CN103926662B

CN103926662B - 光模块

Info

Publication number: CN103926662B
Application number: CN201410011481.6A
Authority: CN
Inventors: 大庭直树; 富田大司; 小林贤二; 河尻祐子; 铃木贤哉
Original assignee: NTT Electronics Corp; Nippon Telegraph and Telephone Corp
Current assignee: NTT Electronics Corp; Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date: 2013-01-10
Filing date: 2014-01-10
Publication date: 2016-08-17
Anticipated expiration: 2034-01-10
Also published as: CN103926662A; US20140193114A1; JP5922042B2; EP2755069A2; JP2014134689A; EP2755069B1; EP2755069A3; US9201194B2; CN203705693U

Abstract

本发明提供一种能够抑制由于温度变化发生的光轴偏差、和光功能回路的特性劣化这双方的光模块。具备：平面型光波回路，具有在基板上形成的波导路型的光功能回路，并且，包括与形成了出射来自光功能回路的出射光的光波导路的出射端面或者入射向光功能回路的入射光的光波导路的入射端面的一边相接而仅形成有光波导路的波导路区域；固定用固定架，仅在形成了波导路区域的部分保持平面型光波回路；以及辅助固定架，和与形成了出射端面或者入射端面的一边对向的边相接并保持平面型光波回路，通过具有比固定平面型光波回路和固定用固定架的粘接剂或者接合材料的弹性率小的弹性率的弹性粘接剂或者弹性构造体，固定平面型光波回路和辅助固定架。

Description

光模块

技术领域

本发明涉及集成了平面型光波回路、和发光元件、受光元件或者光学系统的功能元件的光模块。

背景技术

伴随光通信技术的发展，光部件的开发越来越重要。关于光发送接收器尤其研究了传送速度、响应速度的高速化，通信容量大幅扩大。一般的光发送接收器的结构由使用光半导体而制作的发光元件或者受光元件、和输出用或者输入用的光纤构成，它们经由透镜而光耦合。例如，在光接收器的情况下，从输入侧的光纤出射的光通过透镜在受光元件中成像，而被直接检波（强度检波）。

在关注光传送系统中的调制解调处理技术时，使用了相位调制方式的信号传送被广泛实用化。相移键控（PSK）方式是通过调制光的相位来传送信号的方法，能够通过调制的多值化等，比以往大幅扩大传送容量。

为了接收这样的PSK信号，需要对光的相位进行检波。受光元件虽然能够对信号光的强度进行检波，但无法对光的相位进行检波。因此，需要将光的相位变换为光强度的单元。因此，有通过使用光的干涉，对相位差进行检波的方法等。通过使信号光和其他光（参照光）干涉，并用受光元件对该干涉光的光强度进行检波，能够得到光的相位信息。在检波的方法中，有作为参照光使用另外准备的光源的相干检波、和使信号光自身一部分分支而作为参照光并使两者干涉的差动检波。这样，相比于以往的仅使用了强度调制方式的光接收机，在近年来的PSK方式的光接收机中，需要通过光的干涉将相位信息变换为强度信息的光干涉回路。

这样的光干涉回路能够使用平面型光波回路（PLC：Planar LightCircuit）来实现。平面型光波回路根据量产性、低成本性以及高可靠性的面具有优良的特征，能够实现各种光干涉回路。实际上，作为在PSK方式的光接收机中使用的光干涉回路，实现光延迟干涉回路、90度混合回路等并实用化。通过标准的摄影法、蚀刻技术以及FHD（Flame Hydrolysis Deposition，火焰水解法）等玻璃堆积技术制作了这样的平面型光波回路。

在概述具体的制造工艺时，最初，在Si等基板上，使以石英玻璃等为主原料的底部包层、和具有比包层高的折射率的芯层堆积。之后，在芯层中形成各种波导路图案，最后通过上部包层埋入由芯层形成的波导路。通过这样的工艺，制作波导路型的光功能回路。信号光被封入经由上述那样的工艺制作的波导路内，在平面型光波回路内部传输。

