KR20140091764A

KR20140091764A - 액츄에이터의 제어 장치, 제어 방법 및 액츄에이터의 구동 시간 측정 방법

Info

Publication number: KR20140091764A
Application number: KR1020147016904A
Authority: KR
Inventors: 야스히로 스즈키
Original assignee: 야마하하쓰도키 가부시키가이샤
Priority date: 2011-12-09
Filing date: 2012-05-01
Publication date: 2014-07-22
Also published as: JP2013120923A; JP5282138B2; KR101531588B1; WO2013084372A1; CN103959933B; CN103959933A

Abstract

액츄에이터의 제어 장치는 검지 센서가 부착된 제 1 구동단과 제 2 구동단 사이에서 상기 가동부를 왕복 이동시키는 센서 부착 액츄에이터를 제어한다. 그 장치는 제 1 구동단에의 가동부 이동의 개시부터 상기 검지 센서가 검지 신호를 출력할 때까지의 왕로측 구동 시간을 측정하는 구동 시간 측정부와, 상기 제 1 구동단에 위치하는 상기 가동부를 상기 제 2 구동단을 향해서 이동시키고 상기 제 2 구동단으로의 가동부 이동의 개시부터 제 1 중간 구동 시간이 경과한 시점에서 상기 가동부의 이동 방향을 반전시킴과 아울러 상기 이동 방향의 반전으로부터 상기 검지 센서가 검지 신호를 출력할 때까지의 제 2 중간 구동 시간을 측정하는 중간 시간 측정부와, 상기 제 1 구동단에 위치하는 상기 가동부가 상기 제 2 구동단으로 이동하는데 필요한 복로측 구동 시간을 다음 식
(복로측 구동 시간)=(왕로측 구동 시간)×(제 1 중간 구동 시간)/(제 2 중간 구동 시간)
에 의거하여 계산해서 출력하는 구동 시간 산출부를 포함한다.

Description

액츄에이터의 제어 장치, 제어 방법 및 액츄에이터의 구동 시간 측정 방법{ACTUATOR CONTROL DEVICE, ACTUATOR CONTROL METHOD AND ACTUATOR DRIVE DURATION MEASUREMENT METHOD}

본 발명은 제 1 구동단과 제 2 구동단 사이에서 가동부를 왕복 이동시키는 액츄에이터를 제어하는 제어 장치 및 제어 방법, 그리고 제 1 구동단과 제 2 구동단 사이에서 가동부의 동작 시간, 즉 액츄에이터의 구동 시간을 측정하는 방법에 관한 것이다.

전자부품을 실장한 기판을 제조하기 위해서, 전자부품이 실장되는 기판에 형성된 전극에 땜납을 인쇄 장치에 의해 인쇄하는 인쇄 공정과, 땜납이 인쇄된 기판에 대하여 표면실장기에 의해 부품을 실장하는 실장 공정과, 부품이 실장된 기판을 리플로우 노에 통과시키는 리플로우 공정이 이 순서로 실행된다.

상기 인쇄 장치 및 표면실장기의 각각에 있어서는 기판을 대기시키는 대기위치와 기판에 대하여 소정의 처리를 행하는 작업 위치가 설치되어 있다. 상기 인쇄 장치 및 표면실장기에 장비되는 기판 반송 장치에 의해 소정의 처리를 실행하기 위해서 대기 위치로부터 작업 위치로의 기판의 반입과, 다음 공정으로 기판을 반송하기 위해서 작업 위치로부터의 기판의 반출이 실행된다. 또한, 기판을 대기 위치 등에서 정지시키는 기능을 담당하는 스토퍼나 기판을 유지하는 기능을 담당하는 클램퍼 등의 구동원으로서 에어 실린더 등의 액츄에이터가 사용되고 있다. 예를 들면, 특허문헌 1에서는 에어 실린더가 동작함으로써 레버를 회전시켜서 스토퍼를 기판의 반송을 저지해서 정지시키는 기술이 기재되어 있다.

인쇄 장치나 표면실장기에는 수많은 에어 실린더가 사용되고 있다. 각 에어 실린더에 연결된 스피드 컨트롤러(속도 제어 밸브)를 오퍼레이터 등이 매뉴얼 조작함으로써 에어 실린더의 구동 속도가 각각 조정된다. 그 때문에, 구동 속도에 불균형이 발생하면 반송 중의 기판을 밀어 올린다는 문제, 여분의 시간을 가짐으로써 작업 시간의 손실을 초래한다는 문제 등이 발생하는 일이 있었다.

여기서 에어 실린더의 구동 속도, 즉 에어 실린더의 피스톤이 전진단(前進端)으로부터 후퇴단(後退端)까지 이동하는데 필요한 왕로측 구동 시간 및 후퇴단으로부터 전진단까지 이동하는데 필요한 복로(復路)측 구동 시간을 정확하게 구할 수 있다면, 그것들에 의거하여 에어 실린더의 구동 속도를 고정밀도로 조정할 수 있어 구동 속도의 불균형을 억제하는 것이 가능하다. 또한, 구동 시간을 정기적으로 구함으로써 에어 실린더의 시간 경과에 따른 변화를 파악할 수 있고, 그것들에 의거하여 에어 실린더의 구동 속도를 재조정하는 것이 가능해진다. 또한, 구동 시간의 변화에 의해 에어 실린더의 이상 발생이나 교환 시기 등을 관리하는 것도 가능해진다.

이와 같이 에어 실린더의 구동 시간은 매우 유익한 정보이다. 그래서, 피스톤이 전진단 및 후퇴단에 위치하는 것을 검지하는 검지 센서를 에어 실린더의 양 단부에 부착하고, 이 2개의 검지 센서로부터 출력되는 검지 신호를 이용해서 왕로측 구동 시간 및 복로측 구동 시간을 계측하는 것이 생각된다. 그러나, 각 에어 실린더에 대하여 2개의 검지 센서를 부착하는 것은 장치 비용을 증대시키는 주요 원인의 하나가 되어버린다.

일본 특허공개 2001-15995호 공보

본 발명의 목적은 에어 실린더 등의 가동부를 왕복 이동시키는 액츄에이터의 왕로측 구동 시간 및 복로측 구동 시간 양쪽을 1개의 검지 센서에 의해 도출하는 기술을 제공하는 것에 있다.

