CN103849824B - CNT增强W-Cu热用复合材料的制备方法 - Google Patents

CNT增强W-Cu热用复合材料的制备方法 Download PDF

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本发明是一种CNT增强W‑Cu热用复合材料的制备方法,具体是:采用包覆的方法制备Cu@CNT复合包覆粉末和Cu@W复合包覆粉末,然后将Cu@CNT复合包覆粉末和Cu@W复合包覆粉末按照体积百分比为Cu@CNT=0.1%‑10.0%、Cu@W=90.0%‑99.9%进行球磨混合均匀,将混合均匀粉末在100‑500MPa下进行冷等静压获得坯体,最后将坯体放入真空热压炉中进行烧结,得到所述CNT增强W‑Cu热用复合材料。本发明可以获得致密度高的CNT增强W‑Cu复合材料,具有热导率高、W和Cu界面之间结合力强等优点。

Description

CNT增强W-Cu热用复合材料的制备方法
技术领域
本发明涉及W-Cu复合材料领域,特别是涉及一种CNT增强W-Cu热用复合材料的制备方法,所制备的W-Cu热用复合材料具有致密度高达96.5%以上、热导率大于236W/mK(80wt.%W-Cu的理论热导率)。
背景技术
W-Cu复合材料具有较高的高温强度和良好的导热性,通过适当调整W、Cu之间的成分比例,可以获得与工作部件相匹配的热膨胀系数,因而作为一种电子封装材料被广泛应用于电子材料领域。为了保证W-Cu复合材料具有高密度和高强度的W骨架,同时与基体的热膨胀系数匹配,其中Cu含量一般为10~20wt.%,这在很大程度上限制了导热性能,从而影响到材料的工作性能。随着微电子工业的快速发展,对电子封装材料的散热性能要求进一步提高,因此,如何在保证W-Cu复合材料组分不变的情况下尽可能提高其热导率,且获得与基体匹配的热膨胀系数成为一个难题。国内外研究文献表明,在W-Cu复合材料中要获得较高的热导率,首先必须获得理想的Cu网络结构,同时在W-Cu复合材料中添加第三相作为高导热相。
目前在W-Cu复合材料中,为了获得理想的Cu网络结构,主要的制备方法有活化液相烧结、高温液相烧结、机械合金化法和化学合成法等。A.Sampath等分别通过包覆法、化学合成法和球磨法制备了W-Cu复合粉末,烧结后W-Cu复合材料的热导率分别为190W/mK、140W/mK和165W/mK;John L.Johnson等通过高温液相法合成了高纯度的85W-15Cu复合材料,其热导率为185~221W/mK;Seong-Hyeon Hong等通过机械-热化学工艺合成制备了80W-20Cu复合材料,其热导率达到了239±5.0W/mK。铜相在复合材料中的状态在很大程度上影响了导热性能,但粉末合金法的产品中原料粉末的粒径太小,因而不易形成完整的铜网络,化学合成法和活化烧结法中的添加剂也会对材料产生不利影响,因此这些钨铜材料虽然具有较高的致密度,但热学性能却不够理想。
