CN103996640A - 化学品供给器，用于进行湿处理的装置和方法 - Google Patents

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Abstract

提供了化学品供给器，用于进行湿处理的装置和方法。所述化学品供给器包括：化学品储存器，所述化学品储存器容纳处于室温的化学品混合物，所述化学品储存器的内部空间与环境隔离；供给线，通过所述供给线将所述化学品混合物从所述化学品储存器供给至处理室；在线加热器，所述在线加热器位于所述供给线上并且将在所述供给线中的所述化学品混合物加热至处理温度；和动力源，所述动力源驱动所述化学品混合物，以使所述化学品混合物向所述处理室移动。

Description

化学品供给器,用于进行湿处理的装置和方法
相关申请的交叉引用
2013年2月19日在韩国知识产权局提交的、题为“化学品供给器，包括该化学品供给器的处理装置和使用该化学品供给器处理基板的方法”的韩国专利申请10-2013-0017306号通过引用以其全文结合在此。
技术领域
实例实施方案涉及化学品供给器，包括该化学品供给器的处理装置和使用该化学品供给器处理基板的方法。更具体地，例证实施方案涉及用于湿刻蚀处理的化学品供给器和包括该化学品供给器的晶片处理装置以及使用该化学品供给器处理晶片的方法。
背景技术
通常，半导体器件通过对半导体基板的多个单元处理如沉积处理、刻蚀处理、离子注入处理、配线处理和清洗处理制造。特别是，湿处理广泛地单独使用或与用于制造半导体器件的单元处理的每一个结合使用。
发明内容
实施方案涉及一种化学品供给器，所述化学品供给器包括：化学品储存器，所述化学品储存器容纳处于室温的化学品混合物，所述化学品储存器的内部空间与环境隔离；供给线，通过所述供给线将所述化学品混合物从所述化学品储存器供给至处理室；在线加热器，所述在线加热器位于所述供给线上并且将在所述供给线中的所述化学品混合物加热至处理温度；和动力源，所述动力源驱动所述化学品混合物，以使所述化学品混合物向所述处理室移动。
该化学品储存器可以包括容器，所述容器具有源入口和混合物出口，通过所述源入口提供所述化学品混合物的化学品源，通过所述混合物出口排出含有所述化学品源的所述化学品混合物；和盖子，所述盖子与所述容器组合，使得所述容器被所述盖子覆盖并且由所述容器和所述盖子限定的所述化学品储存器的内部空间是封闭的并且与环境隔绝。所述盖子可以包括气体入口阀和气体出口阀，通过所述气体入口阀将压力控制气体供给到所述储存器中，从而控制所述储存器的内部压力，通过所述气体出口阀将所述压力控制气体从所述储存器排出。
压力控制气体可以包括氩(Ar)气和氮(N2)气中的一种。
在线加热器可以包括加热器主体；细管，所述细管设置在所述加热器主体中，使得所述供给线连接在其第一和第二端部并且所述化学品混合物流动通过所述细管；热传递部件，所述热传递部件填充所述加热器主体并且围绕所述细管；以及加热部件，所述加热部件加热所述热传递部件，使得热从所述热传递部件传递至所述细管。
化学品供给器可以还包括化学品喷嘴，所述化学品喷嘴设置在处理室中的基板上方的供给线的末端部分，使得所述化学品喷嘴将所述化学品混合物喷射到所述基板上，以及温度补偿器，所述温度补偿器设置在与所述处理室相邻的供给线上，所述温度补偿器补偿通过所述供给线的所述化学品混合物的热损失。
温度补偿器可以包括：管线，热补偿流体流动通过所述管线，所述管线包封与处理室相邻的供给线；热补偿流体源，所述热补偿流体源位于所述管线的第一末端部分并且含有所述热补偿流体；以及接收器，所述接收器位于所述管线的第二末端部分并且接收所述热补偿流体。
热补偿流体可以包括在70℃至100℃的温度的去离子水。
动力源可以包括空气泵，通过所述空气泵控制供给到所述处理室中的所述化学品混合物的量。
实施方案还涉及一种化学品供给器，所述化学品供给器包括：多个源槽，所述多个源槽中的每个源槽容纳多个化学品源的相应化学品源；多个源进料线，所述多个源进料线中的每个源进料线连接至相应源槽并且在其上具有进料泵，所述化学品源中的相应化学品源通过所述进料泵经由相应源进料线进料；多个在线加热器，所述多个在线加热器中的每个在线加热器安置在相应源进料线上并且将相应化学品源加热至处理温度；化学品储存器，所述化学品储存器连接至所述源进料线并且将处于处理温度的化学品源混合成化学品混合物中，所述化学品储存器的内部空间与环境隔离；供给线，通过所述供给线将所述化学品混合物从所述化学品储存器供给至处理室；和动力源，所述动力源驱动所述化学品混合物向所述处理室移动。
所述化学品供给器可以还包括温度补偿器，所述温度补偿器安置在与所述处理室相邻的供给线上，所述温度补偿器补偿通过所述供给线的化学品混合物的热损失。
所述化学品供给器还可以包括化学品喷嘴，所述化学品喷嘴在所述供给线的末端部分处安置在基板上方，所述化学品喷嘴将所述化学品混合物喷射到所述基板上。
所述化学品供给器还可以包括多个第一温度补偿器，所述多个第一温度补偿器中的每个第一温度补偿器安置在所述在线加热器与所述化学品储存器之间的相应源进料线上以补偿通过所述相应源进料线的相应化学品源的热损失。
所述化学品供给器还可以包括第二温度补偿器，所述第二温度补偿器安置在与所述处理室相邻的供给线上，所述第二温度补偿器补偿通过所述供给线的所述化学品混合物的热损失，从而刚好在将所述化学品混合物喷射到所述基板上之前将所述化学品混合物的温度升高到所述处理温度。
所述化学品储存器可以包括容器和盖子，所述容器中容纳所述化学品混合物，所述盖子与所述容器组合，使得所述容器被所述盖子覆盖并且由所述容器和所述盖子限定的所述化学品储存器的内部空间是封闭的且与环境隔绝，所述盖子具有气体入口阀和气体出口阀，通过所述气体入口阀将压力控制气体供给到所述储存器中从而控制所述储存器的内部压力，通过所述气体出口阀将所述压力控制气体从所述储存器排出。
实施方案还涉及一种用于进行湿处理的装置，所述装置包括：处理室，要通过湿处理进行处理的基板位于其中；化学品供给器，所述化学品供给器将进行所述湿处理的化学品混合物供给到所述基板上，所述化学品供给器包括容纳所述化学品混合物的化学品储存器和用于将所述化学品混合物加热至处理温度的在线加热器，所述化学品储存器的内部空间与环境隔离；和洗涤液供给器，所述洗涤液供给器将洗涤液供给到所述基板上。
所述化学品供给器可以包括供给线，通过所述供给线将所述化学品混合物从所述化学品储存器供给至所述处理室，所述在线加热器安置在所述供给线上。
所述供给线可以安置在单个化学品储存器与多个所述处理室之间。
所述化学品供给器可以包括多个源槽和多个源进料线，所述多个源槽的每个源槽容纳多个化学品源中的相应化学品源，并且所述多个源进料线中的每个源进料线连接至相应源槽并且将相应化学品源进料至所述化学品储存器。所述在线加热器可以包括多个在线加热器，所述多个在线加热器中的每个在线加热器安置在相应源进料线上，使得所述化学品源被加热至用于所述湿处理的处理温度并且在所述处理温度彼此混合成所述化学品混合物。
多个所述处理室和多个所述化学品储存器可以设置为所述化学品储存器以一对一的方式对应于所述处理室的构造。每个化学品储存器中的化学品混合物可以具有不同的性质，使得多个湿处理彼此独立地在每个处理室中分别进行。
所述装置还可以包括供给线，通过所述供给线将所述化学品混合物中的相应化学品混合物从相应化学品储存器供给至所述对应的处理室；和温度补偿器，所述温度补偿器安置在与所述对应的处理室相邻的供给线上并且补偿通过所述供给线的相应化学品混合物的热损失。
所述基板可以包括多个基板，并且所述装置还可以包括：盒，其中堆叠有所述多个基板；传递单元，所述传递单元将所述多个基板中的一个基板从所述盒装载到所述处理室中并且将所述一个基板从所述处理室卸载至所述盒；和控制器，所述控制器控制所述化学品储存器，使得根据所述湿处理的处理步骤将所述化学品混合物喷射到所述基板上。
所述装置可以包括干燥流体供给器，所述干燥流体供给器供给干燥流体，用于通过干燥从所述基板移除所述洗涤液。
所述干燥流体供给器可以与所述洗涤液供给器整体地安置成一体。
实施方案还涉及一种在基板上进行湿处理的方法，所述方法包括：提供用于所述湿处理的化学品混合物，所述化学品混合物在室温被容纳在化学品储存器中，所述化学品储存器的内部空间与环境隔离；将所述化学品混合物从所述化学品储存器供给至其中装载所述基板的处理室；将所述化学品混合物加热至所述湿处理的处理温度，同时将所述化学品混合物供给至所述处理室；在所述处理温度将所述化学品混合物喷射到所述基板上；和将洗涤液喷射到所述基板上以将所述化学品混合物的残留物从所述基板移除。
将所述化学品混合物供给至所述处理室可以包括将所述化学品混合物从所述化学品储存器排出，所述排出通过从所述化学品储存器的外部施加至所述化学品混合物的下部的牵引压力和施加至所述化学品储存器中的所述化学品混合物的上部的推挤压力中的一个或多个进行。
加热化学品混合物可以通过在线加热器进行，所述在线加热器安置在将所述化学品混合物从所述化学品储存器供给至所述处理室的供给线上。
所述方法还可以包括将所述化学品混合物在其中流动的所述供给线在与所述处理室相邻的位置再加热，以便补偿通过所述供给线的化学品混合物的热损失。
