CN104040431A - 感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法以及印刷配线板的制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种感光性树脂组合物，其含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物和光聚合引发剂，其中，粘合剂聚合物具有基于(甲基)丙烯酸乙酯的结构单元，并且基于(甲基)丙烯酸乙酯的结构单元的含量相对于粘合剂聚合物和光聚合性化合物的总量小于9质量％。

Description

感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法以及印刷配线板的制造方法
技术领域
本发明涉及一种感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法以及印刷配线板的制造方法。
背景技术
在印刷配线板的制造领域中，作为用于蚀刻或镀覆的抗蚀剂材料，广泛使用感光性树脂组合物。感光性树脂组合物大多制成具备支撑膜和使用感光性树脂组合物在该支撑膜上所形成的层(以下，称为“感光性树脂组合物层”。)的感光性元件(层叠体)而使用。
印刷配线板例如如下进行制造。首先，将感光性元件的感光性树脂组合物层层叠(层压)在电路形成用基板上。接着剥离除去支撑膜，然后对感光性树脂组合物层的规定部分照射活性光线，使曝光部固化(曝光工序)。然后，从基板上除去(显影)未曝光部，从而在基板上形成由感光性树脂组合物的固化物所构成的抗蚀剂图案(显影工序)。对所得的抗蚀剂图案实施蚀刻处理或镀覆处理，在基板上形成电路后(电路形成工序)，最终剥离除去抗蚀剂，制造印刷配线板(剥离工序)。
作为曝光的方法，以往使用以汞灯作为光源、隔着光掩模进行曝光的方法。另外，近年来使用被称为DLP(Digital Light Processing，数字光学处理)或LDI(Laser Direct Imaging，激光直接成像)的、将图案的数字数据直接描绘在感光性树脂组合物层上的直接描绘曝光法。该直接描绘曝光法与隔着光掩模的曝光法相比，位置对准精度良好，并且能够得到高精细的图案，因此被引入用来制作高密度封装基板。
在曝光工序中，为了提高生产效率，必须缩短曝光时间。然而，在上述的直接描绘曝光法中，除了使用激光等单色光作为光源外，还一边扫描基板一边照射光线，因此与以往的隔着光掩模的曝光方法相比，存在需要更多曝光时间的倾向。因此，为了缩短曝光时间，提高生产效率，必须与以往相比提高感光性树脂组合物的敏感度。
此外，在剥离工序中，为了提高生产效率，必须缩短抗蚀剂的剥离时间。并且，为了防止抗蚀剂的剥离片再次附着在电路基板上从而提高生产成品率，必须减小剥离片的尺寸。如此，要求一种固化后的剥离特性(剥离时间、剥离片尺寸等)优异的感光性树脂组合物。
进而，随着近年来印刷配线板的高密度化，对分辨率(分辨力)和密合性优异的感光性树脂组合物的要求在不断提高。
针对这些要求，以往研究了各种感光性树脂组合物(例如，参见专利文献1和2)。
现有技术文献
专利文献1：国际公开第10/103918号公报
专利文献2：国际公开第11/114593号公报
发明内容
发明要解决的问题
然而，在使用以往的感光性树脂组合物时，虽然敏感度、分辨率和密合性优异，但在剥离固化后的感光性树脂组合物层时，剥离片的尺寸增大，有时会附着在电路基板上。另一方面，如果想要改善固化后的感光性树脂组合物层的剥离特性，则在显影工序中产生发泡，显影液有时会溢出。
因此，本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种能够充分降低显影时的发泡并且固化后的剥离特性优异的感光性树脂组合物、和使用该感光性树脂组合物的感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法以及印刷配线板的制造方法。
解决问题的方法
本发明提供一种感光性树脂组合物，其含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物和光聚合引发剂，其中，粘合剂聚合物具有基于(甲基)丙烯酸乙酯的结构单元，并且基于(甲基)丙烯酸乙酯的结构单元的含量相对于粘合剂聚合物和光聚合性化合物的总量小于9质量％。
本发明的感光性树脂组合物通过具有上述构成，能够形成可以维持优异的敏感度、分辨率和密合性，同时充分减少显影时的发泡，并且固化后的剥离特性优异的感光性树脂组合物。
上述粘合剂聚合物可以进一步具有基于苯乙烯或苯乙烯衍生物的结构单元。基于苯乙烯或苯乙烯衍生物的结构单元的含量优选相对于构成粘合剂聚合物的聚合性单体的总质量为15～50质量％。
此外，从进一步提高敏感度和分辨率的观点考虑，光聚合引发剂可以包含具有1或2个吖啶基的吖啶化合物。
本发明还提供一种感光性元件，其具备支撑膜和设置在该支撑膜上的感光性树脂组合物层，其中，感光性树脂组合物层是使用上述感光性树脂组合物形成的层。通过使用这种感光性元件，能够形成可以充分减少显影时的发泡，并且固化后的剥离特性优异的抗蚀剂图案。
本发明进一步提供一种抗蚀剂图案的形成方法，其具有如下工序：将使用上述感光性树脂组合物所形成的感光性树脂组合物层层叠在基板上的层叠工序；对感光性树脂组合物层的规定部分照射活性光线，使上述规定部分曝光并固化的曝光工序；以及从基板上除去感光性树脂组合物层的规定部分以外的部分，从而在基板上形成由感光性树脂组合物的固化物构成的抗蚀剂图案的显影工序。根据上述方法，能够敏感度良好且有效地形成分辨率、密合性、抗蚀剂形状和固化后的剥离特性均良好的抗蚀剂图案。