본 발명의 한 국면에 의한 액츄에이터의 제어 장치는 가동부가 제 1 구동단에 위치하는 것을 검지해서 검지 신호를 출력하는 검지 센서가 부착된 상태에서 상기 제 1 구동단과 제 2 구동단 사이에서 상기 가동부를 왕복 이동시키는 센서 부착 액츄에이터를 제어하는 액츄에이터의 제어 장치이며,

상기 제 2 구동단에 위치하는 상기 가동부를 상기 제 1 구동단을 향해서 이동시키고, 상기 제 1 구동단으로의 가동부 이동의 개시부터 상기 검지 센서가 검지 신호를 출력할 때까지의 왕로측 구동 시간을 측정하는 구동 시간 측정부와,

상기 제 1 구동단에 위치하는 상기 가동부를 상기 제 2 구동단을 향해서 이동시키고, 상기 제 2 구동단으로의 가동부 이동의 개시부터 상기 왕로측 구동 시간보다 짧은 제 1 중간 구동 시간이 경과한 시점에서 상기 가동부의 이동 방향을 반전시킴과 아울러, 상기 이동 방향의 반전으로부터 상기 검지 센서가 검지 신호를 출력할 때까지의 제 2 중간 구동 시간을 측정하는 중간 시간 측정부와,

상기 제 1 구동단에 위치하는 상기 가동부가 상기 제 2 구동단으로 이동하는데 필요한 복로측 구동 시간을 다음 식

(복로측 구동 시간)=(왕로측 구동 시간)×(제 1 중간 구동 시간)/(제 2 중간 구동 시간)

에 의거하여 계산해서 출력하는 구동 시간 산출부를 구비한다.

본 발명의 다른 국면에 의한 액츄에이터의 제어 방법은 가동부가 제 1 구동단에 위치하는 것을 검지해서 검지 신호를 출력하는 검지 센서가 부착된 상태에서 상기 제 1 구동단과 제 2 구동단 사이에서 상기 가동부를 왕복 이동시키는 센서 부착 액츄에이터를 제어하는 액츄에이터의 제어 방법이며,

상기 제 2 구동단에 위치하는 상기 가동부를 상기 제 1 구동단을 향해서 이동시키고, 상기 제 1 구동단으로의 가동부 이동의 개시부터 상기 검지 센서가 검지 신호를 출력할 때까지의 왕로측 구동 시간을 측정하는 공정과,

상기 제 1 구동단에 위치하는 상기 가동부를 상기 제 2 구동단을 향해서 이동시키고, 상기 제 2 구동단으로의 가동부 이동의 개시부터 상기 왕로측 구동 시간보다 짧은 제 1 중간 구동 시간이 경과한 시점에서 상기 가동부의 이동을 정지시켜서 상기 가동부를 상기 제 1 구동단과 상기 제 2 구동단의 중간 위치에 위치시키는 공정과,

상기 중간 위치에 위치하는 상기 가동부를 상기 제 1 구동단을 향해서 이동시키고, 상기 제 1 구동단으로의 가동부 이동의 개시부터 상기 검지 센서가 검지 신호를 출력할 때까지의 제 2 중간 구동 시간을 측정하는 공정과,

에 의거하여 계산해서 출력하는 공정을 구비한다.

본 발명의 또 다른 국면에 의한 액츄에이터의 구동 시간 측정 방법은 제 1 구동단과 제 2 구동단 사이에서 가동부를 왕복 이동하는 액츄에이터의 구동 시간 측정 방법이며,

상기 제 2 구동단에 위치하는 상기 가동부가 이동해서 상기 제 1 구동단에 도달한 것을 검지 센서에서 검지함으로써 상기 제 2 구동단으로부터 상기 제 1 구동단으로 상기 가동부가 이동하는데 필요한 왕로측 구동 시간을 측정하는 공정과,

상기 제 1 구동단에 위치하는 상기 가동부를 상기 왕로측 구동 시간보다 짧은 제 1 중간 구동 시간만큼 상기 제 2 구동단을 향해서 이동시켜서 상기 제 1 구동단과 상기 제 2 구동단의 중간 위치에 위치시키는 공정과,

상기 중간 위치에 위치하는 상기 가동부가 이동해서 상기 제 1 구동단에 도달한 것을 상기 검지 센서에서 검지함으로써 상기 중간 위치로부터 상기 제 1 구동단으로 상기 가동부가 이동하는데 필요한 제 2 중간 구동 시간을 측정하는 공정과,

에 의거하여 계산해서 구하는 공정을 구비한다.

본 발명의 목적, 특징 및 이점은 이하의 상세한 설명과 첨부된 도면에 의하여 더욱 명백해진다.

도 1은 본 발명에 의한 액츄에이터의 제어 장치의 일실시형태를 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1에 나타내는 제어 장치의 동작 개요를 나타내는 플로우 차트이다.
도 3은 왕로측 구동 속도의 조정 처리를 나타내는 플로우 차트이다.
도 4는 복로측 구동 속도의 조정 처리를 나타내는 플로우 차트이다.
도 5는 복로측 구동 속도의 조정 처리를 나타내는 플로우 차트이다.
도 6은 왕로측 구동 시간, 제 1 중간 구동 시간, 제 2 중간 구동 시간 및 복로측 구동 시간의 관계를 모식적으로 나타내는 도면이다.

기판에 전자부품을 실장하는 기판 처리 시스템에 있어서는 인쇄기, 인쇄 검사기, 표면실장기 및 실장 검사기 등의 기판 처리 장치가 반송로를 따라 병설되어 있고, 각 기판 처리 장치가 기판 반송로를 따라 반송되는 기판에 대하여 처리 프로그램에 따라서 원하는 처리를 실시한다.

예를 들면, 표면실장기에서는 장치 전체를 제어하는 제어 장치에 의해 기판반송 기구가 제어되어, 기판을 소정의 목표 위치까지 반송하고 정지시킨다. 이때, 제어 장치가 에어 실린더를 구동 제어함으로써 기판 스토퍼를 기판 반송로 상에 위치시켜서 기판 정지를 행하는 일이 있다. 또한, 제어 장치로부터의 제어 지령에 따라 별도의 에어 실린더를 구동해서 목표 위치에서 기판을 클램프하여 고정하는 일도 있다. 그리고, 테이프 피더 등의 부품 공급부로부터 공급되는 IC(Integrated Circuit) 등의 전자 부품이 목표 위치의 기판에 실장된다. 또한, 부품 실장 완료 후에 제어 장치에 의해 상기 에어 실린더가 구동 제어되어 클램프 해제 및 스토퍼 퇴피가 실행되어 기판의 반출 준비가 완료된 후, 기판 반출이 실행된다. 이렇게 기판 처리 장치에서는 수많은 에어 실린더가 사용되고 있지만, 본 실시형태에서는 제어 장치는 에어 실린더에 부착되는 단일의 검지 센서로부터 출력되는 검지 신호에 의거하여 에어 실린더를 제어하고 있다. 이하, 도면을 참조하면서 본 실시형태에 있어서의 제어 장치의 구성 및 동작에 대해서 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명에 의한 액츄에이터의 제어 장치의 일실시형태를 나타내는 도면이다. 이 제어 장치(1)는 인쇄기나 표면실장기 등의 기판 처리 장치를 제어하는 것이며, 프로그램에 따라서 기판 처리를 실행하기 위한 한 동작으로서 센서 부착 에어 실린더(2)(센서 부착 액츄에이터)를 구동 제어함으로써 기판 스토퍼나 기판 클램프 등을 작동시킨다.