实施方案还涉及一种在基板上进行湿处理的方法，所述方法包括：提供用于所述湿处理的化学品混合物，所述化学品混合物在所述湿处理的处理温度被容纳在化学品储存器中，所述化学品储存器的内部空间与环境隔离；将所述化学品混合物从所述化学品储存器供给至其中装载所述基板的处理室；将所述化学品混合物在所述处理温度喷射到所述基板上；和将洗涤液喷射到所述基板上以从所述基板移除所述化学品混合物的残留物。
提供在所述处理温度在所述化学品储存器中的用于所述湿处理的所述化学品混合物可以包括将所述化学品混合物的化学品源通过多个源进料线进料至所述化学品储存器；和通过安置在所述源进料线中的相应源进料线上的在线加热器将所述化学品源加热至所述处理温度。
所述方法还可以包括在与所述处理室相邻的位置处加热供给线，所述化学品混合物通过所述供给线从所述化学品储存器流动至所述处理室，以便补偿通过所述供给线的所述化学品混合物的热损失。
将所述化学品混合物供给至所述处理室可以包括将所述化学品混合物从所述化学品储存器排出，所述排出通过从所述化学品储存器的外部施加至所述化学品混合物的下部的牵引压力和施加至所述化学品储存器中的所述化学品混合物的上部的推挤压力中的一个或多个进行。
实施方案还涉及一种化学品供给器，所述化学品供给器包括：化学品储存器，所述化学品储存器容纳处于室温的化学品混合物，所述化学品储存器的内部空间与环境隔离；供给线，通过所述供给线将所述化学品混合物从所述化学品储存器供给至处理室；和在线加热器，所述在线加热器位于所述供给线上并且将所述供给线中的所述化学品混合物加热至处理温度，所述在线加热器包括：加热器主体；在所述加热器主体内的具有盘形的管，所述供给线连接至所述管以使得所述化学品混合物流动通过所述管；热传递部件，所述热传递部件填充所述加热器主体并且围绕所述管；和加热部件，所述加热部件加热所述热传递部件，使得热从所述热传递部件传递至所述管。
所述化学品储存器可以包括气体入口阀，所述气体入口阀将压力控制气体供给至所述化学品储存器，所述压力控制气体提供驱动力以使所述化学品混合物移动通过所述供给线。
附图说明
通过参考附图详细描述示例实施方案，特征对于本领域技术人员将变得显见，其中：
图1图示了描述根据一个例证实施方案的化学品供给器的结构图；
图2图示了描述图1中所示化学品供给器的在线加热器的结构图；
图3图示了描述图2中所示在线加热器的温度补偿器的结构图；
图4图示了描述根据另一个例证实施方案的化学品供给器的结构图；
图5图示了描述图4中所示化学品供给器的变体的结构图；
图6图示了描述具有图1中所示化学品供给器的用于进行湿处理的装置的结构图；
图7图示了描述具有图4中所示化学品供给器的用于进行湿处理的装置的结构图；
图8图示了描述图7中所示用于进行湿处理的装置的变体的结构图；
图9图示了显示根据一个例证实施方案在基板上进行湿处理的方法的处理阶段的流程图；
图10图示了显示图9中所示用于加热化学品混合物的阶段的处理子阶段的流程图；
图11图示了显示根据另一个例证实施方案用于在基板上进行湿处理的方法的处理阶段的流程图；和
图12图示了显示图11中所示的在处理温度将化学品混合物容纳在化学品储存器中的阶段的处理子阶段的流程图。
具体实施方式
在下文中将参考附图更完整地描述例证实施方案；然而，它们可以以不同的形式实施，并且不应解释为限于本文给出的实施方案。而是，提供这些实施方案以使得本公开将是彻底和完全的，并且将完整地将示例实施方式传达给本领域技术人员。
在附图中，层和区域的尺寸可以为了图示清晰而夸大。还应理解的是，当将层或元件称作在另一个层或基板“上”时，它可以直接在另一个层或基板上，或者也可以存在插入层。此外，应理解的是，当将层称作在另一个层“下”时，它可以直接在其下，也还可以存在一个或多个插入层。另外，还应理解的是，当将层称作在两个层“之间”时，它可以是两个层之间的唯一层，或者还可以存在一个或多个插入层。相同的附图标记始终是指相同的元件。
应理解，当将元件称作“连接至”或“结合至”另一个元件时，它可以直接在另一个元件上，连接至另一个元件，或结合至另一个元件，或者可以存在插入元件。
应理解，虽然术语第一、第二、第三等在本文可以用于描述不同元件、组分、区域、层和／或部分，这些元件、组分、区域、层和／或部分不应受这些术语限制。这些术语仅用于将一个元件、组分、区域或部分与另一个区域、层或部分区分。因此，下面谈论的第一元件、组分、区域或部分可以称为第二元件、组分、区域或部分，而不违反本发明的教导。
与空间相关的术语，如“之下”、“下”、“下部”、“上方”、“上部”等，可以为了方便描述而用于本文中，以描述如图中所示的一个元件或特征与其他一个或多个元件或一个或多个特征的关系。应理解，与空间相关的术语意味着除了图中所述的取向之外还包括器件在使用或操作中的不同取向。例如，如果将图中的器件翻转，描述为在其他元件或特征“下”或“下方”的元件将位于所述其他元件或特征“上方”。因此，示例性术语“下方”可以包括上方和下方的两种取向。器件可以以其他方式取向(旋转90度或处于其他取向)，并且本文使用的与空间相关的描述也作相应解释。
本文使用的术语仅用于描述特定例证实施方案的目的而不意图限制本发明。如本文所使用的，单数形式的不定冠词(“a”、“an”)和定冠词(“the”)意在也包括复数形式，除非上下文另外清楚地指出。还应理解的是，术语“包含”和／或“包括”当在本说明书中使用时，是指存在所述特征、整数、步骤、操作、元件和／或组分，但是不排除存在或添加一个或多个其他特征、整数、步骤、操作、元件、组分和／或它们的组。
例证实施方案在本文中是参考剖面图示描述的，所述剖面图示是理想化的例证实施方案(和中间结构)的示意图。因而，应预期到图示形状因为例如制造技术和／或公差的变化。因此，例证实施方案不应解释为限于本文所示的区域的特定形状，而是包括例如由制造导致的形状上的偏差。因此，图中所示的区域实际上是示意性的，并且它们的形状不意在图示器件区域的实际形状并且不意在限制本发明的范围。
除非另外定义，本文使用的所有术语(包括技术和科学术语)具有本发明所属领域中的一般技术人员通常理解的相同含义。还应理解的是，术语，如在通常使用的词典中定义的那些，应当解释为具有与它们在相关领域的上下文中的含义一致的含义，而不应理想化地或过分形式上解释，除非本文明确地如此定义。
在下文中，将参考附图详细描述例证实施方案。
化学品供给器
图1图示了描述根据一个例证实施方案的化学品供给器的结构图。
参考图1，根据一个例证实施方案的化学品供给器1000可以包括：容纳在室温的化学品混合物C的储存器100、供给线200，通过供给线200将化学品混合物C从储存器100供给至处理室P、安置在供给线200上并且将供给线200中的室温化学品混合物C加热至处理温度的在线加热器300，以及用于驱动化学品混合物C向处理室P移动的动力源400。
例如，储存器100可以包括容器101和盖子102，容器101容纳化学品混合物C，盖子102与容器101组合，从而以使容器101封闭且与环境隔绝的方式覆盖容器101。容器101可以包括源入口110和混合物出口120，通过源入口110提供化学品混合物的化学品源(未显示)并且通过混合物出口120排出化学品混合物C。化学品源可以在容器101中彼此混合。盖子102可以包括气体入口阀140和气体出口阀130，通过气体入口阀140可以将压力控制气体供给到储存器100中从而将储存器100的内部压力控制在处理压力上，通过气体出口阀130可以将压力控制气体从储存器100选择性地排出。
化学品混合物C可以通过将化学品源在容器101的外部混合并且之后将混合的化学品源通过源入口110供给到容器101中而提供。在其他实施方式中，可以将化学品源通过源入口110供给到容器101中并且之后可以将其在容器101中彼此混合以提供储存器100中的化学品混合物C。
化学品混合物C可以根据要在基板W上进行的湿处理而变化。例如，当在基板W上进行湿刻蚀处理时，可以提供化学品混合物C以具有以足够的刻蚀选择性将基板W上的层以足够的刻蚀速率刻蚀掉的组成。另一方面，当在完成用于制造半导体器件的单元处理之后进行湿清洗处理时，可以提供化学品混合物C以具有将单元处理的污染物、残留物和／或粒子从基板W充分清除的组成。在本例证实施方案中，化学品混合物C可以包括标准洗涤液1(SC-1)，其包含氟化氢(HF)或六氟化硫(SF6)和氢氧化铵(NH4OH)水溶液。
化学品混合物C可以作为其中将至少一种化学品源溶解在溶剂中的溶液提供，其中化学品源的蒸气压与溶剂的蒸气压不同。因此，在容纳化学品混合物C的容器101在没有盖子102的情况下打开时，化学品源和溶剂中的任一种可能从容器101蒸发，因此，可能从而改变化学品混合物C的化学和物理性质。在这种情况下，化学品混合物C可能具有有限的使用期限并且在该使用期限之后可能必须废弃。结果，使用化学品混合物C的湿处理将被限制于在化学品混合物C的使用期限内进行。
然而，根据实施方案，储存器100可以包括盖子102，用于覆盖容器101的顶部并用于将容器101的内部空间与环境隔绝。因此，可以将化学品混合物C与环境隔绝并且可以充分防止化学品混合物C的组分蒸发到大气中。此外，内部空间中未被化学品混合物C填充的空部分可以用高压下的压力控制气体填充。如此，可以进一步防止化学品混合物C蒸发。可以将化学品混合物C周围的环境压力增加至足以使得化学品混合物C的成分不蒸发的程度，这可以有助于延长化学品混合物C的使用期限。
化学品混合物C周围的环境压力可以作为在容器101上部的储存器100的内部压力提供。因此，可以将化学品混合物C在容器101的下部从储存器100充分地排出而不需要任何另外的排出力，如驱动泵。
