CN103506720B - 金属线放电加工装置、金属线放电加工方法、加工物 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种金属线放电加工装置、金属线放电加工方法、加工物。本发明降低因从加工液槽内的加工液供给口供给的加工液的喷流造成的金属线的抖动，对被加工物适当地进行放电加工。本发明的金属线放电加工装置通过在并列设置金属线而成的金属线群和被加工物之间的放电，将被加工物切割加工，具备加工液槽，该加工液槽具有从加工液供给装置被供给加工液的加工液供给口，加工液用于在被加工物和金属线群之间进行放电加工，在加工液槽中留存加工液，加工液槽在与加工液的水面平行地行走的金属线群和加工液供给口之间的位置，且在朝向竖直方向与加工液供给口相比的上部位置还具备水流控制机构，其被设置成对加工液的朝向金属线群的方向流动的水流进行抑制。

Description

金属线放电加工装置、金属线放电加工方法、加工物

技术领域

本发明涉及金属线放电加工装置、金属线放电加工方法、加工物，涉及用于降低因从加工液槽内的加工液供给口供给的加工液的喷流造成的金属线的抖动，对被加工物适当地放电加工的技术。

背景技术

近年，开发了通过放电加工，在短时间同时切出多个半导体材料、太阳能电池材料、硬质材料等被加工材料的方法。

例如，金属线放电加工装置有为了薄板状地切出该被加工材料，一面经供电元件向金属线施加电压，一面行走，通过使该被加工材料靠近该金属线来产生放电现象，对该被加工材料进行放电加工的金属线放电加工装置。

专利文献1记载了通过由行走的多根金属线对被加工物进行放电加工，来切断成薄片的情况。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-260151号公报

但是，以往，例如随着行走的金属线的速度变快，另外，随着金属线电极的根数变多，另外，随着金属线间隔狭小，存在加工水槽内的加工液被行走的金属线向加工水槽外运出，不能在加工水槽内充分确保金属线放电加工所必要的加工液的水量的情况。

因此，在不能在作为放电产生部的被加工物(工件)和金属线之间充分确保放电加工所必要的加工液的水量的情况下，例如，存在产生空中放电等，作为被加工物的工件、金属线破损，不能对被加工物适当地进行放电加工的可能性。

另外，存在由于向加工水槽供给的加工液的流速大的水流直接碰撞金属线，使得金属线的间隔因该加工液的水流而变动(金属线摇摆)，不能对被加工物适当地进行放电加工的可能性。即、金属线因向加工液槽供给的加工液的喷流而摇摆，难以均匀地加工被加工物。

本发明以提供一种用于降低因从加工液槽内的加工液供给口供给的加工液的喷流造成的金属线的抖动，对被加工物适当地放电加工的构造为目的。

发明内容

本发明提供一种金属线放电加工装置，所述金属线放电加工装置通过在并列设置金属线而成的金属线群和被加工物之间的放电，将前述被加工物切割加工，其中，该金属线放电加工装置具备加工液槽，该加工液槽具有从加工液供给装置被供给加工液的加工液供给口，前述加工液用于在前述被加工物和前述金属线群之间进行放电加工，在所述加工液槽中留存从前述加工液供给口供给的加工液，前述加工液槽在与前述加工液槽内的加工液的水面平行地行走的前述金属线群和前述加工液供给口之间的位置，并且在朝向竖直方向与前述加工液供给口相比的上部位置还具备水流控制机构，该水流控制机构被设置成对从前述加工液供给口供给的前述加工液的、朝向前述金属线群的方向流动的水流进行抑制。

另外，本发明提供一种金属线放电加工方法，所述金属线放电加工方法由金属线放电加工装置进行，前述金属线放电加工装置通过在并列设置金属线而成的金属线群和被加工物之间的放电，将前述被加工物切割加工，其中，加工液槽具备从加工液供给装置被供给加工液的加工液供给口，前述加工液用于在前述被加工物和前述金属线群之间进行放电加工，前述加工液槽从前述加工液供给口向前述加工液槽内供给前述加工液，并留存从前述加工液供给口供给的加工液，水流控制机构被设置在与前述加工液槽内的加工液的水面平行地行走的前述金属线群和前述加工液供给口之间的位置，并被设置在朝向竖直方向与前述加工液供给口相比的上部的位置，前述水流控制机构抑制从前述加工液供给口供给的前述加工液的、朝向前述金属线群的方向流动的水流。