图1示出以往的平面型光波回路和光接收器的光连接方法。在关注PSK方式的光接收机中的平面型光波回路和光接收器的光连接方法时，这些基本的连接方法是图1所示那样的单纯的光纤连接。通过用光纤连接对输入输出端连接了光纤3a、3b的平面型光波回路1、和具有输入光纤3b的光接收器2来进行光耦合。在光耦合中使用的光纤的根数由从平面型光波回路输出的输出光的数量决定，还有成为多根的情况。但是，在使用了这样的光纤连接的光模块的结构中，存在尺寸变大这样的问题。因此，通过使用透镜直接对平面型光波回路的输出和光接收器的输入进行光耦合，并将整体集成到1个封装中，能够实现小型的结构。将这样的平面型光波回路和光接收器被直接光耦合了的方式的光模块称为集成型光接收机。

为了实现集成型光接收机，平面型光波回路的固定方法特别重要。在使从平面型光波回路输出的光在空间中传输并通过透镜等与受光元件光耦合的情况下，如果光的出射端、透镜、受光元件的位置关系变化，则无法通过受光元件对所有光进行受光，而成为损失。特别，在收纳光接收器的封装的温度、环境温度、各个元件温度等变化了的情况下，由于热膨胀的影响而它们的位置变动，所以损失的问题变得显著。因此，为了实现低损失的光耦合，即使在环境温度等变化了的情况下，需要使各个位置关系至少不相对地变动。

特别，平面型光波回路相对环境温度，热膨胀所致的形状变化比受光元件等非常地大。进而，平面型光波回路在光模块中所占的面积相比于受光元件大1个数量级至2个数量级程度，热膨胀所致的形状的变化也大1个数量级至2个数量级程度。另外，构成平面型光波回路的基板和所堆积的薄膜玻璃具有大的热膨胀系数差，所以通过温度变化发生大的翘曲。因此，相对受光元件的来自平面型光波回路的出射光的位置的变位以及出射角度的变化成为非常大的问题。由于这些2个变化，来自平面型光波回路的出射光的位置、角度变化，发生光轴偏差。光轴偏差使向受光元件的光耦合劣化，发生损失。在集成型光接收机的实现中，将这样的光轴偏差消除或者无害化变得重要。

图2示出以往的光模块的内部构造。已知有以不发生上述那样的温度变化所致的光轴偏差的方式，将平面型光波回路的底面的大致全面紧固地固定的方法。在图2所示的集成型光接收机中，分别将固定用固定架12a、12b、12c作为支承构件，在基体基板11上固定有作为光功能回路形成了光干涉回路的平面型光波回路13、透镜14、以及受光元件15。光纤16和平面型光波回路13经由光纤固定部件17连接。从光纤16输入的光在平面型光波回路13中干涉之后通过透镜14与受光元件15耦合。

固定用固定架12a和平面型光波回路13通过粘接剂18或者焊锡等接合材料固定。通过将平面型光波回路13的底面的大致全面紧固地固定到固定用固定架中，抑制温度所致的膨胀、翘曲的变化。另外，透镜14、受光元件15也被固定到固定用固定架，从而不会发生温度变化所致的光轴偏差。

但是，在图2所示的结构中，虽然能够大幅抑制温度变化所致的光轴偏差，但温度变化所致的平面型光波回路的特性变化变得显著。如上所述，平面型光波回路13由具有大的热膨胀系数差的Si基板13a和石英玻璃层13b构成，所以温度变化所致的翘曲的变化、热膨胀大。在图2所示的结构中，平面型光波回路13的底面被全面固定，所以热膨胀、翘曲的变化被抑制。

另一方面，在该情况下，在Si基板13a与石英玻璃层13b之间发生大的热应力。应力通过光弹性效果，在石英玻璃层13b内部引起折射率变化。关于在平面型光波回路13内构成的光干涉回路，为了控制干涉特性，正确地调整了波导路的长度和折射率。经由应力发生的折射率变化导致等价回路长的变化，使干涉计的特性变化，所以使光干涉回路的特性劣化。

相对于此，如果为了通过抑制热应力的发生来抑制光学特性的变化，作为粘接剂18，使用了弹性粘接剂、膏等柔软的粘接剂、或者固定用膏（例如，参照专利文献1），则上述光轴偏差的影响变得显著，发生损失。

