CN103867787B - 阀装置、阀组件以及用于阀组件的校准的方法 - Google Patents

阀装置、阀组件以及用于阀组件的校准的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN103867787B
CN103867787B CN201310672574.9A CN201310672574A CN103867787B CN 103867787 B CN103867787 B CN 103867787B CN 201310672574 A CN201310672574 A CN 201310672574A CN 103867787 B CN103867787 B CN 103867787B
Authority
CN
China
Prior art keywords
pressure
absolute type
valve
pressure sensor
type pressure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201310672574.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103867787A (zh
Inventor
M.迈希尔
M.迈尔
A.迪克霍夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Festo SE and Co KG
Original Assignee
Festo SE and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Festo SE and Co KG filed Critical Festo SE and Co KG
Publication of CN103867787A publication Critical patent/CN103867787A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103867787B publication Critical patent/CN103867787B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K37/00—Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
    • F16K37/0075—For recording or indicating the functioning of a valve in combination with test equipment
    • F16K37/0091—For recording or indicating the functioning of a valve in combination with test equipment by measuring fluid parameters
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B19/00—Testing; Calibrating; Fault detection or monitoring; Simulation or modelling of fluid-pressure systems or apparatus not otherwise provided for
    • F15B19/005—Fault detection or monitoring
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/30—Directional control
    • F15B2211/305—Directional control characterised by the type of valves
    • F15B2211/3056—Assemblies of multiple valves
    • F15B2211/30565—Assemblies of multiple valves having multiple valves for a single output member, e.g. for creating higher valve function by use of multiple valves like two 2/2-valves replacing a 5/3-valve
    • F15B2211/30575—Assemblies of multiple valves having multiple valves for a single output member, e.g. for creating higher valve function by use of multiple valves like two 2/2-valves replacing a 5/3-valve in a Wheatstone Bridge arrangement (also half bridges)
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/60—Circuit components or control therefor
    • F15B2211/63—Electronic controllers
    • F15B2211/6303—Electronic controllers using input signals
    • F15B2211/6306—Electronic controllers using input signals representing a pressure
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/60—Circuit components or control therefor
    • F15B2211/63—Electronic controllers
    • F15B2211/6303—Electronic controllers using input signals
    • F15B2211/6306—Electronic controllers using input signals representing a pressure
    • F15B2211/6309—Electronic controllers using input signals representing a pressure the pressure being a pressure source supply pressure
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/60—Circuit components or control therefor
    • F15B2211/63—Electronic controllers
    • F15B2211/6303—Electronic controllers using input signals
    • F15B2211/6306—Electronic controllers using input signals representing a pressure
    • F15B2211/6313—Electronic controllers using input signals representing a pressure the pressure being a load pressure
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/80—Other types of control related to particular problems or conditions
    • F15B2211/885—Control specific to the type of fluid, e.g. specific to magnetorheological fluid
    • F15B2211/8855—Compressible fluids, e.g. specific to pneumatics
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/0318—Processes
    • Y10T137/0402—Cleaning, repairing, or assembling
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/8158—With indicator, register, recorder, alarm or inspection means
    • Y10T137/8175—Plural

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Indication Of The Valve Opening Or Closing Status (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

本发明涉及阀装置、阀组件以及用于阀组件的校准的方法，具体而言，涉及一种阀装置，其带有：阀壳体，其限制阀腔，在其中，阀元件可运动地容纳在锁止位置与释放位置之间，以便影响用于在通入到阀腔中的输入通道与从阀腔中通出的输出通道之间的流动路径中的流体的自由的流动截面；第一绝对式压力传感器，其用于提供依赖于在流动路径中的工作压力的第一压力信号；以及评估电路，其用于处理第一压力信号。根据本发明设置成在流动路径外部布置有第二绝对式压力传感器，其构造成用于提供依赖于在流动通道外部的工作压力的第二压力信号，并且其与评估电路相连接，以便使得能够确定在第一压力信号与第二压力信号之间的压差。

