CN104069984B

CN104069984B - 间歇涂敷装置以及涂膜形成系统

Info

Publication number: CN104069984B
Application number: CN201410108277.6A
Authority: CN
Inventors: 早川允规
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2013-03-27
Filing date: 2014-03-21
Publication date: 2017-03-01
Anticipated expiration: 2034-03-21
Also published as: TWI520785B; KR101671055B1; TW201436872A; CN104069984A; KR20140118735A; JP6152287B2; JP2014188447A

Abstract

本发明提供间歇涂敷装置以及涂膜形成系统。该间歇涂敷装置能够减少从切换单元向喷嘴传递的振动。涂敷喷嘴（11）向基体材料（5）喷出涂敷液。供给配管（30）与涂敷喷嘴（11）相连接，涂敷液朝向涂敷喷嘴（11）流动。切换单元（32）通过反复切换供给配管（30）的开闭，间歇性地从涂敷喷嘴（11）喷出涂敷液。喷嘴基座（50）载置有涂敷喷嘴（11）。切换单元基座（60）与喷嘴基座（50）分开，载置有切换单元（32）。

Description

间歇涂敷装置以及涂膜形成系统

技术领域

本发明涉及间歇性地从喷嘴朝向基体材料涂敷涂敷液的间歇涂敷装置以及具有该间歇涂敷装置的涂膜形成系统。

背景技术

以往，在制造锂离子电池等化学电池时，使用了如下涂敷装置，即，从喷嘴向作为基体材料的金属箔上喷出粘度比较高的电极材料的涂敷液，从而在上述金属箔上形成涂敷膜。作为这样的涂敷装置，存在进行间歇涂敷的涂敷装置，其中，间歇涂敷是指，断续地涂敷电极材料，从而交替形成涂敷区域和非涂敷区域（例如，专利文献1）。

在专利文献1所公开的进行间歇涂敷的装置中，从具有微小的狭缝状喷出口的狭缝模具（slot die）断续地喷出涂敷液。在该装置中，从涂敷液贮藏单元与狭缝模具相连接的涂敷液输送路径分支而设置有溢流路径，通过三通阀反复切换路径，从而进行间歇涂敷。在不进行涂敷时流入溢流路径的涂敷液向涂敷液贮藏单元回流。

另外，专利文献2中公开了与本发明有关的技术。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012－30193号公报

专利文献2：日本特开2011－83719号公报

在进行间歇涂敷时，高精度地维持狭缝模具的喷出口和基体材料之间的间隔变得重要。这是因为，若喷出口相对于基体材料发生变动，则无法以所期望的形状高精度地形成涂敷区域。

这样，例如通过三通阀反复切换路径来进行间歇涂敷，但是路径的切换伴随着机械性的动作（配管的开闭），因此随着该切换而在三通阀产生振动。并且，若该振动向喷出口传递，则喷出口和基体材料之间的间隔可能发生变动。如上所述，这并不优选。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供能够减少从切换单元向喷嘴传递的振动的间歇涂敷装置。

鉴于上述问题，技术方案1的发明是一种间歇涂敷装置，用于间歇性地从喷嘴朝向基体材料涂敷涂敷液，其特征在于，具有：喷嘴；供给配管，其与所述喷嘴相连接，在该供给配管中，涂敷液朝向所述喷嘴流动；切换单元，其通过反复切换所述供给配管的开闭，间歇性地从所述喷嘴朝向所述基体材料喷出所述涂敷液；喷嘴基座，其载置有所述喷嘴；切换单元基座，其与所述喷嘴基座分开，载置有所述切换单元。

另外，技术方案2的发明，在技术方案1的发明的涂敷装置的基础上，其特征在于，还具有：喷嘴移动单元，其使所述喷嘴基座移动，来调整所述喷嘴相对于所述基体材料的位置；切换移动单元，其使所述切换单元向与借助所述喷嘴移动单元的所述喷嘴基座的移动方向相同的方向移动。

