CN103959933A - 致动器的控制装置、控制方法以及致动器的驱动时间测定方法 - Google Patents

Abstract

致动器的控制装置控制带传感器的致动器，该带传感器的致动器使所述可动部在安装有检测传感器的第一驱动端与第二驱动端之间往返移动。该装置包含：驱动时间测定部，测定自可动部向第一驱动端开始移动起至所述检测传感器输出检测信号为止的往路侧驱动时间；中间时间测定部，使位于所述第一驱动端的所述可动部向所述第二驱动端移动，自可动部向该第二驱动端开始移动起至经过第一中间驱动时间的时刻使所述可动部的移动方向反转，并且，测定自该移动方向反转起至所述检测传感器输出检测信号为止的第二中间驱动时间；以及驱动时间计算部，基于以下的算式计算出位于所述第一驱动端的所述可动部移动到所述第二驱动端所需的返路侧驱动时间并输出，(返路侧驱动时间)＝(往路侧驱动时间)×(第一中间驱动时间)/(第二中间驱动时间)。

Description

致动器的控制装置、控制方法以及致动器的驱动时间测定方法

技术领域

本发明涉及控制使可动部在第一驱动端与第二驱动端之间往返移动的致动器的控制装置和控制方法、以及测定在第一驱动端与第二驱动端之间的可动部的动作时间即致动器的驱动时间的方法。

背景技术

为了制造安装有电子元件的基板，依次执行以下工序，即：用印刷装置将焊料印刷于在安装电子元件的基板上形成的电极上的印刷工序；用表面安装机将元件安装于印刷了焊料的基板上的安装工序；以及使安装了元件的基板通过回流炉的回流工序。

在上述的印刷装置以及表面安装机中，分别设置有使基板待机的待机位置和对基板进行指定处理的作业位置。由安装于所述印刷装置以及表面安装机中的基板搬送装置执行基板的搬入和基板的搬出，其中，所述基板搬入是为了进行指定处理而将基板从待机位置搬入作业位置，所述基板搬出是为了将基板搬送到下一个工序而将基板从作业位置搬出。此外，作为挡块以及夹持器等的驱动源，使用气缸等致动器，其中，所述挡块担负使基板在待机位置等停止的功能，所述夹持器担负保持基板的功能。例如在专利文献1中，记载了通过气缸动作使杆旋转而使挡块阻止基板的搬送并停止的技术。

在印刷装置和表面安装机中，使用较多数目的气缸。通过由操作员等手动操作与各气缸连接的速度控制器(速度控制阀)，分别调整气缸的驱动速度。因此，如果驱动速度发生偏差，则有时发生推顶搬送中的基板的问题、因具有多余的时间而导致工作时间损失的问题等。

在此，如果能准确地求出气缸的驱动速度、即气缸的活塞从前进端移动到后退端所需的往路侧驱动时间以及从后退端移动到前进端所需的返路侧驱动时间，就能够基于这些时间高精度地调整气缸的驱动速度，能够抑制驱动速度的偏差。此外，通过定期地求出驱动时间，能够掌握气缸的经时变化，能够基于这些重新调整气缸的驱动速度。而且，根据驱动时间的变化，能够管理气缸的异常的发生以及更换时间等。

如上所述，气缸的驱动时间是非常有益的信息。对此，可考虑在气缸的两端部安装检测活塞位于前进端以及后退端的检测传感器，利用从这两个检测传感器输出的检测信号来测定往路侧驱动时间以及返路侧驱动时间的方法。但是，如果对各气缸安装两个检测传感器，这会成为增加装置成本的主要原因之一。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利公开公报特开2001-15995号

发明内容

本发明的目的在于提供一种由一个检测传感器导出使气缸等的可动部往返移动的致动器的往路侧驱动时间以及返路侧驱动时间这两者的技术。

本发明一方面所涉及的致动器的控制装置，控制带传感器的致动器，所述带传感器的致动器在安装有检测传感器的状态下，使可动部在第一驱动端与第二驱动端之间往返移动，所述检测传感器检测所述可动部位于所述第一驱动端并输出检测信号，所述控制装置包括：驱动时间测定部，使位于所述第二驱动端的所述可动部向所述第一驱动端移动，测定自可动部向该第一驱动端开始移动起至所述检测传感器输出检测信号为止的往路侧驱动时间；中间时间测定部，使位于所述第一驱动端的所述可动部向所述第二驱动端移动，在可动部向该第二驱动端开始移动起至经过短于所述往路侧驱动时间的第一中间驱动时间的时刻使所述可动部的移动方向反转，并且，测定自该移动方向反转起至所述检测传感器输出检测信号为止的第二中间驱动时间；以及驱动时间计算部，基于以下的算式计算位于所述第一驱动端的所述可动部移动到所述第二驱动端所需的返路侧驱动时间，