Description

阀装置、阀组件以及用于阀组件的校准的方法
技术领域
本发明涉及一种阀装置，其带有：阀壳体，其限制阀腔，在其中，阀元件可运动地容纳在锁止位置与释放位置之间，以便影响用于在在通入到阀腔中的输入通道与从阀腔中通出的输出通道之间的流动路径中的流体的自由的流动截面；第一绝对式压力传感器，其用于提供依赖于在流动路径中的工作压力的第一压力信号；以及评估电路(Auswerteschaltung)，其用于处理第一压力信号。另外，本发明还涉及一种带有多个这种阀装置的阀组件以及一种用于这种阀组件的校准的方法。
背景技术
由文件DE 10 2005 036 663 A1已知一种所谓的机电一体化系统，在其中，在壳体中布置有机械部分和电子部分，其中，机械部分包括一个或多个磁阀以及压力引导通道，而电子部分具有带有电子构件的电路板。在压力引导通道中安装有用于测量物理参数的传感器模块，其中，传感器模块可根据需求为绝对式压力传感器或压差式传感器。
发明内容
本发明的目的在于提供一种阀装置、一种由多个这种阀装置建造的阀组件以及一种用于这种阀组件(其构造成用于自动检查绝对式压力传感器的功能性)的校准的方法。
在此设置成在流动路径外部布置有第二绝对式压力传感器，其构造成提供依赖于在流动路径外部的参考压力的第二压力信号，并且其与评估电路相连接，以便使得能够确定在第一压力信号与第二压力信号之间的压差。借助于所确定的压差，必要时在包含关于阀元件在锁止位置与释放位置之间的工作位置的知识的情况下可获取关于在流动路径中的压力情况的信息以及关于所涉及的绝对式压力传感器－尤其第一绝对式压力传感器－的功能的信息。该信息使得能够实现检查由第一绝对式压力传感器提供的压力信号且因此能够尤其以可预定的时间间隔实现自动监测第一绝对式压力传感器。例如，如果对阀装置提出很高的安全要求(其要求例如在阀元件的不同的工作位置的情况下借助于确定在流动路径中的不同的工作压力来检查阀功能)，那么这是重要的。在仅仅利用布置在流动路径中的唯一的绝对式压力传感器的情况下，与进行绝对式压力传感器的第一压力信号与至少一个第二绝对式压力传感器的压力信号相比较(Abgleich)的情况相比，存在更大的错误测量的可能性，尤其存在更大的测量偏差的不可辨识的可能性。
如果第一绝对式压力传感器布置在阀腔中或者布置在输出通道中，以便将依赖于阀元件的工作位置的第一压力信号提供到评估电路处，这是适宜的。在第一绝对式压力传感器布置在阀腔中的情况下，该第一绝对式压力传感器可依赖于阀装置的机械的设计或者测量始终在阀腔中存在的供给压力(其通过输入通道来提供)，或者测量在输出通道中存在的输出压力。无论如何，在阀元件从锁止位置运动到释放位置中时，通过第一绝对式压力传感器或者可确定压力下降，或者可确定压力上升。这依赖于阀座(阀元件可在锁止位置中密封地贴靠在该阀座处)是否布置在阀腔和容纳在该阀腔中的第一绝对式压力传感器的上游或下游。在第一绝对式压力传感器布置在出口通道中的情况下，该第一绝对式压力传感器原则上布置在阀座的下游，阀元件与该阀座一起在锁止位置中进入密封的连接，并且由此使得能够在阀元件的锁止位置中实现确定在工作通道中和因此主要在联接到工作通道处的负载处存在的工作压力。
优选地，第二绝对式压力传感器布置在阀壳体的外表面处，以便将依赖于环境压力的第二压力信号提供到评估电路处。因此可借助于第二绝对式压力传感器计算出在在流动路径中存在的工作压力与确定为参考压力的环境压力之间的压差，由此例如可对由阀装置以压力来加载的、供给流体的执行器的运动性能或由阀装置以负压供给的吸取器的吸力进行检查。补充地或备选地可在阀元件的合适的工作位置的情况下通过确定在第一压力信号与第二压力信号之间的压差实现直接比较第一绝对式压力传感器与第二绝对式压力传感器的压力信号，以便在后续的步骤中例如实现修正由第一绝对式压力传感器确定的压力信号。