例如，源入口110可以包括位于容器101侧壁下部的球阀，并且混合物出口120可以包括位于容器101下部的闸阀。球阀可以根据操作情况选择性地关闭或打开，并且可以具有良好的密封特性。闸阀可以根据动力源400选择性地操作。当将盖子102移除时，可以将化学品混合物C直接提供到容器101中。在其他实施方式中，也可以将化学品混合物C通过源入口110提供到容器101中。
气体入口阀140可以包括止回阀，通过所述止回阀，压力控制气体仅在从储存器100的外部至储存器100中的方向上流动。如此，当容器101覆盖有盖子102并且容器101的内部空间与环境分离和隔绝时，压力控制气体可以以使得储存器100的内部压力可以达到预置的高压的方式通过气体入口阀140流入容器101中。因此，化学品混合物C可以在储存器100中在高压下备用，直至开始湿处理。化学品混合物C从储存器100移动至处理室P的传递时间可以根据储存器100的内部压力变化。因而，可以控制储存器100的内部压力使其均匀，以便使化学品混合物C从储存器100均匀地移动至处理室P。当储存器100内部空间的空部分增加时，可以将压力控制气体自动提供到储存器100中，以便保持容器101的均匀的内部压力。
压力控制气体可以包括不与储存器100中的化学品混合物C反应的不活泼气体。不活泼气体的实例可以包括氩(Ar)气、氮(N2)气等。这些可以单独或以其组合使用。
气体出口阀130可以起到保护储存器100免于储存器100内部压力的异常增加的安全阀作用。当储存器100的内部压力超过临界压力时，例如，超过容器101和盖子102的组合的可允许最大压力时，气体出口阀130可以自动打开，并且压力控制气体可以通过气体出口阀130从储存器100排出。在化学品供给器1000的正常操作状态下，气体出口阀130不操作。
容器101和盖子102可以具有足够的刚性以耐受储存器100的内部压力。容器101和盖子102可以包括几乎不与储存器100中的化学品混合物C反应的材料。例如，容器101和盖子102可以包括不锈钢或具有足够刚性的聚合物树脂。在容器101和盖子102的边界部分可以进一步提供密封部件(未显示)，其可以有助于提高储存器100的密封特性。
供给线200可以包括连接储存器100和处理室P的管线。化学品混合物C可以从储存器100通过管线移动到处理室P中。供给线200具有足够的刚性以耐受化学品混合物C的排出压力和对化学品混合物C足够的耐化学性以防止管线与化学品混合物C之间的化学反应。例如，供给线200可以包括含氟树脂如TEFLON，具有良好的刚性和柔韧性的苯乙烯树脂，或聚酰胺树脂。此外，可以将用于增强刚性和耐化学性的补充层涂布在供给线200的内表面上。补充可以包括油漆层或橡胶层。
动力源400和在线加热器300可以安置在供给线200上。动力源400可以提供驱动功率以将化学品混合物C移动至处理室P。通过在线加热器300可以将供给线200中的化学品混合物C加热至处理温度。
可以通过动力源400强迫储存器100中的化学品混合物C向处理室P移动。可以使用多种类型的驱动功率用于动力源400，条件是在湿处理中使化学品混合物C以足够的速度移动至处理室P。
在本例证实施方案中，动力源400可以包括牵引压力施加器和推挤压力施加器中的至少一个。通过牵引压力施加器可以将牵引压力从储存器100的外部施加至化学品混合物C的下部，并且从而可以将化学品混合物C从储存器100引出。通过推挤压力施加器可以将推挤压力施加至储存器100中的化学品混合物C的上部，并且从而可以将化学品混合物C从储存器100推出。
例如，牵引压力施加器可以包括安装在供给线200上并且可以将化学品混合物C从储存器100泵出的泵系统。推挤压力施加器可以包括通过气体入口阀140流到储存器100中的控制压力气体。泵系统可以包括通过向化学品混合物C施加空气压力将化学品混合物C从储存器100引出的空气泵，或通过利用储存器100与供给线200之间的压力差将化学品混合物C从储存器100引出的真空泵。此外，动力源400可以设置有质量流控制器，用于控制流动通过供给线200的化学品混合物C的质量流量。
当储存器100的内部压力高到足以将化学品混合物C推出并移动至处理室P时，可以不需要另外的泵系统用于将化学品混合物C排出和移动至处理室P。因而，储存器100内部压力的控制可以足以在没有任何另外的泵送压力的情况下将化学品混合物C移动至处理室P。
在本例证实施方案中，化学品混合物C可以通过泵系统从储存器100排出并且可以通过供给线200移动至处理室P。储存器100的内部压力可以增加化学品混合物C在供给线200中移动的速度，这可以有助于提高化学品混合物C在储存器100与处理室P之间的传递效率。
可以在供给线200上安装补充泵系统用于提高化学品混合物C的传递效率。
化学品供给器1000没有提供用于加热处于备用状态的化学品混合物C的内部化学品循环回路。因此，储存器100中的化学品混合物C在备用状态可以处于室温。化学品混合物C可以在其流动通过供给线200的同时用供给线200上的在线加热器300加热至处理温度。因而，可以将化学品混合物C在高于室温的处理温度供给到处理室P中。
可以将在线加热器300安装在供给线200上。在线加热器300可以将化学品混合物C短时间加热至处理温度而对供给线200中化学品混合物C的流动没有任何干扰。
图2图示了描述图1中所示化学品供给器的在线加热器的结构图。
参考图2，在线加热器300可以包括加热器主体310、以使得供给线200与其连接并且化学品混合物C通过其流动的方式安置在加热器主体310中的盘形细管320，填充加热器主体310并且包封细管320的热传递部件330，以及加热热传递部件330的加热部件340。细管320可以包括连接至供给线200的第一端部321和第二端部322。热可以从热传递部件330传递到细管320中。
例如，热传递部件330可以包括填充加热器主体310内部的导热流体，并且细管320可以浸渍在该导热流体中。化学品混合物C可以在第一端部321流动到盘形细管320中并且可以在第二端部322流出盘形细管320。
加热部件可以产生焦耳热，通过该焦耳热可以将热传递部件330加热至预置的高温。热可以从热传递部件330传递至在细管320中流动的化学品混合物C。可以在化学品混合物到达细管320的第二端部322时将化学品混合物C加热至处理温度。细管320可以成形为盘管以便扩大细管320与热传递部件330接触的表面积。
加热部件340可以通过电源345操作并且可以将电能转换为可以传递至热传递部件330的热能。电源345可以通过热控制器360控制，并且因此，可以充分控制施加至加热部件340的电能的量。化学品混合物C的温度可以通过热控制器360精确地控制。
虽然本例证实施方案公开了将供给线200连接至盘形细管320并且通过热传递部件330间接加热，在线加热器300可以根据供给线200的结构和材料性质以及热传递的效率进行任何其他合适的变更。
例如，多个细管320可以位于加热器主体310内部，用于缩短化学品混合物C的加热时间。在其他实施方式中，在线加热器300可以以不提供细管的方式更改。供给线200可以浸入热传递部件330中。在其他实施方式中，加热部件340可以安装在供给线200内，并且因此，可以将供给线200中的化学品混合物C通过加热部件340直接加热。
化学品喷嘴210可以设置在供给线200的末端部分并且可以将高温化学品混合物C喷射到处理室P中的基板W上。例如，可以将基板W以预置角速度旋转并且可以将化学品混合物C喷射到旋转的基板W上。如此，可以将化学品混合物C均匀地供给到基板W的整个表面，并且可以在基板W的整个表面上均匀地进行化学处理。
与处理室P相邻的供给线200可以进一步设置有温度补偿器350。该温度补偿器可以补偿通过供给线200的化学品混合物C的热损失。
图3图示了描述图2中所示在线加热器的温度补偿器的结构图。
参考图3，温度补偿器350可以包括另外的管线351、另外的源352和另外的接收器353，另外的管线351包封与处理室P相邻的供给线200并且热补偿流体F可以通过其流动，另外的源352含有热补偿流体F，并且另外的接收器353接收热补偿流体F。热补偿流体F的温度可以高于化学品混合物C的温度，如此，可以将热从热补偿流体F传递至化学品混合物C。化学品混合物C中的热损失可以由来自热补偿流体F的热传递补偿。另外的源352可以位于另外的管线351的第一端，并且另外的接收器353可以位于另外的管线351的第二端。热补偿流体F可以从另外的源352通过另外的管线351流动到另外的接收器353。
例如，可以将去离子水在另外的源352中加热到约70℃至约100℃的温度作为热补偿流体F，并且可以根据温度补偿器350的补偿信号流动到另外的管线351中。高温去离子水可以被接收在另外的接收器353中。与化学品喷嘴210相邻的供给线220可以穿过另外的管线351。另外的源352和另外的接收器353可以连接至另外的加热器(未显示)。热补偿流体F可以在另外的源352与另外的接收器353之间循环。另外的源352、另外的接收器353、另外的加热器和另外的管线351可以构成热补偿流体F的封闭循环回路。当热补偿流体F流动通过另外的管线351至另外的接收器353时，热补偿流体F的温度可以归因于向供给线200中的化学品混合物C的热传递而降低。之后，可以强制低温热补偿流体F通过封闭循环回路再次流至另外的源352，同时通过另外的加热器将其加热到约70℃至约100℃的高温。