此外，本发明提供一种印刷配线板的制造方法，其包含对利用上述方法形成了抗蚀剂图案的基板进行蚀刻或镀覆的工序。根据该制造方法，能够精度良好且有效地制造高密度封装基板那样的具有高密度化配线的印刷配线板。
发明效果
根据本发明，能够提供可以充分减少显影时的发泡并且固化后的剥离特性优异的感光性树脂组合物、和使用该感光性树脂组合物的感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法以及印刷配线板的制造方法。
附图说明
图1是表示本发明感光性元件的优选实施方式的示意截面图。
具体实施方式
以下，对本发明的优选实施方式进行详细说明。但是，本发明并不限定于以下的实施方式。需要说明的是，本发明中的(甲基)丙烯酸是指丙烯酸或甲基丙烯酸。此外，“EO改性”是指具有(聚)氧乙烯链的化合物，“PO改性”是指具有(聚)氧丙烯链的化合物，“EO·PO改性”是指具有(聚)氧乙烯链和(聚)氧丙烯链两者的化合物。
(感光性树脂组合物)
本实施方式的感光性树脂组合物是含有粘合剂聚合物(以下也称为“(A)成分”。)、光聚合性化合物(以下也称为“(B)成分”。)和光聚合引发剂(以下也称为“(C)成分”。)的感光性树脂组合物，其中粘合剂聚合物具有基于(甲基)丙烯酸乙酯的结构单元，并且基于(甲基)丙烯酸乙酯的结构单元的含量相对于(A)成分和(B)成分的总量小于9质量％。
虽然通过具有上述构成而表现出本发明效果的机理未必明确，但本发明人等推测，通过将感光性树脂组合物中的(甲基)丙烯酸乙酯的结构单元的含量调整在规定值内，从而得到了本发明的效果。
<(A)成分：粘合剂聚合物>
从使得分辨率和密合性良好的观点考虑，(A)成分具有基于(甲基)丙烯酸乙酯的结构单元。从抑制感光性树脂组合物层显影时的发泡，提高固化后的剥离性的观点考虑，(A)成分中基于(甲基)丙烯酸乙酯的结构单元的含量相对于感光性树脂组合物中(A)成分和(B)成分的总量小于9质量％，优选为大于或等于1质量％且小于9质量％，更优选为3～8质量％。
从进一步提高密合性和剥离特性的观点考虑，(A)成分中基于(甲基)丙烯酸乙酯的结构单元的含量优选以构成(A)成分的聚合性单体的总质量为基准为1～25质量％，更优选为1～20质量％。如果该含量为大于或等于1质量％，则能够进一步提高密合性，如果该含量为小于或等于20质量％，则能够得到更优异的剥离特性。
(A)成分例如可以通过使(甲基)丙烯酸乙酯与其它聚合性单体(单体)进行自由基聚合而得到。
作为其它聚合性单体，例如，可以列举(甲基)丙烯酸；(甲基)丙烯酸乙酯以外的(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸环烷基酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸苄酯衍生物、(甲基)丙烯酸糠酯、(甲基)丙烯酸四氢糠酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸金刚烷基酯、(甲基)丙烯酸二环戊酯、(甲基)丙烯酸二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸二乙基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、2,2,2－三氟乙基(甲基)丙烯酸酯、2,2,3,3－四氟丙基(甲基)丙烯酸酯、α－溴代(甲基)丙烯酸、α－氯代(甲基)丙烯酸、β－呋喃基(甲基)丙烯酸、β－苯乙烯基(甲基)丙烯酸等(甲基)丙烯酸酯；苯乙烯；乙烯基甲苯、α－甲基苯乙烯等在α－位或芳香环上被取代的可聚合的苯乙烯衍生物；双丙酮丙烯酰胺等丙烯酰胺；丙烯腈；乙烯基－正丁基醚等乙烯基醇的酯类；马来酸；马来酸酐；马来酸单甲酯、马来酸单乙酯、马来酸单异丙酯等马来酸单酯；富马酸、肉桂酸、α－氰基肉桂酸、衣康酸、巴豆酸和丙炔酸。它们可以单独使用或将2种以上任意组合进行使用。
从使得分辨率和密合性良好的观点考虑，(A)成分可以进一步具有基于苯乙烯或苯乙烯衍生物的结构单元。
当(A)成分具有基于苯乙烯或苯乙烯衍生物的结构单元时，从密合性和剥离性优异方面考虑，其含量优选以构成(A)成分的聚合性单体的总质量为基准为10～50质量％，更优选为15～50质量％，进一步优选为20～50质量％。从密合性优异方面考虑，该含量优选为大于或等于10质量％，更优选为大于或等于15质量％，进一步优选为大于或等于20质量％。此外，从剥离性优异方面考虑，该含量优选为小于或等于70质量％，更优选为小于或等于60质量％，进一步优选为小于或等于50质量％。
从使得分辨率和密合性更加良好的观点考虑，(A)成分可以进一步具有基于(甲基)丙烯酸甲酯的结构单元。
当(A)成分具有基于(甲基)丙烯酸甲酯的结构单元时，其含量优选以构成(A)成分的聚合性单体的总质量为基准为1～50质量％，更优选为10～50质量％，进一步优选为20～49质量％，特别优选为30～48质量％。如果该含量为大于或等于1质量％，则能够进一步提高密合性，如果该含量为小于或等于50质量％，则能够得到更优异的剥离特性。
从提高碱显影性和剥离特性的观点考虑，(A)成分可以具有基于(甲基)丙烯酸的结构单元。
(A)成分的酸值优选为90～250mgKOH/g，更优选为100～230mgKOH/g，进一步优选为110～210mgKOH/g，特别优选为120～200mgKOH/g。如果该酸值为大于或等于90mgKOH/g，则能够缩短显影时间，如果为小于或等于250mgKOH/g，则能够进一步提高密合性。另外，在进行溶剂显影时，优选调制少量(甲基)丙烯酸等具有羧基的聚合性单体(单体)。