在本发明的一改进方案中设置成第一绝对式压力传感器布置在输出通道中，而第三绝对式压力传感器布置在输入通道中或布置在阀腔中，以便将依赖于在输入通道中的输入压力或依赖于在阀腔中的工作压力的第三压力信号提供到评估电路处。第三绝对式压力传感器同第二绝对式压力传感器一样具有这样的目的：提供压力信号，其能够检查第一绝对式压力传感器的压力信号。在合适地设计阀装置时，例如可以此为出发点，即，第一绝对式压力传感器和第三绝对式压力传感器在阀元件运动到释放位置中时将相同的压力信号提供到评估电路处。因此可在认识到关于阀元件的工作位置时进行第一绝对式压力传感器与第三绝对式压力传感器的压力信号的检查。补充地或备选地还可比较第三压力信号与第二绝对式压力传感器的第二信号，以便此外在该情况下还能够对第三绝对式压力传感器进行检查。因此，用于比较第一绝对式压力传感器与第二绝对式压力传感器或第一绝对式压力传感器与第三绝对式压力传感器或第一绝对式压力传感器与第二绝对式压力传感器以及第三绝对式压力传感器的评估电路可构造成依赖于阀元件的工作位置。
在本发明的一有利的改进方案中设置成绝对式压力传感器和/或评估电路具有：模拟－数字转换器件，其用于测量信号(尤其压力信号和/或温度信号)的数字化；和/或存储装置，其用于存储测量信号值(尤其压力信号值和/或温度信号值)，或者用于存储测量信号值和关联于该测量信号值的时间标记(Zeitstempel)。借助于模拟数字转换器件可处理典型地模拟的、尤其以电压或电流的形式提供的测量信号，例如用于数字的再处理的压力信号和/或温度信号。如果应将单个的或所有的测量信号以定期的或不定期的时间间隔存储在存储装置中，以便例如可观察单个的绝对式压力传感器的压力信号的长期的变化并且必要时可输出相应的错误信息，那么这是尤其重要的。为了该目的，如果将带有时间标记(即关于相应确定的相应的测量信号值－尤其压力信号值－的时间信息)的单个或所有的测量信号值(尤其压力信号值)存放在存储装置中，这可是特别有利的。如果以不定期的时间间隔或仅依赖于阀元件的可预定的工作位置或其他外部的情况进行压力信号值的存储，那么使用用于压力信号值的时间标记尤其重要。
根据本发明的另一设计方案设置成第一绝对式压力传感器具有这样的测量范围，其为第二绝对式压力传感器的测量范围的二至五倍。典型地，第二绝对式压力传感器设置成确定在阀装置的环境中的环境压力，并且另外以此为出发点，即该环境压力在很窄的区间(例如在1bar+/-200毫巴的范围中)中波动，从而如果带有包含在其中的绝对式压力传感器的阀装置并未使用在真空或高压领域中，例如0至2bar的测量范围对于第二绝对式压力传感器来说是足够的。第一绝对式压力传感器例如针对气动的应用具有典型地0至10bar的测量范围，从而可无问题地测量通常在气动设备中设置的6bar的超压。
如果绝对式压力传感器包括内部的真空腔，其由测量膜逐段地封闭，这是有利的，其中，在测量膜上布置有应变式传感器(Deformationssensor)或应变式传感器和温度传感器，以便确定测量膜的依赖于压力或依赖于压力和温度的变形且由此产生至少一个尤其温度补偿的压力信号。针对高精度和快速的压力测量，这种绝对式压力传感器可例如利用半导体制造的方法和/或MEMS方法(用于所谓的“微机电系统”的制造方法)成本有利地来生产且尤其具有测量膜，在该测量膜上安装有压阻式传感器。另外，可在测量膜处或在测量膜的邻近的环境中构造有温度传感器，其用于由测量膜确定的压力信号的温度补偿。
根据本发明的第二方面设置有用于实现上面提到的目的的阀组件，其包括根据多个阀装置，其中，该阀装置相应包括第一绝对式压力传感器或相应包括第一绝对式压力传感器和第三绝对式压力传感器，并且其中，多个阀装置具有共有的第二绝对式压力传感器。由此可在阀装置中的每个中借助于相应的第一绝对式压力传感器单独地至少确定第一压力信号且与中心的第二绝对式压力传感器相比较。由此针对相应配备的阀组件得到成本有利的构造方式。
根据第三方面，本发明的目的通过用于阀组件的校准的方法来实现，在其中，确定以下组中的至少两个压力值：