另外，技术方案3的发明，在技术方案2所述的间歇涂敷装置的基础上，其特征在于，所述喷嘴移动单元使所述喷嘴基座沿着水平方向移动；所述切换移动单元能够使所述切换单元沿着任意水平方向自由移动，所述喷嘴的移动经由所述供给配管传递，由此使所述切换单元向与所述移动方向相同的方向移动。

另外，技术方案4的发明，在技术方案1至3中任一技术方案所述的间歇涂敷装置的基础上，其特征在于，还具有振动抑制单元，该振动抑制单元设置在所述切换单元基座上，抑制振动从所述切换单元向所述喷嘴传递。

另外，技术方案5的发明是一种涂膜形成系统，包括：技术方案1中4中任一技术方案所述的间歇涂敷装置；干燥单元，其对通过所述间歇涂敷装置涂敷有所述涂敷液的所述基体材料进行加热处理，来使所述涂敷液干燥；搬运单元，其将所述基体材料依次搬运至所述间歇涂敷装置以及所述干燥单元。

在间歇涂敷装置中，将喷嘴和切换单元之间的供给配管设定得短。这是为了将通过切换单元切换的供给配管的开闭情况迅速地反映在通过喷嘴进行的间歇性的喷出（即，喷出/停止）动作上。并且，彼此配置于近距离的构件一般载置于同一体的基座状构件上。

另一方面，根据技术方案1、技术方案5的发明，这样配置于近距离的喷嘴和切换单元分别载置于分开独立的喷嘴基座和切换单元基座上。通过切换单元切换供给配管的开闭的动作伴随着机械的变化，因此产生振动，但是在本发明中该振动难以经由基座传递至喷嘴。喷嘴的振动使间歇涂敷的精度恶化，但是在本发明中能够抑制这样的间歇涂敷的精度恶化。

在技术方案2的发明中，喷嘴和切换单元之间的位置关系难以发生变化，因此能够减小在供给配管中产生的应力。尤其，在间歇涂敷装置中，喷嘴和切换单元之间的距离短。因此，若固定切换单元的位置，则随着喷嘴移动，在供给配管中会产生比较大的应力。因此，在间歇涂敷装置中，优选能够减小应力的技术方案2的发明。

另一方面，在技术方案2的发明中，切换单元移动。因此，切换单元的上游侧（与喷嘴一侧相反的一侧）的构件，例如用于贮存涂敷液的贮存单元和切换单元之间的相对位置可能发生变化。然而，从提高间歇涂敷的精度的角度出发，将切换单元的上游侧的配管长度设定得短的必要性小。因此，能够将该配管长度设定得长。若这样将配管长度设定得长，则随着切换单元的移动而产生的配管的应力小，难以产生问题。

