CN104096666A - 干燥方法以及干燥装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种干燥方法以及干燥装置。在使涂敷液供给部与基板相对移动并在基板上涂敷涂敷液的涂敷工序中，会产生涂敷引起的条纹不均，成为外观检查不良的原因。因此，为了解决该课题，本发明提供一种干燥方法以及干燥装置。在使涂敷液供给部与基板相对移动而在基板上涂敷涂敷液的涂敷工序和通过对该已涂敷的膜进行干燥来形成涂敷膜的干燥工序中，有意地在干燥工序中产生干燥不均，由此，缓和在涂敷工序中所产生的条纹不均，使其不明显，从而防止产生外观不良。

Description

干燥方法以及干燥装置

技术领域

本发明涉及一种干燥方法以及干燥装置。

背景技术

近年来，开发了一种以太阳电池或显示面板、照明装置等为对象，大面积涂敷防反射膜或遮挡特定波长光的波长调整膜等功能性膜的涂敷技术。

然而，若使用模涂法来涂敷功能性膜，则存在在涂敷膜面上产生条纹状的不均的课题。因此，如图13（a）～图13（e）所示的装置（参照专利文献1）广为人知，即在将涂敷了涂敷液111的基板112输送至干燥炉113并使其干燥时，销114不与同一位置接触，从而避免产生涂敷膜的不均。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-061755号公报

然而，用上述专利文献1的方法干燥的涂敷膜会反映出在涂敷工序中产生的条纹不均。

详细而言，在涂敷工序中所产生的条纹不均是指产生刚涂敷后的涂敷膜的膜厚呈条纹状的或厚或薄的这种偏差。因此，若直接使其干燥，则将维持上述膜厚偏差来进行干燥，所以在干燥后的涂敷膜上会产生条纹状的不均，并无法抑制。

发明内容

本发明是用于解决上述以往课题的，其目的在于提供一种干燥方法以及干燥装置，其能够在干燥工序中缓和涂敷工序中所产生的条纹不均，并使其不明显，由此来防止产生外观不良。

为达成上述目的，本发明的干燥方法，使供给涂敷液并在涂敷对象物上涂敷所述涂敷液的涂敷液供给部和所述涂敷对象物在与所述涂敷对象物的涂敷面平行的方向上相对移动，而在所述涂敷对象物上涂敷所述涂敷液。接着，输送涂敷了所述涂敷液的所述涂敷对象物，并送往干燥工序。