另外，本发明提供一种通过前述金属线放电加工方法加工前述被加工物而成的加工物。

发明效果

根据本发明，能够降低因从加工液槽内的加工液供给口供给的加工液的喷流造成的金属线的抖动，对被加工物适当地进行放电加工。

附图说明

图1是从前方看多线放电加工系统的外观图。

图2是图1所示的点划线16框内的放大图。

图3是表示多线放电加工装置1具备的加工液槽6、罩板12、金属线7的结构的图。

图4是用于说明放电加工所必要的加工液的水量留存在多线放电加工装置1具备的罩板12内的情况的图。

图5是用于说明多线放电加工装置1具备的罩板12、供水部13、整流板14的结构的图。

图6是对多线放电加工装置1具备的整流板14、金属线7的结构进行说明的图。

图7是用于说明多线放电加工装置1具备的向加工液槽6供给加工液的加工液供给口701的图。

图8是表示从加工液供给口701向不具备水流控制板17的加工液槽6供给加工液，因供给该加工液而产生的加工液槽6内的加工液的流动的图。

图9是表示从加工液供给口701向具备水流控制板17的加工液槽6供给加工液，因供给该加工液而产生的加工液槽6内的加工液的流动的图。

图10是表示从加工液供给口701向具备流束分散控制机构801的加工液槽6供给加工液，因供给该加工液而产生的加工液槽6内的加工液的流动的一例的图。

具体实施方式

下面，参照附图，按照妥当的实施方式，详细地说明本发明。

图1是从前方看有关本发明的实施方式的多线放电加工装置1的外观图。另外，图1所示的各机构的结构是一例，当然与目的、用途相应地具有各种各样的结构例。

有关本发明的实施方式的多线放电加工系统由多线放电加工装置1、电源单元(电源装置)15、加工液供给装置18构成。

多线放电加工系统能够通过放电，以被并列设置的多根金属线7(金属线电极)的间隔将被加工物(在图1的例中为硅锭5)切割成薄片。

多线放电加工装置1经电线(电压施加线)与电源单元15连接，通过从电源单元15供给的电力工作。

多线放电加工装置1通过由未图示出的伺服马达驱动的工件进给装置3在上下方向移动，能够将由粘接剂(粘接部4的粘接剂)粘接在工件进给装置3上的工件(工件表示被加工物，在图1的例中，为硅锭5)在上下方向移动。

另外，多线放电加工装置1是本发明的金属线放电加工装置的应用例，通过在金属线和被加工物之间产生的放电来加工被加工物。

在本发明的实施方式中，通过使硅锭5向下方向移动，硅锭5和金属线7接近，在硅锭5和金属线7之间产生放电，进行硅锭5的放电加工。此时，在硅锭5和金属线7之间的空间(放电间隙(硅锭5和金属线7之间的缝隙))充满加工液，由于该加工液具有规定幅度的电阻值，所以，能够在硅锭5和金属线7之间产生放电，进行硅锭5的放电加工。

另外，通过将工件进给装置3设置在与金属线7相比的下部，使硅锭5向上方向移动，还能够在硅锭5和金属线7之间进行放电加工。

在本实施方式中，作为被加工物的一例，使用硅锭5进行了说明，但也可以使用SIC(碳化硅)等不是绝缘体的其它的材料(导体或者半导体)。

多线放电加工装置1如图1所示，具备作为多线放电加工装置1的基座发挥功能的块体19、被设置在块体19的上部的装置内的块体2、工件进给装置3、粘接部4、硅锭5、加工液槽6、主辊8、金属线7、主辊9、供电单元10、供电元件11、罩板12、供水部13、整流板14、水流控制板17。

15是电源单元(电源装置)，在2中，控制伺服马达的放电伺服控制回路为了与放电的状态相应地效率良好地产生放电，而将放电间隙控制成保持为一定的缝隙，另外，进行工件的定位，使放电加工进展。

18是加工液供给装置，将放电加工部的冷却、除去加工切屑(屑)所必要的加工液通过泵向硅锭5和金属线7送液，且进行加工液中的加工切屑的除去、进行由离子交换树脂进行的比电阻或者电导率(1μS～250μS)的管理、液温(20℃附近)的管理。虽然加工液主要使用水，但也可以使用放电加工油。在本实施方式中，虽然作为加工液的例子使用了水，但也可以是放电加工油。