센서 부착 에어 실린더(2)는 X방향으로 연장 설치된 실린더 튜브(21)와 그 실린더 튜브(21) 내에 왕복 가능하게 배치된 피스톤(22)(가동부)을 포함한다. 피스톤(22)에는 -X방향으로 연신되는 실린더 로드(22R)가 일체로 부착되어 있다. 실린더 로드(22R)는 그 선단이 실린더 튜브(21)로부터 돌출되어 액츄에이터 동작을 행하는 것이고, 피스톤(22)의 X방향의 왕복 동작에 따라 실린더 튜브(21)로부터의 돌출량이 변화한다.

실린더 튜브(21)는 후단부에 헤드 커버(23a)가 부착되어 있음과 아울러 선단부에 로드 커버(23b)가 부착되어 있다. 압력 공급원인 에어 공급원(24)이 스위칭 밸브(25)를 통해서 헤드 커버(23a) 및 로드 커버(23b)에 각각 접속되어 있다. 제어 장치(1)로부터의 스위칭 지령에 따라 스위칭 밸브(25)가 작동함으로써 피스톤(22)이 X방향으로 구동된다. 또한, 본 실시형태에서는 피스톤(22)의 구동단 중 (+X)방향측을 「제 1 구동단」이라고 칭함과 아울러, (-X)방향측을 「제 2 구동단」이라고 칭한다. 또한, 제 2 구동단으로부터 제 1 구동단으로 구동하는 동작을 「왕로측 구동」이라고 칭함과 아울러, 제 1 구동단으로부터 제 2 구동단으로 구동하는 동작을 「복로측 구동」이라고 칭한다.

실린더 튜브(21)의 (+X)방향측의 측단부에는 검지 센서(26)가 부착되어 있다. 검지 센서(26)는 피스톤(22)이 제 1 구동단에 위치하는 것을 검지해서 검지 신호를 제어 장치(1)에 출력한다. 또한, 본 실시형태에서는 제 1 구동단측에만 검지 센서(26)가 부착되고, 제 2 구동단측에는 부착되어 있지 않다.

스위칭 밸브(25)와 헤드 커버(23a)를 접속해서 공압 회로를 구성하는 제 1 배관(27a)에는 제 1 스피드 컨트롤러(28a)가 개재 삽입되어 있다. 스위칭 밸브(25)와 로드 커버(23b)를 접속해서 공압 회로를 구성하는 제 2 배관(27b)에는 제 2 스피드 컨트롤러(28b)가 개재 삽입되어 있다. 이 때문에, 오퍼레이터 등이 제 1 , 제 2 스피드 컨트롤러(28a, 28b)를 매뉴얼 조작함으로써 피스톤(22)의 왕로측 구동 속도 및 복로측 구동 속도를 가변 가능하다.

제어 장치(1)는 상기한 프로그램이나 각종 데이터 등을 기억하는 메모리(11)(기억부)와, 프로그램이나 검지 신호 등에 의거하여 센서 부착 에어 실린더(2)를 구동 제어하는 CPU(Central Processing Unit)(12)와, 입출력 I/F(13)와, 터치 패널 등의 표시·조작부(14)(표시부/통지부)를 갖고 있다. 또한, 메모리(11), CPU(12) 및 입출력 I/F(13)는 제어 박스(15) 내에 수납되어 있고, 버스(16)를 통해서 상호 간에 각종 신호나 데이터 등을 수수 가능하게 되어 있다. 또한, 입출력 I/F(13)는 표시·조작부(14), 스위칭 밸브(25) 및 검지 센서(26)와 전기적으로 접속되어 있다.

CPU(12)는 메모리(11)에 미리 기억된 프로그램에 따라서 입출력 I/F(13)를 통해서 검지 센서(26)로부터의 검지 신호를 수취하고, 또한 스위칭 지령 및 표시 지령을 각각 스위칭 밸브(25) 및 표시·조작부(14)에 출력한다. CPU(12)는 기능적으로 구동 시간 측정부(121), 중간 시간 측정부(122), 구동 시간 산출부(123) 및 이상 발생 판정부(124)를 구비하고 있다.

구동 시간 측정부(121)는 상기 제 2 구동단에 위치하는 피스톤(22)을 상기 제 1 구동단을 향해서 이동시킨다. 또한, 구동 시간 측정부(121)는 상기 제 1 구동단으로의 피스톤(22)의 이동을 개시시키고부터 상기 제 1 구동단에 피스톤(22)이 도달해서 검지 센서(26)가 검지 신호를 출력할 때까지의 왕로측 구동 시간을 측정한다.

중간 시간 측정부(122)는 상기 제 1 구동단에 위치하고 있는 피스톤(22)을 상기 제 2 구동단을 향해서 이동시키고, 상기 제 2 구동단으로의 피스톤(22)의 이동을 개시시키고부터 상기 왕로측 구동 시간보다 짧은 제 1 중간 구동 시간이 경과한 시점에서 피스톤(22)의 이동 방향을 반전시킨다. 그리고, 중간 시간 측정부(122)는 상기 이동 방향의 반전으로부터 검지 센서(26)가 피스톤(22) 검지 신호를 출력할 때까지의 제 2 중간 구동 시간을 측정한다.

구동 시간 산출부(123)는 상기 제 1 구동단에 위치하는 피스톤(22)이 상기 제 2 구동단까지 이동하는데 필요한 복로측 구동 시간을 다음 식

에 의거하여 계산해서 출력한다.

이상 발생 판정부(124)는 구동 시간 측정부(121)에서 측정된 상기 왕로측 구동 시간 및 구동 시간 산출부(123)에서 산출된 상기 복로측 구동 시간 중 적어도 한쪽이 상기 기준 범위를 초과하고 있을 때, 센서 부착 에어 실린더(2)에 이상이 발생했다고 판정한다.

메모리(11)는 센서 부착 에어 실린더(2)의 적정 동작이 보증되는 상기 왕로측 구동 시간 및 상기 복로측 구동 시간의 기준 범위를 기억한다.

표시·조작부(14)는 구동 시간 측정부(121)에서 측정된 상기 왕로측 구동 시간 및 구동 시간 산출부(123)에서 산출된 상기 복로측 구동 시간을 표시한다. 또한 표시·조작부(14)는 이상 발생 판정부(124)에 의해 이상이 발생했다고 판정되면 센서 부착 에어 실린더(2)의 이상을 오퍼레이터에게 통지하는 메시지 정보 등을 표시한다.

CPU(12)는 프로그램에 따라서 상기 게재한 기능부가 동작함으로써 다음 설명하는 동작을 실행한다. 이하, 도 2 내지 도 6을 참조하면서 제어 장치(1)에 의한 센서 부착 에어 실린더(2)의 구동 시간의 도출 처리, 구동 속도의 조정 처리, 이상 검출 처리에 대해서 상세히 설명한다.

