CN103988587A - 等离子体产生装置 - Google Patents
等离子体产生装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103988587A CN103988587A CN201280057892.8A CN201280057892A CN103988587A CN 103988587 A CN103988587 A CN 103988587A CN 201280057892 A CN201280057892 A CN 201280057892A CN 103988587 A CN103988587 A CN 103988587A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- plasma generating
- generating device
- dielectric film
- electrode
- plasma
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 35
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 27
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 25
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 21
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 9
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 6
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 4
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 4
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 2
- 230000001877 deodorizing effect Effects 0.000 abstract description 16
- 230000000844 anti-bacterial effect Effects 0.000 abstract description 9
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract description 2
- 241000894007 species Species 0.000 description 17
- 230000001954 sterilising effect Effects 0.000 description 14
- 238000004659 sterilization and disinfection Methods 0.000 description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 14
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 11
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 241000894006 Bacteria Species 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 6
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 5
- LSDPWZHWYPCBBB-UHFFFAOYSA-N Methanethiol Chemical compound SC LSDPWZHWYPCBBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 3
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 2
- 241000700605 Viruses Species 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 230000009916 joint effect Effects 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 208000024891 symptom Diseases 0.000 description 2
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 description 2
- WUOACPNHFRMFPN-SECBINFHSA-N (S)-(-)-alpha-terpineol Chemical compound CC1=CC[C@@H](C(C)(C)O)CC1 WUOACPNHFRMFPN-SECBINFHSA-N 0.000 description 1
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 1