环境压力，其由第二绝对式压力传感器的第二压力信号来确定；
第一工作压力，其在在输入通道与输出通道之间的流动路径中在阀元件的可预定的第一工作位置中借助于第一绝对式压力传感器的第一压力信号来确定；
第二工作压力，其在在输入通道与输出通道之间的流动路径中在阀元件的可预定的第二工作位置(其不同于阀元件的第一工作位置)中借助于第一绝对式压力传感器的第一压力信号来确定；
第三工作压力，其在在输入通道与输出通道之间的流动路径中在阀元件的可预定的第一工作位置中借助于第三绝对式压力传感器的第三压力信号来确定；
第四工作压力，其在在输入通道与输出通道之间的流动路径中在阀元件的可预定的第二工作位置(其不同于阀元件的第一工作位置)中借助于第三绝对式压力传感器的第三压力信号来确定；
并紧接着在评估电路中进行：
借助于在环境压力与第一工作压力之间和/或在环境压力与第二工作压力之间和/或在第一工作压力与第三工作压力之间和/或在第二工作压力与第四工作压力之间所确定的压差确定用于第一绝对式压力传感器的修正值；
和/或借助于在环境压力与第三工作压力之间和/或在环境压力与第四工作压力之间和/或在第一工作压力与第三工作压力之间和/或在第二工作压力与第四工作压力之间所确定的压差确定用于第三绝对式压力传感器的修正值。因此，该方法尤其还用于阀组件的监控且使得能够实现所使用的绝对式压力传感器的内部的再校准。
附图说明
在附图中示出了本发明的一有利的实施方式。其中：
图1显示了带有多个阀装置以及多个绝对式压力传感器的阀组件，以及
图2显示了阀装置的示意性的截面图示。
具体实施方式
在图1中示出的阀组件1示例性地包括四个阀装置2至5，其示例性地在流体的桥接线路中彼此连接。根据在图1和2中的图示，阀装置2至5中的每个具有输入通道6以及输出通道7。在此，在图1中示出的阀装置3和4的输入通道6一起设置成用于连结到未示出的流体源－尤其压缩空气源－处。另外，阀装置2和5的输出通道7相应构造为流体出口，其使得受压力加载的流体能够流出到环境中，尤其在中间连接有未示出的消音器的情况下。阀装置3的输出通道7与阀装置2的输入通道6在流体上相连地连接，并且附加地与工作接口8(其设置成用于为未示出的流体负载(Fluidverbraucher)供给和清除流体)处于连接中。这以相同的方式适用于阀装置4和5。
示例性地在阀组件1中设置有多个绝对式压力传感器10至15，其相应地与评估电路16相连接。示例性地为此在绝对式压力传感器10至15与评估电路16之间构造有电的连接。在未示出的实施方式中，在绝对式压力传感器与评估电路之间的连接中的至少一些无接触地－尤其光学地或感应地－来构造。
绝对式压力传感器10,11,14和15相应布置在相应的阀装置2至5的输出通道7中并且可因此考虑为第一绝对式压力传感器。为了确定环境压力，绝对式压力传感器12布置在示意性示出的阀壳体17的外表面处并且可因此考虑为第二绝对式压力传感器。可将布置在阀装置4的输入通道6中的绝对式压力传感器13相应地分类为第三绝对式压力传感器。
在图2中示意性地示出的阀装置2示例性地包括阀壳体9，其限制阀腔24，输入通道6通入到该阀腔中，而输出通道7从该阀腔中通出，从而通过阀装置的流动路径包括输入通道6、阀腔24和输出通道7。在阀腔中布置有示例地构造为可以电来运行的励磁线圈的驱动器22以及可由该驱动器22驱动的、示例性地配备有永磁组件的阀元件21。另外，在阀腔中布置有示例地构造为螺旋弹簧的弹簧装置25，其作为受到预紧的压力弹簧设置在阀元件21与阀壳体9之间以用于施加闭合力到阀元件21上。在背对弹簧装置25的端部区域处，阀元件21如此匹配于示例性地构造在输出通道7处的阀座26的几何形状，即，流动路径在阀元件21贴靠在阀座26时被封锁。在驱动器22借助于联接线路23加载有电流时将磁的力作用这样施加到阀元件21上，即，该阀元件克服弹簧装置25的预紧从阀座26提升并且因此释放在输入管路6与输出管路7之间的流动路径。