当(A)成分的重均分子量(Mw)通过凝胶渗透色谱(GPC)测定(通过使用标准聚苯乙烯的标准曲线进行换算)时，优选为10000～100000，更优选为30000～100000，进一步优选为50000～95000。如果Mw为大于或等于10000，则能够进一步提高密合性，如果为小于或等于100000，则能够缩短显影时间。
此外，(A)成分可以根据需要在其分子内具有对具有350～440nm范围内波长的光具有感光性的特性基团。
作为(A)成分，可以单独使用1种粘合剂聚合物，也可以将2种以上的粘合剂聚合物任意组合进行使用。作为组合使用2种以上时的粘合剂聚合物，例如，可以列举由不同的共聚成分所构成的2种以上的(含有不同的单体单元作为共聚成分的)粘合剂聚合物、不同重均分子量的2种以上的粘合剂聚合物、不同分散度的2种以上的粘合剂聚合物等。此外，还可以使用日本特开平11－327137号公报中记载的具有多模式分子量分布的聚合物。
(A)成分的含量优选相对于(A)成分和(B)成分的总量100质量份为30～70质量份，更优选为35～65质量份，特别优选为40～60质量份。如果该含量为大于或等于30质量份，则有容易成膜的倾向，如果小于或等于70质量份，则能够进一步提高敏感度和分辨率。
<(B)成分：光聚合性化合物>
作为(B)成分，只要能够光交联就没有特别限制，优选使用具有乙烯性不饱和键的化合物。作为(B)成分，例如，可以列举使α,β－不饱和羧酸与多元醇反应所得的化合物；使α,β－不饱和羧酸与含有缩水甘油基的化合物反应所得的化合物；具有氨基甲酸酯键的(甲基)丙烯酸酯化合物等氨基甲酸酯单体；壬基苯氧基四亚乙基氧基(甲基)丙烯酸酯、壬基苯氧基八亚乙基氧基(甲基)丙烯酸酯、γ－氯－β－羟基丙基－β’－(甲基)丙烯酰氧基乙基－邻苯二甲酸酯、β－羟基乙基－β’－(甲基)丙烯酰氧基乙基－邻苯二甲酸酯、β－羟基丙基－β’－(甲基)丙烯酰氧基乙基－邻苯二甲酸酯和(甲基)丙烯酸烷基酯等具有1个乙烯性不饱和键的光聚合性化合物。它们可以单独使用或将2种以上组合使用。
作为使α,β－不饱和羧酸与上述多元醇反应所得的化合物，例如，可以列举2,2－双(4－((甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基)苯基)丙烷、2,2－双(4－((甲基)丙烯酰氧基聚丙氧基)苯基)丙烷、2,2－双(4－((甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基聚丙氧基)苯基)丙烷等双酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、EO改性三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯(氧乙烯基的重复总数为1～5)、PO改性三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、EO，PO改性三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、四羟甲基甲烷三(甲基)丙烯酸酯、四羟甲基甲烷四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯和二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯。它们可以单独使用或将2种以上组合使用。其中，2,2－双(4－((甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基)苯基)丙烷可以作为FA－321M(日立化成工业(株)制，商品名)从商业上获得，四羟甲基甲烷三丙烯酸酯可以作为A－TMM－3(新中村化学工业(株)制，商品名)从商业上获得，EO改性三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯可以作为TMPT－21E和TMPT－30E(日立化成工业(株)制，样品名)从商业上获得。
此外，从均衡性良好地提高分辨率、密合性、抗蚀剂形状和固化后的剥离特性的观点出发，(B)成分优选含有具有1个乙烯性不饱和键的光聚合性化合物。这时，其含量优选相对于(B)成分全体的总量为1～30质量％，更优选为3～25质量％。
作为在分子内具有1个乙烯性不饱和键的光聚合性化合物，例如，可以列举壬基苯氧基聚亚乙基氧基丙烯酸酯、邻苯二甲酸系化合物和(甲基)丙烯酸烷基酯。其中，从均衡性良好地提高分辨率、密合性、抗蚀剂形状和固化后的剥离特性的观点考虑，优选壬基苯氧基聚亚乙基氧基丙烯酸酯或邻苯二甲酸系化合物，更优选并用壬基苯氧基聚亚乙基氧基丙烯酸酯和邻苯二甲酸系化合物。
作为壬基苯氧基聚亚乙基氧基丙烯酸酯，例如，可以列举壬基苯氧基三亚乙基氧基丙烯酸酯、壬基苯氧基四亚乙基氧基丙烯酸酯、壬基苯氧基五亚乙基氧基丙烯酸酯、壬基苯氧基六亚乙基氧基丙烯酸酯、壬基苯氧基七亚乙基氧基丙烯酸酯、壬基苯氧基八亚乙基氧基丙烯酸酯、壬基苯氧基九亚乙基氧基丙烯酸酯、壬基苯氧基十亚乙基氧基丙烯酸酯、壬基苯氧基十一亚乙基氧基丙烯酸酯。它们可以单独使用或将2种以上任意组合进行使用。需要说明的是，“壬基苯氧基聚亚乙基氧基丙烯酸酯”也被称为“壬基苯氧基聚乙二醇丙烯酸酯”。
作为邻苯二甲酸系化合物，例如，可以列举γ－氯－β－羟基丙基－β’－(甲基)丙烯酰氧基乙基－邻苯二甲酸酯、β－羟基乙基－β’－(甲基)丙烯酰氧基乙基－邻苯二甲酸酯和β－羟基丙基－β’－(甲基)丙烯酰氧基乙基－邻苯二甲酸酯，其中，优选γ－氯－β－羟基丙基－β’－(甲基)丙烯酰氧基乙基－邻苯二甲酸酯。γ－氯－β－羟基丙基－β’－甲基丙烯酰氧基乙基－邻苯二甲酸酯可以作为FA－MECH(日立化成工业(株)制，商品名)从商业上获得。它们可以单独使用或将2种以上组合使用。