- VEAHHGDAQKXNNG-UHFFFAOYSA-H C(C=1C(C(=O)[O-])=CC=CC1)(=O)[O-].[Zr+4].[Ba+2].C(C=1C(C(=O)[O-])=CC=CC1)(=O)[O-].C(C=1C(C(=O)[O-])=CC=CC1)(=O)[O-] Chemical compound C(C=1C(C(=O)[O-])=CC=CC1)(=O)[O-].[Zr+4].[Ba+2].C(C=1C(C(=O)[O-])=CC=CC1)(=O)[O-].C(C=1C(C(=O)[O-])=CC=CC1)(=O)[O-] VEAHHGDAQKXNNG-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000005041 Mylar™ Substances 0.000 description 1
- 229910002367 SrTiO Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FQNGWRSKYZLJDK-UHFFFAOYSA-N [Ca].[Ba] Chemical compound [Ca].[Ba] FQNGWRSKYZLJDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003044 adaptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 1
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000000172 allergic effect Effects 0.000 description 1
- OVKDFILSBMEKLT-UHFFFAOYSA-N alpha-Terpineol Natural products CC(=C)C1(O)CCC(C)=CC1 OVKDFILSBMEKLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940088601 alpha-terpineol Drugs 0.000 description 1
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 1
- 208000010668 atopic eczema Diseases 0.000 description 1
- 229910000963 austenitic stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 239000004568 cement Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000002781 deodorant agent Substances 0.000 description 1
- 238000004332 deodorization Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000003205 fragrance Substances 0.000 description 1
- 208000015181 infectious disease Diseases 0.000 description 1
- 206010022000 influenza Diseases 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 229910001105 martensitic stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 238000007651 thermal printing Methods 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32532—Electrodes
- H01J37/32559—Protection means, e.g. coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/2406—Generating plasma using dielectric barrier discharges, i.e. with a dielectric interposed between the electrodes
- H05H1/2441—Generating plasma using dielectric barrier discharges, i.e. with a dielectric interposed between the electrodes characterised by the physical-chemical properties of the dielectric, e.g. porous dielectric
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61L—METHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
- A61L9/00—Disinfection, sterilisation or deodorisation of air
- A61L9/14—Disinfection, sterilisation or deodorisation of air using sprayed or atomised substances including air-liquid contact processes
