10；其中，所述导热金属板10上设置有固定纳米探针半成品30的固定元件；所述恒温槽20中装有化学腐蚀液11。
具体的，通过调控恒温槽20，可以改变恒温槽20中装的化学腐蚀液11的温度，从而改变纳米探针半成品浸泡在化学腐蚀液11中一端的温度；所述导热金属板10的作用是在固定需要加工的纳米探针半成品30的同时可以进行加热，从而改变纳米探针半成品固定在导热金属板10的一端的温度。进而使得纳米探针半成品30不同部分温度不同，腐蚀的速度相应改变。本发明的纳米探针半成品加工装置正式利用温度梯度的原理，根据需要来调控对纳米探针半成品30的腐蚀速度，加工出符合实际应用的纳米探针。
进一步地，所述化学腐蚀液11为KOH溶液。本实施例中KOH溶液的百分比浓度为50％。
请继续参照图1，所述固定元件的数量为至少一个。通过在导热金属板10上设置不同数量的固定元件，实现纳米探针的批量制作，降低成本。
相应的，本实施例还提供了一种纳米探针制作方法，下面参照图2详细说明本实施例所述的纳米探针制作方法。
首先，执行步骤S1，提供如上所述的纳米探针半成品加工装置及纳米探针半成品30。
具体的，利用纳米探针半成品加工装置固定纳米探针半成品30，为后续进行纳米探针的制作作好准备工作。
接着，执行步骤S2，将纳米探针半成品30的一端固定在导热金属板10上，另一端浸泡入化学腐蚀液11中。
进一步地，所述化学腐蚀液11为KOH溶液。本实施例中KOH溶液的百分比浓度为50％。
具体的，请参照图1，所述纳米探针半成品30包括针杆31及与针杆31相连的针尖32；其中，所述针杆31固定在所述导热金属板10上，所述针尖32浸泡入所述化学腐蚀液11中。请参照图1，本实施例中所述针尖32浸泡入所述化学腐蚀液11的液面下10mm，即为图1中的h尺寸。
接着，执行步骤S3，调整纳米探针半成品30浸泡入化学腐蚀液11中的浸泡深度。
进一步地，当所述纳米探针半成品30的数量大于等于两个时，调整纳米探针半成品30，使其针尖32与导热金属板10之间的距离保持一致。当进行批量生产制作纳米探针时，需要调节所有纳米探针半成品30的针尖32处于同一水平高度，即纳米探针半成品30的针尖32与导热金属板10之间的距离保持一致，从而为后续针尖32部分进入化学腐蚀液11中的深度相同，得到同等要求的纳米探针。
接着，执行步骤S4，调控化学腐蚀液11的温度及导热金属板10的温度，使导热金属板10的温度高于化学腐蚀液11一预定温度。
接着，执行步骤S5，调控所述预定温度，直至纳米探针半成品30的针尖32细度满足实际应用的要求。
本实施例中，所述预定温度为10℃～80℃，所述化学腐蚀液11的温度为5℃～50℃。由于纳米探针半成品30受温度梯度原理(化学腐蚀速度随温度提高会加快的原理)的影响，化学腐蚀速度在纳米探针半成品30的针尖32处最低，离针尖32越远，化学腐蚀速度越快；经过一定时间的化学腐蚀，通过不断调控所述预定温度，生产出满足实际应用的要求的纳米探针。
综上，在本发明所提供的纳米探针半成品加工装置及纳米探针制作方法中，利用本发明所提供的纳米探针半成品加工装置，使得纳米探针半成品一端固定在导热金属板上，另一端浸泡入化学腐蚀液中，之后调控化学腐蚀液的温度及导热金属板的温度，使导热金属板的温度高于化学腐蚀液一预定温度，利用温度梯度的原理，影响纳米探针半成品不同部位的腐蚀速度，从而制作出符合实际应用的纳米探针，本发明所提供的纳米探针制作方法操作简单，大大降低了生产成本，且可实现批量生产。
上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。
Claims (8)
1.一种纳米探针制作方法，其特征在于，包括：
提供纳米探针半成品加工装置及纳米探针半成品；所述纳米探针半成品加工装置包括：恒温槽、设置于所述恒温槽上方的导热金属板；其中，所述导热金属板上设置有固定纳米探针半成品的固定元件；所述恒温槽中装有化学腐蚀液；将纳米探针半成品的一端固定在导热金属板上，另一端浸泡入化学腐蚀液中；
调整纳米探针半成品浸泡入化学腐蚀液中的浸泡深度；
调控化学腐蚀液的温度及导热金属板的温度，使导热金属板的温度高于化学腐蚀液一预定温度；
调控所述预定温度，直至纳米探针半成品的针尖细度满足实际应用的要求。
2.如权利要求1所述的纳米探针制作方法，其特征在于，所述预定温度为10℃～80℃。
3.如权利要求1所述的纳米探针制作方法，其特征在于，所述纳米探针半成品包括针杆及与针杆相连的针尖；其中，所述针杆固定在所述导热金属板上，所述针尖浸泡入所述化学腐蚀液中。
4.如权利要求3所述的纳米探针制作方法，其特征在于，所述针尖浸泡入所述化学腐蚀液的液面下10mm。
5.如权利要求3所述的纳米探针制作方法，其特征在于，当所述纳米探针半成品的数量大于等于两个时，调整纳米探针半成品，使其针尖与导热金属板之间的距离保持一致。
6.如权利要求5所述的纳米探针制作方法，其特征在于，所述化学腐蚀液的温度为5℃～50℃。
7.如权利要求5所述的纳米探针制作方法，其特征在于，所述化学腐蚀液为KOH溶液。
8.如权利要求7所述的纳米探针制作方法，其特征在于，所述KOH溶液的百分比浓度为50％。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410315008.7A CN104155480B (zh) | 2014-07-03 | 2014-07-03 | 纳米探针半成品加工装置及纳米探针制作方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410315008.7A CN104155480B (zh) | 2014-07-03 | 2014-07-03 | 纳米探针半成品加工装置及纳米探针制作方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN104155480A CN104155480A (zh) | 2014-11-19 |