(返路侧驱动时间)＝(往路侧驱动时间)×(第一中间驱动时间)/(第二中间驱动时间)。

本发明另一方面所涉及的致动器的控制方法，控制带传感器的致动器，所述带传感器的致动器在安装有检测传感器的状态下，使可动部在第一驱动端与第二驱动端之间往返移动，所述检测传感器检测所述可动部位于所述第一驱动端并输出检测信号，所述控制方法包括以下工序：使位于所述第二驱动端的所述可动部向所述第一驱动端移动，并测定自可动部向该第一驱动端开始移动起至所述检测传感器输出检测信号为止的往路侧驱动时间的工序；使位于所述第一驱动端的所述可动部向所述第二驱动端移动，并在自可动部向该第二驱动端开始移动起至经过短于所述往路侧驱动时间的第一中间驱动时间的时刻使所述可动部的移动停止，以使所述可动部位于所述第一驱动端与所述第二驱动端之间的中间位置的工序；使位于所述中间位置的所述可动部向所述第一驱动端移动，并测定自可动部向该第一驱动端开始移动起至所述检测传感器输出检测信号为止的第二中间驱动时间的工序；以及基于以下的算式计算位于所述第一驱动端的所述可动部移动到所述第二驱动端所需的返路侧驱动时间的工序，

(返路侧驱动时间)＝(往路侧驱动时间)×(第一中间驱动时间)/(第二中间驱动时间)。

本发明又一方面所涉及的致动器的驱动时间测定方法，所述致动器使可动部在第一驱动端与第二驱动端之间移动，所述驱动时间测定方法包括以下工序：通过用检测传感器检测位于所述第二驱动端的所述可动部移动而到达所述第一驱动端，来测定所述可动部从所述第二驱动端移动到所述第一驱动端所需的往路侧驱动时间的工序；使位于所述第一驱动端的所述可动部向所述第二驱动端移动短于所述往路侧驱动时间的第一中间驱动时间并停止在所述第一驱动端与所述第二驱动端之间的中间位置的工序；通过用检测传感器检测位于所述中间位置的所述可动部移动而到达所述第一驱动端，来测定所述可动部从所述中间位置移动到所述第一驱动端所需的第二中间驱动时间的工序；以及基于以下的算式计算位于所述第一驱动端的所述可动部移动到所述第二驱动端所需的返路侧驱动时间的工序，

(返路侧驱动时间)＝(往路侧驱动时间)×(第一中间驱动时间)/(第二中间驱动时间)。

本发明的目的、特征以及优点通过以下的详细说明和附图会更加明确。

附图说明

图1是表示本发明所涉及的致动器的控制装置的一实施方式的图。

图2是表示图1所示的控制装置的动作概要的流程图。

图3是表示往路侧驱动速度的调整处理的流程图。

图4是表示返路侧驱动速度的调整处理的流程图。

图5是表示返路侧驱动速度的调整处理的流程图。

图6是示意性地表示往路侧驱动时间、第一中间时间、第二中间驱动时间以及返路侧驱动时间的关系的图。

具体实施方式

在将电子元件安装于基板上的基板处理系统中，沿搬送路排列设置有印刷机、印刷检查机、表面安装机以及安装检查机等的基板处理装置，各基板处理装置按照处理程序对沿着基板搬送路搬送的基板实施所需的处理。

例如在表面安装机中，由对装置整体进行控制的控制装置控制基板搬送机构，将基板搬送至指定的目标位置并使其停止。此时，有时通过由控制装置驱动控制气缸，使基板挡块位于基板搬送路上来使基板停止。此外，有时根据来自控制装置的控制指令，驱动另外的气缸在目标位置夹持基板并固定。然后，从带送料器等的元件供应部供应的IC(Integrated Circuit)等的电子元件被安装于目标位置的基板上。此外，在基板安装结束之后，由控制装置驱动控制上述气缸来执行夹持解除以及挡块退避，并在基板的搬出准备结束后执行基板搬出。如此，在基板处理装置中使用较多数目的气缸，但在本实施方式中，控制装置基于安装在气缸上的一个检测传感器输出的检测信号来控制气缸。以下，参照附图详述本实施方式的控制装置的构成以及动作。

图1是表示本发明所涉及的致动器的控制装置的一实施方式的图。该控制装置1控制印刷机、表面安装机等的基板处理装置，作为用于按照程序执行基板处理的一动作而驱动控制带传感器的气缸2(带传感器的致动器)，由此使基板挡块、基板夹持器等工作。

带传感器的气缸2包含沿X方向延伸设置的缸筒21和以在该缸筒21内自如往返的方式被配置的活塞22(可动部)。在活塞22一体地安装有沿-X方向延伸的气缸杆22R。气缸杆22R的顶端从缸筒21突出而进行致动动作的部件，伴随活塞22在X方向上的往返动作，其从缸筒21的突出量发生变化。