阀装置2的构造方式的之前的说明仅纯粹是示例性的，不仅驱动器的类型而且阀元件的设计方案和可动性都可以其他的方式来构造，这种情况例如为压电阀或受流体预调的阀。
下面应示例性地说明评估电路16可如何利用第一绝对式压力传感器、第二绝对式压力传感器和第三绝对式压力传感器的压力信号例如来检查第一绝对式压力传感器10,11,14,15的功能或开始修正措施。对于随后的说明以此为出发点，即，阀装置2至5设置成构造为常闭的(NC－Normal Closed，常闭的)阀并且直到通过借助于控制电路18(其可由评估电路16施加调节能量，尤其电能)的操控才从闭合的工作位置中转变到打开的工作位置中。
在未相应地操控阀装置2至5的情况下，在阀装置3和4的输入通道(其还可被称为供给接口19)处存在的流体的压力仅存在于该输入通道6中、且由绝对式压力传感器13来测量、且传送到评估电路16处。在绝对式压力传感器10和15处存在环境压力，其还可由绝对式压力传感器12来确定。绝对式压力传感器11和14相应加载有在相应的工作接口8处存在的工作压力，其依赖于相应联接在该处的、未进一步示出的流体负载的特性。因此，在该第一时刻仅可通过比较两个绝对式压力传感器10和15的压力信号与绝对式压力传感器12的压力信号进行两个绝对式压力传感器10和15的检查。
在第二时刻(在该时刻例如进行阀装置3的操控)在供给接口19处存在的受压力加载的流体流动通过阀装置3和阀装置3的输出通道7直至所关联的工作接口8，在此，在阀装置3的输入通道6中和在阀装置3的输出通道7中设立有相同的压力情况，从而评估电路可检查第三绝对式压力传感器13的压力信号与第一绝对式压力传感器11的压力信号是否相同。在两个压力信号之间的超过可预定的阈值的偏差的情况下，或者可输出错误信息，或者可进行对由第一绝对式压力传感器11输出的压力信号的修正，使得在对两个绝对式压力传感器11和13执行修正之后存在相同的压力信号。修正以该措施为基础：绝对式压力传感器13以比绝对式压力传感器11更高的可能性给出正确的压力信号，因为绝对式压力传感器13与绝对式压力传感器11相比经受不同的压力的更小的带宽(Bandbreite，即变化幅度)，因为绝对式压力传感器13或者加载有大致恒定的供给压力，或者加载有在阀打开时设定的更低的工作压力。与之相对，绝对式压力传感器11和以相同的方式还有绝对式压力传感器14视联接在相应的工作接口处的流体负载的设计而定经受许多压力交变作用和压力波动的很高的带宽，并且因此比起绝对式压力传感器13的情况以更高的可能性易受失效影响。
在阀装置3闭合之后可在第三时刻设置打开阀装置2，由此在阀装置2和3的工作接口8与阀装置2的输出通道7之间存在压力平衡，从而可由评估电路16来彼此比较设置在该流动路径中的绝对式压力传感器10和11的压力信号，并且必要时可进行由绝对式压力传感器11提供的压力信号的修正。
示例性地可设置成由绝对式压力传感器10至15确定的模拟压力信号直接地在相应的绝对式压力传感器10至15中进行数字转换，并且作为数字信号传递到评估电路16中。补充地或备选地可设置成相应的压力信号暂存在存储装置(其包含在相应的绝对式压力传感器10至15中)中，或者为了校准目的而设有时间标记，同样更长时间地保持在相应的存储装置中。附加地或备选地还可在评估电路16中存储相应的绝对式压力传感器10至15的压力信号。此外在评估电路16中在阀装置2至5的不同的切换状态的情况下发生之前所说明的不同的绝对式压力传感器10至15的压力信号的比较，其中，始终最重要的是在该时刻比较不同的绝对式压力传感器10至15的压力信号，在其处可以此为出发点：待比较的绝对式压力传感器10至15加载有相同的工作压力。视评估电路16和/或绝对式压力传感器10至15的设计而定，可将修正值(其借助于比较不同的绝对式压力传感器10至15来确定)存储在评估电路16中和/或在绝对式压力传感器10至15中的相应的存储装置中。