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25D—REFRIGERATORS; COLD ROOMS; ICE-BOXES; COOLING OR FREEZING APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F25D17/00—Arrangements for circulating cooling fluids; Arrangements for circulating gas, e.g. air, within refrigerated spaces
- F25D17/04—Arrangements for circulating cooling fluids; Arrangements for circulating gas, e.g. air, within refrigerated spaces for circulating air, e.g. by convection
- F25D17/042—Air treating means within refrigerated spaces
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25D—REFRIGERATORS; COLD ROOMS; ICE-BOXES; COOLING OR FREEZING APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F25D2317/00—Details or arrangements for circulating cooling fluids; Details or arrangements for circulating gas, e.g. air, within refrigerated spaces, not provided for in other groups of this subclass
- F25D2317/04—Treating air flowing to refrigeration compartments
- F25D2317/041—Treating air flowing to refrigeration compartments by purification
- F25D2317/0415—Treating air flowing to refrigeration compartments by purification by deodorizing
Abstract
为了提供不但非常安全而且具有优良的杀菌性能和除臭性能的等离子产生装置,此等离子体产生装置设置有一对电极并且用来在电极之间施加预定的电压时释放等离子体,该对电极在其面对的表面中的至少一侧上形成有电介质膜,该等离子体产生装置被配置为使得电介质膜的介电常数为20至200。
Description
技术领域
本发明涉及一种等离子体产生装置。
背景技术
近来,由于特应性症状、哮喘症状和过敏症状的携带者的增加以及增大的传染风险,诸如在新型流行性感冒的爆发性流行中所看到的那样,对生活环境中的空气质量控制诸如杀菌和除臭的需求越来越大。此外,随着生活标准提高,食物贮藏的数量和存储剩余食物的机会增加。因此,诸如冰箱的贮藏设备中的环境控制的重要性也在增长。
在试图控制生活环境的空气质量的现有技术中,通常使用以过滤器为代表的物理控制。按照物理控制,取决于过滤器孔的尺寸,可以俘获在空中漂浮的相对大的灰尘和碎屑,也可以俘获细菌、病毒等。此外,在有极大量的吸附位置的情形下,诸如在活性碳中那样,可以俘获导致臭味的分子。然而,存在的问题在于,待控制的空间中的空气要求均匀地经过过滤器以俘获这些物质,装置在尺寸上增大,而且诸如过滤器更换的维护成本也增加,同时对附着物没有效果。因此,作为使得能够进行附着物的杀菌和除臭的手段,可以被作为示例的是在待杀菌和除臭的空间中释放化学活性物种(activespecies)。在化学制剂的喷洒或者增香剂或除臭剂的释放过程中,需要预先制备活性物种,而且其定时的补充是必需的。另一方面,近年来,利用通过在周围环境中产生等离子体而制成的化学活性物种进行杀菌和除臭的装置增多。
通过由等离子体向周围环境中的释放产生的诸如离子或原子团的活性物种进行杀菌和除臭的技术可以分成以下两类:
(1)所谓的被动型等离子体产生装置,其中在周围环境中漂浮的细菌和病毒(以下称为“漂浮细菌”)或恶臭物质(以下称为“臭气”)在装置中的有限容积内与活性物种反应(例如,参见专利文献1);以及
(2)所谓的主动型等离子体产生装置,其中由等离子体产生部分产生的活性物种被释放到具有比(1)更大的容积的封闭空间(例如起居室、卫生间、车辆内部等)内,并且该活性物种通过在周围环境中与漂浮细菌或臭气的碰撞而与漂浮细菌或臭气反应(例如,参见专利文献2)。
被动型等离子体产生装置(1)具有以下优点,因为在小容积内通过等离子体的产生而制成具有高浓度的活性物种,所以可以预期高的杀菌和除臭效果。另一方面,该装置具有以下缺点,其尺寸因为漂浮细菌或臭气必须被引入到该装置内而增大,可能存在作为等离子体产生的常见副产物的对人体有害的臭氧,并且用于吸附或分解的过滤器必须被单独地安装以防止臭氧从该装置中泄漏。
接下来,主动型等离子体产生装置(2)具有以下优点,该装置可以相对小,而且除空气中的漂浮细菌的杀菌或臭气的分解之外,还可以预期附着于衣物的表面的细菌(以下称为“附着细菌”)的杀菌或被吸附在该表面上的臭气的分解。另一方面,该装置具有以下缺点,因为活性物种在与该装置的容积相比很大的封闭空间内扩散,并且具有低浓度,所以不得不只有寿命长的活性物种预期具有杀菌和除臭效果。结果,在具有高臭气浓度(活性物种的浓度的10000倍的高浓度)的空间中,几乎不可能预期具有除臭效果。