8、9是主辊，在主辊上，以预先确定的间距、数量形成槽，以便能够按照所希望的厚度加工，受到来自金属线供给线轴的张力控制的金属线在两个主辊上卷绕必要的数量，被送向卷取线轴。金属线速度使用从100m/min到900m/min的程度。

主辊9是本发明的导向辊的应用例，通过主辊9旋转，使被卷绕在主辊9上的金属线7行走。

通过使两个主辊在相同方向，且以相同速度联动旋转，能够使从金属线放出部送来的一根金属线7缠绕主辊(两个)的外周，使被并列设置的多根金属线7在同一方向行走。

金属线7是一根相连的金属线，一面从未图示出的线轴被放出，嵌入主辊8、9的外周面的导向槽(未图示出)，一面被多次(最大为2000次左右)螺旋状地盘绕在该主辊的外侧，此后，卷取在未图示出的线轴上。

加工液槽6是将被管理为规定的范围的比电阻(电导率)的离子交换水作为加工液向被并列设置的金属线7(也称金属线电极)和硅锭5所接近的放电间隙的位置(放电点)供给。

加工液槽6是本发明的加工液槽的应用例，留存用于在被加工物和金属线之间进行放电加工的加工液。

从供水部13喷射的冷却水的比电阻与离子交换水(加工液)的比电阻大致相等，冷却水的比电阻也与加工液同样，通过离子交换树脂管理。这是因为即使冷却水和加工液混杂，也不会对放电造成影响。

即、从供水部13喷射的冷却水是冷却主辊8、9、金属线7的加工液。

另外，从供水部13喷射的加工液是具有与留存在加工液槽6的加工液相同或者大致相同的比电阻的加工液。

另外，整流板14是用于使从供水部13喷射的加工液通过行走的金属线7向加工液槽6流入的机构。关于整流板14的结构，将在后面详细说明。

另外，罩板12设置在加工液槽6以及金属线7的上部，通过使用包围工件的周围，以便向加工液槽6内流入的加工液的界面(液面)成为比金属线7高的位置的罩板12，能够使加工液的水位比金属线7高。

罩板12是本发明的流出抑制板的应用例，设置在与加工液槽相比的上部，抑制留存在加工液槽内的加工液从该加工液槽的流出。另外，在流出抑制板和加工液槽之间的缝隙设置行走的金属线。

虽然图3所示的罩板12设置在加工液槽6的缘上，但也可以不是加工液槽6的缘的正上方，而是设置在加工液槽6的内侧或者外侧。

另外，虽然图3所示的流出抑制板被构成为包围加工液槽6内的加工液，但至少通过相对于被加工物设置在金属线的行走方向侧，能够防止加工液槽6内的加工液在金属线行走的方向被运出，向加工液槽6外被运出，在工件和金属线之间的缝隙(放电间隙)确保放电加工所必要的加工液的水量。

流出抑制板相对于被加工物，被设置在与金属线的行走方向侧的加工液槽的缘相比的上部。

另外，在加工液槽6的内部，具备用于控制加工液的流动(水流)的水流控制板17。

加工液向加工液槽6内的供给从加工液槽6的下部所具备的加工液供给部(将加工液供给口701也称为加工液供给部。)开始进行。因此，从加工液供给部供给的加工液从金属线7的下部直接碰撞金属线7，存在由于该加工液的水流，使得金属线的间隔变动(金属线摇摆)，难以对被加工物进行均匀地加工的可能性。

因此，虽然在后面使用图9进行说明，但为了抑制被加工物的加工的不均匀性的增大，将用于不使从加工液供给部供给的加工液从金属线7的下部直接碰撞金属线7的水流控制板17设置在加工液槽6内。

关于水流控制板17的细节，将在后面使用图9进行说明。

接着，说明图2。

图2是图1所示的点划线16框内的放大图。

块体2与工件进给装置3接合。另外，工件进给装置3通过粘接部4与硅锭5(工件)粘接(接合)。

在本实施例中，作为被加工材料(工件)，以硅锭5为例进行说明。

粘接部4只要是用于将工件进给装置3和硅锭5(工件)粘接(接合)的部件即可，例如使用导电性粘接剂。

工件进给装置3是具备使由粘接部4粘接(接合)的硅锭5向上下方向移动的机构的装置，通过使工件进给装置3向下方向移动，能够使硅锭5靠近金属线7。

加工液槽6是用于储存加工液的容器。加工液例如为电阻值高的去离子水。通过在金属线7和硅锭5之间设置加工液，在金属线7和硅锭5之间产生放电，能够切削硅锭5。

另外，在图1中也说明了，多线放电加工装置1在加工液槽6的上部具备罩板12。

罩板12是为了在作为放电产生部的工件和金属线之间(放电间隙)，确保放电加工所必要的加工液的量而具备的。

罩板12是本发明的罩板，被设置在加工液槽6的上部，发挥将留存在加工液槽6内的加工液的水位留存为与金属线7相比成为上位，减少因金属线行走造成的加工液槽内的加工液的向加工槽外的流出量的功能。