碳纳米管由于具有低热膨胀系数(0×10-6/K),高的热导率(3000W/mK),添加到铜相中可以很好的改善材料热学性能,因而成为钨铜复合材料增强相的首选。但由于碳纳米管表面有碳原子SP2杂化形成的环状结构,因此和钨、铜之间的润湿极差,难于完全烧结致密。K.Chu等人采用酸化后的CNT与纯铜粉进行混合,然后将复合粉末进行放电等离子烧结(SPS)烧结,但是其CNT-Cu复合材料的热导率没有明显的提高;S.Cho等人在Cu中添加1.0vol%改性后的CNT,CNT-Cu复合材料的热导率达到了359.2W/mK,说明将CNT添加到铜基体中来改善铜相的导热性能是可行的;J.Nie等在CNT表面包覆一层W获得W@CNT粉末,再将W@CNT粉末与铜粉混合后进行SPS烧结,得到CNT-W-Cu复合材料,其最大热导率为348.5W/mK,但通过研究发现,在CNT的表面包覆W的效果并不好,且W容易与CNT生成WC,对热导率的提高不利,因此应该尽可能减少CNT与钨相之间的接触。通过包覆的方法在改性CNT的表面包覆Cu,再与同样经过包覆Cu的钨粉混合烧结,这样不仅提高了Cu与W,Cu与CNT之间的润湿性,有利于形成完整的铜相网络,也将CNT均匀地掺入到铜相之中,达到增强复合材料热导率的目的。
根据所查阅的国内外专利与文献的结果表明:目前还没有采用同时对CNT和W进行Cu的包覆:以Cu@CNT作为CNT的改性,改善CNT与Cu之间的烧结性,同时降低热阻抗;对W进行包覆以获得具有理想Cu网络结构的W-Cu复合材料。再将Cu@CNT与Cu@W均匀混合,通过真空热压烧结的方法制备出具有热导率超过236W/mK的W-Cu复合材料的报道。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是:针对现有制备工艺的不足,采用包覆的方法,以Cu分别包覆CNT和钨粉,提供一种可以制备较高热导率的W-Cu复合材料的制备方法,该方法使CNT具有更好的分散性,与W、Cu具有更好的烧结性,工艺可控,所制备的W-Cu复合材料具有致密度高,热导率高的特点。
本发明解决其技术问题采用以下的技术方案:
本发明提供的CNT增强W-Cu热用复合材料的制备方法,具体是:采用包覆的方法制备Cu@CNT复合包覆粉末和Cu@W复合包覆粉末,再将Cu@CNT和Cu@W按照体积百分比为Cu@CNT=0.1%-10.0%、Cu@W=90.0%-99.9%进行球磨混合均匀,然后将混合均匀粉末在100-500MPa下进行冷等静压获得坯体,最后将坯体进行真空热压烧结,得到致密度高、热导率高的W-Cu复合材料。
所述真空热压烧结工艺可以为:烧结温度为800℃-950℃,保温时间为1h-4h,烧结压力50-150MPa,真空度为1.0×10-3-2.0×10-4Pa。
所述的包覆方法可以为化学镀法。
所述的原料CNT,其纯度可以为95%,平均长度可以为1-5μm,直径可以为10-50nm。
所述的W粉,其纯度可以为99.9%,粒径可以为1-10μm。
本发明所制备的CNT增强W-Cu热用复合材料技术参数可以为:致密度≥96.5%,复合材料的热导率≥236W/mK。
本发明与现有技术相比具有以下主要的优点:
通过化学包覆的方法使得Cu致密包覆在CNT和钨粉表面,Cu@CNT复合粉末和Cu@W复合粉末的分散性都很好,然后通过控制真空热压烧结工艺制度(烧结温度、保温时间、烧结压力),制备出致密度高(大于96.5%)、导热率高(大于236W/mK)的W-Cu复合材料。
本发明获得的Cu@CNT与文献结果相比,Cu包覆在CNT表面更加致密,CNT在烧结所得的样品中分散均匀、润湿性好;获得的W-Cu复合材料的热导率与文献报道结果相比具有较大的提高,最高达到了274.1W/mK。因此具有工艺可控、热导率很高等优点。
附图说明
图1为W-Cu复合材料的制备工艺流程图。
图2为包覆后Cu@CNT的XRD图谱。
图3为包覆后Cu@CNT的SEM图谱。
图4为包覆后Cu@W的XRD图谱。