根据技术方案3的发明，切换移动单元能够使切换单元沿着任意水平方向自由移动，因此能够不对切换移动单元和喷嘴移动单元进行对位。

另外，在固定喷嘴的位置来进行间歇涂敷时，切换单元能够因自身的切换动作而沿着水平方向移动，因此振动难以经由切换单元基座向喷嘴传递。

根据技术方案4的发明，能够进一步抑制振动的传递。

附图说明

图1是示出组装有本发明的间歇涂敷装置的涂膜形成系统的整体结构的图。

图2是示出本发明的间歇涂敷装置的概略结构的图。

图3是示出本发明的间歇涂敷装置的局部概略结构的立体图。

图4是示出本发明的间歇涂敷装置的局部概略结构的立体图。

图5是示出本发明的间歇涂敷装置的局部概略结构的图。

其中，附图标记说明如下：

1：涂膜形成系统

5：基体材料

10：间歇涂敷装置

11：涂敷喷嘴

30：供给配管

32：切换单元（供给阀）

50：喷嘴基座

51：喷嘴移动单元（喷嘴用移动机构）

60：切换单元基座（阀基座）

61：切换移动单元（阀用移动机构）

70：干燥部

80：搬运机构

具体实施方式

下面，一边参照附图，一边对于本发明的实施方式进行详细说明。

＜涂膜形成系统的整体结构＞

图1是示出组装有本发明的间歇涂敷装置的涂膜形成系统1的整体结构的图。此外，在图1以及之后的各图中，为了便于理解，根据需要夸大或简化各部的尺寸或数量来进行描述。

该涂膜形成系统1是如下装置，即，在作为基体材料的金属箔上涂敷作为电极材料的活性物质的涂敷液，对上述涂敷液进行干燥处理来制造锂离子二次电池的电极。涂膜形成系统1具有间歇涂敷装置10、干燥部70以及搬运机构80。另外，涂膜形成系统1具有用于管理整个系统的控制部90。

基体材料5是发挥锂离子二次电池的集电体的功能的金属箔。在通过涂膜形成系统1制造锂离子二次电池的正极的情况下，例如能够使用铝箔（Al）作为基体材料5。另外，在通过涂膜形成系统1制造负极的情况下，例如能够使用铜箔（Cu）作为基体材料5。基体材料5为长条的片材状金属箔，基体材料5的宽度及厚度不受特别的限定，例如能够将宽度设为600mm～700mm，将厚度设为10μm～20μm。

长条的基体材料5从开卷辊81送出并通过卷绕辊82被卷绕，从而依次搬运至间歇涂敷装置10、干燥部70。搬运机构80具有上述开卷辊81、卷绕辊82以及多个辅助辊83。此外，辅助辊83的个数以及配置位置，并不限定于图1的例子，能够根据需要适当地进行增减。

干燥部70对利用间歇涂敷装置10形成在基体材料5上的涂敷液的涂膜进行干燥处理。干燥部70对被搬运机构80搬运的基体材料5进行加热，从而使溶剂从涂敷液蒸发来进行干燥处理。干燥部70例如也可以具有预热部、主干燥部、退火部、冷却部等，其中，预热部使涂敷液的涂膜的温度缓慢地上升；主干燥部使涂膜的温度上升至规定温度来进行主要的加热；退火部将涂膜加热至更高的温度来除去膜中的变形和残留应力；冷却部对已被加热的涂膜进行冷却。

＜涂敷装置＞

图2是示出本发明的间歇涂敷装置10的概略结构的图。间歇涂敷装置10具有涂敷喷嘴11、贮存罐20、供给配管30、37以及循环配管40作为主要构件。贮存罐20贮存作为锂离子二次电池的电极材料的活性物质的溶液作为涂敷液。在通过涂膜形成系统1制造正极的情况下，作为正极材料的涂敷液，例如贮存作为正极活性物质的钴酸锂（LiCoO₂）、作为导电助剂的碳（C）、作为粘结剂的聚偏氟乙烯（PVDF）、作为溶剂的N-甲基吡咯烷酮（NMP）的混合液。也能够使用镍酸锂（LiNiO₂）、锰酸锂（LiMn₂O₄）、磷酸铁锂（LiFePO₄）等作为正极活性物质，来代替钴酸锂。

另一方面，在通过涂膜形成系统1制造负极的情况下，作为负极材料的涂敷液，例如在贮存罐20中贮存作为负极活性物质的石墨（graphite）、作为粘结剂的PVDF、作为溶剂的NMP的混合液。作为负极活性物质，也能够使用硬碳、钛酸锂（Li₄Ti₅O₁₂）、硅合金、锡合金等来代替石墨。另外，针对正极材料以及负极材料这两者，作为粘结剂，能够使用苯乙烯-丁二烯橡胶（SBR）等来代替PVDF，作为溶剂，能够使用水（H₂O）等来代替NMP。而且，在使用SBR作为粘结剂且使用水来作为溶剂的情况下，也能够并用羧甲基纤维素（CMC）作为增粘剂。上述正极材料以及负极材料的涂敷液是分散有固体（微粒）的浆液，粘度均大于等于1Pa·s（帕斯卡秒），通常具有沉浮性（thixotropy）。