化学品混合物C的热损失可以在供给线200所穿过的另外的管线351中得到补偿。在本例证实施方案中，热可以从另外的管线351中的去离子水传递至化学品混合物C，从而补偿化学品混合物C的热损失。可以辅助提供温度补偿器350以便补偿通过供给线200的化学品混合物C的热损失。因此，比在线加热器300更小的热传递单元对于温度补偿器350可能是足够的。
当将化学品混合物C从单个储存器100单独供给至多个处理室P中的相应处理室P时，可以对每个处理室P设置温度补偿器350。如此，可以控制化学品混合物C使其在即将喷射到基板W上之前具有处理温度，这可以有助于提高精度和促进使用化学品混合物C的湿处理的完成。
虽然本例证实施方案公开了去离子水作为热补偿流体F，可以根据化学品供给器1000的结构和具有化学品供给器1000的湿处理装置的操作需要采用任何其他合适的材料或流体用于补偿通过供给线200的化学品混合物C的热损失。
根据化学品供给器1000的例证实施方案，化学品混合物C可以在湿处理的备用状态下在室温容纳在储存器100中。如此，在备用状态下可以最小化化学品混合物C的蒸发，并且可以充分延长化学品混合物C的使用期限。此外，在化学品混合物C从储存器100移动至处理室P时，可以将化学品混合物C通过在线加热器300迅速地加热至处理温度。此外，可以将温度补偿器350设置于与处理室P相邻的供给线200，从而充分补偿通过供给线200的化学品混合物C的热损失。因此，在湿处理中可以减少化学品混合物C的消耗，并且对于使用化学品混合物C的湿处理可以精确控制化学品混合物C的温度。
图4图示了描述根据另一个例证实施方案的化学品供给器的结构图。
参考图4，根据该例证实施方案的化学品供给器2000可以包括多个源槽1200和多个源进料线1300，每个源槽容纳化学品源S1和S2中的相应化学品源，每个源进料线连接至多个源槽中的相应源槽。化学品供给器2000可以还包括：用于在其上进料相应化学品源S1或S2的进料泵1310，安置源进料线中的相应源进料线上以将化学品源S1和S2加热至处理温度的多个在线加热器1400，连接至进料线1300的、在其中将化学品源S1和S2在处理温度下混合成化学品混合物C的储存器1100，将化学品混合物C从储存器1100供给至处理室P的供给线1500，以及用于驱动化学品混合物C向处理室P移动的动力源1600。
图4中的化学品供给器2000可以具有与图1中所示化学品供给器1000基本上相同的构造和结构，除了可以将在线加热器1400安置在源进料线1300上之外。因而，可以将化学品混合物C在储存器1100中控制在高温。
化学品源S1和S2可以分别单独容纳在源槽1200中，并且因此可以通过相应源进料线1300单独地进料到储存器1100中。每个源槽1200可以包括封闭容器或开放容器并且可以由几乎不与相应化学品源S1或S2反应的材料制成。源槽1200可以对相应化学品源S1或S2具有化学稳定性。虽然本例证实施方案公开了其中可以含有第一和第二化学品源S1和S2的一对源槽1200，应理解的是可以将三个以上源槽根据化学品混合物C的成分的数目(其也可以是三个以上)连接至储存器1100。化学品源S1和S2可以保持在室温下并且可以通过进料泵1310强制移动至储存器1100。
在进料至储存器1100的同时，可以将化学品源S1和S2通过在线加热器1400加热至高于室温的处理温度。因而化学品源S1和S2可以在处理温度到达储存器1100。在线加热器1400可以具有与图1中所示化学品供给器1000的在线加热器300基本上相同的结构。
化学品源S1和S2可以在储存器1100中在处理温度彼此混合，从而在储存器1100中形成处理温度下的化学品混合物C。化学品混合物C可以在储存器1100中在用于湿处理的处理温度处于备用状态。
储存器1100可以具有与化学品供给器1000的储存器100基本上相同的结构。可以将储存器1100与环境封闭。储存器1100可以包括容纳化学品混合物C的开放容器1101和以下述方式覆盖容器1101的盖子1102：将容器1101的内部空间与环境分离和隔绝以使得储存器1100与环境封闭。正如图1中所示的储存器100的盖子102一样，盖子1102可以包括气体入口阀1140和气体出口阀1130，通过气体入口阀1140可以将压力控制气体供给到储存器1100中从而控制储存器1100的内部压力高于处理压力，通过气体出口阀1130可以将压力控制气体从储存器1100选择性地排出。
虽然化学品混合物C在储存器1100中归因于高温可能比在图1中所示的储存器100中更容易蒸发，盖子1102和储存器1100中的压力控制气体可以充分地防止化学品混合物C的蒸发。因此，化学品混合物C的性质可以几乎不改变并且可以延长化学品混合物C的使用期限。
化学品混合物C可以在处理温度容纳在储存器1100中。因此，可以提供储存器1100以具有对于化学品混合物C的出色的耐化学性。例如，可以将具有出色的耐化学性的油漆或橡胶涂布在限定储存器1100的内部空间的容器1101和盖子1102的内表面上。
除了内表面可以涂布有油漆或橡胶之外，气体入口阀1140和气体出口阀1130可以具有与图1中所示的储存器100的气体入口阀140和气体出口阀130基本上相同的结构。因此，化学品混合物C可以稳定地容纳在储存器1100中而与储存器1100没有任何化学反应，尽管其在高温。
可以将储存器1100中的化学品混合物C通过供给线1500供给到处理室P中。动力源1600，如空气泵，可以驱动化学品混合物C通过供给线1500向处理室P移动。化学品混合物C可以被强制向处理室P移动。当被驱动向处理室P移动时，化学品混合物C可以被储存器1100的内部压力加速，这可以有助于提高化学品混合物C向处理室P的传递速度。当储存器1100的内部压力足够高时，可以不需要另外的驱动功率使化学品混合物C向处理室P移动。
动力源1600可以包括牵引压力施加器和推挤压力施加器中的至少一个。通过牵引压力施加器可以将牵引压力从储存器1100的外部施加至化学品混合物C的下部，并且从而可以将化学品混合物C从储存器1100引出。通过推挤压力施加器可以将推挤压力施加至储存器1100中的化学品混合物C的上部，并且从而可以将化学品混合物C从储存器1100推出。例如，牵引压力施加器可以包括泵系统如空气泵或真空泵，并且推挤压力施加器可以包括通过气体入口阀1140流入储存器1100中的控制压力气体和用于操作气体入口阀1140的控制器。供给线1500和动力源1600可以具有与图1中所示的化学品供给器1000的供给线200和动力源300基本上相同的结构。因此，供给线1500和动力源1600的相同描述将不再重复。
与处理室P相邻的供给线1500可以进一步设置有温度补偿器1700以补偿通过供给线1500的化学品混合物C的热损失。温度补偿器1700可以包括另外的管线1720，另外的源1710和另外的接收器1730，另外的管线1720包封与处理室P相邻的供给线1500并且热补偿流体F通过其流动，另外的源1710含有热补偿流体F，并且另外的接收器1730接收热补偿流体F。热补偿流体F的温度可以高于化学品混合物C的温度，并且因此，可以将热从热补偿流体F传递至化学品混合物C。化学品混合物C的热损失可以通过从热补偿流体F的热传递而得到补偿。另外的源1710可以位于另外的管线1720的第一端，并且另外的接收器1730可以位于另外的管线1710的第二端。如此，热补偿流体F可以从另外的源1710通过另外的管线1720流动至另外的接收器1730。温度补偿器1700可以安置在接近于化学品喷嘴1510的供给线1500上，以使得，尽管有通过供给线1500的化学品混合物C的热损失，化学品混合物C的温度可以在即将喷射到基板W上之前接近于处理温度。
温度补偿器1700可以具有与图1中所示的化学品供给器1000的温度补偿器350基本上相同的结构，并且因此，相同的描述将不再重复。
根据化学品供给器2000的例证实施方案，虽然化学品混合物C在湿处理的备用状态下在高温容纳在储存器100中，化学品混合物C的蒸发可以在备用状态最小化，因为储存器1100可以被充分地覆盖并与环境隔绝，这可以有助于延长化学品混合物C的使用期限。尤其是，高温化学品混合物C可以在没有用于周期性加热储存器1100中化学品混合物C的任何另外的内部循环回路的情况下处于备用状态，这可以有助于减少使用化学品混合物C的湿处理装置的维护和操作成本，同时减少用于湿处理的化学品混合物C的消耗。
此外，可以将化学品源在储存器1100中形成化学品混合物C之前加热至高温。因此，在供给线1500上可以不需要在线加热器。多个储存器1100可以分别地以一对一的方式连接至多个处理室P。在这种情况下，每一个处理室P可以在相应操作条件下彼此独立地操作。
图5图示了描述图4中所示化学品供给器的变体的结构图。
参考图5，化学品供给器2000a可以不同于图4中所示的化学品供给器2000，因为储存器1100可以位于处理室P上方以最小化供给线1500的长度。如此，可以将通过供给线1500的热损失最小化，同时将化学品混合物C从储存器1100供给到处理室P中。
图1中所示的化学品供给器1000的储存器100中的化学品混合物C可能需要在尽可能短的时间内从室温加热至处理温度，并且因此，热传递可能要在供给线200与在线加热器300之间尽可能快地进行。因此，对应于高热传递速率，在线加热器300可能构造为复杂结构并且可能具有充分大的尺寸。因为这些原因，可能难以将在线加热器300安置在单独的处理室P上或与其相邻。在线加热器300可以与处理室P隔开足够的空隙距离并且在储存器100与处理室P之间可以设置另外的供给线200。