另外，作为集成了平面型光波回路和光学系统的功能元件的光模块，已知波长选择开关（例如，参照专利文献2）。在波长选择开关中使用的平面型光波回路是形成了由输入输出波导路、板条波导路以及阵列波导路构成的阵列波导路型光输入输出回路的光回路。相对于形成了图2所示的光干涉回路的光回路的大小（长边的长度）是10mm～20mm程度，形成了阵列波导路型光输入输出回路的光回路的大小（长边的长度）大到30mm～200mm程度（例如，参照非专利文献1）。

平面型光波回路的大型化导致温度变化所致的翘曲的变化增大、热膨胀所致的伸长量增大。而且，产生通过由于振动、冲击、特别是共振频率的降低所致的可靠性的劣化、从光纤固定部件对平面型光波回路施加的应力的增大，而使上述光学特性的变化增大这样的问题。

【专利文献1】日本特开2009-175364号公报

【专利文献2】日本专利第4960294号公报

【非专利文献1】Kazunori Seno，et.，al，“Spatial beamtransformer for wavelength selective switch consisting of silica-basedplanar lightwave circuit，”OFC/NFOEC Technical Digest，OpticalSociety of America，2012

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够抑制由于温度变化发生的光轴偏差、和光功能回路的特性劣化这双方的光模块。

为了实现这样的目的，本发明的实施方式提供一种光模块，其特征在于，具备：平面型光波回路，具有在基板上形成的波导路型的光功能回路，并且，包括与形成了出射来自所述光功能回路的出射光的光波导路的出射端面或者入射向所述光功能回路的入射光的光波导路的入射端面的一边相接而仅形成有光波导路的波导路区域；固定用固定架，仅在形成了所述波导路区域的部分保持所述平面型光波回路；以及辅助固定架，和与形成了所述出射端面或者入射端面的一边对向的边相接并保持所述平面型光波回路，通过具有比固定所述平面型光波回路和所述固定用固定架的粘接剂或者接合材料的弹性率小的弹性率的弹性粘接剂或者弹性构造体，固定所述平面型光波回路和所述辅助固定架。

如以上说明，根据本发明，仅在仅形成了光波导路的波导路区域中固定，所以不会受到温度变化所致的平面型光波回路的翘曲的变化、热膨胀所致的向水平方向的位置变化，而能够固定波导路区域的出射端面或者入射端面的位置。另外，通过不固定平面型光波回路的光干涉回路的区域，能够实现特性的稳定化。

附图说明

图1是示出以往的平面型光波回路和光接收器的光连接方法的图。

图2是示出以往的光模块的内部构造的图。

图3是示出本发明的实施例1的光模块的内部构造的图。

图4A是示出实施例1的平面型光波回路的固定方法的图。

图4B是示出实施例1的平面型光波回路的固定方法的图。

图4C是示出实施例1的平面型光波回路的固定方法的图。

图4D是示出实施例1的平面型光波回路的固定方法的图。

图5A是示出实施例1的平面型光波回路的固定方法的图。

图5B是示出实施例1的平面型光波回路的固定方法的图。

图6是示出本发明的实施例2的光模块的内部构造的图。

图7是示出本发明的实施例3的光模块的内部构造的图。

图8是示出本发明的实施例4的光模块的内部构造的图。

图9是示出本发明的实施例5的光模块的内部构造的图。

图10A是示出本发明的实施例6的光模块的内部构造的图。

图10B是示出本发明的实施例6的光模块的内部构造的图。

图10C是示出本发明的实施例6的光模块的内部构造的图。

具体实施方式

以下，参照附图，详细说明本发明的实施方式。

在本实施方式中，仅将平面型光波回路上的光回路中的、特别是为了防止光轴偏差而必须强固地固定的光输入输出用的波导路区域固定于固定用固定架上。形成了易于受到应力的影响的光干涉回路等光功能回路的区域未固定于固定用固定架上。由此，即使由于温度变化而发生了变形、翘曲，关于光功能回路的部分，应力的影响仍最小，能够抑制光功能回路的特性劣化。另外，波导路区域被固定于固定用固定架上，所以能够抑制由于温度变化发生的光轴偏差，作为光模块能够将针对温度变化的动作余量取得较大。