<(C)成分：光聚合引发剂>
作为(C)成分，可以没有特别限制地使用，可以包含具有1或2个吖啶基的吖啶化合物。也就是说，(C)成分优选包含选自具有2个吖啶基的吖啶化合物(以下，也称为“(C1)成分”)和具有1个吖啶基的吖啶化合物(以下，也称为“(C2)成分”)所组成的组中的化合物中的至少1种。
作为(C1)成分，可以列举下述通式(1)所表示的吖啶化合物。
[化1]
式(1)中，R1表示碳数为2～20的亚烷基、碳数为2～20的氧杂二亚烷基或碳数为2～20的硫代二亚烷基。从更确实地得到本实施方式的感光性树脂组合物所起效果的观点考虑，R1优选为碳数2～20的亚烷基，更优选为碳数4～14的亚烷基。
作为上述通式(1)所表示的化合物，例如，可以列举1,2－双(9－吖啶基)乙烷、1,3－双(9－吖啶基)丙烷、1,4－双(9－吖啶基)丁烷、1,5－双(9－吖啶基)戊烷、1,6－双(9－吖啶基)己烷、1,7－双(9－吖啶基)庚烷、1,8－双(9－吖啶基)辛烷、1,9－双(9－吖啶基)壬烷、1,10－双(9－吖啶基)癸烷、1,11－双(9－吖啶基)十一烷、1,12－双(9－吖啶基)十二烷、1,14－双(9－吖啶基)十四烷、1,16－双(9－吖啶基)十六烷、1,18－双(9－吖啶基)十八烷、1,20－双(9－吖啶基)二十烷等双(9－吖啶基)链烷、1,3－双(9－吖啶基)－2－氧杂丙烷、1,3－双(9－吖啶基)－2－硫代丙烷和1,5－双(9－吖啶基)－3－硫代戊烷。它们可以单独使用或将2种以上组合使用。
从使得敏感度和分辨率更加良好的观点考虑，作为(C1)成分，优选包含式(1)中的R1为亚庚基的吖啶化合物(例如，(株)ADEKA制，商品名“N－1717”)。
从敏感度、分辨率和密合性的观点考虑，(C1)成分的含量优选相对于(A)成分和(B)成分的总量100质量份为0.1～10质量份，更优选为0.5～5质量份，进一步优选为1～5质量份，特别优选为1～3质量份。当其配合量为大于或等于0.1质量份时，容易得到更良好的敏感度、分辨率或密合性，如果为小于或等于10质量份，则能够得到更优异的抗蚀剂形状。
作为(C2)成分，可以列举下述通式(2)所表示的吖啶化合物。
[化2]
式(2)中，R2表示卤原子、氨基、羧基、碳数为1～6的烷基、碳数为1～6的烷氧基或碳数为1～6的烷基氨基，a表示0～5的整数。
作为上述通式(2)所表示的吖啶化合物，例如，可以列举9－苯基吖啶、9－(对甲基苯基)吖啶、9－(间甲基苯基)吖啶、9－(对氯苯基)吖啶、9－(对氯苯基)吖啶、9－氨基吖啶、9－二甲基氨基吖啶、9－二乙基氨基吖啶和9－戊基氨基吖啶。它们可以单独使用或将2种以上组合使用。
(C)成分也可以含有(C1)和(C2)成分以外的光聚合引发剂。
作为(C1)和(C2)成分以外的光聚合引发剂，例如，可以列举二苯甲酮、N,N’－四甲基－4,4’－二氨基二苯甲酮(米蚩酮)、N,N’－四乙基－4,4’－二氨基二苯甲酮、4－甲氧基－4’－二甲基氨基二苯甲酮、2－苄基－2－二甲基氨基－1－(4－吗啉代苯基)－丁酮－1和2－甲基－1－[4－(甲硫基)苯基]－2－吗啉代－丙酮－1等芳香族酮；2－乙基蒽醌、菲醌、2－叔丁基蒽醌、八甲基蒽醌、1,2－苯并蒽醌、2,3－苯并蒽醌、2－苯基蒽醌、2,3－二苯基蒽醌、1－氯蒽醌、2－甲基蒽醌、1,4－萘醌、9,10－菲醌、2－甲基1,4－萘醌和2,3－二甲基蒽醌等醌类；2－(邻氯苯基)－4,5－二苯基咪唑二聚物、2－(邻氯苯基)－4,5－二(甲氧基苯基)咪唑二聚物、2－(邻氟苯基)－4,5－二苯基咪唑二聚物、2－(邻甲氧基苯基)－4,5－二苯基咪唑二聚物和2－(对甲氧基苯基)－4,5－二苯基咪唑二聚物等2,4,5－三芳基咪唑二聚物；苯偶酰二甲基缩酮等苯偶酰衍生物；9,10－二甲氧基蒽、9,10－二乙氧基蒽、9,10－二丙氧基蒽、9,10－二丁氧基蒽和9,10－二戊氧基蒽等取代蒽化合物；香豆素化合物、噁唑化合物、吡唑啉化合物和三芳基胺化合物。它们可以单独使用或者将2种以上组合使用。此外，还可以像二乙基噻吨酮与二甲基氨基苯甲酸的组合这样，将噻吨酮系化合物与叔胺化合物组合使用。
当感光性树脂组合物含有(C1)和(C2)成分以外的光聚合引发剂时，从敏感度和内部的光固化性的观点考虑，其含量优选相对于(A)成分和(B)成分的固体成分总量100质量份为0.01～10质量份，更优选为0.1～7质量份，特别优选为0.2～5质量份。
从敏感度、密合性和内部的光固化性的观点考虑，(C)成分的含量优选相对于(A)成分和(B)成分的固体成分总量100质量份为0.01～20质量份，更优选为0.05～10质量份，特别优选为0.1～5质量份。
<胺系化合物>
本实施方式的感光性树脂组合物可以进一步含有(D)胺系化合物(以下，也称为“(D)成分”)。
作为(D)成分，例如，可以列举双[4－(二甲基氨基)苯基]甲烷、双[4－(二乙基氨基)苯基]甲烷和无色结晶紫。它们可以单独使用或者将2种以上组合使用。
当感光性树脂组合物含有(D)成分时，其含量优选相对于(A)成分和(B)成分的总量100质量份为0.01～10质量份，更优选为0.1～5质量份，进一步优选为0.6～2质量份，特别优选为1～2质量份。当该含量为大于或等于0.01质量份时，容易得到更优异的敏感度，如果为小于或等于10质量份，则存在成膜后过量的(D)成分难以作为异物析出的倾向。
<其它成分>