另外，在罩板12和加工液槽6之间有缝隙，设置在该缝隙行走的金属线。

有关罩板12的细节，将在后面使用图3、图4、图5进行说明。

如图2所示，在加工液槽6的上部设置罩板12，再有，加工液从供水部13向主辊9以及/或者加工液槽6或者罩板12之间的金属线7喷射，该被喷射的加工液通过整流板14被留存在加工液槽6内。这样，能够使留存在加工液槽6内的加工液的水位留存为与金属线7相比为上位，能够减少因金属线行走造成的加工液槽内的加工液的向加工槽外的流出量。

据此，在作为放电产生部的工件和金属线之间(放电间隙)能够确保放电加工所必要的加工液的量，能够稳定地进行放电加工，能够防止缺陷在被加工物上的产生。

如图2所示，多线放电加工装置1具备整流板14和供水部13。

供水部13为使加工液向主辊9的上部，也就是被卷绕在主辊9上的金属线的上部以及/或者主辊9和加工液槽6之间的金属线的上部流动而被配置在这些上部。

供水部13是本发明的供水机构的应用例，向在主辊9和加工液槽之间行走的金属线以及/或者主辊9喷射加工液。

该供水机构向被设置在与金属线7的行走方向反方向的主辊9和加工液槽6之间的金属线7以及/或者主辊9喷射加工液。

另外，供水机构与被设置在与金属线7的行走方向反方向的主辊9和加工液槽6之间的金属线7以及/或者主辊9相比被设置在上部。

供水部13在向金属线7供电的情况下，为了保护主辊9不受从金属线电极(金属线7)发出的热的影响，向主辊9的上部且是被卷绕在主辊9上的金属线的上部喷射作为冷却水的加工液。

这里，为了在工件(硅锭5)和金属线7之间的缝隙确保放电加工所必要的加工液的量，利用作为该冷却水的加工液。因此，被构成为设置整流板14，将沿主辊9来的冷却用的加工液向加工液槽6运送。据此，能够在从金属线的静止状态到金属线的行走状态确保放电加工所必要的加工液槽6内的加工液量。

例如，在不进行来自供水部13的加工液的喷射，而使金属线行走的情况下，存在由于在罩板12和加工液槽6之间的缝隙行走的金属线，使得空气大量进入加工液槽6内，且加工液槽6内的加工液从罩板12和加工液槽6之间的缝隙漏出，加工液槽6内的水位降低的可能性。

为了解决这样的技术问题，多线放电加工装置1具备整流板14和供水部13。

在主辊8、9(也称导向辊)上形成多列用于安装金属线7的槽，在该槽安装金属线7。而且，通过主辊8、9右或者左旋转，金属线7行走。

在主辊卷绕多次金属线7，金属线7按照刻在主辊上的槽以规定间距排列。

主辊8、9是中心使用金属，外侧由树脂覆盖的构造。

供电元件11使用要求耐机械磨耗强、具有导电性的超硬合金。

在主辊之间的中央部的上部配置硅锭5，硅锭5被安装在工件进给装置3上，通过工件进给装置3向上下方向移动，硅锭5向上下方向移动，进行硅锭5的加工。

另外，在主辊间的中央部设置加工液槽6，浸渍金属线7以及硅锭5，进行放电加工部的冷却、加工切屑的除去。

金属线7如图2所示，被安装在主辊8、9上，在主辊8、9的上侧以及下侧形成金属线列。

另外，金属线7是传导体，通过被从电源单元15供给电压的供电单元10的供电元件11和金属线7接触，从供电元件11向金属线7施加该供给的电压。(供电元件11向金属线7施加电压。)