由上可知,在被动型等离子体产生装置(1)中,作用仅限于流入该装置中的气流中包含的漂浮细菌或臭气。另一方面,在主动型等离子体产生装置(2)中,不得不仅相对于具有低浓度的漂浮细菌、附着细菌和臭气预期具有这样的效果。换句话说,利用现有技术仅可以实现“漂浮细菌的杀菌和除臭”或者“具有低浓度的漂浮细菌和附着细菌的杀菌和附着臭气的除臭”。
此外,在构成等离子体产生部分的电极中,存在许多情形,其中例如多孔电介质膜被用在电极的等离子体产生区域上。由于这个缘故,因高湿度条件下电介质膜自身的吸湿,电特性被改变,从而抑制等离子体的产生。具体地,在低温(诸如在冰箱中)和湿度极大地变化的环境下,电介质膜自身易于结露冷凝,并且等离子体的产生停止,从而降低杀菌和除臭性能。因此,在冰箱的内部持续处于高湿度状态时,难以维持杀菌性能。
引文列表
专利文献
专利文献1:日本未审查专利申请公开第2002-224211号
专利文献2:日本未审查专利申请公开第2003-79714号
发明内容
技术问题
因此,已经鉴于以上问题设计了本发明,并且本发明将提供一种等离子体产生装置,该等离子体产生装置具有优良的杀菌性能和除臭性能以及高安全性。
技术方案
通过反复的验证,本发明人已经发现,通过在特定范围内调整在电极上形成的电介质膜的相对介电常数,在臭氧的产生被抑制的同时,诸如离子或原子团的活性物种的产生数量增大。结果,本发明人已经在安全地提高等离子体产生装置的杀菌性能和除臭性能方面取得成功。本发明基于这样的发现而已经被完成。
根据本发明的一方面,提供一种等离子体产生装置,其包括一对电极并且用来在电极之间施加预定的电压以释放等离子体,该对电极在其面对的表面中的至少一侧上形成有电介质膜,其中该电介质膜具有20至200的相对介电常数。
例如,电介质膜可以由包含电介质材料和玻璃材料的混合物形成。
按照质量换算,玻璃材料在混合物中的含量可以是电介质材料在混合物中的含量的0.2至10倍。
电介质材料可以包括从Ba、Ti、Ca、Zr、Sr、Y、Mg和Si构成的组选出的至少一种元素作为其组成元素。
例如,电介质材料可以是从氧化物、碳化物、氮化物和硼化物构成的组选出的至少一种化合物。
另一方面,玻璃材料可以包括从Si、Bi、B、Zr、Na、K、Ca和Mg构成的组选出的至少一种元素作为其组成元素。
此外,为了在电极的面对的表面之间限定产生等离子体的间隙,电介质膜可以具有0.1至100μm的表面粗糙度。
有益效果
根据具有这种构造的本发明,通过增加诸如离子或原子团的活性物种的产生数量同时抑制臭氧产生,可以安全地提高等离子体产生装置的杀菌性能和除臭性能。此外,因为通过由电介质材料和玻璃材料的混合物形成电介质膜而提高了电介质膜的致密性,所以该电介质膜除了获得耐压性之外,还获得抗水性方面的改善。因此,高湿度条件下的杀菌性能和除臭性能的降低也得到抑制。因此,根据本发明的等离子体产生装置可以被用于冰箱或诸如洗衣机、洗碗机等的内部的高湿度环境。
附图说明
由以下结合附图的详细说明,本发明的以上和其它目的、特征和其它优点将被更清楚地理解,其中:
图1是示意性地示出根据本发明的一实施方式的等离子体产生装置的视图;
图2是示出该实施方式中的电极部分的俯视图;
图3是沿该实施方式中的电极部分的线A-A截取的横截面视图;
图4是示出该实施方式中的电极部分的主要部分的放大视图;
图5是坐标图,该坐标图示出使用作为示例制造的测试电极来检验除臭率的相对介电常数相关性的结果;
图6是坐标图,该坐标图示出作为示例制造的测试电极的耐湿性;以及
图7是坐标图,该坐标图示出作为示例制造的测试电极的耐压性。
附图标记列表
100:等离子体产生装置
21:一侧的电极
22:另一侧的电极
21b、22b:电介质膜
具体实施方式
以下,将描述本发明。
根据本发明的等离子体产生装置包括一对电极,并且用来在电极之间施加预定的电压以释放等离子体,所述一对电极在其面对的表面中的至少一侧上形成有电介质膜。例如,这样的等离子体产生装置可以以如图1所示的实施方式举例说明。
根据本实施方式的等离子体产生装置100可适用于家用电器,诸如冰箱、洗衣机、洗碗机、衣物干燥机、吸尘器、空调或空气净化器,并且用来对家用电器内部或外部的空气除臭和杀灭家用电器内部或外部的漂浮细菌或附着细菌。
具体地,如图1所示,等离子体产生装置100包括:等离子体电极部分2,用于利用微间隙等离子体产生活性物种,诸如离子或原子团;鼓风机构3,设置在等离子体电极部分2的外部,以向等离子体电极部分2强制吹风(气流);以及电压施加单元4,其向等离子体电极部分2施加预定的电压以释放等离子体。
如图2至图4所示,等离子体电极部分2具有一对电极21和22,并且用来通过电压施加单元4在电极21和22之间施加预定的电压以释放等离子体,所述一对电极21和22在基板21a和22a的各面对的表面上设置有电介质膜21b和22b,同时在其各背对的表面上设置有绝缘体膜21c和22c。电极21和22的每个在平面视图中(当从电极21或22的面板方向观看时)具有基本上矩形的形状,电极部分2的电极21或22的边缘部分形成有施加端2T,电压被从电压施加单元4施加到施加端2T。
基板21a和22a的每个由例如诸如奥氏体不锈钢、铁素体不锈钢或马氏体不锈钢的不锈钢或者诸如铁、铜或铝的导体制成。另一方面,绝缘体膜21c和22c的每个由例如氧化物、碳化物、氮化物、硼化物、玻璃或者诸如环氧树脂、聚酯树脂、PES(聚醚砜)树脂或氟化物树脂的树脂制成。
此外,电极21和22在各电极21和22的对应位置处分别设置有流体循环孔21d和22d,使得各电极21和22被配置为通过流体循环孔21d和22d的连通而作为一个整体是贯通的。
鼓风机构3设置为面向等离子体电极部分2的电极22并且具有吹风机,该吹风机强制地向等离子体电极部分2中形成的流体循环孔(完全开口部分)21d和22d送风。