本实施方式的感光性树脂组合物可以根据需要含有在分子内具有至少1个可进行阳离子聚合的环状醚基的光聚合性化合物(氧杂环丁烷化合物等)、阳离子聚合引发剂、孔雀绿等染料、三溴甲基苯基砜、无色结晶紫等光显色剂、热显色防止剂、对甲苯磺酰胺等增塑剂、颜料、填充剂、消泡剂、阻燃剂、稳定剂、密合性赋予剂、流平剂、剥离促进剂、抗氧剂、香料、成像剂、热交联剂等。它们可以单独使用或者将2种以上组合使用。它们的含量优选相对于(A)成分(粘合剂聚合物)和(B)成分(光聚合性化合物)的总量100质量份分别为0.01～20质量份程度。
(感光性树脂组合物的溶液)
可以将本实施方式的感光性树脂组合物溶解在有机溶剂中，制成固体成分为30～60质量％程度的溶液(涂布液)而使用。作为有机溶剂，例如，可以列举甲醇、乙醇、丙酮、甲乙酮、甲基溶纤剂、乙基溶纤剂、甲苯、N,N－二甲基甲酰胺、丙二醇单甲醚和它们的混合溶剂。
通过将上述涂布液涂布在金属板等的表面上，并使其干燥，能够形成由本实施方式的感光性树脂组合物所构成的感光性树脂组合物层。作为金属板，可以列举铜、铜系合金、镍、铬、铁、不锈钢等铁系合金，优选列举铜、铜系合金、铁系合金。
感光性树脂组合物层的厚度根据其用途而不同，但优选以干燥后的厚度计为1～100μm程度。还可以用保护膜被覆感光性树脂组合物层的与金属板相反侧的表面。作为保护膜，可以列举聚乙烯、聚丙烯等聚合物膜。
(感光性元件)
图1是表示本发明感光性元件1的优选实施方式的示意截面图。
通过将上述感光性树脂组合物的溶液涂布在支撑膜2上，并使其干燥，能够在支撑膜上形成由上述感光性树脂组合物构成的感光性树脂组合物层3。也就是说，感光性树脂组合物层3是使用上述感光树脂组合物所形成的层。如此，能够得到具备支撑膜2和设置在该支撑膜上的上述感光性树脂组合物层3的本实施方式的感光性元件1。
作为支撑膜，可以使用由聚对苯二甲酸乙二醇酯等聚酯、聚丙烯、聚乙烯等聚烯烃等具有耐热性和耐溶剂性的聚合物所形成的聚合物膜。
支撑膜(聚合物膜)的厚度优选为1～100μm，更优选为5～50μm，进一步优选为5～30μm。如果该厚度为大于或等于1μm，则在剥离支撑膜时支撑膜不易破损，如果为小于或等于100μm，则能够提高分辨率。
感光性元件1可以根据需要具备被覆感光性树脂组合物层3的与支撑膜2相反侧的表面的保护膜4。作为保护膜，可以使用由聚对苯二甲酸乙二醇酯等聚酯、或聚丙烯、聚乙烯等聚烯烃所形成的聚合物膜。
保护膜的厚度优选为1～100μm，更优选为5～50μm，进一步优选为5～30μm，特别优选为15～30μm。如果该厚度为大于或等于1μm，则在将感光性树脂组合物层和保护膜层叠(层压)在基板上时保护膜不易破损，如果为小于或等于100μm，则经济性优异。
感光性树脂组合物的溶液在支撑膜上的涂布可以通过辊涂、逗点涂布、凹版涂布、气刀涂布、模涂、棒涂等公知方法进行。
上述溶液的干燥优选在70～150℃进行5～30分钟程度。从防止之后工序中的有机溶剂扩散的观点考虑，干燥后感光性树脂组合物层中的残存有机溶剂量优选为小于或等于2质量％。
感光性元件中感光性树脂组合物层的厚度根据用途而不同，但优选以干燥后的厚度计为1～100μm，更优选为1～50μm，进一步优选为5～40μm。如果该厚度为大于或等于1μm，则在工业上容易涂布，如果为小于或等于100μm，则能够得到更优异的密合性和分辨率。
感光性元件可以进一步具有缓冲层、粘接层、光吸收层、阻气层等中间层等。
所得的感光性元件可以以片状进行保管或者在卷芯上卷绕为卷状进行保管。在卷绕为卷状时，优选以支撑膜为外侧的方式进行卷绕。作为卷芯，可以列举聚乙烯树脂、聚丙烯树脂、聚苯乙烯树脂、聚氯乙烯树脂、ABS树脂(丙烯腈－丁二烯－苯乙烯共聚物)等塑料。在如此所得的卷状感光性元件卷的端面，从保护端面观点考虑，优选设置端面隔板，从耐熔边的观点考虑，优选设置防湿端面隔板。作为捆包方法，优选包入到透湿性小的黑钢板中进行包装。
(抗蚀剂图案的形成方法)
使用上述感光性树脂组合物，能够形成抗蚀剂图案。本实施方式中的抗蚀剂图案的形成方法具有：(i)将使用上述感光性树脂组合物所形成的感光性树脂组合物层层叠在基板上的层叠工序；(ii)对感光性树脂组合物层的规定部分照射活性光线，使该规定部分曝光并固化的曝光工序；以及(iii)从基板上除去感光性树脂组合物层的上述规定部分以外的部分，从而在基板上形成由感光性树脂组合物的固化物构成的抗蚀剂图案的显影工序。
(i)层叠工序
首先，将使用感光性树脂组合物所形成的感光性树脂组合物层层叠在基板上。作为基板，可以使用具备绝缘层和形成于该绝缘层上的导体层的基板(电路形成用基板)。
感光性树脂组合物层在基板上的层叠，例如可以通过除去上述感光性元件的保护膜后，一边加热感光性元件的感光性树脂组合物层一边将其压接在上述基板上而进行。由此，能够得到由基板、感光性树脂组合物层和支撑膜构成并将它们依次层叠而成的层叠体。
从密合性和追随性的观点考虑，该层叠作业优选在减压下进行。压接时的感光性树脂组合物层和/或基板的加热优选在70～130℃的温度下进行，并优选在0.1～1.0MPa程度(1～10kgf/cm2程度)的压力下进行压接，但并不特别限制于这些条件。另外，如果将感光性树脂组合物层加热至70～130℃，则不需要预先对基板进行预热处理，但为了进一步提高层叠性，也可以进行基板的预热处理。
(ii)曝光工序
接着，对基板上的感光性树脂组合物层的规定部分照射活性光线，使该规定部分曝光并固化。这时，当存在于感光性树脂组合物层上的支撑膜相对于活性光线为透过性时，可以通过支撑膜照射活性光线，当支撑膜为遮光性时，在除去支撑膜后对感光性树脂组合物层照射活性光线。
作为曝光方法，可以列举通过被称为原图(artwork)的负或正掩模图案在图像上照射活性光线的方法(掩模曝光法)。另外，还可以采用通过LDI(Laser Direct Imaging)曝光法、DLP(Digital Light Processing)曝光法等直接描绘曝光法以图像状照射活性光线的方法。