进而，在与固定于固定用固定架上的区域对向的区域中，将平面型光波回路固定于辅助固定架上。此时，通过使用弹性粘接剂来固定，不仅吸收由于温度所致的膨胀、翘曲的变化，还能够抑制平面型光波回路的振动，还吸收从光纤固定部件施加的力。

【实施例1】

图3示出本发明的实施例1的光模块的内部构造。分别将固定用固定架32a、32b、32c作为支承构件，在基体基板31上固定有作为光功能回路形成了光干涉回路的平面型光波回路33、透镜34、以及受光元件35。光纤36和平面型光波回路33经由光纤固定部件37连接。在集成型光接收机中，针对从光纤36输入的光在平面型光波回路33中进行了干涉等光信号处理之后，通过透镜34与受光元件35耦合。平面型光波回路33在Si基板33a上层叠有形成了由芯、包层构成的波导路型的光功能回路的石英玻璃层33b。

图4A～4D示出实施例1的平面型光波回路的固定方法。详细示出图3所示的平面型光波回路33的固定方法。如图4A所示，在平面型光波回路33的石英玻璃层33b中，形成了作为光功能回路形成有光干涉回路的区域33y、和与向透镜34的出射光被出射的光波导路的出射端面所形成的一边相接而仅形成有光波导路（未形成光干涉回路）的波导路区域33x。固定用固定架32a如图3所示在从侧面观察时呈现逆L字形状或者钩型的形状，通过粘接剂38或者焊锡等接合材料仅固定平面型光波回路33上的光回路中的波导路区域33x（参照图4B）。

平面型光波回路33的光干涉回路的区域33y未固定于固定用固定架32a上，成为从固定用固定架32a浮起来的状态。即使由于温度变化而在平面型光波回路33中产生翘曲，也能够自如地变化（参照图4C、4D），所以不易受到应力的影响。由此，不会受到温度变化所致的平面型光波回路33的翘曲的变化、热膨胀所致的向水平方向（相对平面型光波回路33的回路平面）的位置变化，而能够固定波导路区域33x的出射端的位置。透镜34、受光元件35也被固定于固定用固定架上，所以不会发生温度变化所致的光轴偏差。

通过实装发生的应力、应力变化引起光波导路的双折射变化。光干涉回路对双折射变化敏感，易于受到特性劣化，所以通过不将光干涉回路的区域33y固定于固定用固定架32a上，能够实现特性的稳定化。另一方面，波导路区域33x固定于固定用固定架32a上，但平面型光波回路33的翘曲的变化所致的应力的影响相比于固定了全面的情况更小，所以能够减小双折射变化所致的特性劣化。

固定用固定架32a中的未固定平面型光波回路33的部分（非固定部分），需要以即使发生温度变化所致的平面型光波回路33的翘曲的变化，仍使平面型光波回路33和非固定部分的上表面不接触的方式，与固定部分附加高低差。其原因为，在产生了翘曲的变化时，如果平面型光回路33接触到固定用固定架32a，则发生向基板的应力，导致特性劣化。在用Si基板和石英系玻璃材料制作了平面型光波回路33的情况下，需要设置几100μm程度的非固定部分和固定部分的阶梯h（参照图4C）。

另外，虽然叙述了用Si基板和石英系玻璃材料制作了平面型光波回路33的情况，但也可以全部用半导体材料或者玻璃系材料等构成，也可以用LiNbO₃等电介体材料等构成。不论在哪一个情况下，都能够抑制平面型光波回路的实装时、温度变化时的应力的影响。

另外，为了在温度变化、实装时不使特性劣化，还能够限定平面型光波回路和固定用固定架的固定部分。具体而言，如图5A所示，相比于图4所示的固定用固定架32a，使用限定了固定部分的形状的固定用固定架42a。如果如图5B所示，将平面型光回路33的波导路区域33z与固定用固定架42a的固定部分的形状符合地限定于出射端面的一边的一部分中，则不会受到热膨胀所致的向水平方向的位置变化，而能够固定波导路区域33z的出射端的位置。由此，相比于图4所示的结构，能够进一步抑制实装时的应力、针对温度变化的应力变化。