而且，能够在金属线7和硅锭5之间引起放电，切削硅锭5(进行放电加工)，制作薄板状的硅(硅晶片)(加工物)。

接着，使用图3，对加工液槽6、罩板12、金属线7的结构进行说明。

图3是表示多线放电加工装置1具备的加工液槽6、罩板12、金属线7的结构的图。

如图3所示，是在加工液槽6和罩板12之间存在缝隙，金属线7在该缝隙行走的结构。

虽然向加工液槽6内供给的加工液从该缝隙流出，但是，向加工液槽6供给从该缝隙流出的量以上的流量的加工液。

因此，在罩板12内也留存放电加工所必要的加工液的水量。

接着，使用图4，说明在罩板12内留存放电加工所必要的加工液的量的情况。

图4是用于说明在多线放电加工装置1具备的罩板12内留存放电加工所必要的加工液的水量的情况的图。

图4的(A)是表示在不具备罩板12的加工液槽6内储存加工液，金属线7未行走的状态的图。

如图4的(A)所示，由于金属线7未行走，所以，成为金属线7、加工液槽6内的加工液通过向加工液槽6内供给的加工液而接触的状态。

另外，图4的(B)是表示在不具备罩板12的加工液槽6内储存加工液，金属线7行走的状态的图。

如图4的(B)所示，由于金属线7行走，所以，成为加工液槽6内的加工液向金属线行走的方向被运出，加工液槽6内的加工液局部地未与金属线7接触的状态。图4的(B)所示的加工液槽6内的箭头是表示加工液槽6内的加工液的流动。由于金属线行走，所以，加工液槽6内的加工液向图4的(B)所示的箭头那样流动，加工液槽6内的加工液向金属线行走的方向被运出，向加工液槽6外漏出。因此，加工液槽6内的加工液甚至不能与金属线7接触，难以在工件和金属线之间(放电间隙)确保放电加工所必要的加工液的水量。

因此，在本实施方式中，如图4的(C)、(D)所示，在加工液槽6的上部具备罩板12，在工件和金属线之间(放电间隙)确保放电加工所必要的加工液的水量。

图4的(C)是表示在加工液槽6以及罩板12内储存加工液，金属线7未行走的状态的图。

另外，图4的(D)是表示在加工液槽6以及罩板12内储存加工液，金属线7行走的状态的图。

如图4的(D)所示，由于加工液槽6和罩板12之间的金属线7行走，所以，虽然加工液槽6内的加工液向金属线行走的方向被运出，但是，罩板防止该被运出的加工液向加工液槽6以及罩板12外被运出。

因此，能够在工件和金属线之间的缝隙(放电间隙)确保放电加工所必要的加工液的水量。

图4的(D)所示的加工液槽6内的箭头是表示加工液槽6内的加工液的流动。

另外，在由于金属线速度的增加等，加工液槽6内的水流变大的情况下，通过提高(调整)罩板的高度，能够减少水向加工液槽6外的运出(流出)。

接着，使用图5，对多线放电加工装置1具备的罩板12、供水部13、整流板14的结构进行说明。

图5是用于说明多线放电加工装置1具备的罩板12、供水部13、整流板14的结构的图。

使用图5，对通过金属线7的行走以及整流板14，使从供水部13喷射的作为冷却水的加工液流入加工液槽6以及罩板12，在工件和金属线之间的缝隙确保放电加工所必要的加工液的水量的情况进行说明。

如上所述，在图4的(B)中，若金属线行走，则成为加工液槽6内的加工液向加工液槽6外漏出，金属线7未浸渍在加工液的状态。

另外，虽然为了改善该技术问题，做成具备罩板12的结构，但是，还存在成为从罩板12和加工液槽6之间的缝隙(用于金属线行走的缝隙)进入空气或加工液泄漏，与金属线行走的方向反方向侧的加工液槽6内的金属线局部地未浸渍在加工液的状态的可能性。

因此，使用图5，进一步对用于在工件和金属线之间确保放电加工所必要的加工液的水量的机构进行说明。

供水部13如图5所示，为了保护主辊9不受来自金属线的发热的影响，向主辊9喷射作为冷却水的加工液。另外，也可以向主辊9和加工液槽6之间的金属线7上喷射加工液。

从供水部13向通过主辊9行走的金属线7喷射加工液，由行走的金属线7，使被喷射的加工液逐渐向加工液槽6和罩板12之间的缝隙流动。

此时，为使从金属线7落下的加工液也向加工液槽6和罩板12之间的缝隙流动，如图5所示，将整流板14设置在主辊9和加工液槽6以及/或者罩板12之间的行走中的金属线7之下。