在干燥工序中，有意地在所述涂敷对象物的表面产生局部的干燥不均，由此，能够使在上述涂敷工序中所产生的条纹不均不明显。

在此，刚涂敷后向干燥装置输送的过程也确定为干燥工序。

发明效果

如以上所述，本发明能够在干燥工序中缓和涂敷工序中所涂敷的涂敷膜的条纹不均，能够使其不明显，从而能够防止产生外观不良。

附图说明

图1为表示本发明的涂敷-干燥工序的示意图。

图2（a）～图2（b）为表示本发明的涂敷膜的不均的图。

图3为表示实施例1中的干燥工序的基板保持的方法的图。

图4为表示实施例1中的干燥不均评价结果的图。

图5（a）～图5（b）为表示实施例1中的干燥工序的基板保持配置的图。

图6（a）～图6（b）为表示实施例2中的干燥工序的基板保持的方法的图。

图7（a）～图7（b）为表示实施例2中的干燥工序的基板保持的其他方法的图。

图8（a）～图8（b）为表示实施例3中的干燥工序的基板保持的方法的图。

图9（a）～图9（b）为表示实施例3中的干燥工序的基板保持的其他方法的图。

图10（a）～图10（b）为表示实施例3中的干燥工序的方法的图。

图11为表示实施例4中的干燥工序的方法的图。

图12为表示实施例5中的干燥工序的方法的图。

图13（a）～图13（e）为表示专利文献1的干燥工序中的基板保持的方法的图。

图中：

1 涂敷液供给机构

2 多孔质材料

3、112   基板

4 涂敷膜

5、15载置台

6 基板输送机构

7、113   干燥炉

8 基板保持机构

9 接触部

具体实施方式

使用图1，对本发明的涂敷-干燥工序加以说明。图1为表示本发明的涂敷-干燥工序的流程的图。本发明的实施工序由涂敷工序（1）与干燥工序（2）两个工序组成。

作为本实施方式，涂敷工序（1）表示使用多孔质涂敷法来进行涂敷的情况。

在图1中，使用涂敷液供给机构1将涂敷液高精度地向多孔质材料2定量供给，使保持于载置台5上的基板3与多孔质材料2在规定的位置接触，之后，使多孔质材料2与基板3相对移动，由此，在基板3上将涂敷液涂敷成面状。

在此，涂敷方法并不限于前述的多孔质涂敷，也适用于狭缝涂敷、帘式涂敷、喷雾涂敷、喷墨涂敷、辊涂敷等。

接着，对干燥工序（2）加以说明。

在此，使在涂敷工序（1）中形成于基板3上的涂敷液在干燥炉7内干燥。在此，干燥方式并不受限制。例如，可以想到通过对基板进行加热来使涂敷液的溶剂成分挥发而进行干燥的加热干燥方法、或者通过在负压状态的气氛中保持基板来使涂敷液的溶剂成分挥发的减压干燥方法等。

使用图2（a）～图2（b），对本发明的特征加以说明。图2（a）～图2（b）为表示形成于基板3上的涂敷膜4的不均的图。

在本发明中，对在涂敷工序中所产生的条纹不均（图2（a）），在干燥工序中有意地遍及基板3的整个面内产生点状的干燥不均，或者在与涂敷方向垂直的方向上产生干燥不均，由此，使在涂敷工序中所产生的条纹状的不均如图2（b）所示那样并不明显。

在此，所谓干燥工序，即使在从涂敷工序（1）向干燥工序（2）移动的过程中，涂敷液的溶剂成分也会气化，所以认为是干燥工序。此外，根据需要，也可以在同一地点实施涂敷工序和干燥工序。

接着，以下，对产生上述干燥工序中的干燥不均的具体实施例进行说明。

（实施例1）

作为产生干燥工序中的干燥不均的实施例之一，使用图1进行详细说明。

使用规定的涂敷方法，在保持于载置台5上的基板3上涂敷涂敷液（图1-（1））。其后，通过基板输送机构6，将基板3向被设定为规定温度的干燥炉7的内部输送后，使金属销（作为一个例子，将基板保持机构8作为金属销）接触基板3的背面（未涂敷涂敷液的面），同时使基板3上的涂敷液干燥（图1-（2））。再者，在图1中，虽然示出基板输送机构6通过旋转辊进行输送，但并不限于此。

在此，从被加热至规定温度的金属销（基板保持机构8），通过基板3背面的金属销的接触部9而传递热量，此位置周边的基板3的温度升高。此外，相反地，在金属销（基板保持机构8）未接触的位置，由于通过涂敷液的溶剂成分的气化所产生的气化热，热量被夺走，所以温度比金属销所接触的接触部9低。

因此，从温度高的部分开始容易干燥，温度低的部分干燥缓慢，所以，干燥过程中，能够在基板面内产生干燥缓慢部分与干燥迅速部分的不均。此时，干燥迅速的位置的溶剂成分少，干燥缓慢位置的溶剂成分残留较多，所以，溶剂成分从多的位置向少的位置流动。

由于上述原理而产生涂敷液的流动，与此相伴，涂敷液内部的固体成分（形成膜的成分）的量产生不均，所以在存在温度不均的位置产生膜厚的不均。也就是说，在金属销的接触位置周边能够产生干燥不均。

由此，能够得到在涂敷工序中所产生的条纹状的不均被点状的干燥不均完全消除的效果。人眼非常容易看到条纹不均，因此即使很细微的膜厚变化也很容易造成外观不良，但即使存在点状不均，目视上也不明显。因此，能够使人感觉条纹状的不均被完全消除了。