也可以在贮存罐20上附设有搅拌机以及空气加压单元等。搅拌机对贮存在贮存罐20中的涂敷液进行搅拌来使浓度分布均匀。空气加压单元将高压的空气送入贮存罐20内的气相部分，从而对所贮存的涂敷液的液面进行加压。

贮存罐20和涂敷喷嘴11通过供给配管30、37连通连接。供给配管37用于朝向供给阀32供给贮存在贮存罐20中的涂敷液。供给配管30用于朝向涂敷喷嘴11供给来自供给阀32的涂敷液。作为供给配管30、37，能够使用不锈钢管或者树脂管（包括柔性配管，下面也相同）。在供给配管37的路径途中安装有泵31，在供给配管30的路径途中安装有过滤器33以及注射器36。另外，从供给配管37的路径途中进行分支而设置有循环配管40。在泵31的下游侧（接近涂敷喷嘴11的一侧）的位置，循环配管40的基端侧与供给配管37相连接，而循环配管40的前端侧与贮存罐20相连接。

泵31设置在与循环配管40的连接部位的上游侧（接近贮存罐20的一侧），该泵31被控制部90控制，来将贮存在贮存罐20中的电极材料的涂敷液加压输送至供给配管37。供给阀32被控制部90控制，来反复开闭供给配管30的流路。由此，反复切换向涂敷喷嘴11供给涂敷液的动作和停止向涂敷喷嘴11供给涂敷液的动作。过滤器33安装在供给阀32与供给配管30的路径上的和循环配管40相连接的连接部位之间，该过滤器33从在供给配管30中朝向涂敷喷嘴11流动的涂敷液中除去异物。注射器36设置在供给阀32和涂敷喷嘴11之间。注射器36被控制部90控制，在关闭供给阀32时，该注射器36从供给配管30吸引涂敷液。由此，迅速地停止从涂敷喷嘴11喷出涂敷液的动作。

涂敷喷嘴11是沿着基体材料5的宽度方向设置有狭缝状的喷出口11a的狭缝喷嘴。涂敷喷嘴11通过喷出口11a，将经由供给配管37、30送来的涂敷液涂敷在以按压支撑在支撑辊12上的状态移动的基体材料5的表面上。在涂敷喷嘴11上设置有用于调整支撑辊12和喷出口11a之间的间隔的喷嘴用移动机构51以及用于规定姿势的姿势调整机构（省略图示）。

在供给配管37的路径途中分支而设置的循环配管40的前端侧与贮存罐20相连接。与供给配管30、37同样地，作为循环配管40，也能够使用不锈钢管或者树脂管。循环配管40用于使从贮存罐20送出并流入供给配管30的涂敷液向贮存罐20回流。在循环配管40上安装有循环阀41以及过滤器43。循环阀41被控制部90控制，来开闭循环配管40的流路。过滤器43设置在循环阀41和贮存罐20之间，该过滤器43从在循环配管40中朝向贮存罐20流动的涂敷液中除去异物。

当关闭循环阀41并打开供给阀32时，从贮存罐20送出的涂敷液在整个供给配管37、30中流动，并供给至涂敷喷嘴11。

另一方面，当关闭供给阀32并打开循环阀41时，从贮存罐20送出的涂敷液流动至供给配管37的途中并流入循环配管40，再次向贮存罐20回流。即，供给阀32反复切换将从贮存单元送入的涂敷液经由供给配管30向涂敷喷嘴11送出的动作、和停止将从贮存单元送入的涂敷液经由供给配管30向涂敷喷嘴11送出的动作，从而发挥使涂敷液间歇性地从涂敷喷嘴11喷出的切换单元的功能。

另外，随着关闭供给阀32，注射器36从供给配管30抽出涂敷液。由此，喷出口11a的涂敷液被吸引至供给阀32侧，从而抑制涂敷液流下的情况。

通过控制部90适当地控制开闭供给阀32以及循环阀41的时刻（timing），并反复切换该开闭，从而在基体材料5的规定位置上以规定宽度间歇性地涂敷涂敷液。

另外，在图2的例子中，附设有压力计35。压力计35例如设置在供给配管37的与循环配管40相连接的连接部位和泵31之间的位置上。压力计35测量出的测定值输出至控制部90。控制部90例如能够控制泵31的驱动速度（转速），以使该压力成为所期望的值。