图5为包覆后单个Cu@W颗粒的表面SEM图谱。
图6和图7为烧结后W-Cu复合材料抛光样的SEM图谱。
图8和图9为W-Cu复合材料钨颗粒间隙掺入CNT的放大SEM图谱。
图10和图11为烧结后W-Cu复合材料断面的SEM图谱。
图12和图13为W-Cu复合材料断面处钨颗粒间隙掺入CNT的放大SEM图谱。
图14为不同Cu@CNT含量的W-Cu复合材料烧结体的密度、致密度曲线。
图15为不同Cu@CNT含量的W-Cu复合材料烧结体的热导率曲线。
具体实施方式
本发明提供的CNT增强W-Cu热用复合材料的制备方法,是以Cu@CNT作为CNT的改性,改善CNT与Cu之间的烧结性,同时降低热阻抗;对W进行包覆以获得具有理想Cu网络结构的W-Cu复合材料。再将Cu@CNT与Cu@W均匀混合,通过真空热压烧结的方法制备出具有热导率超过236W/mK的W-Cu复合材料。
为了更好地理解本发明,下面结合实施例作进一步说明。
实施例1:
将经过表面改性后CNT粉末分散于蒸馏水中,采用化学镀的方法,在CNT表面包覆一层致密的Cu,同样采用化学镀的方法,在原料钨粉的表面包覆一层均匀致密的Cu,再将Cu@CNT粉末与Cu@W粉末按照体积百分比Cu@CNT:Cu@W=0.1:99.9%在QM-3SP2型(南京大学仪器厂)球磨机上进行球磨混合均匀,然后将混合均匀的粉末进行在400MPa下进行冷等静压获得坯体,其中CNT长度1-5μm,直径为10-50nm,W粉粒径为10μm;最后放入真空热压炉中,按指定烧结工艺进行烧结,烧结工艺为950℃-50MPa-2h,具体来说,升温至950℃,在950℃保温2h,烧结压力为50MPa,随炉自然降温,得到致密W-Cu复合材料。
对CNT表面处理的方法是:将4g的CNT在浓硫酸和浓硝酸中搅拌8h,然后用蒸馏水清洗至pH为7,冷冻干燥,所述浓硫酸和浓硝酸的质量百分比浓度分别为98%和68%。
所述CNT化学镀的工艺为:CuCl2·2H2O浓度为0.1g/L,酒石酸钾钠的浓度为0.3g/L,稳定剂浓度为2mg/L,温度为50℃,稳定剂采用2,2-联吡啶。
所述钨粉化学镀的工艺为:CuSO4·5H2O浓度为15g/L,酒石酸钾钠的浓度为45g/L,稳定剂浓度为15mg/L,温度为65℃,稳定剂采用2,2-联吡啶。
所述冷等静压的工艺为:压力为400MPa,保压30min。
采用阿基米德排水方法测得该W-Cu复合材料的密度为15.31g/cm3,致密度达97.8%,热导率为235.4W/mK。抛光面对应图6,断面对应图10,密度、致密度数据对应图14,热导率数据对应图15。
实施例2:
将经过表面改性后CNT粉末分散于蒸馏水中,采用化学镀的方法,在CNT表面包覆一层致密的Cu,同样采用化学镀的方法,在原料钨粉的表面包覆一层均匀致密的Cu,再将Cu@CNT粉末与Cu@W粉末按照体积百分比Cu@CNT:Cu@W=1:99%在QM-3SP2型(南京大学仪器厂)球磨机上进行球磨混合均匀,然后将混合均匀的粉末进行在300MPa下进行冷等静压获得坯体,其中CNT长度1-5μm,直径为10-50nm,W粉粒径为10μm;最后放入真空热压炉中,按指定烧结工艺进行烧结,烧结工艺为900℃-150MPa-2h,具体来说,升温至900℃,在900℃保温2h,烧结压力为150MPa,随炉自然降温,得到致密W-Cu复合材料。
对CNT表面处理的方法是:将4g的CNT在浓硫酸和浓硝酸中搅拌4h,然后用蒸馏水清洗至pH为7,冷冻干燥,所述浓硫酸和浓硝酸的质量百分比浓度分别为98%和68%。