在缸筒21的后端部安装有头套23a，在顶端部安装有杆套23b。作为压力供应源的气体供应源24经由切换阀25而分别连接于头套23a以及杆套23b。切换阀25根据来自控制装置1的切换指令而工作，由此活塞22沿X方向被驱动。此外，在本实施方式中，将活塞22的驱动端中(+X)方向侧称为“第一驱动端”，将(-X)方向侧称为“第二驱动端”。另外，将从第二驱动端向第一驱动端驱动的动作称为“往路侧驱动”，将从第一驱动端向第二驱动端驱动的动作称为“返路侧驱动”。

在缸筒21的(+X)方向侧的侧端部安装有检测传感器26。检测传感器26检测活塞22位于第一驱动端并将检测信号输出至控制装置1。此外，在本实施方式中，仅在第一驱动端侧安装有检测传感器26，第二驱动端并没有安装。

连接切换阀25和头套23a而构成空压回路的第一配管27a中插入有第一速度控制器28a。连接切换阀25和杆套23b而构成空压回路的第二配管27b中插入有第二速度控制器28b。因此，通过由操作员等手动操作第一速度控制器28a和第二速度控制器28b，可变更活塞22的往路侧驱动速度以及返路侧驱动速度。

控制装置1具有：存储上述的程序和各种数据等的存储器11(存储部)；基于程序和检测信号等来驱动控制带传感器的气缸2的CPU(Central Processing Unit)12；输入输出I/F13；以及操作面板等的显示·操作部14(显示部/通知部)。此外，存储器11、CPU12以及输入输出I/F13被收容在控制盒15内，可通过总线16在相互之间进行各种信号和数据等的发送和接收。此外，输入输出I/F13与显示·操作部14、切换阀25以及检测传感器26电连接。

CPU12按照预先存储在存储器11的程序并通过输入输出I/F13接收来自检测传感器26的检测信号，并将切换指令以及显示指令分别输出至切换阀25以及显示·操作部14。CPU12功能性地具有驱动时间测定部121、中间时间测定部122、驱动时间计算部123以及异常发生判定部124。

驱动时间测定部121使位于所述第二驱动端的活塞22向所述第一驱动端移动。此外，驱动时间测定部121测定向该第一驱动端的活塞22的移动开始起至活塞22到达所述第一驱动端而由检测传感器26输出检测信号为止的往路侧驱动时间。

中间时间测定部122使位于所述第一驱动端的活塞22向所述第二驱动端移动，在向所述第二驱动端的活塞22的移动开始起经过短于所述往路侧驱动时间的第一中间驱动时间的时刻使活塞22的移动方向反转。并且，中间时间测定部122测定自该移动方向的反转起至检测传感器26输出活塞22的检测信号为止的第二中间驱动时间。

驱动时间计算部123基于以下算式计算并输出位于所述第一驱动端的活塞22移动至所述第二驱动端所需的返路侧驱动时间，

(返路侧驱动时间)＝(往路侧驱动时间)×(第一中间驱动时间)/(第二中间驱动时间)。

异常发生判定部124当在驱动时间测定部121测定的所述往路侧驱动时间以及在驱动时间计算部123计算出的所述返路侧驱动时间中的至少其中之一超过所述基准范围时，判定为带传感器的气缸2发生了异常。

存储器11存储保证带传感器的气缸2的适当动作的所述往路侧驱动时间以及所述返路侧驱动时间的基准范围。

显示·操作部14显示在驱动时间测定部121测定的所述往路侧驱动时间以及在驱动时间计算部123计算出的所述返路侧驱动时间。此外，当异常发生判定部124判定为发生了异常时，显示·操作部14显示将带传感器的气缸2的异常通知操作员的消息信息等。

CPU12通过上述功能部按照程序动作，执行以下说明的动作。下面，参照图2至图6详述控制装置1进行的带传感器的气缸2的驱动时间的导出处理、驱动速度的调整处理以及异常检测处理。

图2是表示图1所示的控制装置1的动作概要的流程图。此外，图3是表示往路侧驱动速度的调整的流程图。另外，图4及图5是表示返路侧驱动速度的调整的流程图。进一步，图6是示意性地表示往路侧驱动时间、第一中间时间、第二中间驱动时间以及返路侧驱动时间的关系的图。该控制装置1通过按照预先存储在存储器11的程序控制带传感器的气缸2等，执行往路侧驱动速度的调整、返路侧驱动速度的调整以及气缸2的异常检测等。

控制装置1的CPU12首先进行往路侧驱动速度的调整(步骤S1)。如图3所示，在往路侧驱动速度的调整处理中，CPU12通过输入输出I/F13向切换阀25赋予切换指令，更详细而言，赋予杆(活塞)前进指令(步骤S11)，与之相对应，活塞22向(-X)方向侧移动。然后，等待活塞22足以从第一驱动端移动至第二驱动端的指定时间经过(步骤S12)。据此，即使在开始往路侧驱动速度的调整的时刻活塞22位于缸筒21内的任意位置，也在经过指定时间的时刻活塞22位于第二驱动端(图3中的上虚线区域)。