这样，在间歇涂敷装置中，如上述那样，通过对设置在供给配管30的基端的供给阀32进行开闭控制，能够控制从设置在供给配管30的前端上的涂敷喷嘴11喷出涂敷液的间歇涂敷。另外，在关闭供给阀32时，注射器36从供给配管30吸引涂敷液，由此迅速地停止从涂敷喷嘴11喷出的动作。

因此，供给配管30的配管长度对间歇涂敷的响应性带来影响。这里说的响应性指，从打开/关闭供给阀32起，到从涂敷喷嘴11喷出涂敷液/停止喷出涂敷液为止的时间上的响应性。配管长度越长，该响应性越低。若更详细说明，则其理由如下：在流动于供给配管30中的涂敷液中包含微小气泡，该微小气泡起到缓冲器（cushion）的作用，从而难以吸引从涂敷喷嘴11流下的涂敷液。并且，配管长度越长，包含越多微小气泡，因此更难以吸引涂敷液。因此，即使在关闭供给阀32时注射器36吸引涂敷液，在配管长度长的情况下，也存在涂敷液从涂敷喷嘴11流下的可能性。由此，导致响应性恶化。

另外，还能够将如下方面作为响应性恶化的主要原因来进行研究，即，随着设置在供给配管30的基端上的供给阀32开闭而发生的涂敷液的压力变化要传递至设置在供给配管30的前端上的涂敷喷嘴11，需要时间。从该角度来说，也是供给配管30越长，越使响应性恶化。

并且，在间歇涂敷装置中，从涂敷喷嘴11喷出涂敷液/停止喷出涂敷液的时刻，对涂膜的形成位置以及形状带来影响，因此优选响应性高。因此，在间歇涂敷装置中，将供给阀32和涂敷喷嘴11之间的距离设定得短。

如上所述，在间歇涂敷装置中，将供给阀32和涂敷喷嘴11之间的距离设定得短，因此一般将供给阀32和涂敷喷嘴11载置于同一基座上。

图3是示出间歇涂敷装置的一部分的一例的示意性的立体图。在图3中，为了便于观察图，省略了贮存罐20、泵31、过滤器33、43、压力计35、注射器36以及移动机构51、61。

在本实施方式中，与上述情况无关地，如图3所示，将供给阀32和涂敷喷嘴11分别载置于分开独立的阀基座60和喷嘴基座50上。喷嘴基座50和阀基座60彼此分离。

由于开闭供给阀32的动作伴随着机械性的动作，因此供给阀32因反复的开闭动作而产生振动。例如在1秒内切换该开闭几次以上，因此产生几Hz以上的振动。

然而，在本实施方式中，载置有供给阀32的阀基座60和载置有涂敷喷嘴11的喷嘴基座50是独立的。因此，与供给阀32和涂敷喷嘴11载置于相同的基座的结构相比，能够抑制从供给阀32经由基座向涂敷喷嘴11传递的振动。

若涂敷喷嘴11振动，则会使涂敷膜（也称为涂膜）的形状的精度降低，但是由于在本实施方式中能够抑制涂敷喷嘴11的振动，因此能够抑制该精度降低。换而言之，能够降低为了提高涂敷膜的形状的精度而采用难以振动的阀作为供给阀32的必要性，能够采用更低廉的阀。

此外，如上所述，在打开供给阀32时关闭循环阀41，在关闭供给阀32时打开循环阀41，因此循环阀41也产生与供给阀32同样的振动。因此，如图3所示，优选将循环阀41也载置于与喷嘴基座50分开的基座上。由此，能够抑制来自供给阀32以及循环阀41的振动向涂敷喷嘴11传递的情况。在图3的例子中，供给阀32和循环阀41载置于同一阀基座60上。