这样，从供水部13向行走的金属线7/主辊9喷射加工液，由行走的金属线7，使整流板14以及金属线7上的加工水逐渐向加工液槽6和罩板12之间的缝隙流动。

使用图6，对多线放电加工装置1具备的整流板14和金属线7的结构进行说明。

图6是表示对多线放电加工装置1具备的整流板14和金属线7的结构进行说明的图。

整流板14如图6所示，被设置在金属线7的下部，由整流板的底板(底面)和侧板(侧面)储存从金属线7落下的加工液，在行走的金属线7的上下面，由金属线7的行走，能够将被喷射的加工液向加工液槽6以及/或者罩板12运送。

整流板14是本发明的整流板的应用例，将由被设置在主辊9和加工液槽6之间的金属线7的下部的供水机构喷射的加工液向加工液槽送出。

而且，被运送到加工液槽6以及/或者罩板12的加工液通过加工液槽6和罩板12之间的缝隙，进入加工液槽6和罩板12中，能够在工件和金属线之间确保放电加工所必要的加工液的水量。

据此，能够从金属线的静止状态到金属线的行走状态确保放电加工所必要的加工槽内的加工液量。

接着，使用图7，对多线放电加工装置1具备的向加工液槽6供给加工液的加工液供给口701进行说明。

图7是用于说明多线放电加工装置1具备的向加工液槽6供给加工液的加工液供给口701的图。

如图7所示，在加工液槽6上，在加工液槽6的下部的前面侧的左右分别设置加工液供给口701。

从该各自的加工液供给口701向加工液槽6内供给加工液。

加工液供给口701也可以是加工槽的底面等其它的位置，另外，设置数量也不限于两个部位。

另外，加工液供给口701与加工液供给装置18导通，从加工液供给装置18向加工液供给口701供给加工液，从加工液供给口701向加工液槽6内供给加工液。

加工液供给口701是本发明的加工液供给口的应用例，与加工液槽6导通，从供给加工液的加工液供给装置18向加工液槽6内供给加工液。

图8是表示从加工液供给口701向不具备水流控制板17的加工液槽6供给加工液，因该供给加工液而产生的加工液槽6内的加工液的流动的图。

图8的(A)所示的加工液槽6内的箭头是表示因供给加工液而产生的加工液槽6内的加工液的流动。

在图8(A)中，在从加工液槽6的两侧面的加工液供给口701供给了加工液时，由于两个水流撞击到一起，成为喷流向水面方向涌起，所以，该喷流直接碰撞多根金属线7，存在被等间隔地铺设的金属线间的间隔被扰乱的可能性。

在图8(B)中，是使加工液供给口701不是两个，而是一个的情况的图。箭头是表示因供给加工液而产生的加工液槽6内的加工液的流动。

如图8(B)所示，在从加工液槽6的单侧面的加工液供给口701供给了加工液时，由于水流在撞击与加工液供给口701相反一侧的侧面后，成为喷流向水面方向涌起，所以，与图8(A)同样，存在金属线间的间隔被扰乱的可能性。

接着，使用图9，对从加工液供给口701向具备水流控制板17的加工液槽6供给加工液，因供给该加工液而产生的加工液槽6内的加工液的流动进行说明。

图9是表示从加工液供给口701向具备水流控制板17的加工液槽6供给加工液，因供给该加工液而产生的加工液槽6内的加工液的流动的图。

图9所示的加工液槽6内的箭头是表示因供给加工液而产生的加工液槽6内的加工液的流动。

如图9所示，水流控制板17设置在加工液槽6的底部附近，以便将加工液供给口701与金属线铺设部隔绝，据此，水流在加工液槽6的底部和水流控制板17之间通过，不会向铺设了多根金属线7的水面方向直接涌起，而是以流速被缓和的状态到达水面，因此，将等间隔地铺设的金属线的间隔扰乱的情况降低，能够进行更稳定的放电加工。

图9的(C)、(D)分别是表示同一加工液槽6的图，看加工液槽6的方向分别不同。图9的(C)是从正面看的图，图9的(D)是从右侧看的图。

如图9的(C)、(D)所示，金属线7的下部具备至少有多根金属线7的宽度(L0到L1之间的距离)或者其以上的宽度的水流控制板17。

如图9的(D)所示，从加工液供给口701供给的加工液因水流控制板17而从前面开始向后面方向流动，撞击加工液槽6的壁面(后方的壁面)，未加改变地向水面方向上升。而且，由于该水流不会直接与金属线冲撞，而是向没有金属线的水面方向流动，流向有金属线的部分，所以，存在能够降低金属线的间隔因水流而变动(金属线摇摆)，难以均匀地加工被加工物的可能性。