Claims (12)

1.一种阀组件，其带有多个阀装置(2,3,4,5)，所述阀装置分别具有阀壳体(9)，其限制阀腔(24)，阀元件(21)以可在锁止位置与释放位置之间的运动方式容纳在阀腔(24)中，以便影响用于在通入到所述阀腔中的输入通道(6)与从所述阀腔中通出的输出通道(7)之间的流动路径中的流体的自由的流动截面；第一绝对式压力传感器(10,11,14,15)，其用于提供依赖于在所述流动路径中的工作压力的第一压力信号；以及评估电路(16)，其用于处理所述第一压力信号，其中在所述流动路径外部布置有第二绝对式压力传感器(12)，其构造成用于提供依赖于在所述流动路径外部的参考压力的第二压力信号，并且其与所述评估电路(16)相连接，以便使得能够确定在所述第一压力信号与所述第二压力信号之间的压差，其特征在于，所述阀装置(2,3,4,5)相应包括第一绝对式压力传感器(10,11,14,15)或相应包括第一绝对式压力传感器和第三绝对式压力传感器(10,11,13,14,15)，并且多个阀装置(2,3,4,5)具有共有的第二绝对式压力传感器(12)。
2.根据权利要求1所述的阀组件，其特征在于，所述第一绝对式压力传感器(10,11,14,15)布置在所述阀腔(24)中或布置在所述输出通道(7)中，以便将依赖于所述阀元件(21)的切换位置的第一压力信号提供到所述评估电路(16)处。
3.根据权利要求1或2所述的阀组件，其特征在于，所述第二绝对式压力传感器(12)布置在所述阀壳体(9)的外表面处，以便将依赖于环境压力的第二压力信号提供到所述评估电路(16)处。
4.根据权利要求1或2所述的阀组件，其特征在于，所述第一绝对式压力传感器(10,11,14,15)布置在所述输出通道(7)中，而第三绝对式压力传感器(13)布置在所述输入通道(6)中或布置在所述阀腔(24)中，以便将依赖于在所述输入通道(6)中的输入压力或依赖于在所述阀腔中的工作压力的第三压力信号提供到所述评估电路(16)处。
5.根据权利要求1或2所述的阀组件，其特征在于，所述评估电路(16)构造成用于依赖于所述阀元件(21)的工作位置比较所述第一绝对式压力传感器与所述第二绝对式压力传感器(10,11,12,14,15)或所述第一绝对式压力传感器与所述第三绝对式压力传感器(10,11,13,14,15)或所述第一绝对式压力传感器与所述第二绝对式压力传感器以及所述第三绝对式压力传感器(10,11,12,13,14,15)。
6.根据权利要求1或2所述的阀组件，其特征在于，所述绝对式压力传感器(10,11,12,13,14,15)和/或所述评估电路(16)具有：模拟－数字转换器件，其用于测量信号的数字化；和/或存储装置，其用于存储测量信号值或用于存储测量信号值和关联于该测量信号值的时间标记。
7.根据权利要求1或2所述的阀组件，其特征在于，所述第一绝对式压力传感器(10,11,14,15)具有这样的测量范围，其为所述第二绝对式压力传感器(12)的测量范围的至少二至五倍。
8.根据权利要求1或2所述的阀组件，其特征在于，所述绝对式压力传感器(10,11,12,13,14,15)包括内部的真空腔，其由测量膜逐段地封闭，其中，在所述测量膜上布置有应变式传感器或应变式传感器和温度传感器，以便确定所述测量膜的依赖于压力或依赖于压力和温度的变形并且由此产生至少一个压力信号。
9.根据权利要求6所述的阀组件，其特征在于，所述测量信号为压力信号和/或温度信号。
10.根据权利要求6所述的阀组件，其特征在于，所述测量信号值为压力信号值和/或温度信号值。
11.根据权利要求8所述的阀组件，其特征在于，所述压力信号为温度补偿的压力信号。
12.一种用于校准权利要求1-11中任一项所述的阀组件(1)的方法，在其中，确定下列组中的至少两个压力值：
环境压力，其由第二绝对式压力传感器(12)的第二压力信号确定；
第一工作压力，其在输入通道(6)与输出通道(7)之间的流动路径中在阀元件的可预定的第一工作位置中借助于第一绝对式压力传感器(10,11,14,15)的第一压力信号来确定；
第二工作压力，其在所述输入通道(6)与所述输出通道(7)之间的所述流动路径中在所述阀元件(21)的可预定的第二工作位置－其不同于所述阀元件(21)的第一工作位置－中借助于所述第一绝对式压力传感器(10,11,14,15)的第一压力信号来确定；
第三工作压力，其在所述输入通道(6)与所述输出通道(7)之间的所述流动路径中在所述阀元件的可预定的第一工作位置中借助于第三绝对式压力传感器(13)的第三压力信号来确定；
第四工作压力，其在所述输入通道(6)与所述输出通道(7)之间的所述流动路径中在所述阀元件的可预定的第二工作位置－其不同于所述阀元件的第一工作位置－中借助于所述第三绝对式压力传感器(13)的第三压力信号来确定；
并且紧接着在所述评估电路(16)中进行：
借助于在环境压力与第一工作压力之间和/或在环境压力与第二工作压力之间和/或在第一工作压力与第三工作压力之间和/或在第二工作压力与第四工作压力之间所确定的压差确定用于所述第一绝对式压力传感器(10,11,14,15)的修正值；
和/或借助于在环境压力与第三工作压力之间和/或在环境压力与第四工作压力之间和/或在第一工作压力与第三工作压力之间和/或在第二工作压力与第四工作压力之间所确定的压差确定用于所述第三绝对式压力传感器(13)的修正值。
CN201310672574.9A 2012-12-12 2013-12-12 阀装置、阀组件以及用于阀组件的校准的方法 Active CN103867787B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP12008283.9 2012-12-12
EP12008283.9A EP2743519B1 (de) 2012-12-12 2012-12-12 Ventilanordnung und Verfahren zum Kalibrieren einer Ventilanordnung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103867787A CN103867787A (zh) 2014-06-18
CN103867787B true CN103867787B (zh) 2018-05-25