另外，平面型光波回路和固定用固定架的固定部分只要是除了区域33y以外的光出射端附近，就得到同样的效果。因此，固定部分不限于平面型光回路33的Si基板33a的下表面，也可以是石英玻璃层33b的上表面、光出射端的端面。

【实施例2】

图6示出本发明的实施例2的光模块的内部构造。分别将固定用固定架52a、52b、52c作为支承构件，在基体基板51上固定有作为光功能回路形成了阵列波导路型光输入输出回路的平面型光波回路53、透镜54、以及光功能元件55。光纤56和平面型光波回路53经由光纤固定部件57连接。在波长选择开关中，从光纤56输入的光在平面型光波回路53中进行了合分波、光束尺寸的整形等光信号处理之后，通过透镜54与光功能元件55耦合。平面型光波回路53在Si基板53a上层叠有形成了由芯、包层构成的波导路型的光功能回路的石英玻璃层53b。

说明平面型光波回路53的固定方法。固定用固定架52a与实施例1同样地通过粘接剂58仅固定平面型光波回路53上的光回路中的波导路区域。固定用固定架52a也可以如图4所示固定向透镜54的出射光被出射的光波导路的出射端面所形成的一边、或者如图5所示限定固定部分的形状。粘接剂58中使用丙烯酸系或者环氧系等一般的粘接剂，硬化之后的弹性率是10MPa程度以上即可。通过利用这样的粘接剂58强固地固定，平面型光波回路53、透镜54以及光功能元件55的光学性的耦合不会由于温度变化而受到影响。另外，只要能够强固地固定，则不限于粘接剂，还能够应用利用焊锡等接合剂、焊接的固定。固定用固定架52a只要能够强固地固定平面型光波回路53即可，所以例如，在相对400×100mm的基板，如图5所示，限定固定部分的形状的情况下，使用3～10mm见方程度的固定用固定架52a。

另一方面，在基体基板51中，设置和平面型光波回路53的与形成了出射端面的一边对向的边相接地保持平面型光波回路53的辅助固定架61。此处，平面型光波回路53和辅助固定架61通过弹性粘接剂62固定。弹性粘接剂62使用硬化之后的弹性率比粘接剂58的弹性率小且成为0.1MPa程度以下的粘接剂。作为这样的粘接剂，例如，已知变质硅树脂系粘接剂等。另外，相对于粘接剂58的厚度是5～20μm，弹性粘接剂62为了吸收温度所致的膨胀、翘曲的变化，需要使厚度成为100μm～1mm程度。

另外，通过代替弹性粘接剂，而使用具有相同程度的弹性率的弹簧等弹性构造体来固定，能够得到等同的效果。

形成了阵列波导路型光输入输出回路的平面型光波回路53长边的长度大到30mm～200mm程度，所以如果如实施例1那样仅通过固定用固定架固定，则平面型光波回路53的共振频率变低（2kHz以下），针对振动的可靠性降低。另外，在经由光纤固定部件57连接的光纤56是具有多个芯的光纤阵列的情况下，从这些构件对平面型光波回路53施加的力增大。在远离固定用固定架52a的位置、即与形成了出射端面的一边对向的边中，支承这些构件时，存在强度上比较困难的情况。

在实施例2中，通过在与形成了出射端面的一边对向的边中，使用弹性粘接剂62固定到辅助固定架61上，能够抑制平面型光波回路53的振动，吸收从光纤固定部件57施加的力。即使在平面型光波回路53和基体基板51的热膨胀系数中有差的情况下，也能够通过弹性粘接剂62，吸收热膨胀所致的伸长量的差。因此，关于辅助固定架61，只要能够吸收这些振动、应力即可，所以例如，针对40×100mm的基板，使用1～2个5mm见方程度的固定用固定架52a。

【实施例3】

图7示出本发明的实施例3的光模块的内部构造。分别将固定用固定架52a、52b、52c作为支承构件，在基体基板51上固定了作为光功能回路形成了光合分波回路的平面型光波回路53、透镜54、以及光功能元件55。光纤56和平面型光波回路53经由光纤固定部件57连接。固定用固定架52a与实施例2同样地通过粘接剂58仅固定平面型光波回路53上的光回路中的波导路区域。另一方面，平面型光波回路53和辅助固定架61经由中间辅助固定架63连接。