另外，喷嘴基座50以及阀基座60可以安装在共同的基台上，也可以分别安装在不同的独立的基台上。即使是前者，由于喷嘴基座50和基台分开独立，阀基座60和基台也分开独立，因此与喷嘴基座50和阀基座60形成为一体的情况相比，能够抑制从供给阀32和/或循环阀41向涂敷喷嘴11传递的振动。

另外，注射器36可以设置在喷嘴基座50以及阀基座60中的任一个上。从响应性这角度来说，优选将注射器36设置于涂敷喷嘴11附近，因此优选设置在喷嘴基座50上。另一方面，通过注射器36吸引涂敷液的动作也伴随机械性的动作，因此从抑制振动的角度来说，注射器36也可以设置在阀基座60上。

＜移动机构＞

如上所述，在涂敷喷嘴11上设置有喷嘴用移动机构51，该喷嘴用移动机构51用于调整该涂敷喷嘴11相对于支撑辊12的位置（参照图2）。作为喷嘴用移动机构51，例如能够采用能够沿着两个轴移动且能够进行有源控制的公知的移动机构。喷嘴用移动机构51安装在喷嘴基座50上，使喷嘴基座50移动。由此，使固定在喷嘴基座50上的涂敷喷嘴11也移动。例如，通过使涂敷喷嘴11远离支撑辊12，扩大涂敷喷嘴11和支撑辊12之间的空间，从而对涂敷喷嘴11进行维护。

为了提高间歇涂敷装置的响应性，需要将供给阀32和涂敷喷嘴之间的距离设定得短。即，将供给配管30的配管长度设定得短。但是，为了能够在供给阀32的位置被固定的状态下使涂敷喷嘴11灵活地移动，考虑使用柔性配管作为供给配管30，但是配管长度短的柔性配管的挠性通常低。因此，能够用作供给配管30的配管的种类变少，使成本增加。

图4是示出间歇涂敷装置的一部分的一例的立体图。在图4中，与图3同样地，为了便于观察图，适当地省略各结构。在本实施方式中，如图1、图4的例子那样，优选设置用于使供给阀32移动的阀用移动机构61。阀用移动机构61例如安装在阀基座60上，从而能够使阀基座60移动。由此，相对于阀基座60固定的供给阀32也能够移动。

另外，阀用移动机构61使供给阀32向与喷嘴用移动机构51的移动方向相同的方向移动。换而言之，阀用移动机构61追随涂敷喷嘴11的移动来使供给阀32移动。由此，能够一边抑制涂敷喷嘴11和供给阀32之间的相对位置变动，一边使涂敷喷嘴11移动。因此，能够抑制随着涂敷喷嘴11移动而产生的供给配管30的弯曲应力。

因此，例如能够采用形状固定的配管（例如，不锈钢配管）来作为供给配管30。另外，也能够采用配管长度短且比较难以弯曲的柔性配管。即，使能够采用的配管的种类变多。

此外，例如在图4的例子中，供给配管30弯曲成大致直角。在本间歇涂敷装置中，涂敷喷嘴11和供给阀32之间的距离短，因此供给配管30需要以非常小的曲率半径弯曲。使柔性配管以这样小的曲率半径弯曲，对通常流通的柔性配管而言是困难的。因此，在该情况下，优选采用例如不锈钢等形状固定且预先制造成弯曲的形状的配管。换而言之，通过利用阀用移动机构61，能够采用形状固定的配管作为供给配管30，由此，与采用柔性配管的情况相比，能够使供给阀32和涂敷喷嘴11的设置自由度提高。

另外，在本实施方式中，由于供给阀32移动，因此供给配管30的上游侧的构件（例如贮存罐20或者泵31等）和供给阀32之间的位置关系发生变动。因此，该构件和供给阀32之间的配管，优选采用柔性配管。然而，在供给阀32的上游侧，从提高间歇涂敷的响应性的角度出发，限制配管长度的必要性小。因此，能够将在供给阀32的上游侧采用的柔性配管的长度设定得充分长。这样能够将初始状态的配管长度设定得长，因此即使供给阀32移动，在该柔性配管上产生的弯曲应力也小。因此，即使固定该构件的位置也不产生问题。