| CN104155480B true CN104155480B (zh) | 2017-02-15 |
Family
ID=51881033
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201410315008.7A Active CN104155480B (zh) | 2014-07-03 | 2014-07-03 | 纳米探针半成品加工装置及纳米探针制作方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN104155480B (zh) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108732388A (zh) * | 2018-03-30 | 2018-11-02 | 姜全博 | 一种单光子源主动探针的制作方法 |
| CN110967527A (zh) * | 2018-09-30 | 2020-04-07 | 中国计量科学研究院 | 扫描探针针尖的制备装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0634651A1 (en) * | 1993-07-12 | 1995-01-18 | Hewlett-Packard GmbH | A method of producing a capillary, a capillary for an electrophoresis device and an electrophoresis device including such a capillary |
| CN101696980A (zh) * | 2009-10-27 | 2010-04-21 | 北京大学 | 一种制备纳米钨探针针尖的方法 |
| CN102738380A (zh) * | 2012-06-05 | 2012-10-17 | 东南大学 | 微纳热电偶探针的制备装置 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1017671A (en) * | 1911-07-27 | 1912-02-20 | Charles Francis Jenkins | Tapering metal bodies. |
| US2434286A (en) * | 1943-08-12 | 1948-01-13 | Bell Telephone Labor Inc | Method of forming a point at the end of a wire |
| US5468338A (en) * | 1994-07-22 | 1995-11-21 | At&T Ipm Corp. | Methods for selectively wet etching substrates |
| US5630932A (en) * | 1995-09-06 | 1997-05-20 | Molecular Imaging Corporation | Tip etching system and method for etching platinum-containing wire |
| US20020081072A1 (en) * | 2000-12-27 | 2002-06-27 | Kenji Ootsu | Method of processing end portions of optical fibers and optical fibers having their end portions processed |
| US6905627B2 (en) * | 2003-01-10 | 2005-06-14 | Academia Sinica | Etching method for fabricating high quality optical fiber probe |
-
2014
- 2014-07-03 CN CN201410315008.7A patent/CN104155480B/zh active Active
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0634651A1 (en) * | 1993-07-12 | 1995-01-18 | Hewlett-Packard GmbH | A method of producing a capillary, a capillary for an electrophoresis device and an electrophoresis device including such a capillary |
| CN101696980A (zh) * | 2009-10-27 | 2010-04-21 | 北京大学 | 一种制备纳米钨探针针尖的方法 |
| CN102738380A (zh) * | 2012-06-05 | 2012-10-17 | 东南大学 | 微纳热电偶探针的制备装置 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 电化学腐蚀法制备针尖的试验研究;王明环;《传感器技术》;20051231;第24卷(第3期);第24-26页 * |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN104155480A (zh) | 2014-11-19 |
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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