在固定平面型光波回路53的步骤中，最初，将平面型光波回路53固定于固定用固定架52a上，确立平面型光波回路53和光学系统的光学性的连接。接下来，固定平面型光波回路53和辅助固定架61。但是，在实施例2所示的结构中，如果在平面型光波回路53与辅助固定架61之间涂覆弹性粘接剂62并使其硬化，则有在硬化时收缩而对平面型光波回路53提供应力的可能性。或者，还有通过硬化时的收缩，弹性粘接剂伸长，而成为不具有用于吸收振动、应力的弹力的状态的可能性。

因此，在实施例3中，在用弹性粘接剂62固定平面型光波回路53和中间辅助固定架63之后，将平面型光波回路53固定于固定用固定架52a上，确立平面型光波回路53和光学系统的光学性的连接。接下来，通过粘接剂64固定中间辅助固定架63和辅助固定架61。由此，防止弹性粘接剂62对平面型光波回路53提供不需要的应力。

中间辅助固定架63和辅助固定架61的固定方法不限于粘接剂，通过止动螺钉、焊接等方法，也能够得到防止提供不需要的应力的效果。

【实施例4】

图8示出本发明的实施例4的光模块的内部构造。分别将固定用固定架52a、52b、52c作为支承构件，在基体基板51上固定了作为光功能回路形成了光合分波回路的平面型光波回路53、透镜54、以及光功能元件55。为了简化附图，省略与光纤的连接。关于固定用固定架52a，与实施例2同样地，通过粘接剂58仅固定平面型光波回路53上的光回路中的波导路区域。另一方面，辅助固定架65如图8所示从侧面观察时具有コ字的形状，在Si基板53a的面和石英玻璃层53b的面的2个部位，固定平面型光波回路53和辅助固定架65。

在实施例2以及3中，如果由于使用光模块的环境温度的变化，而弹性粘接剂62热膨胀/收缩，则有对平面型光波回路53提供应力的可能性。因此，在实施例4中，在辅助固定架65上固定平面型光波回路53时，在Si基板53a的面和石英玻璃层53b的面中，大致同时涂覆同量的弹性粘接剂62a、62b并使它们硬化。由此，对Si基板53a的面提供的应力和对石英玻璃层53b的面提供的应力大致相等，对平面型光波回路53施加的应力被抵消。另外，由于使弹性粘接剂62a、62b同时硬化，所以如实施例3说明，弹性粘接剂硬化时的收缩所致的应力也能够抵消。

另外，平面型光波回路53与辅助固定架65的间隙如上所述是100μm～1mm程度。另外，コ字的形状的辅助固定架65和平面型光波回路53在平面上重叠的部分、即弹性粘接剂62a、62b的涂覆面积如上所述是5mm见方程度。因此，通过利用表面张力来涂覆硬化前的弹性粘接剂，能够涂覆大致同量的粘接剂。另外，即使弹性粘接剂62a与弹性粘接剂62b之间的厚度不同，原理上，也不会对上下方向的应力的平衡造成影响，所以还具有在将平面型光波回路53嵌入到光模块内时，不需要高的机械精度这样的优点。

【实施例5】

图9示出本发明的实施例5的光模块的内部构造。分别将固定用固定架52a、52b、52c作为支承构件，在基体基板51上固定了作为光功能回路形成了光合分波回路的平面型光波回路53、透镜54、以及光功能元件55。为了简化附图，省略与光纤的连接。关于固定用固定架52a，与实施例2同样地，通过粘接剂58仅固定平面型光波回路53上的光回路中的波导路区域。另一方面，辅助固定架66在从侧面观察时具有コ字的形状。在Si基板53a的面和石英玻璃层53b的面的2个部位，固定平面型光波回路53和辅助固定架66，但固定Si基板53a的面（下表面）的面积大于固定石英玻璃层53b的面（上表面）的面积。