在此，作为金属销的材质，根据上述目的，采用热传导性良好的金属较为理想。此外，金属销的顶端形状并不受特别限定，但从防止划伤基板或防止金属销顶端磨损的观点出发，对顶端形状进行R加工是较为理想的。

进而，金属销的接触位置需要在基板面内存在多个，并且需要一定与基板背面接触的机构，例如，使用独立弹簧，使各金属销具有弹力也是有效的。

接着，对接触部9的详细内容加以说明。为了在该接触部9产生温度不均，从而产生干燥不均并使涂敷工序的条纹不均不明显，使条纹不均不明显的销配置很重要。

本发明中，在将防反射膜形成于太阳电池的防护玻璃基板上的探讨中，对涉及上述接触部9的排列的详细内容进行了探讨。使用图3来加以说明。图3为表示在干燥工序中使用金属销10保持涂敷了涂敷液的基板3的状态的剖面图。

具体来说，在厚度约为3mm的玻璃基板3上，使用多孔质涂敷法涂敷能够在干燥后形成防反射膜的数mPa·s的涂敷液4。之后，投入已加热到50～300℃左右的干燥炉内，并使涂敷液的溶剂成分蒸发来形成涂敷膜。

在此，使金属销10的间隔X变化为100、50、30、20、10、5mm，并进行最终的涂敷膜的目视评价。其结果示于图4中。目视评价从相隔50～100cm的距离目视确认干燥后的膜，确认有无可能形成特别的外观不良的不均。

结果，在金属销10的间隔在20mm以下的情况下，通过目视评价能够确认涂敷不均变得不明显。可认为这是由于从使金属销10接触的点起产生大约Φ10～15mm左右的球状的干燥不均，所以，在观察整个涂敷面的情况下，在基板的整个面上产生球状的干燥不均，由此，通过涂敷工序，条纹不均变得不明显。因此，理想的是：将金属销10的间隔设定在20mm以下。

此外，金属销10并不是有规则地排列的，随机配置更能够得到通过目视评价不易观察到不均的效果。具体地使用图5（a）～图5（b）加以说明。图5（a）为表示干燥工序中的基板保持方法的图，图5（b）为表示基板保持机构（此处为金属销）接触基板的配置的图。

如图5（a）～图5（b）的金属销11那样，在将由相邻的金属销构成的间隔保持在20mm以下的状态下，随机配置图3中所配置的金属销10，则能够进一步使条纹不均不明显。此外，可推测，若不足5mm，则不容易产生温度不均，不易得到使条纹不均不明显的效果。此外，在物理上，以不足5mm的间隔设置金属销，恐怕会产生装置的复杂化和成本增加。因此，将金属销的间隔设为5～20mm较为理想。

此外，在构成涂敷液的溶剂成分为挥发性高的溶剂的情况下，在由干燥工序中的温度差引起的流动发生以前，溶剂成分气化而失去液体的流动性，很难产生前述的干燥不均。因此，理想的是，对于溶剂成分之一，使用沸点至少在100℃以上的高沸点溶剂。

（实施例2）

接下来，使用图6（a）～图6（b），对在干燥工序中产生温度不均的机构的其他方法加以说明。图6（a）为表示干燥工序中的基板保持方法的图，图6（b）为表示基板保持机构（此处为金属销）接触基板的配置的图。

接触基板背面同时保持基板的机构也可使用随机开有冲孔12的金属板13。

可是，在此，需要使金属板13接触基板3的整个背面，在使用起伏或者翘曲大的基板3的情况下，为了使追随性良好，需要对厚度和材质进行选定。但是，只要满足与该基板3的背面接触，则并不特别限定。此外，根据需要，在装置中具有将金属板13向基板3的背面推抵的机构也是有效的。在此，代替金属板13，也可使用金属制的丝网或者金属棉等。