另一方面，在图4和5中的化学品供给器2000／2000a中，化学品混合物C可以在处理温度处于备用状态。因此，在储存器1100与处理室P之间的供给线1500上可以不需要在线加热器。因此，储存器1100可以位于尽可能接近处理室P的位置，并且因此，可以最小化储存器1100与处理室P之间的空隙距离。在化学品供给器2000中可以对应于多个处理室P提供多个储存器1100，并且因此处理室P可以以一对一的方式对应于储存器1100。
此外，储存器1100与处理室P之间的供给线1500的长度可以尽可能缩短，并且因此通过供给线1500的化学品混合物C的热损失也可以最小化。根据一个实施方式，储存器1100可以位于处理室P的外表面上。
第一温度补偿器1700a可以选择性地安置在储存器1100与在线加热器1400之间的源进料线1300上。因此，在将化学品源S1和S2进料至储存器1100中的同时，可以充分补偿通过源进料线1300的化学品源S1和S2的热损失。如果由于每个源槽1200的不同位置，储存器1100与源槽1200之间的空隙距离彼此不同，则当化学品源S1和S2到达储存器1100时，化学品源S1和S2的温度也可能彼此不同。因此，可能难以提供储存器1100中的化学品混合物C的均匀的处理温度。在这种情况下，安置在每个源进料线1300上的第一温度补偿器1700a可以单独地补偿通过相应源进料线1300的化学品源S1和S2的热损失，以使得化学品源S1和S2可以具有对应于处理温度的均匀温度。储存器1100中化学品混合物C的温度可以是均匀的，而与储存器1100与源槽1200之间的空隙距离无关。
此外，可以在储存器1100与处理室P之间的供给线1500上进一步安置第二温度补偿器1700b，并且因此在将化学品混合物C供给到处理室P中的同时可以充分补偿通过供给线1500的化学品混合物C的热损失。因此，可以将化学品混合物C的温度精确控制为接近于使用化学品混合物C的湿处理的处理温度。例如，可以将第二温度补偿器1700b中热补偿流体F的温度控制为略微超过使用化学品混合物C的湿处理的处理温度，以使得化学品混合物C的温度刚好在将化学品混合物C喷射到基板W上之前变得接近于处理温度。
因此，可以将化学品混合物C的温度控制为均匀地处于处理温度，而与储存器1100与源槽1200之间的空隙距离无关。
此外，当多个储存器1100以一对一的方式连接至多个处理室P时，可以将化学品源S1和S2单独地进料至具有不同条件的储存器1100的每一个。因此，每个储存器1100中的化学品混合物C可以具有不同的性质。可以将化学品源S1和S2以不同的速度和质量流量进料到处理室P的每一个中，使得每个处理室P中的化学品混合物C可以具有不同的组成、浓度和处理温度。因此，可以在处理室P中，分别在不同的条件下进行多个湿处理。
具有化学品供给器的用于进行湿处理的装置
图6图示了描述具有图1中所示化学品供给器的用于进行湿处理的装置的结构图。
参考图6，根据一个例证实施方案的用于进行湿处理的装置3000(在下文中称为湿处理装置)可以至少包括具有要通过湿处理处理的基板W的处理室2100，将化学品混合物供给到基板W上的化学品供给器2500，以及将洗涤液供给到基板W上的洗涤液供给器2400。化学品供给器2500可以包括容纳用于湿处理的化学品混合物的储存器2560和用于将化学品混合物加热至处理温度的在线加热器2591。
处理室2100可以包括其中进行湿处理的处理空间PS和基板W位于其上的支撑体2300。例如，支撑体2300可以包括旋转卡盘2320、旋转轴2340和驱动马达2360。基板W可以装载到旋转卡盘2320上并且可以通过安置在旋转卡盘2320的周边部分的夹具2322机械固定于旋转卡盘2320。旋转轴可以穿透旋转卡盘2320的中心部分并且可以由驱动马达2360旋转，使得旋转卡盘2320可以以恒定的角速度旋转。在本例证实施方案中，湿处理可以在单个基板W上进行，并且因此，可以将单个基板W装载到处理室2100。基板W可以经历使用化学品混合物的湿处理、清洗处理和干燥处理，并且最终可以从处理室P卸载。其后，可以将下一个单个基板装载到处理室2100中。
例如，处理室2100可以包括主体2200，主体2200具有限定处理空间PS的上部主体2220和具有排出线2241的下部主体2240，通过排出线2241多种处理溶液和气体可以从处理空间PS排出。上部主体2220可以成形为碗形并且可以围住旋转卡盘2320。可以防止在进行湿处理中化学品混合物和洗涤液向外飞溅至环境中。排出线2241可以安置在处理室2100的下部并且可以穿透下部主体2240。可以将可以在上部主体2220的底部汇集的化学品混合物和洗涤液从处理室2100的处理空间PS排出。
化学品供给器2500可以包括：分别含有化学品源的多个源槽2510；分别通过多个源进料线2544和2546连接至源槽2510，并且其中将化学品源混合从而形成化学品混合物的化学品储存器2560；将化学品混合物加热至处理温度的在线加热器2591；以及将化学品混合物喷射到处理室2100中的基板W上的化学品喷嘴2520。
化学品混合物可以在室温在化学品储存器2560中备用，并且可以在加热至处理温度之后供给到处理室2100中。可以将化学品源在室温进料到化学品储存器2560中，并且可以将其在化学品储存器2560中在室温下彼此混合，使得可以在化学品储存器2560中在室温含有化学品混合物。可以将化学品混合物通过在线加热器2591加热，同时将化学品混合物通过供给线2548移动至处理室。可以将化学品混合物在高于室温的处理温度喷射到基板W上。通过供给线2548的化学品混合物的热损失可以刚好在将化学品混合物喷射到基板W上之前通过温度补偿器补偿。化学品供给器2500可以具有与如图1中所示的化学品供给器1000基本上相同的结构，并且因此将不再重复化学品供给器2500的相似特征的说明。
化学品混合物可以在室温在封闭的化学品储存器2560中备用。因此，可以充分地防止或减少化学品混合物的成分的蒸发，这可以有助于最小化化学品混合物的性质改变。因此，可以延长湿处理中化学品混合物的使用期限，并且可以最小化用于湿处理的化学品混合物的消耗。此外，化学品混合物可以在室温备用。因此，在湿处理装置3000中可以不需要用于加热备用状态下的化学品混合物的内部循环回路，这可以有助于减少湿处理装置3000的操作成本。
洗涤液供给器2400可以将洗涤液在化学品混合物的喷射之后供给至基板W，从而从基板W移除化学品混合物的残留物。例如，洗涤液供给器2400可以包括洗涤液喷嘴2420、洗涤液供给线2440和洗涤液储存器2620。例如，在洗涤液储存器2620中可以容纳去离子水作为洗涤液，并且可以将去离子水在化学品混合物的喷射之后通过洗涤液喷嘴2420喷射到旋转基板W上。如此，可以将化学品混合物的残留物从基板W清除。
根据实施方式，湿处理装置3000可以还包括干燥流体供给器2800。干燥流体供给器可以供给用于在清洗处理之后干燥基板W的干燥流体。例如，干燥流体供给器2800可以包括干燥流体喷嘴2820、干燥流体供给线2840和干燥流体生成器2860。例如，异丙醇可以产生并容纳于干燥流体生成器2860中，并且可以通过干燥流体喷嘴2820喷射到基板W上，由其可以将化学品混合物的残留物通过洗涤液移除。在完成干燥处理之后，可以将基板W从处理室2100卸载，并且可以将其堆叠在基板传递体如晶片盒中。
虽然本例证实施方案公开了将干燥流体供给器2800与洗涤液供给器2400安置在一起时，对湿处理装置3000的结构和构造可以允许多种修改。例如，干燥流体供给器2800可以与处理室2100整体地提供。在其他实施方式中，可以提供除了处理室2100之外另外的室作为干燥室(未显示)，并且干燥流体供给器2800可以连接至干燥室。
干燥流体供给器2800和洗涤液供给器2400可以彼此在一起一体提供。因此，洗涤液喷嘴2420和干燥流体喷嘴2820两者都可以通过第一驱动器2480操作，并且化学品喷嘴2520可以通过第二驱动器2580操作。第一驱动器2480可以包括第一水平臂2482、第一杆2484和第一马达2486。第二驱动器2580可以包括第二水平臂2582、第二杆2584和第二马达2586。第一和第二杆2484和2584可以直接连接至相应的第一和第二马达2486和2586，并且因此可以按照其相应中心轴旋转。第一臂2482可以连接至第一杆2484并且连接至洗涤液喷嘴2420和干燥流体喷嘴2820，使得喷嘴2420和2820相对于基板W的相对位置可以通过第一马达2486精确控制。以相同的方式，第二臂2582可以连接至第二杆2484和化学品喷嘴2520，使得化学品喷嘴2520相对于基板W的相对位置可以通过第二马达2586精确控制。
化学品供给器2500、洗涤液供给器2400和干燥流体供给器2800可以连接至控制器2600，并且因此可以通过控制器2600根据湿处理装置3000中湿处理的阶段单独地控制。