Family

ID=47559026

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310672574.9A Active CN103867787B (zh) 2012-12-12 2013-12-12 阀装置、阀组件以及用于阀组件的校准的方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US9441758B2 (zh)
EP (1) EP2743519B1 (zh)
CN (1) CN103867787B (zh)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9669550B2 (en) * 2014-04-18 2017-06-06 Kla-Tencor Corporation Pick and place device with automatic pick-up-height adjustment and a method and a computer program product to automatically adjust the pick-up-height of a pick and place device
DE102015210621B4 (de) * 2015-06-10 2017-02-09 Festo Ag & Co. Kg Steuergerät mit Kommunikationsschnittstelle, Empfangsgerät und Verfahren zur Kommunikation
DK179765B1 (en) * 2017-11-10 2019-05-14 Danfoss A/S A METHOD FOR CONTROLLING A FLUID FLOW THROUGH A VALVE
CN112673243A (zh) 2018-09-14 2021-04-16 芬兰国家技术研究中心股份公司 压力传感器
EP3850223A4 (en) * 2018-09-14 2022-07-20 Precision Planting LLC FLUID REGULATION ASSEMBLY AND SYSTEM
CN111649868A (zh) * 2020-06-16 2020-09-11 苏州新傲信息技术有限公司 一种双进气管结构的压力传感器
JP7424322B2 (ja) * 2021-01-19 2024-01-30 Smc株式会社 流体圧力制御装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1245812A (en) * 1917-07-28 1917-11-06 Harry W Smock Trenching-tool.
US4576035A (en) * 1984-01-05 1986-03-18 Cordis Corporation Self-calibrating differential condition sensor
EP1245812A2 (en) * 2001-03-28 2002-10-02 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Abnormality detection apparatus of pressure sensor
DE102005036663A1 (de) * 2004-11-04 2007-02-08 Wabco Gmbh & Co.Ohg Mechatronik I
US7801693B2 (en) * 2006-03-24 2010-09-21 Saturn Electronics & Engineering, Inc. Fluid pressure measurement
CN102192018A (zh) * 2010-03-11 2011-09-21 福特全球技术公司 用于控制内燃发动机的方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102005005350A1 (de) * 2005-02-05 2006-08-17 Atmel Germany Gmbh Integrierter Multisensor
DE102006043320A1 (de) * 2006-09-15 2008-03-27 Robert Bosch Gmbh Verfahren zum Ermitteln der Funktionsfähigkeit eines Drucksensors
JP5220866B2 (ja) * 2008-11-17 2013-06-26 アルプス電気株式会社 半導体圧力センサ