这样一来，在活塞22位于第二驱动端的状态下，CPU12的驱动时间测定部121向切换阀25赋予切换指令，更详细而言杆(活塞)后退指令。据此，活塞22向(+X)方向的移动开始(步骤S13)。在此时刻，驱动时间测定部121重置往路侧驱动时间TA的计时值为零，之后开始计时以开始往路侧驱动时间TA的测量(步骤S14)。

当活塞22到达第一驱动端时，由检测传感器26输出检测信号(在步骤S15为“是”)。接收该检测信号，驱动时间测定部121停止计时以结束往路侧驱动时间TA的测量，并从此时的计时值取得往路侧驱动时间TA。此外，驱动时间测定部121将取得的值作为最新的往路侧驱动时间TA而写入存储器11，并且，如该图中的下虚线区域所示，将显示？操作部14中的往路侧驱动时间TA的显示改写为如上所述地取得的最新值(步骤S17)。

这样，在本实施方式中，驱动时间测定部121使活塞22从第二驱动端移动到第一驱动端，并检测活塞22的向第一驱动端的移动，即通过检测传感器26处于接通(ON)状态，实际测定往路侧驱动时间TA。因此，能够准确地测定往路侧驱动时间TA。

在接下来的步骤S18，CPU12判断操作员是否结束往路侧驱动速度的调整。即，当显示于显示·操作部14的往路侧驱动时间TA为指定值时，操作员进行调整结束的操作。该操作例如是触摸显示于显示·操作部14的调整结束按钮的操作。另一方面，在未进行该操作的期间，CPU12不判断为调整结束，而返回到步骤S11反复进行一系列动作。即，驱动时间测定部121一边使活塞22在所述第一驱动端与所述第二驱动端之间往返移动，一边反复测定所述往路侧驱动时间TA。在该反复动作的过程中，操作员操作第一速度控制器28a以及第二速度控制器28b调整往路侧驱动速度，与此相对应，显示于显示·操作部14的往路侧驱动时间TA也变化。即，显示·操作部14更新显示内容，以显示驱动时间测定部121测定的最新的往路侧驱动时间TA。

因此，操作员通过一边看显示于显示·操作部14的往路侧驱动时间TA，一边操作第一速度控制器28a和第二速度控制器28b，能够将往路侧驱动时间TA设定为指定值。往路侧驱动速度被调整为

(往路侧驱动速度)＝(第一驱动端与第二驱动端之间的距离)/(往路侧驱动时间TA)。该往路侧驱动速度的调整处理通常在装置出厂时或维护时执行。然后，在确认调整结束的操作已进行后，前进到下一个步骤S2。

在步骤S2，执行图4及图5所示的返路侧驱动速度的调整处理。在该调整处理中，由CPU12的驱动时间测定部121与上述的步骤S11～S16同样地测定往路侧驱动时间TA(步骤S201～S206)。在此，自往路侧驱动速度的调整处理至返路侧驱动速度的调整处理为止的时间短，在返路侧驱动速度的调整开始时刻往路侧驱动速度也不变动的情况下，无需测定往路侧驱动时间TA。但是，在执行下一个步骤S207之前，如图4中的虚线区域所示，至少需要使活塞22位于第一驱动端。

在下一个步骤S207，CPU12的中间时间测定部122向切换阀25赋予杆前进指令，以使位于第一驱动端的活塞22向(-X)方向侧、即第二驱动端侧移动。据此，活塞22开始向(-X)方向移动。之后，在短于往路侧驱动时间TA的第一中间驱动时间TB经过(在步骤S208为“是”)的时刻，CPU12向切换阀25赋予杆后退指令，使活塞22的移动方向反转(步骤S209)。即，在第一中间驱动时间TB的经过时刻，如图5的上虚线区域所示，活塞22在第一驱动端与第二驱动端之间的中间位置停止移动后，开始向(+X)方向移动。此外，在本实施方式中，预先在存储器11中存储第一中间驱动时间TB，但也可以从往路侧驱动时间TA减去指定值来计算出第一中间驱动时间TB，并使用该值。

与该移动反转同时，中间时间测定部122将第二中间驱动时间TC的计时值重置为零后，开始计时以开始第二中间驱动时间TC的测量(步骤S210)。然后，当活塞22到达第一驱动端，并由检测传感器26输出检测信号(在步骤S211为“是”)时，中间时间测定部122接收该检测信号停止计时，结束第二中间驱动时间TC的测量，并且，从此时的计时值取得第二中间驱动时间TC(步骤S212)。此外，中间时间测定部122将取得的值作为最新的第二中间驱动时间TC而写入存储器11。