所述CNT化学镀的工艺为:CuCl2·2H2O浓度为1g/L,酒石酸钾钠的浓度为3g/L,稳定剂浓度为5mg/L,温度为65℃,稳定剂采用硫代硫酸钠。
所述钨粉化学镀的工艺为:CuSO4·5H2O浓度为15g/L,酒石酸钾钠的浓度为45g/L,稳定剂浓度为30mg/L,温度为75℃,稳定剂采用硫代硫酸钠。
所述冷等静压的工艺为:压力为300MPa,保压45min。
采用阿基米德排水方法测得该W-Cu复合材料的密度为15.23g/cm3,致密度达96.9%,热导率为274.1W/mK。抛光面对应图7,断面对应图11,密度、致密度数据对应图14,热导率数据对应图15。
实施例3:
将经过表面改性后CNT粉末分散于蒸馏水中,采用化学镀的方法,在CNT表面包覆一层致密的Cu,同样采用化学镀的方法,在原料钨粉的表面包覆一层均匀致密的Cu,再将Cu@CNT粉末与Cu@W粉末按照体积百分比Cu@CNT:Cu@W=2:98%在QM-3SP2型(南京大学仪器厂)球磨机上进行球磨混合均匀,然后将混合均匀的粉末进行在100MPa下进行冷等静压获得坯体,其中CNT长度1-5μm,直径为10-50nm,W粉粒径为10μm;最后放入真空热压炉中,按指定烧结工艺进行烧结,烧结工艺为950℃-100MPa-2h,具体来说,升温至950℃,在950℃保温2h,烧结压力为100MPa,随炉自然降温,得到致密W-Cu复合材料。
对CNT表面处理的方法是:将4g的CNT在浓硫酸和浓硝酸中搅拌8h,然后用蒸馏水清洗至pH为7,冷冻干燥,所述浓硫酸和浓硝酸的质量百分比浓度分别为98%和68%。
所述CNT化学镀的工艺为:CuCl2·2H2O浓度为3g/L,酒石酸钾钠的浓度为9g/L,稳定剂浓度为5mg/L,温度为55℃,稳定剂采用硫代硫酸钠。
所述钨粉化学镀的工艺为:CuSO4·5H2O浓度为5g/L,酒石酸钾钠的浓度为15g/L,稳定剂浓度为10mg/L,温度为50℃,稳定剂采用硫代硫酸钠。
所述冷等静压的工艺为:压力为100MPa,保压45min。
采用阿基米德排水方法测得该W-Cu复合材料的密度为15.17g/cm3,致密度达97.3%,热导率为263.4W/mK。抛光面对应图8,断面对应图12,密度、致密度数据对应图14,热导率数据对应图15。
实施例4:
将经过表面改性后CNT粉末分散于蒸馏水中,采用化学镀的方法,在CNT表面包覆一层致密的Cu,同样采用化学镀的方法,在原料钨粉的表面包覆一层均匀致密的Cu,再将Cu@CNT粉末与Cu@W粉末按照体积百分比Cu@CNT:Cu@W=5:95%在QM-3SP2型(南京大学仪器厂)球磨机上进行球磨混合均匀,然后将混合均匀的粉末进行在500MPa下进行冷等静压获得坯体,其中CNT长度1-5μm,直径为10-50nm,W粉粒径为10μm;最后放入真空热压炉中,按指定烧结工艺进行烧结,烧结工艺为950℃-150MPa-2h,具体来说,升温至950℃,在950℃保温2h,烧结压力为150MPa,随炉自然降温,得到致密W-Cu复合材料。
对CNT表面处理的方法是:将4g的CNT在浓硫酸和浓硝酸中搅拌6h,然后用蒸馏水清洗至pH为7,冷冻干燥,所述浓硫酸和浓硝酸的质量百分比浓度分别为98%和68%。
所述CNT化学镀的工艺为:CuCl2·2H2O浓度为3g/L,酒石酸钾钠的浓度为9g/L,稳定剂浓度为3mg/L,温度为55℃,稳定剂采用2,2-联吡啶。