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1245812A (en) * 1917-07-28 1917-11-06 Harry W Smock Trenching-tool.
US4576035A (en) * 1984-01-05 1986-03-18 Cordis Corporation Self-calibrating differential condition sensor
EP1245812A2 (en) * 2001-03-28 2002-10-02 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Abnormality detection apparatus of pressure sensor
DE102005036663A1 (de) * 2004-11-04 2007-02-08 Wabco Gmbh & Co.Ohg Mechatronik I
US7801693B2 (en) * 2006-03-24 2010-09-21 Saturn Electronics & Engineering, Inc. Fluid pressure measurement
CN102192018A (zh) * 2010-03-11 2011-09-21 福特全球技术公司 用于控制内燃发动机的方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN103867787A (zh) 2014-06-18
EP2743519A1 (de) 2014-06-18
US9441758B2 (en) 2016-09-13
EP2743519B1 (de) 2023-07-19
US20140158215A1 (en) 2014-06-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103867787B (zh) 阀装置、阀组件以及用于阀组件的校准的方法
KR102406604B1 (ko) 압력 센서의 보정을 위한 방법 및 장치
US9869600B2 (en) Pressure sensor
JP6088050B2 (ja) 圧力センサを有する差圧伝送器
US7624642B2 (en) Differential pressure sensor isolation in a process fluid pressure transmitter
JP5237261B2 (ja) 少なくとも１つの圧縮ガスタンクに少なくとも１種のガスを充填する方法、圧縮ガスタンクの開口部に連結するための連結器、および圧縮ガスボンベ装置
KR20180091901A (ko) 누설 검사 장치 및 방법
EP2963404A1 (en) Pressure detecting device
KR20100004118A (ko) 듀얼 압력 센서
US10466127B2 (en) Differential pressure transmitter with intrinsic verification
CN207134948U (zh) 电动机
US20180031435A1 (en) Differential Pressure Transmitter With Intrinsic Verification
US9207140B2 (en) Differential pressure transmitter with intrinsic verification
US7418871B2 (en) Method for detecting a pressure of a medium and pressure measuring device
US9778124B2 (en) Sealed transducer with external adjustment port
CN101793588B (zh) 压缩天然气汽车燃气系统低中高压密封性能安全检测方法
KR101584682B1 (ko) 자가진단 기능을 갖는 압력감지장치
CN111164400B (zh) 微机械压力传感器设备和相应的制造方法
US10067022B2 (en) Absolute pressure sensor
CN219284571U (zh) 隔爆试验系统的动态爆炸压力验证装置
US10337938B2 (en) Dual output pressure sensor with single pressure transducer element
KR100962869B1 (ko) 연료 압력 센서의 검사 장치 및 그 방법
Li et al. The Actuator Fault Diagnosis Based on the Valve Friction
CA3117915A1 (en) Differential pressure transmitter with intrinsic verification
TWM557826U (zh) 壓差式流速計零點／全幅自動查核裝置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CP01 Change in the name or title of a patent holder

Address after: Germany Esslingen

Patentee after: FESTO Co., Ltd

Address before: Germany Esslingen

Patentee before: FESTO AG & CO. KG

CP01 Change in the name or title of a patent holder