电压施加单元4包括电源41和驱动电路部分42,驱动电路部分42将来自电源41的电压转换成脉冲电压并且将该脉冲电压施加到每个电极。
根据本实施方式的等离子体产生装置100通过在两个相对电极21和22之间的间隙内产生等离子体并且利用鼓风机构3送风至流体循环孔21b和22b而在电极21和22的附近进行除臭,并且通过释放等离子体中产生的活性物种至封闭空间来进行附着细菌的杀菌。
在根据本发明的等离子体产生装置中,电介质膜的相对介电常数是20至200。当电介质膜的相对介电常数在以上范围内时,在臭氧产生被抑制的同时,诸如离子或者原子团的活性物种的产生数量增加,从而提高除臭性能和杀菌性能。该相对介电常数优选是30至110,更优选是50至90。
具有这样的相对介电常数的电介质膜可以由例如包含电介质材料和玻璃材料的混合物形成。因为通过将电介质材料与玻璃材料混合可以在以上范围内调整相对介电常数,所以在臭氧产生被抑制的同时,可以增加诸如离子或者原子团的活性物种的产生数量。此外,因为通过将电介质材料与玻璃材料混合提高了电介质膜的致密性,所以除耐压性外,电介质膜还获得耐水性的提高。因此,电极对于湿度的适应力也提高,该等离子体产生装置可以被用于冰箱或诸如洗衣机、洗碗机等的内部的高湿度环境。此外,通过将具有高熔点和对基板的低接合性能的电介质材料与具有低熔点的玻璃材料混合,该玻璃材料用作接合剂,从而提高电介质膜对基板的接合性能。
例如,这样的电介质材料可以使用包含Ba、Ti、Ca、Zr、Sr、Y、Mg、Si或类似物作为其组成元素的材料。包括这样的元素的电介质材料可以是例如氧化物、碳化物、氮化物、硼化物等。特别地,该电介质材料可以是例如BaO、TiO2、CaO、ZrO、Sr2O3、Y2O3、MgO、BaTiO3、SrTiO3、BCTZ(锆钛酸钡钙(BaO、TiO2、CaO和ZrO的混合物))、BTZ(锆钛酸钡(BaO、TiO2和ZrO的混合物))、Zr3B4、SrB6、CaB6、MgB2、BN、TiN、ZrN、Ca3N2、Si3N4、SiC、TiC、CaC2、ZrC或类似物。
另一方面,玻璃材料可以使用包含Si、Bi、B、Zr、Na、K、Ca、Mg或类似物作为其组成元素的材料。包括这样的元素的玻璃材料可以是例如由B2O3-ZnO-La2O3、P2O5-B2O3-R'2O-R''O-TiO2-Nb2O5-WO3-Bi2O3(分子式中,R'指碱金属,R''指碱土金属。对以下也一样。)、TeO2-ZnO、B2O3-Bi2O3、B2O3-ZnO-Bi2O3、SiO2-Bi2O3、SiO2-ZnO、B2O3-ZnO、P2O5-ZnO、SiO2、R'2O-R''O-SiO2、SiO2-B2O3-R'2O、SiO2-Al2O3-R'2O、ZrO2-SiO2或类似物制成的玻璃。
在形成电介质膜的混合物中,按质量换算,玻璃材料的含量优选是电介质材料的含量的0.2至10倍。当电介质材料与玻璃材料的含量比在以上范围内时,电介质膜的相对介电常数可以被设置为20至200。该含量比(玻璃材料/电介质材料)优选是0.5至3.0,更优选是0.8至2.0。
此外,电介质膜可以具有0.1至100μm的表面粗糙度(Ra指计算平均粗糙度)。当电介质膜的平面粗糙度在以上范围内时,仅通过重叠各电极而在面对的表面之间限定出间隙,使得等离子体可以在该间隙内产生。因而,不需要在各电极之间限定用于等离子体形成的间隙的间隔物。此外,例如,电介质膜的表面粗糙度可以通过印刷工艺控制。
为了制造本发明中的电极,例如,(1)首先通过压制或蚀刻基板在基板中形成开口部分。随后,(2)通过真空沉积、溅射、电场镀、印刷或类似方法在基板的背表面(背对的表面)上形成绝缘体膜。此外,当绝缘体膜由树脂制成时,此工艺最后进行。另外,(3)制备电介质材料与玻璃材料的混合物。在此情形下,电介质材料与玻璃材料以玻璃材料的质量是电介质材料的质量的0.2至10倍的比率混合,使得电介质膜的相对介电常数被设置为20至200。例如,当BaTiO3和B2O3-ZnO-Bi2O3玻璃被使用时,玻璃粉末的质量可以被调整以设置为BaTiO3粉末的质量的0.5至3.0倍。此外,为了提高电介质材料与玻璃材料的混合物的涂覆性能,根据需要,该混合物也可以通过添加粘合剂至该混合物而具有浆形态。随后,(4)通过真空沉积、溅射、热喷涂、印刷或类似方法在基板的表面(面对的表面)上形成电介质膜。其后,(5)通过烧制获得电极。
与现有技术相比,根据具有这种构造的本发明,通过增大诸如离子或原子团的活性物种的产生数量同时抑制臭氧产生,可以在确保安全的同时改善杀菌和除臭。特别是,根据本发明,可以杀灭现有技术中不可能杀灭的表面附着细菌。因此,例如,可以提高冰箱中的内壁表面的清洁度。此外,现有技术的等离子体产生装置不能被用在高湿度或结露冷凝条件下。然而,根据本发明的等离子体产生装置可以被用于诸如洗衣机、洗碗机等中的潮湿环境内,也可以用于冰箱内。
示例
以下,将参考示例更详细地描述本发明,然而本发明不限于这样的示例。
测试电极的制造
为每个评估测试提供的电极被如下制造。
(1)绝缘体膜的形成
首先,通过压制SUS基板(其由SUS304制成并具有1.0mm的厚度),在SUS基板中形成开口部分。随后,使用丝网印刷机(Newlong精密工业制造的LS-150)将具有SiO2-ZnO-RO成分SiO2-ZnO-RO(分子式中,R指碱土金属(Mg、Ca、Sr或Ba)。)的玻璃浆(Asahi Glass制造的AP5700C)印刷在形成有开口部分的基板的背表面上,基板的背表面被绝缘。其后,使用干燥机(ESPEC公司制造的PVC-212)在120℃将玻璃浆干燥20分钟,形成干燥后具有约30至40μm的膜厚度的绝缘体膜。
(2)电介质膜的形成
