CN103970938A - 晶圆测试结果图标记修改方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种晶圆测试结果图标记修改方法，包括：第一步骤，用于根据晶圆测试结果图自动生成晶圆测试结果图文本文件；第二步骤，用于利用Excel Macro程序对生成的晶圆测试结果图文本文件进行自动识别以标记出不合格的失效裸片；第三步骤，用于在Excel Macro程序中针对失效裸片自动对围绕失效裸片的合格晶圆进行附加标记；第四步骤，用于利用Perl script程序对附加标记后的晶圆测试结果图文本文件进行格式转换。

Description

晶圆测试结果图标记修改方法
技术领域
本发明涉及半导体产品良率分析和提升领域，更具体地说，本发明涉及一种晶圆测试结果图标记修改方法。
背景技术
晶圆测试(CP test，也称为芯片功能测试)是一种晶圆级测试。晶圆测试在芯片切割及封装之前对裸片进行测试，以测试裸片是否合格。
芯片功能测试之后会得到一个表示芯片功能测试结果分布的晶圆测试结果图(CP Map：Chip probe Map)。在晶圆测试结果图中，一般会将通过芯片功能测试的合格裸片(一般可标记为Bin1类)以及未通过芯片功能测试的不合格裸片(即，失效裸片)(一般可标记为Bin类)分别标记出来。
投片客户会根据晶圆测试结果图选择裸片以进行后续的封装、成测以及出货。所以，晶圆测试结果图的合格裸片是客户最关心的芯片。但在芯片的生产制造的过程中，往往会因为线上的工艺异常或线上反应腔内粒子的影响，会造成芯片功能测试的晶圆测试结果图上出现特定区域的失效，而且在更严重的情形下，失效裸片的周围的合格裸片也会有潜在的可靠性的风险。在这种状况下，客户通常会要求流片厂对失效裸片周围的合格裸片也相应地标记出来，做废弃处理。
由于芯片功能测试的不合格裸片在晶圆测试结果图上的分布形状可能各式各样，要对不同分布形态的不合格裸片的外围进行标记出来很难自动实现，传统的方式只能通过人工在晶圆测试结果图的文档里手动去完成标记。
由于需要标记裸片的晶圆测试结果图通常很多，在量产的过程中可能涉及几百片的晶圆都需要这样处理晶圆测试结果图，所以手动进行非常耗时而且可能由于人工疏忽而弄错。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是针对现有技术中存在上述缺陷，提供一种能够自动对不合格裸片的外围的合格裸片进行相应标记的晶圆测试结果图标记修改方法。
为了实现上述技术目的，根据本发明，提供了一种晶圆测试结果图标记修改方法，其包括：
第一步骤，用于根据晶圆测试结果图自动生成晶圆测试结果图文本文件；
第二步骤，用于利用Excel Macro程序对生成的晶圆测试结果图文本文件进行自动识别以标记出不合格的失效裸片；
第三步骤，用于在Excel Macro程序中针对失效裸片自动对围绕失效裸片的合格晶圆进行附加标记。
优选地，所述晶圆测试结果图标记修改方法还包括第四步骤，用于利用Perlscript程序对附加标记后的晶圆测试结果图文本文件进行格式转换。
优选地，在第三步骤中，采用九宫格模型执行对围绕失效裸片的合格晶圆的附加标记。
优选地，在第三步骤中，对于以任意不合格的失效裸片作为左上角的九宫格，在该九宫格中不合格的失效裸片的数量大于或者等于2颗时，将该九宫格中的所有合格裸片确定为将做附加标记的裸片。
本发明利用Excel Macro对晶圆测试结果图上的失效裸片进行自动识别，然后进行自动替换，从而将需要标记出的合格裸片自动转变成做报废处理的裸片的标记。由此，本发明提供了一种能够自动对不合格裸片的外围的合格裸片进行相应标记的晶圆测试结果图标记修改方法。
附图说明
结合附图，并通过参考下面的详细描述，将会更容易地对本发明有更完整的理解并且更容易地理解其伴随的优点和特征，其中：
图1示意性地示出了根据本发明优选实施例的晶圆测试结果图标记修改方法的流程图。
图2至图9示意性地示出了根据本发明优选实施例的晶圆测试结果图标记修改方法的附加标记的优选示例。
图10示意性地示出了根据本发明优选实施例的晶圆测试结果图标记修改方法的附加标记的优选示例所得到的结果。
需要说明的是，附图用于说明本发明，而非限制本发明。注意，表示结构的附图可能并非按比例绘制。并且，附图中，相同或者类似的元件标有相同或者类似的标号。
具体实施方式
为了使本发明的内容更加清楚和易懂，下面结合具体实施例和附图对本发明的内容进行详细描述。
本发明采用程序自动识别的方式，采用九宫格模型，利用Excel Macro对晶圆测试结果图上的失效裸片进行自动识别，然后进行自动替换，从而将需要标记出的合格裸片自动转变成做报废处理的裸片的标记。
其中，修改晶圆测试结果图标记的主体工作都是在Excel Macro里完成，在针对一些特定客户有不用格式的要求，可以用Perl script进一步实现其他格式的转换。整个流程实现起来，实施效果准确快捷，可进行大量晶圆的批处理。