第一中间驱动时间TB是设定值，往路侧驱动时间TA以及第二中间驱动时间TC是通过利用检测传感器26而准确地测定出的值，不论哪一个值TA、TB、TC，CPU12均能够准确地取得。在此，如果示意性地概括包含这些3种驱动时间TA、TB、TC以外还包含未取得的返路侧驱动时间TD的驱动时间的相互关系，则如图6所示。这些中的中间驱动时间TB、TC的比与可动部在第一驱动端与第二驱动端之间往返移动所需的时间、即往路侧驱动时间与返路侧驱动时间的比相等，成立以下的比例式。

(往路侧驱动时间TA):(第二中间驱动时间TC)＝(返路侧驱动时间TD):(第一中间驱动时间TB)

因此，基于下一个算式准确地计算出返路侧驱动时间TD，

(返路侧驱动时间TD)＝(往路侧驱动时间TA)×(第一中间驱动时间TB)/(第二中间驱动时间TC)。于是，在本实施方式中，在下一个步骤S213，CPU12的驱动时间计算部123基于上一个算式计算出返路侧驱动时间TD。

接着，驱动时间计算部123将计算出的返路侧驱动时间TD写入存储器11，并且，如图5中的下虚线区域所示，将显示·操作部14的返路侧驱动时间TD的显示改写为如上所述地计算出的值(步骤S214)。这样，在本实施方式中，使用一个检测传感器26不仅准确地导出往路侧驱动时间TA，而且，也能准确地导出返路侧驱动时间TD。

此外，在返路侧驱动速度的调整处理中，与往路侧驱动速度的调整处理同样，直至由操作员结束速度调整(在步骤S215为“是”)为止，返回到步骤S207反复执行一系列工序。即，当显示于显示·操作部14的返路侧驱动时间TD为指定值时，操作员进行调整结束的操作，例如触摸显示于显示·操作部14的调整结束按钮。另一方面，在未进行该操作的期间，CPU12不判断为调整结束，而返回到步骤S207反复一系列的动作。即，驱动时间计算部123一边使活塞22在中间位置与所述第一驱动端之间往返移动，一边反复计算出所述返路侧驱动时间TD，其中，所述中间位置是使活塞22从所述第一驱动端向所述第二驱动端移动所述第一中间驱动时间的位置。在该反复过程中，操作员操作速度控制器28a、28b进行返路侧驱动速度的调整，与此相对应，显示于显示·操作部14的返路侧驱动时间TD也变化。即，显示·操作部14更新显示内容，以显示驱动时间计算部123计算出的最新的返路侧驱动时间TD。

这样，操作员边看显示于显示·操作部14的返路侧驱动时间TD边操作速度控制器28a、28b，从而将返路侧驱动时间TD设定为指定值。返路侧驱动速度被调整为

(返路侧驱动速度)＝(第一驱动端与第二驱动端的距离)/(返路侧驱动时间TD)。

如果步骤S2的返路侧驱动速度的调整处理结束，接着，CPU12执行气缸2的异常检测处理。如图2所示，该异常检测处理在指定的检测时机执行(步骤S3)，基于往路侧驱动时间TA的测定值以及返路侧驱动时间TD的计算值进行。关于该往路侧驱动时间TA，与往路侧驱动速度的调整处理中的步骤S11～S16和返路侧驱动速度的调整处理中的步骤S201～S206同样地测定。此外，关于返路侧驱动时间TD，与返路侧驱动速度的调整处理中的步骤S207～S213同样地计算出。

然后，CPU12的异常发生判定部124判定如上所述地求出的往路侧驱动时间TA以及返路侧驱动时间TD是否在保证气缸2的适当动作的驱动时间的基准范围(步骤S6)。该“基准范围”预先通过实验等求出，并存储在存储器11中。当驱动时间TA、TD在所述范围内时，异常发生判定部124判定为气缸2正常动作，并返回到步骤S3。另一方面，当驱动时间TA、TD的至少其中之一在所述范围外时，可知气缸2发生了经时变化，有可能发生了异常。此时，CPU12将该内容显示于显示·操作部14来通知操作员(S7)。因此，基于上述显示内容，操作员能够判断是否需要进行维护，并将该判断结果通过显示·操作部14输入。

接收该输入，CPU12在操作员判断为需要维护时，返回到步骤S1开始速度调整。另一方面，在判断为无需维护时，返回到步骤S3等待下一个测量时机。

如上所述，根据本实施方式，能够使用一个检测传感器26准确地导出往路侧驱动时间TA以及返路侧驱动时间TD。

此外，由于使显示·操作部14显示往路侧驱动时间TA以及返路侧驱动时间TD，因此，在气缸2的初始设定时或维护时能够使用速度控制器28a、28b来调整气缸2的驱动速度。尤其是，由于一边使活塞22在第一驱动端与第二驱动端之间往返移动，一边更新显示·操作部14的显示内容以显示最新的往路侧驱动时间TA，因此，操作员能够边看显示内容边操作速度控制器28a、28b来适当地调整往路侧的驱动速度。

