CN205443440U - 一种镀膜机真空室温度自动控制装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种镀膜机真空室温度自动控制装置，包括镀膜机真空室壳体，所述镀膜机真空室壳体的底端连接有底座，所述镀膜机真空室壳体的内腔中设有一空腔，该空腔中安装有控制器和温度传感器，且温度传感器电连接控制器，所述镀膜机真空室壳体的内腔中由下至上分别设有第一加热器、第二加热器和第三加热器。该镀膜机真空室温度自动控制装置通过在每个第一加热器、第二加热器、第三加热器和转架上都安装有热偶温度检测装置，使得控制器能自动控制加热器的加热效率，从而对工件的不同温度进行调控。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空活塞环镀膜技术领域，具体为一种镀膜机真空室温度自动控制装置。
背景技术
温度对薄膜厚度的影响，随着控制温度的增加，膜层厚度呈缓慢上升趋势，温度对膜以及基材结合力的影响，高能离子对表面的轰击造成表层区的高密度缺陷，如空位、间隙原子、位错等，从这个意义上讲，温度越高，离子轰击能量越大，更有利于获得高的结合力，并且温度太低，膜层的厚度减小且致密性差，温度对薄膜硬度的影响，涂层的硬度与薄膜生长的组织形态有密切关系，原子排列更加规则、孔隙减小和晶界强化等原因都可以提高涂层的表面硬度，沉积温度过低，轰击能量较低，涂层形核不充分，而温度过高则晶粒粗大，只有温度适宜才能获得致密柱状晶并进而获得高的硬度，温度对涂层的成分、组织与形貌的影响，过渡层的形成表明，在离子轰击下，增强了扩散行为，高能离子的轰击造成表层区的高密度晶体缺陷如空位、间隙原子等，在汽车活塞环行业里，要想保障镀出优质的活塞环膜层，必然要有一种具有高精度、高均匀性温度自动控制功能的真空镀膜机，为此，我们提出一种镀膜机真空室温度自动控制装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种镀膜机真空室温度自动控制装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种镀膜机真空室温度自动控制装置，包括镀膜机真空室壳体，所述镀膜机真空室壳体的底端连接有底座，所述镀膜机真空室壳体的内腔中设有一空腔，该空腔中安装有控制器和温度传感器，且温度传感器电连接控制器，所述镀膜机真空室壳体的内腔中由下至上分别设有第一加热器、第二加热器和第三加热器，所述第一加热器、第二加热器和第三加热器分别电连接控制器，且第一加热器、第二加热器和第三加热器的上侧均设有转架，所述第一加热器、第二加热器、第三加热器和转架的上表面均安装有热偶温度检测装置，所述热偶温度检测装置电连接控制器。
优选的，所述镀膜机真空室壳体的空腔内安装有功率调节器，功率调节器电连接控制器。
优选的，所述功率调节器的输入端的直流电流为A毫安，其中4≤A≤20。
优选的，所述转架由伺服电机提供转动力。
优选的，所述第一加热器、第二加热器和第三加热器加热时的温度为T摄氏度，其中0≤T≤600。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该镀膜机真空室温度自动控制装置通过第一加热器、第二加热器、第三加热器和转架的相互结合的方式，使得该装置内上、中、下的温度均匀；通过在每个第一加热器、第二加热器、第三加热器和转架上都安装有热偶温度检测装置，使得各部位的温度都能在热偶温度检测装置的检测下将信号传输给温度传感器，通过设定温度传感器的温度范围，从而将得到的温度数据传输给控制器，使得控制器能自动控制加热器的加热效率，从而对工件的不同温度进行调控。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
图中：1镀膜机真空室壳体、2底座、3第一加热器、4第二加热器、5第三加热器、6热偶温度检测装置、7控制器、8转架、9温度传感器、10功率调节器。