下面将具体描述本发明的具体优选实施例。
图1示意性地示出了根据本发明优选实施例的晶圆测试结果图标记修改方法的流程图。
如图1所示，根据本发明优选实施例的晶圆测试结果图标记修改方法包括：
第一步骤S1：根据晶圆测试结果图自动生成晶圆测试结果图文本文件；在该步骤中，可以采用现有技术中的任意合适方式完成晶圆测试结果图文本文件的生成；
第二步骤S2：利用Excel Macro程序对生成的晶圆测试结果图文本文件进行自动识别以标记出不合格的失效裸片；
第三步骤S3：在Excel Macro程序中针对失效裸片自动对围绕失效裸片的合格晶圆进行附加标记；
优选地，还可以执行第四步骤S4：利用Perl script程序对附加标记后的晶圆测试结果图文本文件进行格式转换，以得到客户希望的格式。
图2至图9示意性地示出了根据本发明优选实施例的晶圆测试结果图标记修改方法的附加标记的优选示例。
具体地说，优选地，在第三步骤S3中，可以采用九宫格模型执行对围绕失效裸片的合格晶圆的附加标记。
具体地说，假设固定九宫格左上角的那颗裸片为不合格的失效裸片，九宫格模型中只要超过或等于2颗裸片是失效裸片，则将九宫格对应的9颗裸片全部自动判断为需要做附加标记的裸片。即，对于以任意不合格的失效裸片作为左上角的九宫格，在该九宫格中不合格的失效裸片的数量大于或者等于2颗时，将该九宫格中的所有合格裸片确定为将做附加标记的裸片。
根据九宫格里失效裸片的数目不同可以大概分成下面8种情况(其中，标号P代表合格裸片；标号F代表不合格的失效裸片)。
2颗裸片失效：排列组合后共C8 1＝8种情况；图2示出了其中的一种示例情况；
3颗裸片失效：排列组合后共C8 2＝28种情况；图3示出了其中的一种示例情况；
4颗裸片失效：排列组合后共C8 3＝56种情况；图4示出了其中的一种示例情况；
5颗裸片失效：排列组合后共C8 4＝70种情况；图5示出了其中的一种示例情况；
6颗裸片失效：排列组合后共C8 5＝56种情况；图6示出了其中的一种示例情况；
7颗裸片失效：排列组合后共C8 6＝28种情况；图7示出了其中的一种示例情况；
8颗裸片失效：排列组合后共：C8 7＝8种情况；图8示出了其中的一种示例情况；
9颗裸片失效：排列组合共：C8 8＝1种情况；图9示出了该示例情况。
在九宫格模型中，对于九宫格里面的9颗裸片，共C8 1+C8 2+C8 3+C8 4+C8 5+C8 6+C8 7+C8 8＝255种情况，九宫格中的合格裸片会被做附加标识成潜在的不合格裸片，在封装时作为废品处理掉。
图10示意性地示出了根据本发明优选实施例的晶圆测试结果图标记修改方法的附加标记的优选示例所得到的结果。其中，标号“7”、“K”及“N”标记的裸片是不合格的失效裸片，标号“1”标记的裸片是合格裸片，标号“z”标记的裸片是将被做报废处理的经附加标记的裸片。
可以看出，本发明通过编程去实现自动识别特定失效裸片，并对失效裸片周围合格裸片做替换为报废裸片的标记。并利用Excel Marco程序实现大量晶圆测试结果图的批量处理。在对某些客户对标记后的晶圆测试结果图有格式上的特殊需求的时候，借助Perl script程序实现格式的自动转换。
此外，需要说明的是，除非特别说明或者指出，否则说明书中的术语“第一”、“第二”、“第三”等描述仅仅用于区分说明书中的各个组件、元素、步骤等，而不是用于表示各个组件、元素、步骤之间的逻辑关系或者顺序关系等。
可以理解的是，虽然本发明已以较佳实施例披露如上，然而上述实施例并非用以限定本发明。对于任何熟悉本领域的技术人员而言，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。

Claims (4)

1.一种晶圆测试结果图标记修改方法，其特征在于包括：
第一步骤，用于根据晶圆测试结果图自动生成晶圆测试结果图文本文件；
第二步骤，用于利用Excel Macro程序对生成的晶圆测试结果图文本文件进行自动识别以标记出不合格的失效裸片；
第三步骤，用于在Excel Macro程序中针对失效裸片自动对围绕失效裸片的合格晶圆进行附加标记。
2.根据权利要求1所述的晶圆测试结果图标记修改方法，其特征在于还包括第四步骤，用于利用Perl script程序对附加标记后的晶圆测试结果图文本文件进行格式转换。
3.根据权利要求1或2所述的晶圆测试结果图标记修改方法，其特征在于，在第三步骤中，采用九宫格模型执行对围绕失效裸片的合格晶圆的附加标记。
4.根据权利要求1或2所述的晶圆测试结果图标记修改方法，其特征在于，在第三步骤中，对于以任意不合格的失效裸片作为左上角的九宫格，在该九宫格中不合格的失效裸片的数量大于或者等于2颗时，将该九宫格中的所有合格裸片确定为将做附加标记的裸片。
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