所述钨粉化学镀的工艺为:CuSO4·5H2O浓度为5g/L,酒石酸钾钠的浓度为15g/L,稳定剂浓度为10mg/L,温度为70℃,稳定剂采用2,2-联吡啶。
所述冷等静压的工艺为:压力为500MPa,保压60min。
采用阿基米德排水方法测得该W-Cu复合材料的密度为14.70g/cm3,致密度达98.0%,热导率为257.6W/mK。密度、致密度数据对应图14,热导率数据对应图15。
实施例5:
将经过表面改性后CNT粉末分散于蒸馏水中,采用化学镀的方法,在CNT表面包覆一层致密的Cu,同样采用化学镀的方法,在原料钨粉的表面包覆一层均匀致密的Cu,再将Cu@CNT粉末与Cu@W粉末按照体积百分比Cu@CNT:Cu@W=10:90%在QM-3SP2型(南京大学仪器厂)球磨机上进行球磨混合均匀,然后将混合均匀的粉末进行在500MPa下进行冷等静压获得坯体,其中CNT长度1-5μm,直径为10-50nm,W粉粒径为10μm;最后放入真空热压炉中,按指定烧结工艺进行烧结,烧结工艺为900℃-150MPa-2h,具体来说,升温至900℃,在900℃保温2h,烧结压力为150MPa,随炉自然降温,得到致密W-Cu复合材料。
对CNT表面处理的方法是:将4g的CNT在浓硫酸和浓硝酸中搅拌6h,然后用蒸馏水清洗至pH为7,冷冻干燥,所述浓硫酸和浓硝酸的质量百分比浓度分别为98%和68%。
所述CNT化学镀的工艺为:CuCl2·2H2O浓度为2g/L,酒石酸钾钠的浓度为6g/L,稳定剂浓度为3mg/L,温度为65℃,稳定剂采用亚铁氰化钾。
所述钨粉化学镀的工艺为:CuSO4·5H2O浓度为10g/L,酒石酸钾钠的浓度为30g/L,稳定剂浓度为15mg/L,温度为50℃,稳定剂采用亚铁氰化钾。
所述冷等静压的工艺为:压力为500MPa,保压60min。
采用阿基米德排水方法测得该W-Cu复合材料的密度为14.32g/cm3,致密度达98.7%,热导率为243.2W/mK。抛光面对应图9,断面对应图13,密度、致密度数据对应图14,热导率数据对应图15。
上述实施例1-5中,所制备的包覆后Cu@CNT和Cu@W的XRD图谱分别见图2、图4;所制备的包覆后Cu@CNT.的SEM图谱见图3;所制备的包覆后单个Cu@W颗粒的表面SEM图谱见图5。

Claims (3)

1.一种CNT增强W-Cu热用复合材料的制备方法,其特征是采用包覆的方法制备Cu@CNT复合包覆粉末和Cu@W复合包覆粉末,所述的包覆方法为化学镀法,再将Cu@CNT、Cu@W按照体积百分比为Cu@CNT=0.1%-10.0%、Cu@W=90.0%-99.9%进行球磨混合均匀,然后将混合均匀粉末在100-500MPa下进行冷等静压获得坯体,最后将坯体在烧结温度为800℃-950℃,保温时间为1h-4h,烧结压力50-150MPa,真空度为1.0×10-3-2.0×10-4Pa下进行真空热压烧结,得到CNT增强W-Cu热用复合材料,该材料的致密度≥96.5%,复合材料的热导率≥236W/mK。
2.根据权利要求1所述的CNT增强W-Cu热用复合材料的制备方法,其特征在于制备Cu@CNT复合包覆粉末的CNT的纯度为95%,平均长度为1-5μm,直径为10-50nm。
3.根据权利要求1所述的CNT增强W-Cu热用复合材料的制备方法,其特征在于制备Cu@W复合包覆粉末的W粉的纯度为99.9%,粒径为1-10μm。
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