例如，控制器2600可以单独地连接至化学品供给器2500的驱动单元的第一阀2542、洗涤液供给器2400的驱动单元的第二阀2442以及干燥流体供给器2800的驱动单元的第三阀2842。因此，可以将合适量的化学品混合物、洗涤液和干燥流体根据湿处理的阶段自动供给到处理室2100中。此外，第一和第二源槽2511和2512也可以连接至控制器2600，并且因此，可以进料至化学品储存器2560的第一和第二化学品源的量也可以通过控制器2600控制。化学品混合物的组成和浓度可以通过控制器2600确定。此外，在线加热器2591可以通过控制器2600控制，使得化学品混合物的处理温度可以通过控制器2600确定和检查。
虽然本例证实施方案公开了将化学品混合物、洗涤液和干燥流体供给至处理室2100的上部，也可以将洗涤液和干燥流体根据湿处理装置3000的操作条件和安装需要供给至处理室2100的下部。
图7图示了描述具有图4中所示化学品供给器的用于进行湿处理的装置的结构图。图7中所示的湿处理装置可以具有与图6中所示的湿处理装置基本上相同的结构，除了化学品供给器的构造之外。因此，将参考图4的化学品供给器描述图7中所示的湿处理装置。具有与图6中相应特征相同结构的特征由图6中使用的相同附图标记识别。
参考图7，根据另一个例证实施方案的用于进行湿处理的装置4000(在下文中称为湿处理装置)可以包括用于当将化学品源进料至化学品储存器3560时加热化学品源的第一和第二在线加热器3591和3592。因此，化学品混合物可以在高温容纳在化学品储存器3560中。
可以将化学品源在到达化学品储存器3560之前加热至约处理温度。因此，化学品混合物可以在处理温度备用。因此，可以不需要将化学品混合物在备用状态下在处理室中加热，这可以有助于减少化学品供给器3500的操作成本。化学品储存器3560可以用盖子覆盖并且充分地与环境隔离。因此，化学品混合物的蒸发可以最小化，尽管处理温度高于室温。化学品混合物的性质可以几乎不改变，并且在湿处理装置4000中化学品混合物的使用期限可以延长。
可以将温度补偿器3595进一步提供至与处理室3100相邻的供给线3548，并且如此可以补偿通过供给线3548的化学品混合物的热损失。可以充分地补偿化学品混合物在从化学品储存器3560至化学品喷嘴3520的移动过程中的热损失，并且化学品混合物的温度可以刚好在将化学品混合物喷射到基板W上之前接近于处理温度。
可以不将在线加热器提供至湿处理装置4000中的供给线3548。因此，供给线3548的长度可以尽可能减小，并且因此，可以将通过供给线3548的热损失最小化。作为结果，化学品储存器3560的位置可以与处理室3100相邻。在这种情况下，当在湿处理装置4000中提供多个处理室3100时，可以将多个化学品储存器3560以使得化学品储存器3560可以以一对一的方式对应于处理室3100的构造提供。
图8图示了描述图7中所示的用于进行湿处理的装置的变体的结构图。在图8中，虽然化学品混合物被公开为可以通过处理室的底部供给，考虑到湿处理装置的使用条件和安装需求，可以使用处理室的任何其他部分如顶部用于供给化学品混合物。
参考图8，湿处理装置4000a可以通过包括以下各项而不同于图7中所示的湿处理装置：第一处理室3110，连接至第一处理室3110的第一化学品储存器3560a，第二处理室3120，以及连接至第二处理室3120的第二化学品储存器3560b。第一化学品储存器3560a可以连接至第一源槽3510a，并且第二化学品储存器3560b可以连接至第二源槽3510b。第一源槽3510a中的第一化学品源可以被第一在线加热器3591a和3592a加热，并且第一化学品混合物可以在第一处理温度容纳在第一化学品储存器3560a中。第二源槽3510b中的第二化学品源可以被第二在线加热器3591b和3592b加热，并且第二化学品混合物可以在第二处理温度容纳在第二化学品储存器3560b中。因此，第一化学品混合物可以与第二化学品混合物相同，或者可以不同于第二化学品混合物。
因此，可以在第一处理室3110中进行使用第一化学品混合物的第一湿处理，并且可以在第二处理室3120中进行使用第二化学品混合物的第二湿处理。第一湿处理可以与第二湿处理独立地在湿处理装置4000中进行。因此，多个湿处理可以在同一湿处理装置4000中在单独的处理条件下彼此独立地进行。例如，第一化学品混合物的组成、浓度和质量流量可以与第二化学品混合物不同。第一温度补偿器3595a可以设置在第一供给线3548a上，并且第二温度补偿器3595b可以设置在第二供给线3548b上。因此，可以将第一和第二化学品混合物的温度分别单独地控制为接近于第一和第二处理温度。
盒3910和传递单元3920可以位于湿处理装置4000a的一侧。多个基板W可以堆叠在盒3910中，并且可以将盒3910中的基板W通过传递单元3920装载到处理室3100中。此外，当对于处理室3510中的基板完成湿处理时，可以将处理过的基板通过传递单元3920卸载到盒3910中。例如，基板W可以包括半导体基板如晶片，盒3910可以包括晶片盒。传递单元3920可以包括通过控制器3600控制的机械手。
根据湿处理装置的例证实施方案，化学品混合物可以在室温在封闭化学品储存器中备用，并且可以在向处理室移动的同时被加热至处理温度。因此，在备用状态下可以不需要加热化学品混合物，并且可以不需要在化学品储存器中安装内部循环回路用于加热湿处理装置中的化学品混合物。因此，可以减少湿处理装置的操作成本。此外，化学品混合物可以在处理温度在封闭化学品储存器中在不蒸发化学品混合物的情况下备用。因此，化学品混合物可以不需要在备用状态加热并且可能不需要在化学品储存器中安装内部循环回路用于加热湿处理装置中的化学品混合物。尤其是，当在处理室与化学品储存器之间的供给线上不存在在线加热器时，多个处理室可以以一对一的方式连接至多个化学品储存器。因此，多个湿处理可以在单个湿处理装置中彼此独立地在单独的条件下进行。
在湿处理装置中进行湿处理的方法
图9图示了显示根据一个例证实施方案的在基板上进行湿处理的方法的处理阶段的流程图，并且图10是显示图9中所示的化学品混合物的加热阶段的处理子阶段的流程图。
参考图1、6、9和10，化学品混合物C可以在室温被容纳在化学品储存器2560中(S100)，并且可以将要处理的基板W装载到处理室2100中(S200)。化学品储存器2560可以用盖子覆盖并且因此可以与环境分离或隔绝。
可以将基板W单独地从盒拉出并且可以通过传递单元，如机械手装载到处理室2100中。当开始湿处理时，可以打开源槽2510的阀并且可以将化学品源从源槽2510进料到化学品储存器2100中。化学品源可以在室温被容纳在源槽2510中。因此，可以将化学品源在室温在化学品储存器2560中彼此混合，从而在储存器2560中在室温形成化学品混合物。化学品储存器2560可以用盖子覆盖并且因此可以充分地与环境隔离。此外，压力控制气体可以填充储存器2560的内部空间中空的部分，使得可以将内部压力施加至化学品储存器2560中的化学品混合物。如此，可以充分防止化学品混合物蒸发。因此，可以防止化学品混合物的性质改变并且可以充分延长化学品混合物的使用期限。
之后，可以将化学品混合物C从化学品储存器2560排出，并且可以将其供给至处理室2100(S300)。例如，可以通过牵引压力施加器将牵引压力从化学品储存器2560的外部施加至化学品混合物C的下部，并且因此，可以将化学品混合物C从化学品储存器2560引出。在其他实施方式中，可以通过推挤压力施加器将推挤压力施加至化学品储存器2560中化学品混合物C的上部，并且因此，可以将化学品混合物C从化学品储存器2560推出。
在本例证实施方案中，可以通过控制在供给线2548中流动的化学品混合物的量的空气泵将牵引压力施加至化学品混合物的下部。可以将化学品储存器2560的内部压力控制为足够高以推动和使化学品混合物C向处理室2100移动，这可以有助于增加供给线2548中化学品混合物C的流速。
当将化学品混合物C通过供给线2548移动至处理室2100时，可以将化学品混合物C加热至处理温度(S400)。可以将化学品混合物C用可以安置在供给线2548上的在线加热器2591加热(S410)。之后，加热的化学品混合物C可以到达化学品喷嘴2520。根据一个实施方式，温度补偿器2595可以补偿通过供给线2548的化学品混合物的热损失(S420)。例如，与处理室2100相邻的供给线2548可以用温度补偿器2595再加热，从而补偿通过供给线2548的化学品混合物C的热损失。在本例证实施方案中，具有高于化学品混合物C的温度的热补偿流体F可以流动通过另外的管线，并且化学品喷嘴2520或供给线2548可以穿过另外的管线。如此，可以将热从另外的管线中的热补偿流体F传递至化学品混合物C，从而补偿化学品混合物C的热损失。因此，可以将化学品混合物C的温度控制为接近于处理温度。
之后，可以将化学品混合物C在处理温度喷射到基板W上(S500)，并且可以在湿处理装置3000中在基板W上进行湿处理。其后，可以将洗涤液如去离子水喷射到基板W上，并且可以将残留的化学品混合物C从基板W移除(S600)。当将残留的化学品混合物C从基板W充分地移除时，可以将干燥流体通过干燥流体供给器2800供给到基板W上，并且可以将洗涤液干燥，通过干燥从基板W移除(S700)。在完成使用化学品供给器1000的湿处理之后，可以将基板W从处理室2100卸载并且可以将其堆叠在盒中。化学品混合物C的喷射、洗涤液的喷射和干燥流体的喷射可以根据湿处理的处理步骤由控制器2600单独地控制。
图11图示了显示根据另一个例证实施方案用于在基板上进行湿处理的方法的处理阶段的流程图，并且图12是显示在化学品储存器中在处理温度含有化学品混合物的图11中所示的阶段的处理子阶段的流程图。