在返路侧也一样。即，一边使活塞22在中间位置与第一驱动端之间往返移动，一边更新显示·操作部14的显示内容以显示最新的返路侧驱动时间TD，因此，操作员能够边看显示内容边操作速度控制器28a、28b来适当地调整返路侧的驱动速度。此外，在返路侧，需要在到达第二驱动端之前在中间位置使活塞22反转移动，因此，使用速度控制器28a、28b预先将从第一驱动端向中间位置移动时的活塞22的驱动速度设定得较低为宜。

此外，根据异常发生判定部124的功能，基于往路侧驱动时间TA以及返路侧驱动时间TD能够早期发现气缸2的异常。而且，将其显示在显示·操作部14，因此，能够准确地通知操作人员。

此外，本发明并不限定于上述的实施方式，在不脱离其主旨的范围内能够进行除上述以外的各种变更。例如，在上述实施方式中，以使返路侧驱动时间TD成为指定值的方式操作速度控制器28a、28b来调整活塞22的驱动速度，但也可以如下地进行调整。即，也可以使第一中间驱动时间TB逐渐变长，从而第二中间驱动时间TC不变动时，以使该第二中间驱动时间TC成为指定值的方式操作速度控制器28a、28b来调整活塞22的驱动速度。

此外，在上述实施方式中，设气缸2的头套23a侧为“第一驱动端”，设杆套23b侧为“第二驱动端”。在将头套23a侧以及杆套23b侧分别设为“第二驱动端”以及“第一驱动端”的情况下，也与上述实施方式完全相同。

另外，在上述实施方式中，在显示·操作部14显示检测出异常发生的内容来通知操作员。本发明的“通知部”并不限定于显示·操作部14，也可以采用其它的通知方法，例如通过声音或光等来通知。

另外，在上述实施方式中，说明了在基板处理装置中控制基板挡块以及驱动基板挡块等的带传感器的气缸2的情况。本发明所涉及的控制装置以及控制方法的适用范围并不限定于此，也可以适用于在设置有检测可动部位于第一驱动端的情况并输出检测信号的检测传感器的状态下，使可动部在第一驱动端与第二驱动端之间往返移动的带传感器的致动器。

此外，上述的具体实施方式主要包含具有如下结构的发明。

本发明一方面所涉及的致动器的控制装置，控制带传感器的致动器，所述带传感器的致动器在安装有检测传感器的状态下，使可动部在第一驱动端与第二驱动端之间往返移动，所述检测传感器检测所述可动部位于所述第一驱动端并输出检测信号，所述控制装置包括：驱动时间测定部，使位于所述第二驱动端的所述可动部向所述第一驱动端移动，测定自可动部向该第一驱动端开始移动起至所述检测传感器输出检测信号为止的往路侧驱动时间；中间时间测定部，使位于所述第一驱动端的所述可动部向所述第二驱动端移动，在可动部向该第二驱动端开始移动起至经过短于所述往路侧驱动时间的第一中间驱动时间的时刻使所述可动部的移动方向反转，并且，测定自该移动方向反转起至所述检测传感器输出检测信号为止的第二中间驱动时间；以及驱动时间计算部，基于以下的算式计算位于所述第一驱动端的所述可动部移动到所述第二驱动端所需的返路侧驱动时间，

(返路侧驱动时间)＝(往路侧驱动时间)×(第一中间驱动时间)/(第二中间驱动时间)。

本发明另一方面所涉及的致动器的控制方法，控制带传感器的致动器，所述带传感器的致动器在安装有检测传感器的状态下，使可动部在第一驱动端与第二驱动端之间往返移动，所述检测传感器检测所述可动部位于所述第一驱动端并输出检测信号，所述控制方法包括以下工序：使位于所述第二驱动端的所述可动部向所述第一驱动端移动，并测定自可动部向该第一驱动端开始移动起至所述检测传感器输出检测信号为止的往路侧驱动时间的工序；使位于所述第一驱动端的所述可动部向所述第二驱动端移动，并在自可动部向该第二驱动端开始移动起至经过短于所述往路侧驱动时间的第一中间驱动时间的时刻使所述可动部的移动停止，以使所述可动部位于所述第一驱动端与所述第二驱动端之间的中间位置的工序；使位于所述中间位置的所述可动部向所述第一驱动端移动，并测定自可动部向该第一驱动端开始移动起至所述检测传感器输出检测信号为止的第二中间驱动时间的工序；以及基于以下的算式计算位于所述第一驱动端的所述可动部移动到所述第二驱动端所需的返路侧驱动时间的工序，