本实施方式的感光性树脂组合物可以适合用于直接描绘曝光方法。即，本发明的优选实施方式之一是感光性树脂组合物在直接描绘曝光法中的应用，所述感光性树脂组合物含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物和光聚合引发剂，其中，粘合剂聚合物具有基于(甲基)丙烯酸乙酯的结构单元，并且基于(甲基)丙烯酸乙酯的结构单元的含量相对于粘合剂聚合物和光聚合性化合物的总量小于9质量％。
作为活性光线的光源，可以使用公知的光源，例如，可以使用碳弧灯、汞蒸气弧灯、高压汞灯、氙灯、氩激光器等气体激光器、YAG激光器等固体激光器、半导体激光器等有效放射紫外线、可见光等的光源。
作为活性光线的波长(曝光波长)，从更确实地得到本发明效果的观点考虑，优选为340～430nm的范围内，更优选为350～420nm的范围内，进一步优选为400～420nm的范围内。
(iii)显影工序
通过进一步从基板上除去感光性树脂组合物层的上述规定部分以外的部分，从而在基板上形成由感光性树脂组合物的固化物构成的抗蚀剂图案。当感光性树脂组合物层上存在支撑膜时，在除去支撑膜后，进行上述规定部分(曝光部分)以外的部分(未曝光部分)的除去(显影)。显影方法有湿式显影和干式显影，但广泛使用湿式显影。
在采用湿式显影的情况下，使用与感光性树脂组合物相对应的显影液，通过公知的显影方法进行显影。作为显影方法，可以列举浸渍方式、旋覆浸没方式、喷雾方式、使用刷、拍、刮、摇动浸渍等的方法，从提高分辨率的观点考虑，最适合的是高压喷雾方式。也可以将这些方法中的2种以上方法组合起来进行显影。
作为显影液，可以列举碱性水溶液、水系显影液、有机溶剂系显影液等。
在碱性水溶液被用作显影液时，安全并且稳定，操作性良好。作为碱性水溶液的碱，例如，可以使用锂、钠或钾的氢氧化物等氢氧化碱；锂、钠、钾或铵的碳酸盐或碳酸氢盐等碳酸碱；磷酸钾、磷酸钠等碱金属磷酸盐；焦磷酸钠、焦磷酸钾等碱金属焦磷酸盐。
作为碱性水溶液，优选0.1～5质量％碳酸钠的稀溶液、0.1～5质量％碳酸钾的稀溶液、0.1～5质量％氢氧化钠的稀溶液、0.1～5质量％四硼酸钠的稀溶液等。碱性水溶液的pH优选为9～11的范围，其温度根据感光性树脂组合物层的碱显影性进行调节。在碱性水溶液中，还可以混入表面活性剂、消泡剂、用于促进显影的少量有机溶剂等。
(印刷配线板的制造方法)
通过对利用上述方法形成了抗蚀剂图案的基板进行蚀刻或镀覆，能够制造印刷配线板。基板的蚀刻或镀覆，是以形成的抗蚀剂图案作为掩模而对基板的导体层等进行的。
作为进行蚀刻时的蚀刻液，例如，可以列举氯化铜溶液、氯化铁溶液、碱蚀刻溶液和过氧化氢蚀刻液，其中，从蚀刻因子良好的观点出发，优选使用氯化铁溶液。
作为进行镀覆时的镀覆方法，例如，可以列举硫酸铜镀覆、焦磷酸铜镀覆等铜镀覆、高均匀焊料镀覆等焊料镀覆、瓦特浴(硫酸镍－氯化镍)镀覆、氨基磺酸镍等镍镀覆、硬金镀覆、软金镀覆等金镀覆。
蚀刻或镀覆结束后，抗蚀剂图案例如可以通过比显影中所用碱性水溶液更强碱性的水溶液进行剥离。作为该强碱性的水溶液，例如，可以使用1～10质量％氢氧化钠水溶液、1～10质量％氢氧化钾水溶液等。其中，优选使用1～10质量％氢氧化钠水溶液或氢氧化钾水溶液，更优选使用1～5质量％氢氧化钠水溶液或氢氧化钾水溶液。
作为抗蚀剂图案的剥离方式，可以列举浸渍方式、喷雾方式等，它们可以单独使用，也可以并用。此外，形成了抗蚀剂图案的印刷配线板，既可以是多层印刷配线板，也可以具有小直径通孔。
本实施方式的感光性树脂组合物可以适合用于印刷配线板的制造。即，本发明的优选实施方式之一是感光性树脂组合物在印刷配线板制造中的应用，所述感光性树脂组合物含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物和光聚合引发剂，其中，粘合剂聚合物具有基于(甲基)丙烯酸乙酯的结构单元，并且上述基于(甲基)丙烯酸乙酯的结构单元的含量相对于粘合剂聚合物和光聚合性化合物的总量小于9质量％。
以上，对本发明的优选实施方式进行了说明，但本发明并不受上述实施方式的任何限定。
实施例
以下，通过实施例更具体地说明本发明，但本发明并不限定于这些实施例。
(感光性树脂组合物溶液的调制)
将下表1中所示的(A)～(D)成分以该表中所示的配合量(g)进行混合，由此调制实施例1～4和比较例1～5的感光性树脂组合物的溶液。需要说明的是，表1中所示的(A)成分的配合量是不挥发成分的质量(固体成分量)，(B)成分的配合量是固体成分量。对于表1中所示各成分的详细情况，如下所述。
<(A)粘合剂聚合物>
[粘合剂聚合物(A－1)的合成]
混合作为聚合性单体(单体)的甲基丙烯酸130g、甲基丙烯酸甲酯205g、丙烯酸乙酯50g和苯乙烯115g(质量比26/41/10/23)、以及偶氮二异丁腈5.5g，将所得的溶液作为“溶液a”。
将偶氮二异丁腈1.2g溶解于甲基溶纤剂60g和甲苯40g的混合液(质量比3：2)100g中所得的溶液作为“溶液b”。
向具备搅拌机、回流冷凝器、温度计、滴液漏斗和氮气导入管的烧瓶中投入甲基溶纤剂270g和甲苯180g的混合液(质量比3：2)450g，一边向烧瓶内吹入氮气一边搅拌，同时进行加热，使混合液的温度升温至80℃。
经4小时向烧瓶内的上述混合液中滴加上述溶液a后，一边搅拌，一边在80℃保温2小时。接着，经10分钟向烧瓶内的溶液中滴加上述溶液b后，一边搅拌烧瓶内的溶液，一边在80℃保温3小时。进一步，经30分钟使烧瓶内的溶液升温至90℃，在90℃保温2小时后冷却，得到粘合剂聚合物(A－1)的溶液。