도 2는 도 1에 나타내는 제어 장치(1)의 동작 개요를 나타내는 플로우 차트이다. 또한, 도 3은 왕로측 구동 속도의 조정을 나타내는 플로우 차트이다. 또한, 도 4 및 도 5는 복로측 구동 속도의 조정을 나타내는 플로우 차트이다. 또한, 도 6은 왕로측 구동 시간, 제 1 중간 구동 시간, 제 2 중간 구동 시간 및 복로측 구동 시간의 관계를 모식적으로 나타내는 도면이다. 이 제어 장치(1)는 메모리(11)에 미리 기억된 프로그램에 따라서 센서 부착 에어 실린더(2) 등을 제어함으로써 왕로측 구동 속도의 조정, 복로측 구동 속도의 조정, 에어 실린더(2)의 이상 검지 등을 실행한다.

제어 장치(1)의 CPU(12)는 우선 왕로측 구동 속도의 조정을 행한다(스텝 S1). 왕로측 구동 속도의 조정 처리에서는 도 3에 나타내는 바와 같이 CPU(12)는 입출력 I/F(13)를 통해서 스위칭 밸브(25)에 스위칭 지령, 보다 자세히는 로드(피스톤) 전진 지령을 주고(스텝 S11), 이것에 따라 피스톤(22)이 (-X)방향측으로 이동한다. 그리고, 피스톤(22)이 제 1 구동단으로부터 제 2 구동단까지 이동하는데 충분한 소정 시간만큼이 경과하는 것을 기다린다(스텝 S12). 이것에 의해, 왕로측 구동 속도의 조정을 개시한 시점에서 피스톤(22)이 실린더 튜브(21) 내의 어느 위치에 위치하고 있다고 하여도, 소정 시간이 경과한 시점에서 피스톤(22)은 제 2 구동단에 위치하게 된다(도 3 중 상측 파선 영역).

이렇게 해서 피스톤(22)이 제 2 구동단에 위치하고 있는 상태에서 CPU(12)의 구동 시간 측정부(121)는 스위칭 지령, 보다 자세히는 로드(피스톤) 후퇴 지령을 스위칭 밸브(25)에 준다. 이것에 의해 피스톤(22)의 (+X)방향으로의 이동이 개시된다(스텝 S13). 이 타이밍에서 구동 시간 측정부(121)는 왕로측 구동 시간(TA)의 카운트값을 제로로 리셋한 후에 카운트를 개시해서 왕로측 구동 시간(TA)의 계측을 개시한다(스텝 S14).

피스톤(22)이 제 1 구동단까지 도달하면 검지 센서(26)로부터 검지 신호가 출력된다(스텝 S15에서 「YES」). 그것을 받고서 구동 시간 측정부(121)는 카운트를 정지해서 왕로측 구동 시간(TA)의 계측을 종료함과 아울러, 그 시점의 카운트값으로부터 왕로측 구동 시간(TA)을 취득한다. 또한, 구동 시간 측정부(121)는 취득한 값을 최신의 왕로측 구동 시간(TA)으로서 메모리(11)에 기록함과 아울러, 동 도면 중 하측 파선 영역에 나타내는 바와 같이 표시·조작부(14)에서의 왕로측 구동 시간(TA)의 표시를 상기와 같이 하여 취득한 최신값으로 재기록한다(스텝 S17).

이와 같이, 본 실시형태에서는 구동 시간 측정부(121)가 피스톤(22)을 제 2 구동단으로부터 제 1 구동단으로 이동시키고, 피스톤(22)의 제 1 구동단으로의 이동을 검지, 즉 검지 센서(26)가 ON상태가 됨으로써 왕로측 구동 시간(TA)을 실측하고 있다. 따라서, 왕로측 구동 시간(TA)을 정확하게 측정할 수 있다.

다음의 스텝 S18에서는 오퍼레이터에 의한 왕로측 구동 속도의 조정이 완료되어 있는지의 여부를 CPU(12)는 판단한다. 즉, 표시·조작부(14)에 표시되어 있는 왕로측 구동 시간(TA)이 소정값일 경우에는 오퍼레이터는 조정 종료의 조작을 행한다. 이 조작은, 예를 들면 표시·조작부(14)에 표시되는 조정 종료 버튼에의 터치이다. 한편, 그 조작이 행하여지지 않는 동안 CPU(12)는 조정 종료라고는 판단하지 않고, 스텝 S11로 돌아가서 일련의 동작을 반복한다. 즉, 구동 시간 측정부(121)는 상기 제 1 구동단과 상기 제 2 구동단 사이에서 피스톤(22)을 왕복 이동시키면서 상기 왕로측 구동 시간(TA)을 반복해서 측정한다. 이 반복 중에 오퍼레이터는 제 1 , 제 2 스피드 컨트롤러(28a, 28b)를 조작해서 왕로측 구동 속도의 조정을 행하는 것이지만, 그것에 따라 표시·조작부(14)에 표시되어 있는 왕로측 구동 시간(TA)도 변화한다. 즉, 표시·조작부(14)는 구동 시간 측정부(121)가 측정한 최신의 왕로측 구동 시간(TA)을 표시하도록 표시 내용을 갱신한다.

이 때문에 오퍼레이터는 표시·조작부(14)에 표시되어 있는 왕로측 구동 시간(TA)을 보면서 제 1 , 제 2 스피드 컨트롤러(28a, 28b)를 조작함으로써 왕로측 구동 시간(TA)을 소정값으로 설정할 수 있다. 왕로측 구동 속도는

(왕로측 구동 속도)=(제 1 구동단과 제 2 구동단의 거리)/(왕로측 구동 시간(TA))

로 조정된다. 이 왕로측 구동 속도의 조정 처리는 통상 장치 출하시나 메인터넌스시에 실행되는 것이다. 그리고, 조정 종료의 조작이 행하여진 것을 확인한 뒤에, 다음의 스텝 S2가 진행된다.

스텝 S2에서는 도 4 및 도 5에 나타내는 복로측 구동 속도의 조정 처리가 실행된다. 이 조정 처리에서는 CPU(12)의 구동 시간 측정부(121)에 의해 상기한 스텝 S11∼S16과 마찬가지로 해서 왕로측 구동 시간(TA)이 측정된다(스텝 S201∼S206). 여기에서, 왕로측 구동 속도의 조정 처리부터 복로측 구동 속도의 조정 처리까지의 시간이 짧고, 복로측 구동 속도의 조정 개시 시점이라도 왕로측 구동 속도가 변동하고 있지 않을 경우에는 왕로측 구동 시간(TA)의 측정은 불필요하다. 단, 다음의 스텝 S207을 실행하기 직전에 있어서 도 4 중의 파선 영역에 나타내는 바와 같이 적어도 피스톤(22)을 제 1 구동단에 위치시켜 둘 필요가 있다.