进而，使用图7（a）～图7（b），对在干燥工序中产生温度不均的其他机构加以说明。图7（a）为表示干燥工序中的基板保持方法的图，图7（b）为表示基板保持机构（此处为金属销）接触基板的配置的图。与基板3的背面接触同时保持基板3的机构也可使用铺满金属球14的载置台15。在此，为了使金属球14与基板3的整个背面接触，进而为了保持随机性，也可以将直径不同的金属球组合使用。此外，若为直径不同的金属球14铺满了载置台15上的状态，则能够期待由于基板3的重量，金属球14自由地移动，而容易追随基板3的背面的效果。

（实施例3）

进而，对干燥工序中的基板保持机构的其他方法加以说明。实施例1、2说明了为了点状地保持基板而采用通过金属销实现的方法作为基板保持方法，但在本实施例中，对在与涂敷方向垂直的方向上进行保持的方法加以说明。图8（a）、图9（a）为表示干燥工序中的基板保持方法的图，图8（b）以及图9（b）为表示基板保持机构接触基板的配置的图。

图8（a）～图8（b）表示一种使保持机构16与基板的背面接触来进行干燥的方法，其中该保持机构16由金属或者石墨等热传导性优良的材质构成，并在表面具有以随机间隔形成的槽形状。

图9（a）～图9（b）表示使用由金属等热传导性优良的材质构成的多条绳索17来保持基板的方法。

无论上述哪种方法，都能够通过在与涂敷方向垂直的方向上使基板保持机构与基板接触，而在干燥工序中有意地在其接触方向上产生干燥不均，从而能够得到使由涂敷工序所产生的条纹不均不明显的效果。

（实施例4）

接着，使用图10（a）～图10（b），对其他的干燥方法加以说明。图10（a）～图10（b）为表示此干燥方法的图。

实施例1～3为在干燥工序中，通过使基板保持机构接触基板背面来产生温度不均，从而有意地产生干燥不均的方法。在本实施例中，作为产生上述温度不均的方法，为通过灯的照射来进行的加热干燥方法。

具体来说，如图10（a）所示那样，是一种用加热灯18来照射涂敷于基板3上的涂敷液4并进行加热干燥的方法。在此，为了在基板3的面内产生不均，例如，在基板3的背面配置开有多个孔19的金属板20，由此，从灯18照射并透过涂敷膜4以及基板3的光在金属板20反射，并再次照射基板3以及涂敷膜4。也就是说，在具有金属板20的部分和孔19的部分有无光反射的情况不同。结果，能够在基板上产生局部的温度不均，从而能够产生干燥不均。

此外，如图10（b）所示，在基板3和灯18之间配置金属板20也能够得到同样的效果。通过了金属板20的孔19的灯光对基板3以及涂敷膜4进行加热，没有孔19的部分不会产生由直接照射引起的过热。因此，能够在基板3的面内产生温度不均，从而引起干燥不均。

（实施例5）

使用图11，对产生干燥工序中的干燥不均的其他的实施例加以说明。图11为表示在干燥工序中有意地产生干燥不均的其他方法的图。

此处为如下方法：在干燥工序中，对于涂敷了涂敷液4的基板3，将局部具有微小的孔的配管21配置于涂敷面上，供给设定为规定温度的空气22，同时在干燥炉内进行干燥。在此，理想的是，将所喷吹的空气的温度设定为与基板3的气氛温度即干燥炉的温度不同。由此，由于喷吹的空气压以及局部的温度差，而在基板上的涂敷液的厚度上局部地产生不均，结果，能够产生干燥不均。

在此，由于上述实施例1中所述的理由，理想的是：将喷射空气22的间隔设定为20mm以下。此外，若配管21与基板3之间的间隔大，则不容易得到喷吹空气22的效果，若过窄，则会有搅乱涂敷液而在涂敷膜上产生不均的担忧，所以，理想的是：在装置中附有能够自由调整配管21与基板3之间的间隔的机构。