粘合剂聚合物(A－1)的不挥发成分(固体成分)为45.0质量％，重均分子量为75000，酸值为170mgKOH/g。
需要说明的是，重均分子量是通过凝胶渗透色谱法(GPC)进行测定，并使用标准聚苯乙烯的标准曲线进行换算而导出的。GPC的条件如下所示。
GPC条件
泵：日立L－6000型((株)日立制作所制，商品名)
柱：Gelpack GL－R420、Gelpack GL－R430、Gelpack GL－R440(以上，日立化成工业(株)制，商品名)
洗脱液：四氢呋喃
测定温度：40℃
流量：2.05mL/分钟
检测器：日立L－3300型RI((株)日立制作所制，商品名)
[粘合剂聚合物(A－2)的合成]
混合作为聚合性单体(单体)的甲基丙烯酸130g、甲基丙烯酸甲酯230g、丙烯酸乙酯25g和苯乙烯115g(质量比26/46/5/23)、以及偶氮二异丁腈5.5g，将所得的溶液作为“溶液a”，除此以外，和得到粘合剂聚合物(A－1)的溶液同样地操作，得到粘合剂聚合物(A－2)的溶液。粘合剂聚合物(A－2)的不挥发成分(固体成分)为45.0质量％，重均分子量为75000，酸值为170mgKOH/g。
[粘合剂聚合物(A－3)的合成]
混合作为聚合性单体(单体)的甲基丙烯酸130g、甲基丙烯酸甲酯195g、丙烯酸乙酯75g和苯乙烯100g(质量比26/39/15/20)、以及偶氮二异丁腈4.0g，将所得的溶液作为“溶液a”，除此以外，和得到粘合剂聚合物(A－1)的溶液同样地操作，得到粘合剂聚合物(A－3)的溶液。粘合剂聚合物(A－3)的不挥发成分(固体成分)为45.0质量％，重均分子量为75000，酸值为170mgKOH/g。
[粘合剂聚合物(A－4)的合成]
混合作为聚合性单体(单体)的甲基丙烯酸130g、甲基丙烯酸甲酯170g、丙烯酸乙酯100g和苯乙烯100g(质量比26/34/20/20)、以及偶氮二异丁腈4.0g，将所得的溶液作为“溶液a”，除此以外，和得到粘合剂聚合物(A－1)的溶液同样地操作，得到粘合剂聚合物(A－4)的溶液。粘合剂聚合物(A－4)的不挥发成分(固体成分)为45.0质量％，重均分子量为75000，酸值为170mgKOH/g。
[粘合剂聚合物(A－5)的合成]
混合作为聚合性单体(单体)的甲基丙烯酸130g、甲基丙烯酸甲酯145g、丙烯酸乙酯125g和苯乙烯100g(质量比26/29/25/20)、以及偶氮二异丁腈4.0g，将所得的溶液作为“溶液a”，除此以外，和得到粘合剂聚合物(A－1)的溶液同样地操作，得到粘合剂聚合物(A－5)的溶液。粘合剂聚合物(A－5)的不挥发成分(固体成分)为45.0质量％，重均分子量为75000，酸值为170mgKOH/g。
[粘合剂聚合物(A－6)的合成]
混合作为聚合性单体(单体)的甲基丙烯酸125g、甲基丙烯酸甲酯250g和苯乙烯125g(质量比25/50/25)、以及偶氮二异丁腈6.5g，将所得的溶液作为“溶液a”，除此以外，和得到粘合剂聚合物(A－1)的溶液同样地操作，得到粘合剂聚合物(A－6)的溶液。粘合剂聚合物(A－6)的不挥发成分(固体成分)为45.0质量％，重均分子量为55000，酸值为163mgKOH/g。
[粘合剂聚合物(A－7)的合成]
混合作为聚合性单体(单体)的甲基丙烯酸100g、甲基丙烯酸甲酯250g、丙烯酸乙酯100g和苯乙烯50g(质量比20/50/20/10)、以及偶氮二异丁腈4.0g，将所得的溶液作为“溶液a”，除此以外，和得到粘合剂聚合物(A－1)的溶液同样地操作，得到粘合剂聚合物(A－7)的溶液。粘合剂聚合物(A－7)的不挥发成分(固体成分)为45.0质量％，重均分子量为80000，酸值为163mgKOH/g。
[粘合剂聚合物(A－8)的合成]
混合作为聚合性单体(单体)的甲基丙烯酸125g、甲基丙烯酸甲酯200g、丙烯酸乙酯75g和苯乙烯100g(质量比25/40/15/20)、以及偶氮二异丁腈4.0g，将所得的溶液作为“溶液a”，除此以外，和得到粘合剂聚合物(A－1)的溶液同样地操作，得到粘合剂聚合物(A－8)的溶液。粘合剂聚合物(A－8)的不挥发成分(固体成分)为45.0质量％，重均分子量为80000，酸值为163mgKOH/g。
接着，配合表1所示的材料，得到感光性树脂组合物的溶液。
[表1]
<(B)光聚合性化合物>
FA－321M(日立化成工业(株)制，商品名)：2,2－双(4－((甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基)苯基)丙烷
FA－MECH(日立化成工业(株)制，商品名)：γ－氯－β－羟基丙基－β’－甲基丙烯酰氧基乙基－邻苯二甲酸酯
FA－314A(日立化成工业(株)制，商品名)：壬基苯氧基聚乙二醇丙烯酸酯
PDE－400(日油(株)制，商品名)：聚丙二醇二甲基丙烯酸酯
TMPT－21E(日立化成工业(株)制，商品名)：EO改性三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯(氧化乙烯平均21mol加成物)
<(C)光聚合引发剂>
N－1717((株)ADEKA制，商品名)：1,7－双(9,9－吖啶基)庚烷
<(D)胺系化合物>
LCV(山田化学(株)制，商品名)：无色结晶紫
<其它>
MKG(大阪有机化学工业(株)制，商品名)：孔雀绿
BMPS(住友精化(株)制，商品名)：三溴甲基苯基砜
<感光性元件>
将上述感光性树脂组合物的溶液分别均匀地涂布在厚度为16μm的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜(帝人(株)制，商品名“G2”)上，用100℃的热风对流式干燥机干燥10分钟，形成干燥后的膜厚为35μm的感光性树脂组合物层。将聚乙烯制保护膜(TAMAPOLY(株)制，商品名“NF－13”)贴合在该感光性树脂组合物层上，得到聚对苯二甲酸乙二醇酯膜(支撑膜)、感光性树脂组合物层和保护膜依次层叠而成的感光性元件。