这样，水流控制板17(水流控制机构)将该加工液的水流控制成使金属线7承受从加工液供给口(加工液供给机构)供给的加工液的水流的力减少。

即、水流控制板17(水流控制机构)将该加工液的水流控制成使从加工液供给口(加工液供给机构)供给的加工液绕过水流控制板17(水流控制机构)，使金属线7承受该加工液的水流的力减少。

另外，由于通过将水流控制板17构成为能够与铺设的金属线7的根数相应地例如在图9(D)所示的从L1到L2的范围调节其进深的尺寸，能够在金属线7的铺设位置不使涌起的喷流直接碰撞金属线7，所以，能够降低金属线的间隔因水流而变动(金属线摇摆)，难以均匀地加工被加工物的可能性。而且，作为其结果，能够进行稳定地放电加工。

如图9的(D)所示，由于构成为能够进行调节，以便若金属线7的根数增加，金属线7的宽度例如长到L0到L2之间的距离，则与该长度相应地使水流控制板17的长度成为L0到L2之间的长度(具备使水流控制板17滑动，能够调整长度的机构(调整部))，所以，能够与金属线7的根数相应地调整水流控制板17的长度，还能够减轻例如替换为与金属线7的根数相应的长度的水流控制板17这样的用户的麻烦的作业。

即、水流控制板17是能够调整为按照金属线的根数决定的长度的板(水流控制机构)。

这样，水流控制板17具备按照金属线7的根数调整板的长度的调整部。

如图9的(D)所示，加工液供给口701(加工液供给机构)以及水流控制板17(水流控制机构)、金属线行走的配置位置是加工液槽6内的同一方向的位置。即、在图9的例中，分别被设置为前面的方向。

水流控制板17是本发明的水流控制机构的应用例，被设置在加工液槽6，以便抑制从加工液供给口701(加工液供给机构)向加工液槽6内供给的加工液的向加工液槽6内的加工液的水面方向的水流。

水流控制板17如图9的(D)所示，被设置在金属线7和加工液供给口701之间的加工液供给口701的竖直方向的上部。

能够由该水流控制板17减轻加工液槽6内的加工液向水面方向的喷流，能够控制从加工液供给口701(加工液供给机构)供给的加工液的水流。

另外，水流控制板17被设置在金属线7和加工液供给口701(加工液供给机构)之间，被配置在从加工液供给口701向加工液槽6内供给的加工液在加工液槽6内绕过水流控制板，并向加工液槽6内的加工液的水面方向流动的位置。

另外，加工液供给口701与加工液槽内导通地被设于在加工液槽6内的加工液的水面附近(加工液槽6内的加工液内)行走的金属线7的竖直方向的下部，水流控制板17是设置在该金属线7和加工液供给口701之间的板。

另外，水流控制板17是按照多根金属线7的宽度决定的长度的板，是与多根金属线7的宽度相同或者比该宽度长的板。

本实施方式的加工液槽6除图9所示的水流控制板17外，还具备图10所示的流束分散控制机构801。

图10所示的流束分散控制机构801是本发明的分散机构的应用例，本发明的水流控制机构包括图10所示的流束分散控制机构801。

图10所示的流束分散控制机构801被设置在加工液供给口701，是将从加工液供给口701向加工液槽6内供给的加工液的水流分散的机构。

接着，使用图10，对加工液槽6具备的流束分散控制机构801进行说明。

下面，使用图10，对从加工液供给口701向具备流束分散控制机构801的加工液槽6供给加工液，因供给该加工液而产生的加工液槽6内的加工液的流动进行说明。

图10是表示从加工液供给口701向具备流束分散控制机构801的加工液槽6供给加工液，因供给该加工液而产生的加工液槽6内的加工液的流动的图。

图10所示的加工液槽6内的箭头是表示因供给加工液而产生的加工液槽6内的加工液的流动。另外，该箭头的长度与矢量同样，与其长度相应地，是表示从流速分散控制机构流出的加工液的水流的强度。

如图10所示，由于流束分散控制机构801被设置在加工液槽6的底部附近，以便将加工液供给口701与金属线铺设部(金属线7)隔绝，据此，水流不会从加工液槽6的底部向铺设了多根金属线7的水面方向直接涌起，而是以流速被缓和的状态达到水面，所以，将被等间隔地铺设的金属线的间隔扰乱的情况降低，能够进行更稳定地放电加工。