（实施例6）

使用图12，对产生干燥工序中的干燥不均的其他的实施例加以说明。本实施例为一种在干燥工序中，将溶剂成分使用喷射器23等对涂敷了涂敷液4的基板3喷射溶剂的方法。若所喷吹的溶剂成分24与基板3上的涂敷膜4接触，则此部分中的溶液内的固体成分比例减少，因此，结果是干燥后的膜厚变薄。这是一种利用这一特征来产生干燥不均的方法。

在此，作为喷吹溶剂成分的机构，若液滴大，则所形成的不均较明显，因此，需要向基板喷吹微小的液滴。作为此机构，理想的是使用超声波式喷射器、喷雾器等。

产业上的可利用性

本发明的涂敷干燥方法能够利用于向太阳电池、建材用途等的基板涂敷防反射膜、波长调整膜等功能性膜。

Claims (12)

1.一种干燥方法，包括：涂敷工序，通过在一定方向上对基材涂敷涂敷液，而在所述基材的表面形成涂敷膜；和干燥工序，对所述涂敷膜进行干燥，其中，

所述干燥工序为在基材的面内产生点状的温度不均来进行干燥的工序。

2.根据权利要求1所述的干燥方法，其中，

所述干燥工序是使多个销与在所述基材上涂敷涂敷液的面的相反面接触来进行的。

3.根据权利要求2所述的干燥方法，其中，

所述多个销的间隔为5～20mm。

4.根据权利要求2或者3所述的干燥方法，其中，

所述多个销中，相邻销之间的间隔为随机设置的。

5.根据权利要求2～4的任一项中所述的干燥方法，其中，

在所述干燥工序中，使具有以规定的间隔形成的多个槽的部件与在所述基材上涂敷涂敷液的面的相反面接触，同时进行干燥。

6.根据权利要求2～4的任一项中所述的干燥方法，其中，

在所述干燥工序中，使多个绳索状的部件以规定的间隔与在所述基材上涂敷涂敷液的面的相反面接触，同时进行干燥。

7.根据权利要求2～4的任一项中所述的干燥方法，其中，

在所述干燥工序中，以规定的间隔以及图案向在所述基材上涂敷涂敷液的面喷吹规定温度的气体，同时进行干燥。

8.根据权利要求2～4的任一项中所述的干燥方法，其中，

在所述干燥工序中，以规定的间隔以及图案向在所述基材上涂敷涂敷液的面喷吹规定温度的溶剂，同时进行干燥。

9.一种干燥装置，其特征在于，具备：

载置台，载置基材；

涂敷液供给机构，与所述载置台相对配置，并向所述基材的表面供给涂敷液；和

基板输送机构，使所述载置台和所述涂敷液供给机构相对移动，

还具有与所述基板中的被供给所述涂敷液的面的相反面的规定位置接触的多个销。

10.一种干燥装置，其特征在于，具备：

载置台，载置基材；

涂敷液供给机构，与所述载置台相对配置，并向所述基材的表面供给涂敷液；和

基板输送机构，使所述载置台和所述涂敷液供给机构相对移动，

在所述基材的涂敷液面侧配置加热用灯，并且，在所述载置台与加热用灯之间、或者在配置所述加热用灯的一侧的相反侧，配置以规定的间隔形成了规定直径的孔的金属板。

11.一种干燥装置，其特征在于，具备：

载置台，载置基材；

涂敷液供给机构，与所述载置台相对配置，并向所述基材的表面供给涂敷液；和

基板输送机构，使所述载置台和所述涂敷液供给机构相对移动，

并具有以规定的间隔向所述基板的涂敷液面喷吹规定温度的空气的机构。

12.一种干燥装置，其特征在于，具备：

载置台，载置基材；

涂敷液供给机构，与所述载置台相对配置，并向所述基材的表面供给涂敷液；和

基板输送机构，使所述载置台和所述涂敷液供给机构相对移动，

并具有以规定的间隔向所述基板的涂敷液面喷吹规定温度的溶剂的机构。