平面型光波回路53由于是异种材料的层构造，所以有由于温度变化而翘曲变化的可能性。在翘曲的温度依赖性充分小的情况下，优选实施例4记载的构造。但是，在翘曲的温度依赖性大的情况下，通过辅助固定架强制性地按压平面型光波回路53，所以由于温度变化而发生新的应力。

因此，在实施例5中，以使由于温度变化发生平面型光波回路53的翘曲而弹性粘接剂62a、62b变位（分别压缩和伸长）之后的各自的厚度、和弹性粘接剂自身发生的力相等时的弹性粘接剂62a、62b各自的厚度一致的方式，变更上表面以及下表面的粘接面积。

【实施例6】

图10A～10C示出本发明的实施例6的光模块的内部构造。在实施例1～5中，在基体基板51上水平地载置了平面型光波回路53，但在实施例6中相对基体基板51垂直地载置。作为光功能回路，具备透镜54和光功能元件55，分别将固定用固定架52a、52b、52c作为支承构件，而固定于基体基板51上的点与实施例1～5相同。光纤56和平面型光波回路53经由光纤固定部件57连接。光纤56是具有多个芯的带状的光纤阵列。

固定用固定架52a与实施例1～5同样地通过粘接剂58仅固定平面型光波回路53上的光回路中的波导路区域。另一方面，辅助固定架67a、67b如图10C所示在从侧面观察时具有コ字的形状，在Si基板53a的面和石英玻璃层53b的面的2个部位，固定平面型光波回路53和辅助固定架67a、67b。

在实施例6中，通过在平面型光波回路53的与出射端面所形成的一边对向的边中，使用弹性粘接剂62固定于辅助固定架67a上，能够抑制平面型光波回路53的振动，吸收从光纤固定部件57施加的力。另外，通过在平面型光波回路53的出射端面所形成的一边与对向的边之间也固定于辅助固定架67b上，在平面型光波回路53振动后，能够按压振幅大的部位。

虽然已经参考示例性实施例介绍了本发明，但是应当理解，本发明不限于所公开的示例性实施例。随附权利要求的范围应当被赋予最宽的解释以包含所有这些修改以及等同结构和功能。

Claims

1.一种光模块，其特征在于包括：

平面型光波回路，具有在基板上形成的波导路型的光功能回路，并且，包括与形成了出射来自所述光功能回路的出射光的光波导路的出射端面或者入射向所述光功能回路的入射光的光波导路的入射端面的一边相接而仅形成有光波导路的波导路区域；

固定用固定架，仅在形成了所述波导路区域的部分保持所述平面型光波回路；以及

辅助固定架，和与形成了所述出射端面或者入射端面的一边对向的边相接并保持所述平面型光波回路，

通过具有比固定所述平面型光波回路和所述固定用固定架的粘接剂或者接合材料的弹性率小的弹性率的弹性粘接剂或者弹性构造体，固定所述平面型光波回路和所述辅助固定架。

2.根据权利要求1所述的光模块，其特征在于还包括：

中间辅助固定架，插入在所述平面型光波回路与所述辅助固定架之间，

通过弹性粘接剂或者弹性构造体固定所述平面型光波回路和所述中间辅助固定架，通过粘接剂或者接合材料固定所述中间辅助固定架和所述辅助固定架。

3.根据权利要求1所述的光模块，其特征在于：在所述平面型光波回路的所述基板的面、与所述平面型光波回路的所述光功能回路的面之间的2个部位，通过所述弹性粘接剂或者弹性构造体，固定所述平面型光波回路和所述辅助固定架。

4.根据权利要求3所述的光模块，其特征在于：固定所述平面型光波回路的所述基板的面的面积、和固定所述平面型光波回路的所述光功能回路的面的面积不同，为了使由于温度变化发生所述平面型光波回路的翘曲而2个部位的弹性粘接剂变位后的各自的厚度、和弹性粘接剂自身发生的力相等时的所述2个部位的弹性粘接剂各自的厚度一致，决定2个部位的面积。

5.根据权利要求1所述的光模块，其特征在于：具备多个辅助固定架。

6.根据权利要求1所述的光模块，其特征在于：所述弹性粘接剂的厚度是100μm～1mm。