다음의 스텝 S207에서는 CPU(12)의 중간 시간 측정부(122)는 제 1 구동단에 위치하고 있는 피스톤(22)을 (-X)방향측, 즉 제 2 구동단측으로 이동시키기 위해 스위칭 밸브(25)에 대하여 로드 전진 지령을 준다. 이것에 의해 피스톤(22)의 (-X)방향으로의 이동이 개시된다. 그리고 나서 왕로측 구동 시간(TA)보다 짧은 제 1 중간 구동 시간(TB)이 경과한(스텝 S208에서 「YES」) 시점에서 CPU(12)는 스위칭 밸브(25)에 대하여 로드 후퇴 지령을 주어서 피스톤(22)의 이동 방향을 반전시킨다(스텝 S209). 즉, 제 1 중간 구동 시간(TB)의 경과 시점에서 도 5의 상측 파선 영역에 나타내는 바와 같이 피스톤(22)은 제 1 구동단과 제 2 구동단의 중간 위치에서 이동 정지한 후, (+X)방향으로 이동하기 시작한다. 또한, 본 실시형태에서는 제 1 중간 구동 시간(TB)을 미리 메모리(11)에 기억하고 있지만, 왕로측 구동 시간(TA)으로부터 소정값을 감산함으로써 제 1 중간 구동 시간(TB)을 산출하고, 그 값을 사용해도 된다.

이 이동 반전과 동시에 중간 시간 측정부(122)는 제 2 중간 구동 시간(TC)의 카운트값을 제로로 리셋한 후, 카운트를 개시해서 제 2 중간 구동 시간(TC)의 계측을 개시한다(스텝 S210). 그리고 피스톤(22)이 제 1 구동단까지 도달하여 검지 센서(26)로부터 검지 신호가 출력되면(스텝 S211에서 「YES」), 그것을 받고서 중간 시간 측정부(122)는 카운트를 정지해서 제 2 중간 구동 시간(TC)의 계측을 종료함과 아울러, 그 시점의 카운트값으로부터 제 2 중간 구동 시간(TC)을 취득한다(스텝 S212). 또한, 중간 시간 측정부(122)는 취득한 값을 최신의 제 2 중간 구동 시간(TC)으로서 메모리(11)에 기록한다.

제 1 중간 구동 시간(TB)은 설정값이고, 왕로측 구동 시간(TA) 및 제 2 중간 구동 시간(TC)은 검지 센서(26)를 사용함으로써 정확하게 측정된 값이며, 어느 값(TA, TB, TC)에 대해서도 CPU(12)는 정확하게 취득할 수 있다. 여기서, 이 3종류의 구동 시간(TA, TB, TC)에 추가해 미취득의 복로측 구동 시간(TD)을 포함한 구동 시간의 상호 관계를 모식적으로 정리하면 도 6에 나타내는 바와 같다. 이것들 중 중간 구동 시간(TB, TC)의 비는 제 1 구동단과 제 2 구동단 사이를 가동부가 왕복 이동하는데 필요한 시간, 즉 왕로측 구동 시간 및 복로측 구동 시간의 비와 같고, 다음의 비례식

(왕로측 구동 시간 (TA)):(제 2 중간 구동 시간 (TC))=(복로측 구동 시간 (TD)):(제 1 중간 구동 시간 (TB))

이 성립한다. 따라서, 다음 식

(복로측 구동 시간 (TD))=(왕로측 구동 시간 (TA))×(제 1 중간 구동 시간 (TB))/제 2 중간 구동 시간 (TC))

에 의거하여 복로측 구동 시간(TD)을 정확하게 산출할 수 있다. 그래서, 본 실시형태에서는 다음의 스텝 S213에서 CPU(12)의 구동 시간 산출부(123)는 상기 식에 의거하여 복로측 구동 시간(TD)을 산출한다.

그것에 이어서, 구동 시간 산출부(123)는 산출한 복로측 구동 시간(TD)을 메모리(11)에 기록함과 아울러, 도 5의 하측 파선 영역에 나타내는 바와 같이 표시·조작부(14)에서의 복로측 구동 시간(TD)의 표시를 상기와 같이 하여 산출한 값으로 재기록한다(스텝 S214). 이렇게, 본 실시형태에서는 1개의 검지 센서(26)를 사용해서 왕로측 구동 시간(TA)뿐만 아니라, 복로측 구동 시간(TD)에 대해서도 정확하게 도출할 수 있다.

또한, 복로측 구동 속도의 조정 처리에 있어서는 왕로측 구동 속도의 조정 처리와 마찬가지로 오퍼레이터에 의한 속도 조정이 종료될 때(스텝 S215에서 「YES」)까지 스텝 S207로 돌아가서 일련의 공정이 반복된다. 즉, 표시·조작부(14)에 표시되어 있는 복로측 구동 시간(TD)이 소정값일 경우에는 오퍼레이터는 조정 종료의 조작, 예를 들면 표시·조작부(14)에 표시되는 조정 종료 버튼에의 터치를 행한다. 한편, 그 조작이 행하여지지 않는 동안 CPU(12)는 조정 종료라고는 판단하지 않고, 스텝 S207로 돌아가서 일련의 동작을 반복한다. 즉, 구동 시간 산출부(123)는 상기 제 1 구동단으로부터 상기 제 1 중간 구동 시간만큼 상기 제 2 구동단측으로 피스톤(22)을 이동시킨 중간 위치와 상기 제 1 구동단 사이에서 피스톤(22)을 왕복 이동시키면서 상기 복로측 구동 시간(TD)을 반복해서 산출한다. 이 반복 중에, 오퍼레이터는 스피드 컨트롤러(28a, 28b)를 조작해서 복로측 구동 속도의 조정을 행하는 것이지만, 그것에 따라 표시·조작부(14)에 표시되어 있는 복로측 구동 시간(TD)도 변화한다. 즉, 표시·조작부(14)는 구동 시간 산출부(123)가 산출한 최신의 복로측 구동 시간(TD)을 표시하도록 표시 내용을 갱신한다.

이와 같이, 오퍼레이터는 표시·조작부(14)에 표시되어 있는 복로측 구동 시간(TD)을 보면서 스피드 컨트롤러(28a, 28b)를 조작함으로써 복로측 구동 시간(TD)을 소정값으로 설정할 수 있다. 복로측 구동 속도는

(복로측 구동 속도)=(제 1 구동단과 제 2 구동단의 거리)/(복로측 구동 시간(TD))

으로 조정된다.