＜阀用移动机构的具体例＞

阀用移动机构61只要采用发挥追随喷嘴用移动机构51的移动的追随功能的任意移动机构即可。例如，在喷嘴用移动机构51以及阀用移动机构61为被控制部90控制的公知的移动机构的情况下，也可以通过控制部90实现阀用移动机构61的追随功能。或者，也可以通过使喷嘴用移动机构51以及阀用移动机构61机械性地连动来实现阀用移动机构61。

其中，优选喷嘴用移动机构51能够使喷嘴基座50沿着水平方向移动，阀用移动机构61能够使供给阀32沿着任意水平方向自由移动。根据这样的阀用移动机构61，涂敷喷嘴11的移动经由供给配管30传递至供给阀32，由此使供给阀32向与涂敷喷嘴11的移动方向相同的方向移动。

作为阀用移动机构61，能够采用辊结构。该辊结构具有规定的转动体（例如球体等），该转动体设置在阀基座60和基台63之间。另外，该转动体以能够旋转的方式固定在阀基座60上，通过使该转动体滚动，能够使阀基座60相对于基台63沿着任意水平方向自由移动。此外，转动体也可以以能够旋转的方式固定在基台63上。

若采用这样的阀用移动机构61，则在进行间歇涂敷时，供给阀32随着自身的开闭动作而沿着水平方向自由移动。因此，随着开闭供给阀32而产生的振动能量以供给阀32的水平运动的方式被消耗，因此能够抑制向供给配管30侧传递的振动。从抑制经由供给配管30传递的振动的角度出发，可以采用柔性配管，但是这里由于如上述那样抑制向供给配管30传递的振动，因此也可以采用例如由不锈钢等形成的刚性更高的配管。

另外，供给阀32沿着水平方向自由移动，因此与供给阀32固定的情况相比，还能够抑制从供给阀32向阀基座60侧（进而向基台63侧）传递的振动。因此，能够进一步减少振动经由基台63向涂敷喷嘴11传递的情况。另外，也可以追加利用具有挠性的支撑构件连接喷嘴基座50和阀基座60之间的结构。

另外，能够不对喷嘴用移动机构51和阀用移动机构61进行对位。更详细地说明，例如考虑将能够使上述阀和喷嘴向一个方向移动的移动机构用作喷嘴用移动机构51和阀用移动机构61。此时，为了在不使涂敷喷嘴11和供给阀32之间的相对位置变动的状态下使涂敷喷嘴11移动，需要将喷嘴用移动机构51和阀用移动机构61高精度地平行配置。然而，在图4的例子中，阀用移动机构61能够沿着任意水平方向自由移动。因此，即使不进行对位，只要使涂敷喷嘴11移动，其移动力经由供给配管30传递至供给阀32，从而使供给阀32向与涂敷喷嘴11相同的方向移动。因此，能够提高安装阀用移动机构61时的操作性。

此外，在图4的例子中，设置有3个阀用移动机构61，该3个阀用移动机构61分别在3个部位支撑阀基座60。假如，在4个以上的部位支撑阀基座60，则因阀用移动机构61的高度的偏差而使阀基座60晃荡，但是由于在此在3个部位进行支撑，因此能够避免该晃荡。

另外，阀用移动机构61并不限定于辊结构，也可以具有能够沿着水平方向横向滑动的一对板构件。例如通过使一对板构件的相面对的面以低的摩擦系数进行接触，能够使一对板构件相对地进行横向滑动。该板构件中的一个固定在阀基座60的下表面上，另一个固定在基台63的上表面上。由此，能够使阀基座60相对于基台63沿着任意水平方向自由移动。