(返路侧驱动时间)＝(往路侧驱动时间)×(第一中间驱动时间)/(第二中间驱动时间)。

本发明又一方面所涉及的致动器的驱动时间测定方法，所述致动器使可动部在第一驱动端与第二驱动端之间移动，所述驱动时间测定方法包括以下工序：通过用检测传感器检测位于所述第二驱动端的所述可动部移动而到达所述第一驱动端，来测定所述可动部从所述第二驱动端移动到所述第一驱动端所需的往路侧驱动时间的工序；使位于所述第一驱动端的所述可动部向所述第二驱动端移动短于所述往路侧驱动时间的第一中间驱动时间并停止在所述第一驱动端与所述第二驱动端之间的中间位置的工序；通过用检测传感器检测位于所述中间位置的所述可动部移动而到达所述第一驱动端，来测定所述可动部从所述中间位置移动到所述第一驱动端所需的第二中间驱动时间的工序；以及基于以下的算式计算位于所述第一驱动端的所述可动部移动到所述第二驱动端所需的返路侧驱动时间的工序，

(返路侧驱动时间)＝(往路侧驱动时间)×(第一中间驱动时间)/(第二中间驱动时间)。

根据如上所述地构成的本发明(致动器的控制装置、控制方法以及致动器的驱动时间测定方法)，通过检测传感器检测从第二驱动端出发的可动部移动至第一驱动端的情况，来实际测定往路侧驱动时间。相对于此，只根据该检测传感器则不能实际测定返路侧驱动时间。

在此，在设定第一驱动端与第二驱动端之间的任意位置即中间位置的情况下，能够准确地取得可动部在第一驱动端与中间位置之间往返移动所需的时间、即第一中间驱动时间以及第二中间驱动时间。并且，这些的比与可动部在第一驱动端与第二驱动端之间往返移动所需的时间、即往路侧驱动时间以及返路侧驱动时间的比相等，成立如下的比例式。

(往路侧驱动时间):(第二中间驱动时间)＝(返路侧驱动时间):(第一中间驱动时间)

因此，根据下一个算式，准确地计算出返路侧驱动时间，

(返路侧驱动时间)＝(往路侧驱动时间)×(第一中间驱动时间)/(第二中间驱动时间)。这样，使用一个检测传感器准确地导出往路侧驱动时间以及返路侧驱动时间。

此外，优选将这些往路侧驱动时间以及返路侧驱动时间显示于显示部。基于该显示能够进行各种控制，致动器控制的幅度变宽。例如在带传感器的致动器连接有速度控制器的情况下，在带传感器的致动器的初始设定时或维护时能够使用速度控制器来调整带传感器的致动器的驱动速度。在如上所述地调整带传感器的致动器的驱动速度时，如果一边使可动部在第一驱动端与第二驱动端之间往返移动，一边更新显示部的显示内容，以显示驱动时间测定部测定的最新的往路侧驱动时间，则操作员能够边看显示内容边操作速度控制器来适当地调整往路侧的驱动速度。

关于这一点，在返路侧也一样。即，一边使可动部在中间位置(使可动部从第一驱动端向第二驱动端移动第一中间驱动时间的位置)与第一驱动端之间往返移动，一边更新显示部的显示内容以显示驱动时间计算部计算出的最新的返路侧驱动时间。这样，操作员边看显示内容边操作速度控制器来适当地调整返路侧的驱动速度。

此外，也可以设置：存储部，存储保证带传感器的致动器的适当动作的往路侧驱动时间以及返路侧驱动时间的基准范围；异常发生判定部，在驱动时间测定部测定的往路侧驱动时间以及驱动时间计算部计算出的返路侧驱动时间中的至少其中之一超过基准范围时，判定为带传感器的致动器发生了异常；以及通知部，当异常发生判定部判定为发生了异常时，通知带传感器的致动器的异常。

根据该结构，基于往路侧驱动时间以及返路侧驱动时间，能够早期发现致动器的异常。此外，作为通知部例如可使用显示部，通过显示带传感器的致动器发生了异常的内容，来恰当地通知操作员等。

如上述说明所述，根据本发明，使用一个检测传感器不仅能够准确地导出可动部的往路侧驱动时间，而且也能准确地导出返路侧驱动时间。

Claims (9)

1.一种致动器的控制装置，其特征在于：控制带传感器的致动器，所述带传感器的致动器在安装有检测传感器的状态下，使可动部在第一驱动端与第二驱动端之间往返移动，所述检测传感器检测所述可动部位于所述第一驱动端并输出检测信号，所述控制装置包括：

驱动时间测定部，使位于所述第二驱动端的所述可动部向所述第一驱动端移动，测定自可动部向该第一驱动端开始移动起至所述检测传感器输出检测信号为止的往路侧驱动时间；

中间时间测定部，使位于所述第一驱动端的所述可动部向所述第二驱动端移动，在可动部向该第二驱动端开始移动起至经过短于所述往路侧驱动时间的第一中间驱动时间的时刻使所述可动部的移动方向反转，并且，测定自该移动方向反转起至所述检测传感器输出检测信号为止的第二中间驱动时间；以及