<层叠基板>
使用具有相当于#600刷子的研磨机(三启(株)制，商品名)研磨由玻璃环氧材料和在形成在其两面上的铜箔(厚度为12μm)所构成的覆铜层叠板(日立化成工业(株)制，商品名“MCL－E－679F”)的铜表面，水洗后，通过空气流进行干燥。加热所得的覆铜层叠板，使其升温至80℃后，将实施例1～4和比较例1～5中的感光性元件层压(层叠)在基板的铜表面上。层压如下进行：一边除去保护膜，一边使各感光性元件的感光性树脂组合物层与基板的铜表面密合，在温度110℃、层压压力4kgf/cm2、层压速度1.5m/分钟的条件下进行。如此，得到在基板的铜表面上层叠有感光性树脂组合物层和聚对苯二甲酸乙二醇酯膜的层叠基板。
<敏感度的评价>
在上述层叠基板的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜上放置日立41段阶段式曝光表(step tablet)，使用以波长405nm的半导体激光器作为光源的直接描绘曝光装置(日立VIAMECHANICS(株)制，商品名“DE－1UH”)，以规定的能量进行曝光。然后，剥离聚对苯二甲酸乙二醇酯膜，在30℃喷射24秒钟1.0质量％碳酸钠水溶液，除去未曝光部分，然后测定形成于覆铜层叠板上的光固化膜的阶段式曝光表的段数，求出显影后的残存阶段数为17.0段的能量(mJ/cm2)，评价感光性树脂组合物的敏感度。敏感度的评价是其数值越小，则表示敏感度越高。
<分辨率的评价>
使用具有线宽/间距宽为3/3～100/100(单元：μm)的配线图案的描绘数据，以日立41段阶段式曝光表在显影后的残存阶段数为17.0的能量，对上述层叠基板的感光性树脂组合物层进行曝光。在与上述敏感度评价同样的条件下进行显影处理后，使用光学显微镜观察抗蚀剂图案，通过能够完全除去未曝光部，并且线不会产生曲折、缺损而形成的抗蚀剂图案的线宽间的最小值来评价分辨率。该数值越小，则表示分辨率越好。
<密合性的评价>
使用具有线宽/间距宽为n/400(单元：μm)的配线图案的描绘数据，以日立41段阶段式曝光表在显影后的残存阶段数为17.0的能量，对上述层叠基板的感光性树脂组合物层进行曝光。在与上述敏感度评价同样的条件下进行显影处理后，使用光学显微镜观察抗蚀剂图案，通过能够完全除去未曝光部，并且线不会产生曲折、缺损而残留的线宽n的最小值来评价密合性。该数值越小，则表示密合性越好。
<发泡性的评价>
将感光性树脂组合物层在显影液中的溶解量相当于推荐条件(0.4m2/L)的1.5倍的、0.6m2/L的感光性树脂组合物层溶解在显影液(1质量％Na2CO3水溶液)中，通过小型显影机将该溶液循环搅拌90分钟后，通过目视观察发泡，测定发泡高度。发泡高度越低，则表示发泡性越低。
<剥离特性的评价>
使用具有60mm×40mm图案作为剥离性评价用图案的描绘数据，以日立41段阶段式曝光表在显影后的残存阶段数为17.0的能量，对上述层叠基板的感光性树脂组合物层进行曝光。接着，在与上述敏感度和分辨率的评价同样的条件下进行显影处理后，将具有所形成的固化膜的基板浸渍在50℃、3.0质量％氢氧化钠水溶液中，以直至固化膜从基板上被完全剥离除去的时间作为剥离时间(单元：秒钟)。此外，通过目视观察剥离后的剥离片尺寸，按照以下基准进行评价。剥离时间越短，剥离片尺寸越小，则意味着剥离特性越好。将结果示于表2。
剥离片尺寸
L：片状。
M：30－40mm见方。
S：小于30mm见方。
[表2]
如表2所示，能够确认实施例1～4的感光性树脂组合物具有良好的密合性和分辨率，同时能够减少显影时的发泡，并且固化后的剥离特性优异。
符号说明
1：感光性元件、2：支撑膜、3：感光性树脂组合物层、4：保护膜。

Claims (7)

1.一种感光性树脂组合物，其含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物和光聚合引发剂，所述粘合剂聚合物具有基于(甲基)丙烯酸乙酯的结构单元，并且所述基于(甲基)丙烯酸乙酯的结构单元的含量相对于所述粘合剂聚合物和所述光聚合性化合物的总量小于9质量％。
2.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，所述粘合剂聚合物进一步具有基于苯乙烯或苯乙烯衍生物的结构单元。
3.如权利要求2所述的感光性树脂组合物，所述基于苯乙烯或苯乙烯衍生物的结构单元的含量相对于构成粘合剂聚合物的聚合性单体的总质量为10～50质量％。
4.如权利要求1～3中任一项所述的感光性树脂组合物，所述光聚合引发剂包含具有1或2个吖啶基的吖啶化合物。
5.一种感光性元件，其具备支撑膜和设置在所述支撑膜上的感光性树脂组合物层，所述感光性树脂组合物层是使用权利要求1～4中任一项所述的感光性树脂组合物形成的层。
6.一种抗蚀剂图案的形成方法，其具有如下工序：
将使用权利要求1～4中任一项所述的感光性树脂组合物所形成的感光性树脂组合物层层叠在基板上的层叠工序；
对所述感光性树脂组合物层的规定部分照射活性光线，使所述规定部分曝光并固化的曝光工序；以及
从所述基板上除去所述感光性树脂组合物层的所述规定部分以外的部分，从而在所述基板上形成由所述感光性树脂组合物的固化物构成的抗蚀剂图案的显影工序。
7.一种印刷配线板的制造方法，其包含对利用权利要求6所述的方法形成了抗蚀剂图案的基板进行蚀刻或镀覆的工序。
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