BaTiO3粉末和B2O3-ZnO-Bi2O3玻璃粉末以下面的表1中标明的比率(质量换算)混合,所获得的混合物与粘合剂(Nisshin Kasei制造的EC100-FTP)被进一步混合而使得混合物的质量被设置为粘合剂的质量的20质量%,然后使用搅拌器(Shin key制造的ARE-310)将其搅拌10分钟。
在使用三辊磨(Nagase丝网印刷研究所制造的EXAKT M-80S)搅拌包含粘合剂的所获得的混合物之后,通过用溶剂(Kanto Chemical制造的α-松油醇)稀释混合物至易于印刷的粘度来制备电介质浆。
使用丝网印刷机(Newlong精密工业制造的LS-150)将所获得的电介质浆印刷在SUS基板的表面上,然后使用干燥机(ESPEC公司制造的PVC-212)在120℃将其干燥20分钟。因此,形成干燥后具有约100至200μm的膜厚度的电介质膜。
[表1]
(3)电极的制造
电极以这样的方式制造,即,使用马弗炉(Den ken制造的S90),通过以5℃/分钟升高或降低温度,在850℃将其表面上形成有电介质膜并且其背表面上形成有绝缘体膜的SUS基板烧制10分钟。
[测试1]除臭率的相对介电常数相关性的评估
使用所获得的电极组装如图1所示的等离子体产生装置,并且使用该等离子体产生装置按照以下过程进行测试。
(1)鼓风机构被调整,使得经过等离子体产生装置的电极的风的速度被设置为1至2m/s。
(2)施加的电压被调整,使得在离开电极10mm的距离处,臭氧浓度被设置为0.02ppm。
(3)等离子体产生装置被安装在由树脂制成的100L气密容器内。
(4)甲硫醇(MMP)气体(30ppm,130mL)被注入到该容器中。
(50)臭气浓度在检测管中被测量,并且测量值被设置为初始值。
(6)等离子体产生装置运转。
(7)在2小时后,容器中的臭气浓度被测量,并且通过与初始浓度的比较而获得除臭率。
(8)对于包括形成有具有不同的相对介电常数的电介质膜的电极的等离子体产生装置,重复过程(1)至(7)。
所获得的结果示于图5的坐标图中。
如图5的坐标图中所示,当相对介电常数在20至200的范围内时,显示出达到优良的除臭性能。
[测试2]电极的耐湿性的评估
按照以下过程进行测试。
(1)在测试1中使用的等离子体产生装置当中,其中电介质膜的相对介电常数为67的等离子体产生装置被用作本发明的产品,并且鼓风机构被调整,使得经过该等离子体产生装置的电极的风的速度被设置为1至2m/s。
(2)施加的电压被调整,使得在离开电极10mm的距离处,臭氧浓度被设置为0.02ppm。
(3)在离开电极100mm的距离处测量空气离子数量(负离子数量),并且测量值被设置为初始值。
(4)等离子体产生装置在冰箱中在2至3℃的温度下和60至80%的湿度下运行15分钟(电极的冷却)。
(5)等离子体产生装置在运行状态下被从冰箱中抽出(结露冷凝的发生),并且与过程(3)相似地开始空气离子数量的测量。
(6)离子数量恢复至初始值的90%的时间被测量。
(7)对于通过热喷涂形成有电介质膜的传统产品的等离子体产生装置重复过程(1)至(6)。
所获得的结果示于图6的坐标图中。
如图6的坐标图中所示,相比于传统产品,本发明的产品被显示出具有约5倍的提高的耐湿性(从结露冷凝的恢复性能)。此外,因为在测试1使用的等离子体产生装置中始终观察到同样的趋势,所以认为电介质膜由于膜内的玻璃而被致密地形成,从而提高耐湿性。
[测试3]电极的耐压性的评估
通过使用形成有电介质膜(其中BaTiO3与B2O3-ZnO-Bi2O3玻璃的混合比(玻璃/BaTiO3(质量换算))被改变)的各种电极,测量IS C2110-1所列的介电击穿的强度,并且施加工业用电频率交流电压。当1A或更大的电流瞬间流过时,产生介电击穿,此电压为击穿电压。所获得的结果示于图7的坐标图中。
如图7的坐标图中所示,显示出通过添加玻璃至BaTiO3使得BaTiO3与B2O3-ZnO-Bi2O3玻璃的混合比(玻璃/BaTiO3(质量换算))被设置为0.2或更大,电介质膜的耐压性显著提高。
此外,本发明不限于以上实施方式,在不脱离本发明的范围与精神的情况下,可以有各种修改。
工业实用性
根据本发明,可以提供一种等离子体产生装置,其通过增加诸如离子或原子团的活性物种的产生数量同时抑制臭氧产生,安全地提高了杀菌性能和除臭性能。此外,因为通过由电介质材料和玻璃材料的混合物形成电介质膜而提高了电介质膜的致密性,所以该电介质膜除了获得耐压性之外,还获得抗水性方面的改善。因此,高湿度条件下的杀菌性能和除臭性能的降低也得到抑制。因此,根据本发明的等离子体产生装置可以被用于冰箱或诸如洗衣机、洗碗机等的内部的高湿度环境。
虽然为了说明的目的已经公开了本发明的优选实施方式,但是本领域技术人员将理解,在没有脱离如所附权利要求公开的本发明的范围与精神的情况下,可以有各种修改、添加和替换。
Claims (7)
1.一种等离子体产生装置,包括一对电极,并且用来在所述电极之间施加预定的电压以释放等离子体,所述一对电极在其面对的表面中的至少一侧上形成有电介质膜,
其中所述电介质膜具有20至200的相对介电常数。
2.如权利要求1所述的等离子体产生装置,其中所述电介质膜由包含电介质材料和玻璃材料的混合物形成。
3.如权利要求2所述的等离子体产生装置,其中按质量换算,所述玻璃材料在所述混合物中的含量是所述电介质材料在所述混合物中的含量的0.2至10倍。
4.如权利要求2所述的等离子体产生装置,其中所述电介质材料包括从Ba、Ti、Ca、Zr、Sr、Y、Mg和Si构成的组选出的至少一种元素作为其组成元素。
5.如权利要求2所述的等离子体产生装置,其中所述电介质材料是从氧化物、碳化物、氮化物和硼化物构成的组选出的至少一种化合物。
6.如权利要求2所述的等离子体产生装置,其中所述玻璃材料包括从Si、Bi、B、Zr、Na、K、Ca和Mg构成的组选出的至少一种元素作为其组成元素。