驱动时间计算部，基于以下的算式计算位于所述第一驱动端的所述可动部移动到所述第二驱动端所需的返路侧驱动时间，

(返路侧驱动时间)＝(往路侧驱动时间)×(第一中间驱动时间)/(第二中间驱动时间)。

2.根据权利要求1所述的致动器的控制装置，其特征在于还包括：

显示部，显示所述驱动时间测定部所测定的所述往路侧驱动时间。

3.根据权利要求2所述的致动器的控制装置，其特征在于：

在所述带传感器的致动器连接有速度控制器，

在所述带传感器的致动器的初始设定时或维护时，使用所述速度控制器调整所述带传感器的致动器的驱动速度，

所述驱动时间测定部在调整所述带传感器的致动器的驱动速度时，一边使所述可动部在所述第一驱动端与所述第二驱动端之间往返移动，一边反复测定所述往路侧驱动时间，

所述显示部更新显示内容，以显示所述驱动时间测定部测定的最新的往路侧驱动时间。

4.根据权利要求1所述的致动器的控制装置，其特征在于还包括：

显示部，显示所述驱动时间计算部所计算的所述返路侧驱动时间。

5.根据权利要求4所述的致动器的控制装置，其特征在于：

在所述带传感器的致动器连接有速度控制器，

在所述带传感器的致动器的初始设定时或维护时，使用所述速度控制器调整所述带传感器的致动器的驱动速度，

所述驱动时间计算部在调整所述带传感器的致动器的驱动速度时，一边使所述可动部在中间位置与所述第一驱动端之间往返移动，一边反复计算所述返路侧驱动时间，其中，所述中间位置是使所述可动部从所述第一驱动端向所述第二驱动端侧移动所述第一中间驱动时间的位置，

所述显示部更新显示内容，以显示所述驱动时间计算部计算出的最新的返路侧驱动时间。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的致动器的控制装置，其特征在于还包括：

存储部，存储保证所述带传感器的致动器的适当动作的往路侧驱动时间以及返路侧驱动时间的基准范围；

异常发生判定部，当在所述驱动时间测定部测定的往路侧驱动时间以及在所述驱动时间计算部计算出的返路侧驱动时间中的至少其中之一超过所述基准范围时，判定为所述带传感器的致动器发生了异常；以及

通知部，当由所述异常发生判定部判定为发生了异常时，通知所述带传感器的致动器的异常。

7.根据权利要求6所述的致动器的控制装置，其特征在于：

所述通知部是显示所述带传感器的致动器发生异常的内容的显示部。

8.一种致动器的控制方法，其特征在于：控制带传感器的致动器，所述带传感器的致动器在安装有检测传感器的状态下，使可动部在第一驱动端与第二驱动端之间往返移动，所述检测传感器检测所述可动部位于所述第一驱动端并输出检测信号，所述控制方法包括以下工序：

使位于所述第二驱动端的所述可动部向所述第一驱动端移动，并测定自可动部向该第一驱动端开始移动起至所述检测传感器输出检测信号为止的往路侧驱动时间的工序；

使位于所述第一驱动端的所述可动部向所述第二驱动端移动，并在自可动部向该第二驱动端开始移动起至经过短于所述往路侧驱动时间的第一中间驱动时间的时刻使所述可动部的移动停止，以使所述可动部位于所述第一驱动端与所述第二驱动端之间的中间位置的工序；

使位于所述中间位置的所述可动部向所述第一驱动端移动，并测定自可动部向该第一驱动端开始移动起至所述检测传感器输出检测信号为止的第二中间驱动时间的工序；以及

基于以下的算式计算位于所述第一驱动端的所述可动部移动到所述第二驱动端所需的返路侧驱动时间的工序，

(返路侧驱动时间)＝(往路侧驱动时间)×(第一中间驱动时间)/(第二中间驱动时间)。

9.一种致动器的驱动时间测定方法，其特征在于：所述致动器使可动部在第一驱动端与第二驱动端之间移动，所述驱动时间测定方法包括以下工序：

通过用检测传感器检测位于所述第二驱动端的所述可动部移动而到达所述第一驱动端，来测定所述可动部从所述第二驱动端移动到所述第一驱动端所需的往路侧驱动时间的工序；

使位于所述第一驱动端的所述可动部向所述第二驱动端移动短于所述往路侧驱动时间的第一中间驱动时间并停止在所述第一驱动端与所述第二驱动端之间的中间位置的工序；

通过用检测传感器检测位于所述中间位置的所述可动部移动而到达所述第一驱动端，来测定所述可动部从所述中间位置移动到所述第一驱动端所需的第二中间驱动时间的工序；以及

基于以下的算式计算位于所述第一驱动端的所述可动部移动到所述第二驱动端所需的返路侧驱动时间的工序，

(返路侧驱动时间)＝(往路侧驱动时间)×(第一中间驱动时间)/(第二中间驱动时间)。