스텝 S2의 복로측 구동 속도의 조정 처리가 완료되면, 계속해서 CPU(12)는 에어 실린더(2)의 이상 검지 처리를 실행한다. 이 이상 검지 처리는 도 2에 나타내는 바와 같이 소정의 검지 타이밍에서 실행되는 것이며(스텝 S3), 왕로측 구동 시간(TA)의 측정값 및 복로측 구동 시간(TD)의 산출값에 의거해서 행하여진다. 이 왕로측 구동 시간(TA)에 대해서는, 왕로측 구동 속도의 조정 처리에 있어서의 스텝 S11∼S16이나 복로측 구동 속도의 조정 처리에 있어서의 스텝 S201∼S206과 마찬가지로 해서 측정된다. 또한 복로측 구동 시간(TD)에 대해서는, 복로측 구동 속도의 조정 처리에 있어서의 스텝 S207∼S213과 마찬가지로 해서 산출된다.

그리고, 이렇게 해서 구해진 왕로측 구동 시간(TA) 및 복로측 구동 시간(TD)이 에어 실린더(2)의 적정 동작이 보증되는 구동 시간의 기준 범위에 들어가 있는지의 여부를 CPU(12)의 이상 발생 판정부(124)가 판정한다(스텝 S6). 이 「기준 범위」는 미리 실험 등에 의해 구해져 있고, 메모리(11)에 기억되어 있다. 구동 시간(TA, TD)이 상기 범위 안일 경우에는 이상 발생 판정부(124)는 에어 실린더(2)는 정상으로 동작하고 있다고 판단하여 스텝 S3으로 돌아간다. 한편, 구동 시간(TA, TD)의 적어도 한쪽이 상기 범위 밖일 경우에는 에어 실린더(2)에 시간 경과에 따른 변화가 발생하고 있어, 이상 발생의 가능성이 있는 것을 알 수 있다. 이 경우, CPU(12)는 그 취지를 표시·조작부(14)에 표시해서 오퍼레이터에게 통지한다(스텝 S7). 따라서, 상기 표시 내용에 의거해 오퍼레이터는 메인터넌스가 필요한지의 여부를 판단할 수 있고, 그 판단 결과를 표시·조작부(14)에 의해 입력한다.

이 입력을 받고서 CPU(12)는 오퍼레이터에 의해 메인터넌스가 필요하다고 판단되었을 경우에는 스텝 S1로 돌아가서 속도 조정을 개시한다. 한편, 메인터넌스는 불필요하다고 판단되었을 경우에는 스텝 S3으로 돌아가고, 다음 계측 타이밍을 기다린다.

이상과 같이, 본 실시형태에 의하면 1개의 검지 센서(26)를 사용해서 왕로측 구동 시간(TA) 및 복로측 구동 시간(TD)을 정확하게 도출할 수 있다.

또한, 왕로측 구동 시간(TA) 및 복로측 구동 시간(TD)을 표시·조작부(14)에 표시시키고 있으므로, 에어 실린더(2)의 초기 설정시 또는 메인터넌스시에 스피드 컨트롤러(28a, 28b)에 의해 에어 실린더(2)의 구동 속도를 조정할 수 있다. 특히, 제 1 구동단과 제 2 구동단 사이에서 피스톤(22)을 왕복 이동시키면서 최신의 왕로측 구동 시간(TA)을 표시하도록 표시·조작부(14)의 표시 내용을 갱신시키고 있으므로, 오퍼레이터는 표시 내용을 보면서 스피드 컨트롤러(28a, 28b)를 조작함으로써 왕로측의 구동 속도를 적절하게 조정할 수 있다.

복로측에서도 마찬가지이다. 즉, 중간 위치와 제 1 구동단 사이에서 피스톤(22)을 왕복 이동시키면서 최신의 복로측 구동 시간(TD)을 표시하도록 표시·조작부(14)의 표시 내용을 갱신시키고 있으므로, 오퍼레이터는 표시 내용을 보면서 스피드 컨트롤러(28a, 28b)를 조작해서 복로측의 구동 속도를 적절하게 조정할 수 있다. 또한, 복로측에서는 제 2 구동단에 도달하기 전에 중간 위치에서 피스톤(22)을 반전 이동시킬 필요가 있기 때문에, 제 1 구동단으로부터 중간 위치로 이동할 때의 피스톤(22)의 구동 속도를 스피드 컨트롤러(28a, 28b)에 의해 미리 낮게 설정해 두는 것이 적합하다.

또한, 이상 발생 판정부(124)의 기능에 의해 왕로측 구동 시간(TA)이나 복로측 구동 시간(TD)에 의거해 에어 실린더(2)의 이상을 조기에 발견할 수 있다. 또한, 그것을 표시·조작부(14)에 표시하기 때문에 오퍼레이터에게 적확하게 통지할 수 있다.

또한, 본 발명은 상기한 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 그 취지를 일탈하지 않는 한에 있어서 상술한 것 이외에 여러 가지의 변경을 행하는 것이 가능하다. 예를 들면, 상기 실시형태에서는 복로측 구동 시간(TD)이 소정값이 되도록 스피드 컨트롤러(28a, 28b)를 조작해서 피스톤(22)의 구동 속도를 조정하고 있지만, 다음과 같이 조정해도 좋다. 즉, 제 1 중간 구동 시간(TB)을 서서히 길게 해 가고, 제 2 중간 구동 시간(TC)이 일정하게 된 시점에서 상기 제 2 중간 구동 시간(TC)이 소정값이 되도록 스피드 컨트롤러(28a, 28b)를 조작하여 피스톤(22)의 구동 속도를 조정해도 좋다.

또한, 상기 실시형태에서는 에어 실린더(2)의 헤드 커버(23a)측을 「제 1 구동단」으로 하고, 로드 커버(23b)측을 「제 2 구동단」으로 하고 있다. 헤드 커버(23a)측 및 로드 커버(23b)측을 각각 「제 2 구동단」 및 「제 1 구동단」으로 한 경우도 상기 실시형태와 완전히 같다.

또한, 상기 실시형태에서는 표시·조작부(14)에 이상 발생을 검지한 취지를 표시해서 오퍼레이터에게 통지하고 있다. 본 발명의 「통지부」에 대해서는 표시·조작부(14)에 한정되는 것은 아니고, 기타 통지 수단 예를 들면 음성이나 라이트 등에 의한 통지를 행해도 된다.

또한, 상기 실시형태에서는 기판 처리 장치에서 기판 스토퍼나 기판 스토퍼 등을 구동하는 센서 부착 에어 실린더(2)를 제어하는 경우에 대해서는 설명했다. 본 발명에 의한 제어 장치 및 제어 방법의 적용 범위는 이것에 한정되는 것은 아니고, 가동부가 제 1 구동단에 위치하는 것을 검지해서 검지 신호를 출력하는 검지 센서가 부착된 상태에서 제 1 구동단과 제 2 구동단 사이에서 가동부를 왕복 이동시키는 센서 부착 액츄에이터에 대하여 적용할 수 있다.

또한, 상술한 구체적 실시형태에는 이하의 구성을 갖는 발명이 주로 포함되어 있다.