7.如权利要求1所述的等离子体产生装置,其中所述电介质膜具有0.1至100μm的表面粗糙度。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011-255741 | 2011-11-24 | ||
JP2011255741 | 2011-11-24 | ||
PCT/JP2012/080282 WO2013077396A1 (ja) | 2011-11-24 | 2012-11-22 | プラズマ発生装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103988587A true CN103988587A (zh) | 2014-08-13 |
Family
ID=48469838
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201280057892.8A Pending CN103988587A (zh) | 2011-11-24 | 2012-11-22 | 等离子体产生装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20140306597A1 (zh) |
EP (1) | EP2785151A4 (zh) |
JP (1) | JPWO2013077396A1 (zh) |
KR (1) | KR20130135338A (zh) |
CN (1) | CN103988587A (zh) |
GB (1) | GB201407307D0 (zh) |
WO (1) | WO2013077396A1 (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107120748A (zh) * | 2017-03-27 | 2017-09-01 | 深圳市赛亿科技开发有限公司 | 一种卫生间空气净化系统和方法 |
CN109222817A (zh) * | 2018-11-26 | 2019-01-18 | 珠海格力电器股份有限公司 | 一种洗碗机及其控制方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20240066161A1 (en) * | 2021-08-09 | 2024-02-29 | TellaPure, LLC | Methods and apparatus for generating atmospheric pressure, low temperature plasma |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005123034A (ja) * | 2003-10-16 | 2005-05-12 | Ngk Insulators Ltd | プラズマ発生電極及びプラズマ反応器 |
JP2006205085A (ja) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Ngk Insulators Ltd | プラズマ処理装置 |
US20070221633A1 (en) * | 2006-03-24 | 2007-09-27 | Ngk Insulators, Ltd. | Plasma generation electrode, plasma reactor, and exhaust gas cleaning apparatus |
JP2009081134A (ja) * | 2007-09-09 | 2009-04-16 | Kazuo Shimizu | プラズマ電極 |
JP2009245646A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-22 | Ngk Insulators Ltd | マイクロプラズマジェット反応器、及びマイクロプラズマジェット発生装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002224211A (ja) | 2000-05-18 | 2002-08-13 | Sharp Corp | 殺菌方法、イオン発生装置及び空気調節装置 |
JP5149473B2 (ja) | 2001-09-14 | 2013-02-20 | パナソニック株式会社 | 脱臭装置 |
-
2012
- 2012-11-22 WO PCT/JP2012/080282 patent/WO2013077396A1/ja active Application Filing
- 2012-11-22 KR KR1020137026364A patent/KR20130135338A/ko active Search and Examination
- 2012-11-22 EP EP12852319.8A patent/EP2785151A4/en not_active Withdrawn
- 2012-11-22 CN CN201280057892.8A patent/CN103988587A/zh active Pending
- 2012-11-22 JP JP2013521688A patent/JPWO2013077396A1/ja active Pending
- 2012-11-22 US US14/360,106 patent/US20140306597A1/en not_active Abandoned
-
2014
- 2014-04-25 GB GBGB1407307.6A patent/GB201407307D0/en not_active Ceased