图10的(E)、(F)分别是表示同一加工液槽6的图，看加工液槽6的方向分别不同。图10的(E)是从正面看的图，图10的(F)是从右侧看的图。

如图10所示，从加工液供给口701供给的加工液向流束分散控制机构801供给，从流束分散控制机构801向加工液槽6内供给加工液。

另外，如图10所示，从左右的加工液供给口701向流束分散控制机构801供给加工液。

流束分散控制机构801由为多孔质原料(多孔质材料)的海绵803构成。

由于从加工液供给口701向加工液槽6供给的加工水在为多孔质原料的海绵803通过，由海绵的多个孔使加工液的水流分散，向加工液槽6内供给加工液，所以，水流减弱，能够抑制因加工液的喷流造成的金属线的抖动。

上面，根据本发明，能够抑制从加工液槽内的加工液供给机构供给的加工液的喷流造成的金属线的抖动。

另外，根据本发明，还能够确保放电加工部(放电间隙)中的放电加工所必要的加工液的量，对被加工物适当地进行放电加工。

另外，采用由本实施方式说明的金属线放电加工方法，通过对被加工物进行放电加工而加工出的加工物也是本发明的特征。

符号说明

1：多线放电加工装置；2：块体；3：工件进给装置；4：粘接部；5：硅锭；6：加工液槽；7：金属线；8：主辊；9：主辊；10：供电单元；11：供电元件；12：罩板；13：供水部；14：整流板；15：电源单元；17：水流控制板；18：加工液供给装置；19：块体。

Claims (9)

1.一种金属线放电加工装置，所述金属线放电加工装置通过在并列设置金属线而成的金属线群和被加工物之间的放电，将前述被加工物切割加工，

其特征在于，

该金属线放电加工装置具备加工液槽，该加工液槽具有从加工液供给装置被供给加工液的加工液供给口，前述加工液用于在前述被加工物和前述金属线群之间进行放电加工，在所述加工液槽中留存从前述加工液供给口供给的加工液，

前述加工液槽在与前述加工液槽内的加工液的水面平行地行走的前述金属线群和前述加工液供给口之间的位置，并且在朝向竖直方向与前述加工液供给口相比的上部位置还具备水流控制机构，该水流控制机构被设置成对从前述加工液供给口供给的前述加工液的、朝向前述金属线群的方向流动的水流进行抑制。

2.如权利要求1所述的金属线放电加工装置，其特征在于，前述加工液供给口与前述加工液槽内导通地被设置于在前述加工液槽内的前述加工液的水面附近行走的前述金属线群的竖直方向的下部，

前述水流控制机构是设置在前述金属线群和前述加工液供给口之间的板。

3.如权利要求1所述的金属线放电加工装置，其特征在于，前述水流控制机构是与前述金属线群的宽度相同或者比该宽度长的板。

4.如权利要求2或3所述的金属线放电加工装置，其特征在于，前述水流控制机构还具备根据前述金属线群的金属线的根数来调整板的长度的调整部。

5.如权利要求1所述的金属线放电加工装置，其特征在于，该金属线放电加工装置还包括分散机构，该分散机构被设置在前述加工液供给口以便将前述加工液供给口堵住，且将从前述加工液供给口向前述加工液槽内供给的加工液的水流分散。

6.如权利要求5所述的金属线放电加工装置，其特征在于，前述分散机构是多孔质材料。

7.如权利要求5所述的金属线放电加工装置，其特征在于，前述分散机构是海绵。

8.一种金属线放电加工方法，所述金属线放电加工方法由金属线放电加工装置进行，前述金属线放电加工装置通过在并列设置金属线而成的金属线群和被加工物之间的放电，将前述被加工物切割加工，其特征在于，

加工液槽具备从加工液供给装置被供给加工液的加工液供给口，前述加工液用于在前述被加工物和前述金属线群之间进行放电加工，

前述加工液槽从前述加工液供给口向前述加工液槽内供给前述加工液，并留存从前述加工液供给口供给的加工液，

水流控制机构被设置在与前述加工液槽内的加工液的水面平行地行走的前述金属线群和前述加工液供给口之间的位置，并被设置在朝向竖直方向与前述加工液供给口相比的上部的位置，

前述水流控制机构抑制从前述加工液供给口供给的前述加工液的、朝向前述金属线群的方向流动的水流。

9.一种加工物，其特征在于，通过权利要求8记载的金属线放电加工方法加工被加工物而成。