상기 제 1 구동단에 위치하는 상기 가동부를 상기 제 2 구동단을 향해서 이동시키고, 상기 제 2 구동단으로의 가동부 이동의 개시부터 상기 왕로측 구동 시간보다 짧은 제 1 중간 구동 시간이 경과한 시점에서 상기 가동부의 이동 방향을 반전시킴과 아울러 상기 이동 방향의 반전으로부터 상기 검지 센서가 검지 신호를 출력할 때까지의 제 2 중간 구동 시간을 측정하는 중간 시간 측정부와,

본 발명의 다른 국면에 의한 액츄에이터의 제어 방법은, 가동부가 제 1 구동단에 위치하는 것을 검지해서 검지 신호를 출력하는 검지 센서가 부착된 상태에서 상기 제 1 구동단과 제 2 구동단 사이에서 상기 가동부를 왕복 이동시키는 센서 부착 액츄에이터를 제어하는 액츄에이터의 제어 방법이며,

에 의거하여 계산해서 출력하는 공정을 구비한다.

본 발명의 또 다른 국면에 의한 액츄에이터의 구동 시간 측정 방법은, 제 1 구동단과 제 2 구동단 사이에서 가동부를 왕복 이동하는 액츄에이터의 구동 시간 측정 방법이며,

에 의거하여 계산해서 구하는 공정을 구비한다.

이와 같이 구성된 발명(액츄에이터의 제어 장치, 제어 방법 및 액츄에이터의 구동 시간 측정 방법)에 의하면, 제 2 구동단을 출발한 가동부가 제 1 구동단까지 이동해 온 것을 검지 센서가 검지함으로써 왕로측 구동 시간이 실제로 측정된다. 이에 반해, 상기 검지 센서만으로는 복로측 구동 시간을 실측하는 것은 불가능하다.

여기에서 제 1 구동단과 제 2 구동단 사이의 임의의 위치, 즉 중간 위치를 설정했을 경우 제 1 구동단과 중간 위치 사이를 가동부가 왕복 이동하는데 필요한 시간, 즉 제 1 중간 구동 시간 및 제 2 중간 구동 시간을 정확하게 취득할 수 있다. 그리고 그것들의 비는 제 1 구동단과 제 2 구동단 사이를 가동부가 왕복 이동하는데 필요한 시간, 즉 왕로측 구동 시간 및 복로측 구동 시간의 비와 같고, 다음의 비례식

(왕로측 구동 시간):(제 2 중간 구동 시간)=(복로측 구동 시간):(제 1 중간 구동 시간)

이 성립한다. 따라서, 다음 식

에 의거하여 복로측 구동 시간이 정확하게 산출된다. 이와 같이, 1개의 검지 센서를 이용하여 왕로측 구동 시간 및 복로측 구동 시간이 정확하게 도출된다.

또한, 이들 왕로측 구동 시간 및 복로측 구동 시간에 대해서는 표시부에 표시하는 것이 바람직하다. 이 표시에 의해 여러 가지 제어가 가능해져 액츄에이터 제어의 폭이 넓어진다. 예를 들면, 센서 부착 액츄에이터에 스피드 컨트롤러가 접속될 경우, 센서 부착 액츄에이터의 초기 설정시 또는 메인터넌스시에 스피드 컨트롤러에 의해 센서 부착 액츄에이터의 구동 속도를 조정할 수 있다. 이렇게 센서 부착 액츄에이터의 구동 속도 조정을 행할 때, 제 1 구동단과 제 2 구동단 사이에서 가동부를 왕복 이동시키면서 구동 시간 측정부가 측정한 최신의 왕로측 구동 시간을 표시하도록 표시부의 표시 내용을 갱신시키면, 오퍼레이터는 표시 내용을 보면서 스피드 컨트롤러를 조작함으로써 왕로측의 구동 속도를 적절하게 조정할 수 있다.

이 점에 관해서는 복로측에서도 마찬가지이다. 즉, 중간 위치(제 1 구동단으로부터 제 1 중간 구동 시간만큼 제 2 구동단측으로 가동부를 이동시킨 위치)와 제 1 구동단 사이에서 가동부를 왕복 이동시키면서 구동 시간 산출부가 산출한 최신의 복로측 구동 시간을 표시하도록 표시부의 표시 내용을 갱신시킨다. 그렇게 하면, 오퍼레이터는 표시 내용을 보면서 스피드 컨트롤러를 조작해서 복로측의 구동 속도를 적절하게 조정할 수 있다.

또한, 센서 부착 액츄에이터의 적정 동작이 보증되는 왕로측 구동 시간 및 복로측 구동 시간의 기준 범위를 기억하는 기억부와, 구동 시간 측정부에서 측정된 왕로측 구동 시간 및 구동 시간 산출부에서 산출된 복로측 구동 시간 중 적어도 한쪽이 기준 범위를 초과하고 있을 때 센서 부착 액츄에이터에 이상이 발생했다고 판정하는 이상 발생 판정부와, 이상 발생 판정부에 의해 이상이 발생했다고 판정되면 센서 부착 액츄에이터의 이상을 통지하는 통지부를 설치해도 된다.

이 구성에 의하면, 왕로측 구동 시간이나 복로측 구동 시간에 의거해 액츄에이터의 이상을 조기에 발견할 수 있다. 또한, 통지부로서는 예를 들면 표시부를 사용할 수 있어 센서 부착 액츄에이터에 이상이 발생한 취지를 표시함으로써 오퍼레이터 등에게 적확하게 통지할 수 있다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 1개의 검지 센서에 의해 가동부의 왕로측 구동 시간뿐만 아니라 복로측 구동 시간도 정확하게 도출할 수 있다.