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005123034A (ja) * | 2003-10-16 | 2005-05-12 | Ngk Insulators Ltd | プラズマ発生電極及びプラズマ反応器 |
JP2006205085A (ja) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Ngk Insulators Ltd | プラズマ処理装置 |
US20070221633A1 (en) * | 2006-03-24 | 2007-09-27 | Ngk Insulators, Ltd. | Plasma generation electrode, plasma reactor, and exhaust gas cleaning apparatus |
JP2009081134A (ja) * | 2007-09-09 | 2009-04-16 | Kazuo Shimizu | プラズマ電極 |
JP4460014B2 (ja) * | 2007-09-09 | 2010-05-12 | 一男 清水 | プラズマ電極 |
JP2009245646A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-22 | Ngk Insulators Ltd | マイクロプラズマジェット反応器、及びマイクロプラズマジェット発生装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107120748A (zh) * | 2017-03-27 | 2017-09-01 | 深圳市赛亿科技开发有限公司 | 一种卫生间空气净化系统和方法 |
CN109222817A (zh) * | 2018-11-26 | 2019-01-18 | 珠海格力电器股份有限公司 | 一种洗碗机及其控制方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2785151A4 (en) | 2015-06-03 |
KR20130135338A (ko) | 2013-12-10 |
US20140306597A1 (en) | 2014-10-16 |
GB201407307D0 (en) | 2014-06-11 |
EP2785151A1 (en) | 2014-10-01 |
JPWO2013077396A1 (ja) | 2015-04-27 |
WO2013077396A1 (ja) | 2013-05-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103988587A (zh) | 等离子体产生装置 | |
KR101860719B1 (ko) | 플라즈마 발생방법 및 플라즈마 발생장치 | |
EP2923752A1 (en) | Plasma electrode device and method for manufacturing the same | |
CN104206026B (zh) | 等离子体发生装置 | |
CA2598982A1 (en) | Dielectric ceramic-forming composition and dielectric ceramic material | |
JP2013165005A (ja) | イオン発生装置 | |
CN104529432B (zh) | 一种钛酸钡基无铅高压陶瓷电容器材料 | |
CN103857167A (zh) | 等离子体发生装置 | |
KR101954850B1 (ko) | 플라즈마 발생 장치 및 플라즈마 발생 방법 | |
CN108395225A (zh) | 一种电子陶瓷 | |
US8333833B2 (en) | Low thermal expansion filler, method for preparing the same and glass composition | |
KR101794048B1 (ko) | 플렉서블 활성종 발생기 및 이의 용도 | |
KR101922241B1 (ko) | 무기 섬유 및 그 제조 방법 | |
JP2014156377A (ja) | 結晶性ガラス組成物 | |
JP2015163587A (ja) | 封着用無鉛ガラス、封着材料、封着材料ペースト | |
JP4192642B2 (ja) | Fpd用保護膜の製造方法 | |
Steinhaeusser et al. | Wet chemical porosification of LTCC in phosphoric acid: Celsian forming tapes | |
JP2012193099A (ja) | オゾン発生用誘電体および発生装置 | |
JPH03164404A (ja) | オゾン発生素子 | |
KR20190052310A (ko) | 유리 조성물, 코팅 부재 및 조리기기 | |
CN101083169A (zh) | 一种由二氧化钛和三氧化二钐组成的微波陶瓷电容 | |
CN103803496A (zh) | 大型臭氧发生器用陶瓷放电管 | |
CN210333684U (zh) | 一种风能可调式实验室通风柜 | |
KR100669794B1 (ko) | 플라즈마 디스플레이 장치 | |
KR100912176B1 (ko) | Pdp 보호막용 나노분말의 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20140813 |