参考图4、7、11和12，化学品混合物C可以在高于室温的处理温度容纳在化学品储存器3560中(S150)，并且可以将要处理的基板W装载到处理室3100中(S250)。化学品储存器2560可以用盖子覆盖并且因此可以与环境分离或隔绝。
可以将化学品源S1和S2从第一和第二源槽3511和3512通过相应源进料线3544和3546进料至化学品储存器3560(S152)。在这种情况下，可以在湿处理装置4000中提供多个处理室3100。可以将化学品源S1和S2在流动通过源进料线3544和3546的同时分别通过第一和第二在线加热器3591和3592加热至处理温度(S154)。在线加热器3591和3592可以安置在相应源进料线3544和3546上。例如，可以将化学品源S1和S2通过安置在源进料线3544和3546上的真空泵从源槽3511和3512排出。真空泵可以包括用于控制化学品源S1和S2的质量流量的通量控制器。
温度补偿器可以安置在源进料线3544和3546上以补偿通过相应源进料线3544和3546的化学品源S1和S2的热损失。因此，可以将化学品源S1和S2的温度精确控制到处于或接近处理温度。
化学品储存器3560可以用盖子覆盖并且因此可以充分地与环境隔离。此外，压力控制气体可以填充储存器3560的内部空间的空部分，使得可以将内部压力施加至化学品储存器3560中的化学品混合物C。如此，可以充分地防止化学品混合物C蒸发。因此，可以防止化学品混合物C的性质改变并且可以充分地延长化学品混合物的使用期限。
之后，可以将化学品混合物C从化学品储存器3560排出，并且可以将其供给至处理室3100(S350)。例如，可以通过牵引压力施加器将牵引压力从化学品储存器3560的外部施加至化学品混合物C的下部，并且从而，可以将化学品混合物C从化学品储存器3560向外引出。在其他实施方式中，可以通过推挤压力施加器将推挤压力施加至化学品储存器3560中化学品混合物C的上部，并且从而，可以将化学品混合物C从化学品储存器3560推出。可以将另一个温度补偿器3595安置在供给线3548上以补偿通过源供给线3548的化学品混合物C的热损失(S450)。如此，可以刚好在将化学品混合物C喷射到基板W上之前将化学品混合物C的温度精确控制为接近处理温度。
之后，可以将化学品混合物C在处理温度喷射到基板W上(S550)，并且可以在湿处理装置4000中在基板W上进行湿处理。其后，可以将洗涤液如去离子水喷射到基板W上，并且可以将残留的化学品混合物C从基板W移除(S650)。当将残留的化学品混合物C从基板W充分地移除时，可以通过干燥流体供给器3800将干燥流体供给到基板W上，并且可以将洗涤液通过干燥从基板W移除(S750)。在完成使用化学品供给器2000的湿处理后，可以将基板W从处理室3100卸载，并且可以将其堆叠在盒中。化学品混合物C的喷射、洗涤液的喷射和干燥流体的喷射可以根据湿处理的处理阶段通过控制器3600单独地控制。
例如，当在湿处理装置4000中提供多个处理室3100并且每个处理室3100单独地连接至化学品储存器3560中的相应化学品储存器时，控制器3600可以以使得化学品源S1和S2在不同条件下进料至每个化学品储存器3560的方式控制源槽3510。换言之，化学品储存器3560可以含有不同的化学品混合物C并且处理室3560可以通过使用相应化学品供给器3500彼此独立地操作。因此，可以在单个湿处理装置4000中彼此独立地进行多个湿处理。
根据湿处理装置和在湿处理装置中进行湿处理的方法的例证实施方案，可以将在线加热器安置在用于将化学品混合物供给到处理室中的供给线上或用于将化学品源进料到化学品储存器中的源进料线上。可以将化学品混合物刚好在进行湿处理时控制在高温如处理温度。可以将化学品源或化学品混合物在移动通过源进料线或通过供给线时加热至高温。因此，化学品混合物可以不需要在不进行湿处理的备用状态下加热，这可以有助于减少化学品供给器的操作成本。此外，化学品供给器的化学品储存器可以构造为其中将储存器的内部空间与环境隔绝的封闭系统，而不是开放系统，这可以有助于最小化化学品混合物的蒸发。因此，可以避免化学品混合物的性质改变，并且可以充分地延长化学品混合物的使用期限，这可以最小化用于湿处理的化学品混合物的消耗。当在处理室与化学品储存器之间的供给线上不设置在线加热器时，多个处理室可以以一对一的方式连接至多个化学品储存器。如此，多个湿处理可以在单个湿处理装置中在单独的条件下彼此独立地进行。
根据例证实施方案的化学品供给器、包括化学品供给器的处理装置和使用化学品供给器处理基板的方法可以在存储器的形成中使用，所述存储器可以应用于多种电子系统包括半导体器件和IC芯片如电信系统和存储系统。
通过概述和综述的方式，在一般的湿处理中，当开始基板处理过程时，将化学品供给器中的化学品混合物在高温通过多个供给线单独地供给至相应处理室。将高温化学品混合物在高压下从化学品供给器排出并以相对高的体积速率供给到处理室中，从而将化学品混合物的供给时间缩短为尽可能快并且将通过供给线的热损失最小化。因此，刚好在开始湿处理时，将高温化学品混合物供给至处理室。
然而，一般的湿处理需要将化学品在化学品供给器中在准备用于湿处理的备用状态下保持在高温。因此，需要将化学品通过内部化学品循环回路循环同时周期性地加热，这必然增加湿处理的成本。此外，化学品的成分容易在高温蒸发，并且即使在将化学品混合之后，化学品的性质也可能随时间改变(在化学品混合物的使用期限内)。因此，在化学品混合物的使用期限期满之后，需要将化学品供给器和供给线中的化学品的残留物移除并且洗涤。在使用期限过期后通常将残留化学品混合物用新化学品混合物替换，并且之后使用新化学品混合物进行湿处理。因此，化学品混合物必然由于湿处理中的残留物而被浪费，并且由于化学品混合物的置换时间湿处理需要很长时间完成。
因此，希望有一种改进的用于湿处理的化学品混合物，通过其化学品消耗和用于湿处理的处理时间充分减少。
本公开的实施方案提供一种化学品供给器，其中在室温含有化学品混合物并且在供给线上具有用于将化学品混合物加热至高温的在线加热器，而没有化学品混合物在化学品供给器内的任何加热。
实施方案还提供一种用于使用以上化学品供给器在基板上进行湿处理的装置。
实施方案还提供在以上湿处理装置中在基板上进行湿处理的方法。
根据这些实施方案，可以将在线加热器安置在用于将化学品混合物供给到处理室中的供给线上或安置在用于将化学品源进料到化学品储存器中的源进料线上，并且可以将化学品混合物刚好在可以进行湿处理时控制在高温下如处理温度。换言之，可以将化学品源或化学品混合物在移动通过源进料线或通过供给线时加热至高温。因此，化学品混合物可以不需要在可能不进行湿处理的备用状态加热，这可以有助于减少化学品供给器的操作成本。此外，化学品供给器的化学品储存器可以构造为其中可以将储存器的内部空间与环境隔绝的封闭系统而不是开放系统，这可以有助于最小化化学品混合物的蒸发。因此，可以阻止化学品混合物的性质改变并且因此可以充分地延长化学品混合物的使用期限，这可以将用于湿处理的化学品混合物的消耗最小化。特别是，当可以在处理室与化学品储存器之间的供给线上不提供在线加热器时，可以将多个处理室一对一地连接至多个化学品储存器。因此，可以在单个湿处理装置中在单独的条件下彼此独立地进行多个湿处理。
在本文公开了例证实施方案，并且虽然采用了特定的术语，但它们仅以一般的和描述性的意义使用和解释而没有用于限制的目的。在一些情况下，如在提交本申请时的本领域一般技术人员所显见的，关于特定实施方案描述的特征、特征和／或元件可以单独地或与关于其他实施方案描述的特征、特性和／或元件组合使用，除非另外具体地指出。因此，本领域技术人员将理解的是，在不违背如在以下权利要求中陈述的其精神和范围的情况下可以进行形式和细节上的多种改变。

Claims (33)

1.一种化学品供给器，所述化学品供给器包括：
化学品储存器，所述化学品储存器容纳处于室温的化学品混合物，所述化学品储存器的内部空间与环境隔离；
供给线，通过所述供给线将所述化学品混合物从所述化学品储存器供给至处理室；
在线加热器，所述在线加热器位于所述供给线上并且将在所述供给线中的所述化学品混合物加热至处理温度；和
动力源，所述动力源驱动所述化学品混合物，以使所述化学品混合物向所述处理室移动。
2.如权利要求1所述的化学品供给器，其中所述化学品储存器包括：
容器，所述容器具有源入口和混合物出口，通过所述源入口提供所述化学品混合物的化学品源，并且通过所述混合物出口排出含有所述化学品源的所述化学品混合物；和
盖子，所述盖子与所述容器组合，使得所述容器被所述盖子覆盖并且由所述容器和所述盖子限定的所述化学品储存器的内部空间是封闭的且与环境隔绝，所述盖子具有气体入口阀和气体出口阀，通过所述气体入口阀将压力控制气体供给到所述储存器中，从而控制所述储存器的内部压力，通过所述气体出口阀将所述压力控制气体从所述储存器排出。
3.如权利要求2所述的化学品供给器，其中所述压力控制气体包括氩气和氮气中的一种。
4.如权利要求1所述的化学品供给器，其中所述在线加热器包括：
加热器主体，
细管，所述细管设置在所述加热器主体中，使得所述供给线连接在其第一和第二端部并且所述化学品混合物流动通过所述细管，
热传递部件，所述热传递部件填充所述加热器主体并且围绕所述细管，以及