Claims

가동부가 제 1 구동단에 위치하는 것을 검지해서 검지 신호를 출력하는 검지 센서가 부착된 상태에서 상기 제 1 구동단과 제 2 구동단 사이에서 상기 가동부를 왕복 이동시키는 센서 부착 액츄에이터를 제어하는 액츄에이터의 제어 장치로서,
상기 제 2 구동단에 위치하는 상기 가동부를 상기 제 1 구동단을 향해서 이동시키고, 상기 제 1 구동단으로의 가동부 이동의 개시부터 상기 검지 센서가 검지 신호를 출력할 때까지의 왕로측 구동 시간을 측정하는 구동 시간 측정부와,
상기 제 1 구동단에 위치하는 상기 가동부를 상기 제 2 구동단을 향해서 이동시키고, 상기 제 2 구동단으로의 가동부 이동의 개시부터 상기 왕로측 구동 시간보다 짧은 제 1 중간 구동 시간이 경과한 시점에서 상기 가동부의 이동 방향을 반전시킴과 아울러 상기 이동 방향의 반전으로부터 상기 검지 센서가 검지 신호를 출력할 때까지의 제 2 중간 구동 시간을 측정하는 중간 시간 측정부와,
상기 제 1 구동단에 위치하는 상기 가동부가 상기 제 2 구동단으로 이동하는데 필요한 복로측 구동 시간을 다음 식
(복로측 구동 시간)=(왕로측 구동 시간)×(제 1 중간 구동 시간)/(제 2 중간 구동 시간)
에 의거하여 계산해서 출력하는 구동 시간 산출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 액츄에이터의 제어 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 구동 시간 측정부에서 측정된 상기 왕로측 구동 시간을 표시하는 표시부를 구비하는 것을 특징으로 하는 액츄에이터의 제어 장치.
제 2 항에 있어서,
상기 센서 부착 액츄에이터에 스피드 컨트롤러가 접속되어 상기 센서 부착 액츄에이터의 초기 설정시 또는 메인터넌스시에 상기 스피드 컨트롤러에 의해 상기 센서 부착 액츄에이터의 구동 속도가 조정되는 액츄에이터의 제어 장치이며,
상기 구동 시간 측정부는 상기 센서 부착 액츄에이터의 구동 속도 조정시에 상기 제 1 구동단과 상기 제 2 구동단 사이에서 상기 가동부를 왕복 이동시키면서 상기 왕로측 구동 시간을 반복해서 측정하고,
상기 표시부는 상기 구동 시간 측정부가 측정한 최신의 왕로측 구동 시간을 표시하도록 표시 내용을 갱신하는 것을 특징으로 하는 액츄에이터의 제어 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 구동 시간 산출부에서 산출된 상기 복로측 구동 시간을 표시하는 표시부를 구비하는 것을 특징으로 하는 액츄에이터의 제어 장치.
제 4 항에 있어서,
상기 센서 부착 액츄에이터에 스피드 컨트롤러가 접속되어 상기 센서 부착 액츄에이터의 초기 설정시 또는 메인터넌스시에 상기 스피드 컨트롤러에 의해 상기 센서 부착 액츄에이터의 구동 속도가 조정되는 액츄에이터의 제어 장치이며,
상기 구동 시간 산출부는 상기 센서 부착 액츄에이터의 구동 속도 조정시에 상기 제 1 구동단으로부터 상기 제 1 중간 구동 시간만큼 상기 제 2 구동단측으로 상기 가동부를 이동시킨 중간 위치와 상기 제 1 구동단 사이에서 상기 가동부를 왕복 이동시키면서 상기 복로측 구동 시간을 반복해서 산출하고,
상기 표시부는 상기 구동 시간 산출부가 산출한 최신의 복로측 구동 시간을 표시하도록 표시 내용을 갱신하는 것을 특징으로 하는 액츄에이터의 제어 장치.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 센서 부착 액츄에이터의 적정 동작이 보증되는 왕로측 구동 시간 및 복로측 구동 시간의 기준 범위를 기억하는 기억부와,
상기 구동 시간 측정부에서 측정된 왕로측 구동 시간 및 상기 구동 시간 산출부에서 산출된 복로측 구동 시간 중 적어도 한쪽이 상기 기준 범위를 초과하고 있을 때 상기 센서 부착 액츄에이터에 이상이 발생했다고 판정하는 이상 발생 판정부와,
상기 이상 발생 판정부에 의해 이상이 발생했다고 판정되면 상기 센서 부착 액츄에이터의 이상을 통지하는 통지부를 구비하는 것을 특징으로 하는 액츄에이터의 제어 장치.
제 6 항에 있어서,
상기 통지부는 상기 센서 부착 액츄에이터에 이상이 발생한 취지를 표시하는 표시부인 것을 특징으로 하는 액츄에이터의 제어 장치.
가동부가 제 1 구동단에 위치하는 것을 검지해서 검지 신호를 출력하는 검지 센서가 부착된 상태에서 상기 제 1 구동단과 제 2 구동단 사이에서 상기 가동부를 왕복 이동시키는 센서 부착 액츄에이터를 제어하는 액츄에이터의 제어 방법으로서,
상기 제 2 구동단에 위치하는 상기 가동부를 상기 제 1 구동단을 향해서 이동시키고, 상기 제 1 구동단으로의 가동부 이동의 개시부터 상기 검지 센서가 검지 신호를 출력할 때까지의 왕로측 구동 시간을 측정하는 공정과,
상기 제 1 구동단에 위치하는 상기 가동부를 상기 제 2 구동단을 향해서 이동시키고, 상기 제 2 구동단으로의 가동부 이동의 개시부터 상기 왕로측 구동 시간보다 짧은 제 1 중간 구동 시간이 경과한 시점에서 상기 가동부의 이동을 정지시켜서 상기 가동부를 상기 제 1 구동단과 상기 제 2 구동단의 중간 위치에 위치시키는 공정과,
상기 중간 위치에 위치하는 상기 가동부를 상기 제 1 구동단을 향해서 이동시키고, 상기 제 1 구동단으로의 가동부 이동의 개시부터 상기 검지 센서가 검지 신호를 출력할 때까지의 제 2 중간 구동 시간을 측정하는 공정과,
상기 제 1 구동단에 위치하는 상기 가동부가 상기 제 2 구동단으로 이동하는데 필요한 복로측 구동 시간을 다음 식
(복로측 구동 시간)=(왕로측 구동 시간)×(제 1 중간 구동 시간)/(제 2 중간 구동 시간)
에 의거하여 계산해서 출력하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 액츄에이터의 제어 방법.
제 1 구동단과 제 2 구동단 사이에서 가동부를 왕복 이동하는 액츄에이터의 구동 시간 측정 방법으로서,
상기 제 2 구동단에 위치하는 상기 가동부가 이동해서 상기 제 1 구동단에 도달한 것을 검지 센서에서 검지함으로써 상기 제 2 구동단으로부터 상기 제 1 구동단으로 상기 가동부가 이동하는데 필요한 왕로측 구동 시간을 측정하는 공정과,
상기 제 1 구동단에 위치하는 상기 가동부를 상기 왕로측 구동 시간보다 짧은 제 1 중간 구동 시간만큼 상기 제 2 구동단을 향해서 이동시켜서 상기 제 1 구동단과 상기 제 2 구동단의 중간 위치에 위치시키는 공정과,
상기 중간 위치에 위치하는 상기 가동부가 이동해서 상기 제 1 구동단에 도달한 것을 상기 검지 센서에서 검지함으로써 상기 중간 위치로부터 상기 제 1 구동단으로 상기 가동부가 이동하는데 필요한 제 2 중간 구동 시간을 측정하는 공정과,
상기 제 1 구동단에 위치하는 상기 가동부가 상기 제 2 구동단으로 이동하는데 필요한 복로측 구동 시간을 다음 식
(복로측 구동 시간)=(왕로측 구동 시간)×(제 1 중간 구동 시간)/(제 2 중간 구동 시간)
에 의거하여 계산해서 구하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 액츄에이터의 구동 시간 측정 방법.