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：一种镀膜机真空室温度自动控制装置，包括镀膜机真空室壳体1，所述镀膜机真空室壳体1的底端连接有底座2，所述镀膜机真空室壳体1的内腔中设有一空腔，该空腔中安装有控制器7和温度传感器9，且温度传感器9电连接控制器7，所述温度传感器9的温度设定范围为0-800摄氏度，所述镀膜机真空室壳体1的空腔内还安装有功率调节器10，功率调节器10电连接控制器7，所述功率调节器10的输入端的直流电流为A毫安，其中4≤A≤20，所述镀膜机真空室壳体1的内腔中由下至上分别设有第一加热器3、第二加热器4和第三加热器5，所述第一加热器3、第二加热器4和第三加热器5表面温度控制误差为5摄氏度，所述第一加热器3、第二加热器4和第三加热器5分别电连接控制器7，所述第一加热器3、第二加热器4和第三加热器5加热时的温度为T摄氏度，其中0≤T≤600，且第一加热器3、第二加热器4和第三加热器5的上侧均设有转架8，所述转架8由伺服电机提供转动力，该镀膜机真空室温度自动控制装置通过第一加热器3、第二加热器4、第三加热器5和转架8的相互结合的方式，使得该装置内上、中、下的温度均匀，所述第一加热器3、第二加热器4、第三加热器5和转架8的上表面均安装有热偶温度检测装置6，所述热偶温度检测装置6电连接控制器7，通过在每个第一加热器3、第二加热器4、第三加热器5和转架8上都安装有热偶温度检测装置6，使得各部位的温度都能在热偶温度检测装置6的检测下将信号传输给温度传感器9，通过设定温度传感器9的温度范围，从而将得到的温度数据传输给控制器7，使得控制器7能自动控制加热器的加热效率，从而对工件的不同温度进行调控。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种镀膜机真空室温度自动控制装置，包括镀膜机真空室壳体（1），所述镀膜机真空室壳体（1）的底端连接有底座（2），其特征在于：所述镀膜机真空室壳体（1）的内腔中设有一空腔，该空腔中安装有控制器（7）和温度传感器（9），且温度传感器（9）电连接控制器（7），所述镀膜机真空室壳体（1）的内腔中由下至上分别设有第一加热器（3）、第二加热器（4）和第三加热器（5），所述第一加热器（3）、第二加热器（4）和第三加热器（5）分别电连接控制器（7），且第一加热器（3）、第二加热器（4）和第三加热器（5）的上侧均设有转架（8），所述第一加热器（3）、第二加热器（4）、第三加热器（5）和转架（8）的上表面均安装有热偶温度检测装置（6），所述热偶温度检测装置（6）电连接控制器（7）。
2.根据权利要求1所述的一种镀膜机真空室温度自动控制装置，其特征在于：所述镀膜机真空室壳体（1）的空腔内安装有功率调节器（10），功率调节器（10）电连接控制器（7）。
3.根据权利要求2所述的一种镀膜机真空室温度自动控制装置，其特征在于：所述功率调节器（10）的输入端的直流电流为A毫安，其中4≤A≤20。
4.根据权利要求1所述的一种镀膜机真空室温度自动控制装置，其特征在于：所述转架（8）由伺服电机提供转动力。
5.根据权利要求1所述的一种镀膜机真空室温度自动控制装置，其特征在于：所述第一加热器（3）、第二加热器（4）和第三加热器（5）加热时的温度为T摄氏度，其中0≤T≤600。
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| CN201521109816.4U CN205443440U (zh) | 2015-12-29 | 2015-12-29 | 一种镀膜机真空室温度自动控制装置 |
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| CN201521109816.4U CN205443440U (zh) | 2015-12-29 | 2015-12-29 | 一种镀膜机真空室温度自动控制装置 |
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| CN205443440U true CN205443440U (zh) | 2016-08-10 |
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| CN (1) | CN205443440U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019076141A1 (zh) * | 2017-10-16 | 2019-04-25 | 君泰创新（北京）科技有限公司 | 真空镀膜设备 |
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2015
- 2015-12-29 CN CN201521109816.4U patent/CN205443440U/zh not_active Expired - Fee Related
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