加热部件，所述加热部件加热所述热传递部件，使得热从所述热传递部件传递至所述细管。
5.如权利要求1所述的化学品供给器，所述化学品供给器还包括：
化学品喷嘴，所述化学品喷嘴设置在所述处理室中的基板上方的所述供给线的末端部分，使得所述化学品喷嘴将所述化学品混合物喷射到所述基板上，以及
温度补偿器，所述温度补偿器设置在与所述处理室相邻的供给线上，所述温度补偿器补偿通过所述供给线的所述化学品混合物的热损失。
6.如权利要求5所述的化学品供给器，其中所述温度补偿器包括：
管线，热补偿流体流动通过所述管线，所述管线包封与所述处理室相邻的供给线，
热补偿流体源，所述热补偿流体源位于所述管线的第一末端部分并且含有所述热补偿流体，以及
接收器，所述接收器位于所述管线的第二末端部分并且接收所述热补偿流体。
7.如权利要求6所述的化学品供给器，其中所述热补偿流体包括在70℃至100℃温度的去离子水。
8.如权利要求1所述的化学品供给器，其中所述动力源包括空气泵，通过所述空气泵控制供给到所述处理室中的所述化学品混合物的量。
9.一种化学品供给器，所述化学品供给器包括：
多个源槽，所述多个源槽中的每个源槽容纳多个化学品源中的相应化学品源；
多个源进料线，所述多个源进料线中的每个源进料线连接至相应源槽并且在其上具有进料泵，所述化学品源中的相应化学品源通过所述进料泵经由相应源进料线进料；
多个在线加热器，所述多个在线加热器中的每个在线加热器安置在相应源进料线上并且将所述相应化学品源加热至处理温度；
化学品储存器，所述化学品储存器连接至所述源进料线并且将处于所述处理温度的所述化学品源混合成化学品混合物，所述化学品储存器的内部空间与环境隔离；
供给线，通过所述供给线将所述化学品混合物从所述化学品储存器供给至处理室；和
动力源，所述动力源驱动所述化学品混合物向所述处理室移动。
10.如权利要求9所述的化学品供给器，所述化学品供给器还包括安置在与所述处理室相邻的供给线上的温度补偿器，所述温度补偿器补偿通过所述供给线的化学品混合物的热损失。
11.如权利要求9所述的化学品供给器，所述化学品供给器还包括在所述供给线的末端部分处安置在基板上方的化学品喷嘴，所述化学品喷嘴将所述化学品混合物喷射到所述基板上。
12.如权利要求11所述的化学品供给器，所述化学品供给器还包括多个第一温度补偿器，所述多个第一温度补偿器中的每个第一温度补偿器安置在所述在线加热器与所述化学品储存器之间的相应源进料线上以补偿通过所述相应源进料线的相应化学品源的热损失。
13.如权利要求12所述的化学品供给器，所述化学品供给器还包括安置在与所述处理室相邻的供给线上的第二温度补偿器，所述第二温度补偿器补偿通过所述供给线的所述化学品混合物的热损失，从而刚好在将所述化学品混合物喷射到所述基板上之前将所述化学品混合物的温度升高到所述处理温度。
14.如权利要求9所述的化学品供给器，其中所述化学品储存器包括容器和盖子，所述容器中容纳所述化学品混合物，所述盖子与所述容器组合，使得所述容器被所述盖子覆盖并且由所述容器和所述盖子限定的所述化学品储存器的内部空间是封闭的且与环境隔绝，所述盖子具有气体入口阀和气体出口阀，通过所述气体入口阀将压力控制气体供给到所述储存器中从而控制所述储存器的内部压力，通过所述气体出口阀将所述压力控制气体从所述储存器排出。
15.一种用于进行湿处理的装置，所述装置包括：
处理室，要通过湿处理进行处理的基板位于其中；
化学品供给器，所述化学品供给器将进行所述湿处理的化学品混合物供给到所述基板上，所述化学品供给器包括容纳所述化学品混合物的化学品储存器和用于将所述化学品混合物加热至处理温度的在线加热器，所述化学品储存器的内部空间与环境隔离；和
洗涤液供给器，所述洗涤液供给器将洗涤液供给到所述基板上。
16.如权利要求15所述的装置，其中所述化学品供给器包括供给线，通过所述供给线将所述化学品混合物从所述化学品储存器供给至所述处理室，所述在线加热器安置在所述供给线上。
17.如权利要求16所述的装置，其中所述供给线安置在单个化学品储存器与多个所述处理室之间。
18.如权利要求15所述的装置，其中：
所述化学品供给器包括多个源槽和多个源进料线，所述多个源槽的每个源槽容纳多个化学品源中的相应化学品源，并且所述多个源进料线中的每个源进料线连接至相应源槽并且将相应化学品源进料至所述化学品储存器，并且
所述在线加热器包括多个在线加热器，所述多个在线加热器中的每个在线加热器安置在相应源进料线上，使得所述化学品源被加热至用于所述湿处理的处理温度并且在所述处理温度彼此混合成所述化学品混合物。
19.如权利要求18所述的装置，其中：
多个所述处理室和多个所述化学品储存器设置为所述化学品储存器以一对一的方式对应于所述处理室的构造，并且
每个化学品储存器中的化学品混合物具有不同的性质，使得多个湿处理彼此独立地在每个处理室中分别进行。
20.如权利要求19所述的装置，所述装置还包括：
供给线，通过所述供给线将所述化学品混合物中的相应化学品混合物从相应化学品储存器供给至对应的处理室；和
温度补偿器，所述温度补偿器安置在与所述处理室相邻的对应的供给线上并且补偿通过所述供给线的相应化学品混合物的热损失。
21.如权利要求15所述的装置，其中所述基板包括多个基板，所述装置还包括：
盒，其中堆叠有所述多个基板；
传递单元，所述传递单元将所述多个基板中的一个基板从所述盒装载到所述处理室中并且将所述一个基板从所述处理室卸载至所述盒；和
控制器，所述控制器控制所述化学品储存器，使得根据所述湿处理的处理步骤将所述化学品混合物喷射到所述基板上。
22.如权利要求15所述的装置，所述装置还包括干燥流体供给器，所述干燥流体供给器供给干燥流体，用于通过干燥从所述基板移除所述洗涤液。
23.如权利要求22所述的装置，其中所述干燥流体供给器与所述洗涤液供给器整体地安置成一体。
24.一种在基板上进行湿处理的方法，所述方法包括：
提供用于所述湿处理的化学品混合物，所述化学品混合物在室温被容纳在化学品储存器中，所述化学品储存器的内部空间与环境隔离；
将所述化学品混合物从所述化学品储存器供给至其中装载所述基板的处理室；
将所述化学品混合物加热至所述湿处理的处理温度，同时将所述化学品混合物供给至所述处理室；
在所述处理温度将所述化学品混合物喷射到所述基板上；和
将洗涤液喷射到所述基板上以将所述化学品混合物的残留物从所述基板移除。
25.如权利要求24所述的方法，其中将所述化学品混合物供给至所述处理室包括将所述化学品混合物从所述化学品储存器排出，所述排出通过从所述化学品储存器的外部施加至所述化学品混合物的下部的牵引压力和施加至所述化学品储存器中的所述化学品混合物的上部的推挤压力中的一个或多个进行。
26.如权利要求24所述的方法，其中加热所述化学品混合物是通过在线加热器进行的，所述在线加热器安置在将所述化学品混合物从所述化学品储存器供给至所述处理室的供给线上。
27.如权利要求26所述的方法，所述方法还包括将所述化学品混合物在其中流动的所述供给线在与所述处理室相邻的位置再加热，以便补偿通过所述供给线的化学品混合物的热损失。
28.一种在基板上进行湿处理的方法，所述方法包括：
提供用于所述湿处理的化学品混合物，所述化学品混合物在所述湿处理的处理温度被容纳在化学品储存器中，所述化学品储存器的内部空间与环境隔离；
将所述化学品混合物从所述化学品储存器供给至其中装载所述基板的处理室；
将所述化学品混合物在所述处理温度喷射到所述基板上；和
将洗涤液喷射到所述基板上以从所述基板移除所述化学品混合物的残留物。
29.如权利要求28所述的方法，其中提供在所述处理温度在所述化学品储存器中的用于所述湿处理的所述化学品混合物包括：
将所述化学品混合物的化学品源通过多个源进料线进料至所述化学品储存器；和
通过安置在所述源进料线中的相应源进料线上的在线加热器将所述化学品源加热至所述处理温度。
30.如权利要求29所述的方法，所述方法还包括在与所述处理室相邻的位置处加热供给线，所述化学品混合物通过所述供给线从所述化学品储存器流动至所述处理室，以便补偿通过所述供给线的所述化学品混合物的热损失。
31.如权利要求28所述的方法，其中将所述化学品混合物供给至所述处理室包括将所述化学品混合物从所述化学品储存器排出，所述排出通过从所述化学品储存器的外部施加至所述化学品混合物的下部的牵引压力和施加至所述化学品储存器中的所述化学品混合物的上部的推挤压力中的一个或多个进行。
32.一种化学品供给器，所述化学品供给器包括：
化学品储存器，所述化学品储存器容纳处于室温的化学品混合物，所述化学品储存器的内部空间与环境隔离；
供给线，通过所述供给线将所述化学品混合物从所述化学品储存器供给至处理室；和
在线加热器，所述在线加热器位于所述供给线上并且将所述供给线中的所述化学品混合物加热至处理温度，所述在线加热器包括：
加热器主体，
在所述加热器主体内的具有盘形的管，所述供给线连接至所述管，使得所述化学品混合物流动通过所述管，
热传递部件，所述热传递部件填充所述加热器主体并且围绕所述管，和
加热部件，所述加热部件加热所述热传递部件，使得热从所述热传递部件传递至所述管。
33.如权利要求32所述的化学品供给器，其中所述化学品储存器包括气体入口阀，所述气体入口阀将压力控制气体供给到所述化学品储存器中，所述压力控制气体提供驱动力以使所述化学品混合物移动通过所述供给线。
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