但是，如果采用辊结构，则转动体与阀基座60或者基台63之间的接触面积小，因此阀基座60或者基台63难以磨损。因此，寿命比较长。

＜振动抑制构件＞

也可以设置用于抑制从供给阀32向涂敷喷嘴11传递的振动的振动抑制构件。例如，作为振动抑制构件64，能够利用由橡胶、胶状材料或者泡沫苯乙烯等形成且吸收振动的构件。图5是简单示出用于支撑供给阀32的部分的概略结构的图。在图5的例子中，振动抑制构件64的形状为板状，安装在供给阀32和阀基座60之间。由此，抑制振动从供给阀32向阀基座60传递的情况，进而能够抑制振动从供给阀32进一步向涂敷喷嘴11传递。或者，振动抑制构件也可以设置在阀基座60和基台63之间（阀基座60和阀用移动机构61之间，或者阀用移动机构61和基台63之间）。这样也能够抑制振动。

此外，就图4、图5所示的能够沿着任意水平方向自由移动的阀用移动机构61而言，由于能够抑制振动传递，因此也能够理解为振动抑制构件的一种。

另外，在图4的例子中，供给配管30由多个配管构成。也可以在上述配管的接头上安装例如由橡胶、胶状材料或者泡沫苯乙烯等形成且吸收振动的振动抑制构件。由此，能够抑制供给阀32的振动经由供给配管30向涂敷喷嘴11传递的情况。

另外，配管上的过滤器的设置位置并不限定于上述实施方式的例子，也可以设置在供给配管30的路径上的与循环配管40相连接的连接部位和泵31之间，或者供给阀32和涂敷喷嘴11之间。而且，过滤器并不是必须的构件，也可以不设置过滤器。

另外，涂敷喷嘴11并不限定于具有一个狭缝状喷出口11a的狭缝喷嘴，可以是具有多个狭缝的喷嘴，也可以是从大致圆形的喷出口喷出涂敷液的喷嘴。

另外，成为利用本发明的技术进行涂敷处理的对象的涂敷液并不限定于锂离子二次电池的电极材料，例如也可以是太阳能电池材料（电极材料、封固材料）的涂敷液、电子材料的绝缘膜或保护膜的涂敷液、包括燃料电池用的催化剂的涂敷液。在将粘度比较高的涂敷液涂敷在基体材料上时，能够优选利用本发明的技术。因此，在涂敷颜料或粘接剂的涂敷液时，也可以利用本发明的技术。

Claims

1.一种间歇涂敷装置，用于间歇性地从喷嘴朝向基体材料涂敷涂敷液，其特征在于，

具有：

喷嘴；

供给配管，其与所述喷嘴相连接，在该供给配管中，涂敷液朝向所述喷嘴流动；

切换单元，其通过反复切换所述供给配管的开闭，间歇性地从所述喷嘴朝向所述基体材料喷出所述涂敷液；

喷嘴基座，其载置有所述喷嘴；

切换单元基座，其与所述喷嘴基座分开，载置有所述切换单元；

喷嘴移动单元，其使所述喷嘴基座移动，来调整所述喷嘴相对于所述基体材料的位置；

切换移动单元，其使所述切换单元向与借助所述喷嘴移动单元的所述喷嘴基座的移动方向相同的方向移动。

2.根据权利要求1所述的间歇涂敷装置，其特征在于，

所述喷嘴移动单元使所述喷嘴基座沿着水平方向移动，

所述切换移动单元能够使所述切换单元沿着任意水平方向自由移动，所述喷嘴的移动经由所述供给配管传递至所述切换单元，由此使所述切换单元向与所述移动方向相同的方向移动。

3.一种涂膜形成系统，其特征在于，

包括：

权利要求1所述的间歇涂敷装置；

干燥单元，其对通过所述间歇涂敷装置涂敷有所述涂敷液的所述基体材料进行加热处理，来使所述涂敷液干燥；

搬运单元，其将所述基体材料依次搬运至所述间歇涂敷装置以及所述干燥单元。